JP6558789B1 - 電源装置 - Google Patents
電源装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6558789B1 JP6558789B1 JP2019027548A JP2019027548A JP6558789B1 JP 6558789 B1 JP6558789 B1 JP 6558789B1 JP 2019027548 A JP2019027548 A JP 2019027548A JP 2019027548 A JP2019027548 A JP 2019027548A JP 6558789 B1 JP6558789 B1 JP 6558789B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulse
- power supply
- unit
- pulse signal
- pulse train
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Dc-Dc Converters (AREA)
Abstract
Description
直流電圧源と、
トランスと、
前記直流電圧源に並列接続されたブリッジ回路を構成する複数のスイッチング素子を有し、PWMパルス信号により各スイッチング素子のオン、オフが切り替えられて、前記トランスの一次電流を生成するインバータ部と、
前記PWMパルス信号を前記インバータ部に供給して各スイッチング素子のオン、オフを切り替えるインバータ制御部と、
前記トランスの二次電流を整流して、負荷側に出力する整流部と、
前記一次電流のパルス波形を検出するパルス検出部と、
を備え、
前記インバータ制御部は、前記パルス検出部の検出に基づいて前記一次電流のパルス列としての第1パルス列の相互に隣接するパルスの離間時間を検出し、該離間時間が所定の閾値未満であるときは、前記PWMパルス信号のパルス列としての第2パルス列の相互に隣接するパルス対の一方のパルスを間引いて、前記インバータ部に供給することを特徴とする。
一端において前記整流部の一端に接続されているインダクタと、
両端においてそれぞれ前記インダクタの他端及び前記整流部の他端に接続されているキャパシタと、
前記インダクタと前記キャパシタとの接続点から出力される駆動電流を前記負荷側に導く駆動電流路に介在して、該駆動電流路の駆動電流を検出する駆動電流検出器と、
前記駆動電流検出器が検出した前記駆動電流が所定値以上になると、前記駆動電流路を一定時間、遮断し、該一定時間の経過後は遮断を解除する保護器と、
を備え、
前記インバータ制御部は、前記一定時間中は前記第2パルス列のパルスを所定の比率で間引く。
図1は、成膜形成システム1の構成図である。成膜形成システム1は、電源装置2、及び電源装置2の負荷としての成膜形成装置3を備える。電源装置2は、さらに、直流電圧源7、インバータ部8、変圧部9、整流部10、LC部11、過電流保護装置12及びインバータ制御部13を備える。
図2は、成膜形成システム1の各箇所の電気波形(例:電流波形、電圧波形又は信号波形)を示している。
図3は、過電流発生時の電源装置2の作用の説明図である。
Claims (4)
- 直流電圧源と、
トランスと、
前記直流電圧源に並列接続されたブリッジ回路を構成する複数のスイッチング素子を有し、PWMパルス信号により各スイッチング素子のオン、オフが切り替えられて、前記トランスの一次電流を生成するインバータ部と、
前記PWMパルス信号を前記インバータ部に供給して各スイッチング素子のオン、オフを切り替えるインバータ制御部と、
前記トランスの二次電流を整流して、負荷側に出力する整流部と、
前記一次電流のパルス波形を検出するパルス検出部と、
を備え、
前記インバータ制御部は、前記パルス検出部の検出に基づいて前記一次電流のパルス列としての第1パルス列の相互に隣接するパルスの離間時間を検出し、該離間時間が所定の閾値未満であるときは、前記PWMパルス信号のパルス列としての第2パルス列の相互に隣接するパルス対の一方のパルスを間引いて、前記インバータ部に供給することを特徴とする電源装置。 - 請求項1に記載の電源装置において、
前記インバータ制御部は、前記第2パルス列におけるパルスの間引き処理の継続時間が第1所定時間以上になると、前記間引き処理を解除することを特徴とする電源装置。 - 請求項2に記載の電源装置において、
前記インバータ制御部は、前記間引き処理の解除後、前記パルス検出部の検出に基づいて前記一次電流に異常波形が含まれているか否かを判定し、含まれていると判定したときは、前記間引き処理を再開し、再開した前記間引き処理は前記第1所定時間より長い第2所定時間以上継続することを特徴とする電源装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の電源装置において、
一端において前記整流部の一端に接続されているインダクタと、
両端においてそれぞれ前記インダクタの他端及び前記整流部の他端に接続されているキャパシタと、
前記インダクタと前記キャパシタとの接続点から出力される駆動電流を前記負荷側に導く駆動電流路に介在して、該駆動電流路の駆動電流を検出する駆動電流検出器と、
前記駆動電流検出器が検出した前記駆動電流が所定値以上になると、前記駆動電流路を一定時間、遮断し、該一定時間の経過後は遮断を解除する保護器と、
を備え、
前記インバータ制御部は、前記一定時間中は前記第2パルス列のパルスを所定の比率で間引くことを特徴とする電源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019027548A JP6558789B1 (ja) | 2019-02-19 | 2019-02-19 | 電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019027548A JP6558789B1 (ja) | 2019-02-19 | 2019-02-19 | 電源装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6558789B1 true JP6558789B1 (ja) | 2019-08-14 |
JP2020137252A JP2020137252A (ja) | 2020-08-31 |
Family
ID=67614842
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019027548A Active JP6558789B1 (ja) | 2019-02-19 | 2019-02-19 | 電源装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6558789B1 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06141552A (ja) * | 1992-10-26 | 1994-05-20 | Kasuga Denki Kk | 高周波高圧電源の電力制御装置 |
JP4841949B2 (ja) * | 2005-12-21 | 2011-12-21 | オリジン電気株式会社 | 真空装置及び真空装置の電力供給方法 |
JP4805205B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2011-11-02 | オリジン電気株式会社 | 放電負荷用電源 |
JP2009296763A (ja) * | 2008-06-04 | 2009-12-17 | Denso Corp | スイッチング電源装置 |
JP6370565B2 (ja) * | 2014-03-03 | 2018-08-08 | 株式会社ダイヘン | 電源装置及びアーク加工用電源装置 |
-
2019
- 2019-02-19 JP JP2019027548A patent/JP6558789B1/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020137252A (ja) | 2020-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7495875B2 (en) | Power abnormal protection circuit | |
US9147555B2 (en) | Arc extinction arrangement and method for extinguishing arcs | |
US20060171175A1 (en) | Adaptive multi-level threshold system and method for power converter protection | |
US20120099345A1 (en) | Soft-start control system and method for an isolated dc-dc converter with secondary controller | |
JP2008505446A (ja) | プラズマにおけるアーク電流の早期短絡を用いた迅速なアーク消滅のための装置および方法 | |
US9997903B2 (en) | Power supply device for plasma processing | |
JP5399563B2 (ja) | 直流電源装置 | |
US9806513B2 (en) | Robust solid-state circuit protection apparatus | |
JP5133657B2 (ja) | 高電圧電源装置 | |
JP4257770B2 (ja) | アーク遮断回路、スパッタ用電源及びスパッタ装置 | |
JP6558789B1 (ja) | 電源装置 | |
JP4841949B2 (ja) | 真空装置及び真空装置の電力供給方法 | |
JP4217979B2 (ja) | 入出力絶縁型dc−dcコンバータ | |
JP2001145371A (ja) | スパッタ用電源 | |
JP6455719B2 (ja) | 無停電電源システム | |
JP3962297B2 (ja) | マイクロ波電力供給システム | |
JP2002294445A (ja) | スパッタリング装置 | |
JP6558788B1 (ja) | 過電流保護装置 | |
JP2003284344A (ja) | 整流装置の制御方法および制御装置 | |
JPH01136562A (ja) | インバータ装置の保護回路 | |
JPWO2019097602A1 (ja) | 電力変換装置 | |
JP2017126438A (ja) | 漏電遮断器 | |
JP3585792B2 (ja) | 電力変換装置 | |
JP2007082291A (ja) | 無停電電源装置 | |
JP2006166674A (ja) | 電圧形インバータ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190219 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20190219 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20190411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190416 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190610 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190625 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190710 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6558789 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |