JP2002294445A - スパッタリング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 アーク放電が発生しても確実に消弧すること
ができるスパッタリング装置を提供すること。 【解決手段】 装置本体１２と電源装置１１を分離し両
者をケーブルで接続して構成するスパッタリング装置に
おいて、装置本体１２は、装置本体内に設けられたチャ
ンバ内のアーク放電を検出するアーク放電検出手段と、
このアーク放電検出手段により、アーク放電が検出され
ると前記チャンバにスパッタ電流の供給を停止する停止
手段とを具備したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コンパクトディス
ク（CD）やディジタル・バーサタイル・ディスク（ＤＶ
Ｄ）等を製造するためのスパッタリング装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンパクトディスク（CD）やディジタル
・バーサタイル・ディスク（ＤＶＤ）製造用のスパッタ
リング装置が普及されている。このスパッタリング装置
によるコンパクトディスクやディジタル・ビデオ・ディ
スクへの膜の形成は、マグネトロンスパッタ技術により
成膜している。

【０００３】通常、スパッタリング装置は、装置本体と
電源装置と本体・電源接続ケーブル（以降ケーブルと呼
称）から構成されている。電源装置は外部から交流電源
をスパッタ電源と動力・制御用電源に分け、各ケーブル
によって装置本体へ供給している。

【０００４】装置本体は、下記の電源装置機能以外の全
機能（搬送、真空、成膜、制御等）を有している。装置
の成膜レートは投入電力で決まるので、これを一定にす
るため電源装置は定電力で運転している。

【０００５】スパッタ電源は、商用電源の交流を直流に
変換し、高周波インバータ・絶縁トランス・整流回路で
直流に再変換し、本体制御装置の電力指令に基づいた出
力（電力）になる様にインバータをフィードバック制御
して、本体へ供給される。膜厚は電源装置で観測した出
力電流と出力電圧を本体制御で積算し、規定電力量にな
ると電源の出力を停止するようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、成膜時にア
ーク放電した場合、急激な供給電圧の低下または電流の
上昇が起きる。電源装置が電圧低下または電流上昇を検
出すると、アーク放電を解消するためスパッタ電源の出
力を停止している。この検出条件は電源装置の内部に固
定されている。

【０００７】電源装置は出力容量に比例した大きさのイ
ンバータ・高周波トランス・インダクタを内蔵するので
大きい。このため本体との距離を離して配置し、長いケ
ーブルで装置本体を接続することがある。ケーブル長が
長くなるとケーブルに存在するインダクタンス（０．２
５μＨ／ｍ）とキャパシタンス（１００ｐＦ／ｍ）が無
視出来ずに下記の不具合が現れる。

【０００８】１）電圧や電流の速い変化が電源装置に伝
わり難く、特にアーク放電の検知が遅れる。

【０００９】２）アーク放電を検知して電源供給を遮断
しても、チャンバに入る電流はすぐに下がらない。

【００１０】３）チャンバへの供給電圧・電流が電源装
置での観測値と異なるので、正確な電力供給が出来ず膜
厚品質が変動してしまう。

【００１１】例えば、ケーブルの長さが１０ｍの場合、
波長圧縮率が６５％ぐらいなのでアーク放電によるチャ
ンバの電圧低下は、１０ｍ÷（３００ｍ／μ秒×６５
％）＝５０ｎ秒程度遅れて電源側に伝わる。またスパッ
タ電流＝１２Ａのスパッタ中にアーク放電電圧＝１５０
Ｖに変化すると、出力遮断で電流が低下するにはｄｔ＝
Ｌ×ｄｉ÷Ｖ＝０．２５μＨ／ｍ×１０ｍ×１２Ａ÷１
５０Ｖ＝２００ｎ秒要する。検出・判定・スイッチング
素子の動作に１００ｎ秒要すると、アーク発生からスパ
ッタ電流の遮断には３５０ｎ秒が必要である。アーク放
電中は投入エネルギーがアークの発生点に集中し、遮断
するまで被害が増大する。被害は成膜対象だけでなく、
ターゲット材や装置部品の破損にまで及ぶことがある。
アーク発生から２００ｎ秒以内にスパッタ電流を遮断し
たい場合、検出・判定・素子の動作に１００ｎ秒要する
ので、ケーブル１３での電圧低下の伝達遅れと電流遮断
の伝達遅れは合わせて１００ｎ秒しか許容されず、アー
クを検出する機能とスパッタ電流を停止する機能はチャ
ンバから１０ｍ÷２５０ｎ秒×１００ｎ秒＝４ｍ以内に
配置しなければならない。

【００１２】しかし、電源装置と装置本体とを４ｍ以内
のケーブルで接続できない場合もあり、このように４ｍ
以内のケーブルで接続できない場合でも迅速、確実にア
ーク放電を消弧させることが望まれている。

【００１３】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、アーク放電が発生しても確実に消弧す
ることができるスパッタリング装置を提供することにあ
る。

【００１４】

【課題を解決するための手段】請求項１記載のスパッタ
リング装置は、装置本体と電源装置を分離し両者をケー
ブルで接続して構成するスパッタ装置において、前記装
置本体は、装置本体内に設けられたチャンバ内のアーク
放電を検出するアーク放電検出手段と、このアーク放電
検出手段により、アーク放電が検出されると前記チャン
バにスパッタ電流の供給を停止する停止手段とを具備し
たことを特徴とする。

【００１５】このように、チャンバ内のアーク放電の発
生を検出するアーク放電検出手段と、スパッタ電流の供
給を停止する停止手段とを電源装置から分離してスパッ
タリング装置本体に組み込むことにより、動作速度を向
上させ、アーク放電の発生から消失するまでの時間を短
縮することができる。従って、電源装置と装置本体を４
ｍ以上の長いケーブルで接続した場合でも、アーク放電
の発生から消失するまでの時間を短縮することができ
る。

【００１６】請求項２記載のスパッタリング装置は、請
求項１記載の装置本体と電源装置との間は複数並列接続
したケーブルで接続されていることを特徴とする。

【００１７】このように、装置本体と電源装置との間は
複数並列接続したケーブルで接続することにより、装置
本体と電源装置間のインダクタンスを低減することによ
り、動作速度を向上させ、迅速、確実にアーク放電を停
止させることができる。

【００１８】請求項３記載のスパッタリング装置は、装
置本体と電源装置を分離し両者をケーブルで接続して構
成するスパッタ装置において、前記装置本体は、装置本
体内に設けられたチャンバ内のアーク放電を検出するア
ーク放電検出手段と、このアーク放電検出手段により、
アーク放電が検出されると前記チャンバにスパッタ電流
の供給を停止する停止手段とを備え、前記電源装置は、
アーク放電検出手段で検出されるチャンバに供給される
電圧及び電流から算出された供給電力が設定電力となる
ようにフィードバック制御することを特徴とする。

【００１９】このように、電源装置はチャンバへの供給
電力が設定電力となるようよに制御しているので、チャ
ンバ内で成膜される層の厚さを均一に保つことができ
る。

【００２０】請求項４記載のスパッタリング装置は、装
置本体と電源装置を分離し両者をケーブルで接続して構
成するスパッタ装置において、前記装置本体は、装置本
体内に設けられたチャンバ内のアーク放電を検出するア
ーク放電検出手段と、このアーク放電検出手段により、
アーク放電が検出されると前記チャンバにスパッタ電流
の供給を停止する停止手段と、アーク放電検出手段で検
出されるチャンバに供給される電圧及び電流から供給電
力量を積算する手段と、その積算値が設定電力になる
と、電源装置にその旨を出力する手段とを備えているこ
とを特徴とする。

【００２１】このように、チャンバに供給される電圧及
び電流から供給電力量を積算し、その積算値が設定電力
になると、チャンバへの電力の供給を停止するようにし
たので、チャンバ内で成膜される層の厚さを均一に保つ
ことができる。

【００２２】請求項５記載のスパッタリング装置は、請
求項１記載のアーク放電検出手段は、装置本体の制御部
から出力されるアーク放電情報に基づいて、アーク判定
基準値を作成し、検出されたチャンバへの供給電圧ある
いは供給電圧のうち少なくともいずれか一方と判定基準
値と比較することによりアーク放電を検出していること
を特徴とする。

【００２３】このようにすることにより、アーク放電の
発生を確実に検出することができる。さらに、アーク放
電の判定基準値を装置本体の制御部から出力されるアー
ク放電情報に基づいて、アーク放電検出手段で作成して
いるので、ターゲットの種類に応じてアーク放電情報を
適宜設定することにより、あらゆるターゲットに対して
アーク放電の発生を確実に検出することができる。

【００２４】請求項６記載のスパッタリング装置は、請
求項１記載の停止手段は、アーク放電が連続する間は、
スパッタ電流の供給を繰り返し遮断することを特徴とす
る。

【００２５】このように、アーク放電が連続する間は、
スパッタ電流の供給を繰り返し遮断するようにしたの
で、アーク放電が発生しても確実にアーク放電を消弧さ
せることができる。

【００２６】請求項７記載のスパッタリング装置は、複
数のスパッタリング装置本体と１台の電源装置で構成し
たシステムにおいて、各スパッタリング装置本体は装置
本体内に設けられたチャンバ内のアーク放電を検出する
アーク放電検出手段と、このアーク放電検出手段によ
り、アーク放電が検出されると前記チャンバにスパッタ
電流の供給を停止する停止手段とを具備したことを特徴
とする。

【００２７】このように、１台の電源装置で複数のスパ
ッタリング本体装置に電源を供給することができるの
で、電源装置の有効利用を計ることができる。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施の形態について説明する。図１において、１１は電
源装置、１２はスパッタリング装置本体である。この電
源装置１１とスパッタリング装置本体１２間は互いに分
離するようにシールドケーブル１３で接続されている。

【００２９】商用電源は電源装置１１内のコンバータ２
１及び電源制御部２２に供給されると共に、電源装置１
１内を経由してスパッタリング装置本体１２内の本体電
源部３１に供給される。

【００３０】コンバータ２１は入力される商用電源を直
流に変換し、高周波インバータ、絶縁トランス、整流回
路（いずれも図示しない）で直流に再変換して出力す
る。例えば、８００Ｖのスパッタリング用直流電圧Ｖａ
を出力する。

【００３１】電源制御部２２には本体制御部３２から出
力される電力指令値Ｐｉ及び真空チャンバ３５に供給さ
れる電圧Ｖ、電流Ｉ及びアーク信号ｃが入力されてい
る。

【００３２】電源制御部２２は本体制御部３２から電圧
Ｖ及び電流Ｉを受けて供給電力Ｐを計算し、供給電力Ｐ
が電力指令値Ｐｉに応じた電力となるように、コンバー
タ２１内の高周波インバータ（図示しない）に制御信号
Ｖｆを出力する。

【００３３】ところで、コンバータ２１から出力される
直流電圧Ｖａは出力遮断部２３、インダクタンス２４を
介してシールドケーブル１３に出力される。出力遮断部
２３は電源制御部２２からのスイッチング信号Ｓに応じ
てコンバータ２１から出力される直流電圧Ｖａをインダ
クタ２４に出力するかあるいは遮断している。ここで、
電源制御部２２がアーク信号ｃを受信すると、出力遮断
部２３は電源制御部２２からのスイッチング信号Ｓによ
り遮断される。

【００３４】このインダクタ２４は電源装置１１の出力
電流の安定化と真空チャンバ３５内でのアーク放電が発
生した際の回路短絡に耐え得るために設けられている。

【００３５】３２はスパッタリング装置本体１２に設け
られたアーク制御ユニットである。スパッタリング装置
本体１２の（−）端子及び（＋）端子はアーク制御ユニ
ット３２のラインＬ１、Ｌ２にそれぞれ接続されてい
る。なお、（＋）端子は接地される。

【００３６】つまり、スパッタリング装置本体１２の
（−）端子は電流検出器３３、回路遮断用のスイッチン
グ素子ＳＷ２を介してターゲット３４に接続され、スパ
ッタリング装置本体１２の（＋）端子は真空チャンバ３
５に接続される。なお、この真空チャンバ３５にはこの
真空チャンバ３５を真空にする真空装置３５ａが接続さ
れると共に、真空チャンバ３５内で成膜された成膜品を
搬送する搬送装置３５ｂが隣接して設けられている。こ
れら真空装置３５ａ及び搬送装置３５ｂには本体装置３
１の電源が供給されると共に、本体制御部３７からの制
御信号が入力されている。

【００３７】真空チャンバ３５直前にあるアーク制御ユ
ニット３２内のラインＬ１とＬ２との間には抵抗ｒ１と
ｒ２が直列接続されている。そして、抵抗ｒ１とｒ２と
の接続点の電圧Ｖがアーク制御ユニット３２の制御部３
６に出力されている。この電圧Ｖが真空チャンバ３５へ
の供給電圧Ｖとして検出される。

【００３８】さらに、電流検出器３３により真空チャン
バ３５に供給される供給電流Ｉが検出される。この供給
電流Ｉは制御部３６に出力される。

【００３９】また、スイッチング素子ＳＷ２とターゲッ
ト３４との中間位置とラインＬ２との間には、短絡用の
スイッチング素子ＳＷ１が接続されている。このスイッ
チング素子ＳＷ１及び前述したスイッチング素子ＳＷ２
は例えば、ＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transis
tor）で構成されている。

【００４０】制御部３６は、例えばマイクロプロセッサ
で構成されており、スイッチング素子ＳＷ１及びＳＷ２
を開閉制御する。さらに、第１のタイマＴ１及び第２の
タイマＴ２を有している。

【００４１】アーク制御ユニット３２の制御部３０には
スパッタリング装置本体１２の本体制御部３７が接続さ
れる。この本体制御部３７には本体電源部３１からの電
源が供給される。

【００４２】本体制御部３１は制御部３６に対してアー
ク放電情報としてアーク判定の基準となる判定基準値と
して閾値電圧Ｖthを出力する。真空チャンバ３５内でス
パッタ放電が発生している場合の供給電圧Ｖは３００Ｖ
以上であるが、アーク放電が発生すると供給電圧Ｖは１
５０Ｖ以下に低下する。従って、通常閾値電圧Ｖthは１
５０Ｖに設定されている。制御部３６は供給電圧Ｖを監
視（アーク監視）し、供給電圧Ｖが１５０Ｖ以下になる
と、真空チャンバ３５にアークが発生したことを検知す
る（アーク放電検出手段）。なお、アーク放電情報とし
て本体制御部３７からのアーク放電情報に基づいて判定
基準値を作成しても良い。例えば、アーク放電情報から
他の閾値電圧を作成しても良いし、閾値電流を作成する
ようにしても良い。このアーク放電情報をターゲットの
種類に応じて適宜設定しておくことにより、あらゆるタ
ーゲット３４の種別に対して確実にアークの発生を検出
することができる。

【００４３】制御部３６は本体制御部３７に供給電圧Ｖ
及び供給電流Ｉを出力する。本体制御部３７は供給電圧
Ｖと供給電流Ｉと経過時間から真空チェンバ３５に投入
された投入電力量を積算し、その投入電力量が規定値に
達すると、電源制御部２２に出力する電力指令値Ｐｉを
ゼロにする。ここで、投入電力の積算は、スパッタ電流
を遮断しているときは積算しないようにしている。

【００４４】ところで、アーク制御ユニット３２は、ア
ーク監視中に供給電圧Ｖが閾値電圧Ｖthより低下するア
ーク放電を検出した場合には下記のアーク遮断を開始す
る（停止手段）。

【００４５】１）スイッチング素子ＳＷ１を導通させる
ことにより、電源線を短絡させ、真空チャンバ３５への
電流供給を遮断（迂回）する。

【００４６】２）アーク信号ｃを本体制御部３７に出力
し、回路を短絡したことを通知する。

【００４７】３）第１のタイマＴ１（２μ秒）を起動後
にアーク監視を中止する。また、同時に第２のタイマＴ
２をリセットする。

【００４８】ところで、本体制御部３７からアーク信号
ｃを受けた電源制御部２２は、出力遮断部２３にスイッ
チング信号Ｓを出力して、インダクタ２４の上流側で出
力電圧を遮断して電流の上昇を防止する。この間、電力
フィードバックや電流フィードバックは中止される、コ
ンバータ２１内の高周波インバータ（図示しない）の出
力は遮断前の電圧を維持するように制御される。

【００４９】次に、アーク制御ユニット３２の制御部３
６の第１のタイマＴ１が計時処理を開始してから２μ秒
経過したと判断されるとアーク遮断を終了する以下に記
述するような処理が行われる。

【００５０】１）制御部３６の制御により、スイッチン
グ素子１をＯＦＦすることにより、真空チャンバ３５へ
の電力供給を再開する。

【００５１】２）アーク信号ｃの本体制御部３７への出
力を停止する。これに連動して、本体制御部３７から電
源制御部２２へのアーク信号ｃの出力は停止されるた
め、電源制御部２２は定電力制御に復帰する、従って、
電源装置１１からスパッタリング電圧の出力を再開され
る。

【００５２】３）第２のタイマ回路Ｔ２（１μ秒）を起
動して、第１のタイマ回路Ｔ１をリセットする。

【００５３】そして、この第２のタイマ回路２で１μ秒
経過したと判定されると、放電状態が安定したと見なし
て、アーク制御ユニット３２によるアーク監視が再開さ
れる。このアーク監視は以下のようにして行われる。

【００５４】１）供給電圧Ｖは閾値電圧Ｖthより低い場
合は、アーク放電と判定し、第１のタイマ回路Ｔ１を起
動して再度アークの消弧動作に入る。

【００５５】２）供給電圧Ｖが閾値電圧Ｖth以上１５０
０Ｖ未満の場合、アーク放電は解消したと判断し、定電
力運転を継続する。

【００５６】３）供給電圧Ｖが１５００Ｖ以上の時は、
グロー放電が再開しなかったと判断し、アーク消弧と同
じ動作をする。

【００５７】また、アーク遮断から復帰する時にグロー
放電もインダクタ２４の電流も継続する場合、正常であ
り、インダクタ２４の充電エネルギーは真空チャンバ３
５に吸収される。グロー放電は継続したがインダクタ２
４の電流が無い場合、一時的に供給電流Ｉが低下するが
電源装置１１の制御により復帰する。グロー放電もイン
ダクタ電流も無い場合、電源装置１１の出力電圧がその
まま供給され、再点火（電圧上昇）へ移行する。グロー
放電は停止したがインダクタ２４の電流は継続する場
合、サージ電圧によって再点火すればグロー放電は復帰
する。再点火しない場合は上記（３）の動作に移行する
（つまり、スイッチング素子ＳＷ１を２μｓ閉路後、そ
の後開路する）。

【００５８】また、スイッチング素子ＳＷ２は、本体制
御部３７の指令によってアーク制御ユニット３２の制御
部３６が開閉動作する。本体制御部３７は、インダクタ
２４によるサージ電圧からトランジスタを保護するため
下記の禁止期間はスイッチング素子ＳＷ２をＯＦＦしな
い。つまり、 １）アーク制御ユニット３２からのアーク信号ｃが入力
中、つまりスイッチング素子ＳＷ１がＯＮしている間。

【００５９】２）アーク制御ユニット３２からの供給電
流が所定の値を上回る場合、つまり、真空チャンバ３５
に電流が供給されている間。

【００６０】ところで、電源装置１１の（−）端子とス
パッタリング装置本体１２の（−）端子、電源装置１１
の（＋）端子とスパッタリング装置本体１２の（＋）端
子間をそれぞれｎ本のケーブルで接続した場合には、ケ
ーブルのインダクタンスは１／ｎに軽減される。

【００６１】電源装置１１の（−）端子とスパッタリン
グ装置本体１２の（−）端子、電源装置１１の（＋）端
子とスパッタリング装置本体１２の（＋）端子間をそれ
ぞれｎ本のケーブルで接続した場合には、より一層動作
速度を向上させ、迅速、確実にアーク放電を停止させる
ことができる。

【００６２】ところで、前述した実施の形態では、電源
装置１１に対して１対１にスパッタリング装置本体１２
を接続した例について説明したが、１つの電源装置１１
に対して複数のスパッタリング装置本体１２を接続する
ことができる。従って、各スパッタリング装置本体１２
の真空チャンバ３５に異なった特性のターゲット材を用
いてスパッタすることができる。つまり、複数のスパッ
タリング装置本体１２を１つの電源装置１１だけで稼動
させるむことができる。この場合において、各スパッタ
リング装置本体１２において、本体制御部３７から制御
部３６に出力する電圧閾値Ｖthを異ならせることによ
り、アークの遮断条件を各スパッタリング装置本体１２
毎に別個に設定することができる。

【００６３】なお、前述した実施の形態では、アーク制
御ユニット３２は、供給電圧Ｖが閾値電圧Ｖthより低下
するとアーク放電を検出するようにしたが、供給電流Ｉ
が閾値電流以上となった場合にアーク放電を検出するよ
うにしても良い。さらに、供給電圧Ｖ及び供給電流Ｉの
両方を検出することにより、アーク放電の発生を検出す
るようにしても良い。

【００６４】さらに、前述した実施の形態では、電源制
御部２２は本体制御部３７から電源指令値がゼロを受け
ると、出力遮断部２３を遮断するようしたが、アーク放
電の発生が本体制御部３７から受けると、電源装置１１
からの出力電圧及び電流を低減したり、出力電圧のみを
低減したり、出力電流のみを低減させるようにしても良
い。

【００６５】さらに、前述した実施の形態では、制御部
３６はアーク放電の発生を検出すると、スイッチング素
子ＳＷ１を閉路することにより、スパッタ電流をターゲ
ット３４に供給しないように遮断するようにしたが、ア
ーク放電が発生した場合に、スイッチング素子ＳＷ２を
開路したり、ターゲット３４に印加する供給電圧の極性
を反転させたり、ターゲット３４への供給電源元を別電
源に切り替えるようにしても良い。

【００６６】

【発明の効果】請求項１記載のスパッタリング装置によ
れば、チャンバ内のアーク放電の発生を検出するアーク
放電検出手段と、スパッタ電流の供給を停止する停止手
段とを電源装置から分離してスパッタ装置本体に組み込
むことにより、動作速度を向上させ、アーク放電の発生
から消失するまでの時間を短縮することができる。従っ
て、電源装置と装置本体を４ｍ以上の長いケーブルで接
続した場合でも、アーク放電の発生から消失するまでの
時間を短縮することができる。

【００６７】請求項２記載のスパッタリング装置によれ
ば、装置本体と電源装置との間は複数並列接続したケー
ブルで接続することにより、装置本体と電源装置間のイ
ンダクタンスを低減することにより、動作速度を向上さ
せ、迅速、確実にアーク放電を停止させることができ
る。

【００６８】請求項３記載のスパッタリング装置によれ
ば、電源装置はチャンバへの供給電力が設定電力となる
ようよに制御しているので、チャンバ内で成膜される層
の厚さを均一に保つことができる。

【００６９】請求項４記載のスパッタリング装置によれ
ば、チャンバに供給される電圧及び電流から供給電力量
を積算し、その積算値が設定電力になると、チャンバへ
の電力の供給を停止するようにしたので、チャンバ内で
成膜される層の厚さを均一に保つことができる。

【００７０】請求項５記載のスパッタリング装置によれ
ば、アーク放電の発生を確実に検出することができる。
さらに、アーク放電の判定基準値を装置本体の制御部か
ら出力されるアーク放電情報に基づいて、アーク放電検
出手段で作成しているので、ターゲットの種類に応じて
アーク放電情報を適宜設定することにより、あらゆるタ
ーゲットに対してアーク放電の発生を確実に検出するこ
とができる。

【００７１】請求項６記載のスパッタリング装置によれ
ば、アーク放電が連続する間は、スパッタ電流の供給を
繰り返し遮断するようにしたので、アーク放電が発生し
ても確実にアーク放電を消弧させることができる。

【００７２】請求項７記載のスパッタリング装置によれ
ば、１台の電源装置で複数のスパッタリング本体装置に
電源を供給することができるので、電源装置の有効利用
を計ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係わるスパッタリング
装置のブロック図。

【図２】従来のスパッタリング装置のブロック図。

【符号の説明】

１１…電源装置 １２…スパッタリング装置本体、 １３…ケーブル、 ３２…アーク制御ユニット。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 装置本体と電源装置を分離し両者をケー
   ブルで接続して構成するスパッタリング装置において、 前記装置本体は、装置本体内に設けられたチャンバ内の
   アーク放電を検出するアーク放電検出手段と、 このアーク放電検出手段により、アーク放電が検出され
   ると前記チャンバにスパッタ電流の供給を停止する停止
   手段とを具備したことを特徴とするスパッタリング装
   置。
2. 【請求項２】 上記装置本体と電源装置との間は複数並
   列接続したケーブルで接続されていることを特徴とする
   請求項１記載のスパッタリング装置。
3. 【請求項３】 装置本体と電源装置を分離し両者をケー
   ブルで接続して構成するスパッタリング装置において、 前記装置本体は、装置本体内に設けられたチャンバ内の
   アーク放電を検出するアーク放電検出手段と、 このアーク放電検出手段により、アーク放電が検出され
   ると前記チャンバにスパッタ電流の供給を停止する停止
   手段とを備え、 前記電源装置は、アーク放電検出手段で検出されるチャ
   ンバに供給される電圧及び電流から算出された供給電力
   が設定電力となるようにフィードバック制御することを
   特徴とするスパッタリング装置。
4. 【請求項４】 装置本体と電源装置を分離し両者をケー
   ブルで接続して構成するスパッタリング装置において、 前記装置本体は、装置本体内に設けられたチャンバ内の
   アーク放電を検出するアーク放電検出手段と、 このアーク放電検出手段により、アーク放電が検出され
   ると前記チャンバにスパッタ電流の供給を停止する停止
   手段と、 アーク放電検出手段で検出されるチャンバに供給される
   電圧及び電流から供給電力量を積算する手段と、 その積算値が設定電力になると、電源装置にその旨を出
   力する手段とを備えていることを特徴とするスパッタリ
   ング装置。
5. 【請求項５】 アーク放電検出手段は、装置本体の制御
   部から出力されるアーク放電情報に基づいて、アーク判
   定基準値を作成し、検出されたチャンバへの供給電圧あ
   るいは供給電圧のうち少なくともいずれか一方と判定基
   準値と比較することによりアーク放電を検出しているこ
   とを特徴とする請求項１記載のスパッタリング装置。
6. 【請求項６】 前記停止手段は、アーク放電が連続する
   間は、スパッタ電流の供給を繰り返し遮断することを特
   徴とする請求項１記載のスパッタリング装置。
7. 【請求項７】 複数のスパッタ装置本体と１台の電源装
   置で構成したシステムにおいて、 各スパッタ装置本体は装置本体内に設けられたチャンバ
   内のアーク放電を検出するアーク放電検出手段と、 このアーク放電検出手段により、アーク放電が検出され
   ると前記チャンバにスパッタ電流の供給を停止する停止
   手段とを具備したことを特徴とするスパッタリング装
   置。