JP2007169125A - プレス成型装置、プレス成型方法及びガラス基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】生産性を損なうことなく冷却工程での成型体の反りを抑制することができるプレス成型装置、プレス成型方法及びガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るプレス成型装置２１は、上金型２２及び下金型２７からなる一対の金型と、上金型２２を保持するダイプレート２３と、一対の金型２２，２７を加圧する加圧軸２６，３１等を備え、上金型２２は、ダイプレート２３に対して上下方向に一定の距離相対移動可能に取り付けられている。上記構成により、成型後、成型素材（ガラス素材）Ｍを一対の金型２２，２７で挟持した状態を保持しまま成型圧力を解除することが可能となる。これにより、成型素材Ｍの表裏の冷却速度を均一化できるので反りの発生を低減できるとともに、成型素材Ｍのヒビ割れ等を発生させることなく成型素材Ｍの急冷工程を実施することが可能となる。
【選択図】図３

Description

本発明は、例えば光学レンズ等のガラス製光学素子、磁気ディスク等の記録媒体の製造に用いて好適なプレス成型装置、プレス成型方法及びガラス基板の製造方法に関する。

一般に、ガラス基板の成型には、ガラス用の熱プレス成型装置が用いられている（下記特許文献１参照）。図７は従来の熱プレス成型装置の概略構成を示す断面図とガラス基板の成型方法を説明する工程図である。

従来のプレス成型装置１は、上金型２及び下金型７からなる上下一対の金型を有している。上金型２はダイプレート３に一体固定されており、ダイプレート３はダイホルダ４及び上型継手５を介して上加圧軸６に接続されている。下金型７はダイプレート８に一体固定されており、ダイプレート８はダイホルダ９及び下型継手１０を介して下加圧軸１１に接続されている。上型継手５及び下型継手１０には、その軸心部に冷却ガスとして不活性ガスを流すためのガス供給通路５ａ，１０ａがそれぞれ設けられている。

従来の成型装置１を用いたガラス基板の成型方法においては、まず、一対の金型２，７の間に成型素材（ガラス素材）Ｍを配置し、雰囲気調整された成型室の中で金型２，７及び成型素材Ｍを加熱する（図７Ａ）。次に、成型素材Ｍがガラス転移温度以上の所定の温度に到達した後、下加圧軸１１を上方移動させて金型２，７の間を加圧し型面の形状を成型素材Ｍに転写する（図７Ｂ）。プレス成型の後、金型２，７を閉じたままの状態で成型室内に不活性ガス（例えば窒素ガス）を流して金型２，７及び成型素材Ｍを冷却し、所定の温度（型開き温度）に到達した後、金型２，７を開く（図７Ｃ）。その状態で更に金型２，７及び成型素材Ｍを冷却し、金型２，７及び成型素材Ｍが所定の温度（取出し温度）に到達した後、成型室を開放し成型体（ガラス基板）を回収している。

型開き温度はガラスの形状やサイズによって設定され、例えばガラス転移温度近傍もしくはガラス転移温度よりも１００℃程度低い温度に設定される。一方、取出し温度は、金型２，７の酸化が問題にならない程度の温度（例えば２００℃前後）に設定される。

プレス成型後の金型２，７の冷却は次のような方法で行われている。金型２，７を背面から保持しているダイプレート３，８の接触面に溝状の流路（図示略）を設けて、ダイプレート３，８の中央からこの流路に不活性ガスを流すことにより金型２，７を冷却していた。また、この不活性ガスの流量を調整することによって、冷却速度の調整を行っていた。

成型素材Ｍの冷却工程は、成型温度からガラス転移温度以下の所定の温度までの徐冷工程と、その温度から型開き温度及び取出し温度までの急冷工程とに分けられる。徐冷工程では、成型精度を確保するために、図７Ｂに示したように金型２，７間に成型圧力を加えた状態でゆっくりと冷却を行っている。急冷工程では、従来、図７Ｃに示したように型開き状態で行っていた。

特開２００２−１８７７２６号公報

上述したように従来のプレス成型方法においては、成型後の急冷工程を成型素材Ｍから上金型２を離した状態で行っている。従って、成型素材Ｍに関しては、下金型７が接触する裏面側では下金型７の余熱の影響でゆっくりと徐冷され、上金型２から離れた表面側では、成型素材Ｍと上金型２との間に流入する不活性ガスによって急冷される。そのため、成型素材Ｍの表裏の冷却速度差により熱収縮応力が異なってしまい、成型体が反るという問題が発生する。

一般に、成型体の反りは、レンズ等の小型部品や球状形状では大きな問題になることは少ないが、ウェーハ状の大型で薄型の基板ガラスを成型する場合は、僅かな反り量でも後工程に大きな不良を与えるおそれがある。

また、成型したガラス基板にアニール処理を施すことにより反り量を改善することは可能である。しかし、新たなアニール処理炉の導入や処理数及び処理時間の増大によって工程が複雑化するという不具合がある。そして何よりも、アニール処理を行うと、ガラス基板上に金型で転写した形状の寸法精度が損なわれてしまい、歩留まりに大きく影響するという問題がある。

一方、急冷工程においても徐冷工程と同様に、一対の金型間に所定の成型圧力を加えた状態でガラス基板の冷却を行うようにすれば、ガラス基板の冷却速度が表裏で同等となるため、ガラス基板の反りを抑制することができる。しかしながら、この場合、ガラス基板と金型との間の熱収縮差により基板にヒビが発生してしまうことが多く、採用できない。

また、冷却速度を遅くするために不活性ガスの流量を少なくすることも可能であるが、反りの発生を抑えるために冷却速度を現状の１０倍〜２０倍以上に遅くする必要があり、生産効率を考えた場合には現実的でない。

本発明は上述の問題に鑑みてなされ、生産性を損なうことなく冷却工程での成型体の反りを抑制することができるプレス成型装置、プレス成型方法及びガラス基板の製造方法を提供することを課題とする。

以上の課題を解決するに当たり、本発明のプレス成型装置は、上金型及び下金型からなる一対の金型と、上金型を保持する金型保持部と、一対の金型を加圧する加圧軸と、一対の金型を加熱する加熱手段と、一対の金型を冷却する冷却手段とを備え、上金型は、金型保持部に対して上下方向に一定の距離相対移動可能に取り付けられている。

上記構成により、成型後、金型保持部を上金型に対して上記一定距離内において上方へ相対移動させることで、成型素材を一対の金型で挟持した状態を保持しまま成型圧力を解除することが可能となる。従って、成型素材の表裏の冷却速度を均一化できるので反りの発生を低減できるとともに、成型素材のヒビ割れ等を発生させることなく成型素材の急冷工程を実施することが可能となる。

金型保持部に対して上金型が相対移動可能な距離の大きさは特に制限されないが、少なくとも、加圧軸を上下方向に移動する駆動部が制御可能な大きさ以上であればよい。

また、本発明のプレス成型方法は、加圧工程では、一対の金型間に所定の成型圧力を加えて成型素材を加圧成型し、冷却工程は、その少なくとも一部に、上記所定の成型圧力を解除した後、上金型を成型素材に接触させた状態を保持する保持工程を有する。

本発明においては、成型後の冷却工程において、少なくとも一部に上記保持工程を設けるようにしているので、当該保持工程において成型素材にヒビ割れ等を発生させることなく成型素材を急冷することが可能となる。これにより、成型素材の表裏における冷却速度差を低減して成型後に生じる反りを抑えることが可能となる。

また、本発明のガラス基板の製造方法は、上下一対の金型間にガラス素材を配置し、加熱工程、加圧工程及び冷却工程を経てガラス基板を製造するガラス基板の製造方法において、上記冷却工程は、一対の金型間に所定の成型圧力を加えた状態でガラス素材を冷却する徐冷工程と、所定の成型圧力を解除した後、上金型をガラス素材に接触させた状態を保持してガラス素材を冷却する急冷工程とを有する。

本発明においては、上記徐冷工程においてガラス素材の成型精度を確保でき、上記急冷工程においてガラス素材のヒビ割れを生じさせることなく、表裏の冷却速度差を低減してガラス基板成型体の反りを抑えることが可能となる。

上記保持工程又は急冷工程のように、成型圧力を解除して上金型を成型素材（又はガラス素材）に接触させた状態を保持する工程においては、上金型を成型素材の表面に接触させるだけでなく、上金型の自重を当該成型素材に作用させてもよい。この場合、成型素材と上金型との間の熱抵抗を低減して成型素材の表裏における冷却速度の均一化を図ることができ、成型体の反り軽減効果を高めることができる。

成型素材は、ガラス素材に限らず、例えば樹脂素材等でもよい。上記保持工程又は急冷工程は、好適には、成型品の温度がガラス転移温度よりも０〜１００℃程度低い温度に到達した時点で開始する。

なお、上金型の自重だけでなく、上金型の自重を加えた一定の付勢力を成型素材に作用させてもよい。この場合、一定の付勢力としては、上金型を成型素材に向けて付勢する付勢力を発生させることができるものであれば特に限定されず、例えばバネ等の付勢力や、上金型と金型保持部との間に装着した錘などでもよい。

以上述べたように、本発明によれば、ガラス素材等の成型素材を高い成型精度と生産性を維持して、冷却工程における成型素材の反りを軽減することができる。

以下、本発明の各実施の形態について図面を参照して説明する。

（第１の実施の形態）
図１は本発明の第１の実施の形態によるプレス成型装置２１の概略構成を示す断面図である。本実施の形態では、このプレス成型装置２１は、ウェーハ状態の基板ガラス表面に所定の形状を転写成型するためのガラス基板の成型装置として用いられている。

本実施の形態のプレス成型装置２１は、上金型２２及び下金型２７からなる上下一対の金型を有している。上金型２２は、後述するようにダイプレート２３に対して一定距離Ｓだけ上下方向に相対移動可能に取り付けられている。ダイプレート２３は、ダイホルダ２４及び上型継手２５を介して上加圧軸２６に接続されている。上金型２２の型面には、成型素材（本実施の形態ではガラス素材）Ｍの表面へ所定形状（例えば格子状）の溝を転写成型するための複数の凸状型２２ａが形成されている。ダイプレート２３（及びダイホルダ２４）は、本発明に係る「金型保持部」に対応している。

下金型２７はダイプレート２８に一体固定されており、ダイプレート２８はダイホルダ２９及び下型継手３０を介して下加圧軸３１に接続されている。下金型２７の型面には、上金型２２の凸状型２２ａに対応するように複数の凹状型２７ａが形成されている。

上型継手２５及び下型継手３０には、その軸心部に冷却ガスとして不活性ガス（例えば窒素ガス）を流すためのガス供給通路２５ａ，３０ａがそれぞれ設けられている。冷却ガスは、上加圧軸２６及び下加圧軸３１の軸心部からそれぞれ供給され、ガス供給通路２５ａ，３０ａを介してダイホルダ２４，２９に導入される。

ダイホルダ２４，２９には、その両面の中心部から外周部に向かって放射状に延びる複数本の溝と、各面の中心部に形成されて各面の溝に連絡する貫通孔とからなるガス通路２４ａ，２９ａがそれぞれ形成されている。これにより、ダイプレート２３，２８は、ダイホルダ２４，２９への熱移動によって冷却されることになる。また、別系統で成型室３５内に冷却用の不活性ガスを導入するようにしてもよい。以上のようにして本発明の「冷却手段」が構成される。

一対の金型２２，２７、ダイプレート２３，２８、ダイホルダ２４，２９、上型継手２５及び下型継手３０は、例えば石英製の隔壁３２の内部に設置されている。隔壁３２の内部は、雰囲気制御が可能な成型室３５を構成している。隔壁３２の外側には、成型室３５を所定温度に加熱する加熱ランプ３３が設置されているとともに、加熱ランプ３３を囲むように反射板３４が設けられている。加熱ランプ３３及び反射板３４は本発明の「加熱手段」を構成する。加熱源はランプに限らず、抵抗線ヒータ等でもよい。

本実施の形態のプレス成型装置２１は、上金型２２がダイプレート２３に対して上下方向に一定の距離Ｓだけ相対移動可能に取り付けられている。具体的に、上金型２２の上面側には上加圧軸２６の軸方向に平行に延びるガイド軸３６が取り付けられており、このガイド軸３６の軸部は、ダイプレート２３に形成されたガイド孔２３ａに挿通されている。ガイド軸３６の上端部には、軸部よりも大径のストッパ３６ａが設けられており、上金型２２の自重でストッパ３６ａがダイプレート２３の上面に係合している。上金型２２は、ダイプレート２３との間に一定の距離Ｓだけ隔ててダイプレート２３から吊り下げられている。

ガイド軸３６は、上金型２２を図示する水平状態で上下方向に安定して移動させるために、上金型２２の外周部に複数本取り付けられている。例えば、上金型２２が平面視四角形状である場合、ガイド軸３６は当該上金型２２の四隅位置に取り付けられ、上金型２２が平面視円形状である場合、ガイド軸３６は当該上金型の周縁に等角度間隔で取り付けられる。なお、上金型２２を水平状態で上下方向に安定して移動させることができる限り、ガイド軸３６は単数でも構わない。この場合、ガイド軸３６は上金型２２の中心部に取り付けることができる。

また、上金型を水平状態で上下方向に安定して移動させるため、ダイプレート２３のガイド孔２３ａにガイド軸３６の軸部を支持するリニア軸受を設置してもよい。更に、ストッパ３６ａは、ガイド軸３６の軸部に対して高さ調整可能に構成することで、上金型２２とダイプレート２３との間の離間距離Ｓを任意に調整することができる。

ダイプレート２３に対する上金型２２の最大相対移動距離すなわち離間距離Ｓの大きさは特に制限されないが、距離Ｓ以下の大きさのストロークで上加圧軸２６を上下移動を制御できる範囲であればよく、少なくとも、加圧軸を上下方向に移動させる駆動部（図示略）が制御可能な大きさ以上であればよい。

本実施の形態のプレス成型装置２１は以上のように構成される。次に、プレス成型装置２１の作用と併せて、本発明に係るガラス基板の製造方法について図２及び図３を参照して説明する。

まず、成型室３５を窒素雰囲気に置換し、図２Ａに示すように下金型２７の上に成型素材（ウェーハ状の基板ガラス）Ｍを配置する。次に、加熱ランプ３３を用いて成型室３５内の上金型２２、下金型２７及び成型素材Ｍを加熱する。このとき、上金型２２は下金型２７に近づけていてもよいし、成型素材Ｍの上に加圧力が作用しない程度に接触していてもよい。

成型素材Ｍの加熱温度がガラス転移温度以上の所定の成型温度に到達してその温度が安定した後、下加圧軸３１の駆動により下金型２７を上方移動させ、図２Ｂに示すように上金型２２と下金型２７との間で成型素材Ｍを加熱プレスする。これにより、上金型２２及び下金型２７の型面に形成された形状２２ａ，２７ａが成型素材Ｍに転写成型される。なお、本実施の形態では成型素材Ｍにホウケイ酸ガラス（ショット社製Ｄ２６３）が用いられ、そのガラス転移温度は５２９℃である。

プレス成型の後、加熱ランプ３３による加熱作用を停止し、図２Ｂに示したように上金型２２と下金型２７との間に成型圧力を加えた状態のまま、ガス供給通路２５ａ，３０ａに不活性ガス（冷却ガス）を導入し上金型２２、下金型２７及び成型素材Ｍを徐冷する。これにより、成型素材Ｍに転写した形状、寸法等の成型精度が確保される。上記徐冷工程は、ガラス転移温度よりも０〜１００℃程度低い所定の温度（型開き温度）に到達するまで続けられる。

成型素材Ｍが上記型開き温度に到達した後、下加圧軸３０の駆動により下金型２７を、図２Ｂに示した状態から、上金型２２とダイプレート２３間の離間距離Ｓよりも小さい距離Ｓ１だけ下方移動させる。これにより、図３Ｃに示すように、上金型２２と成型素材Ｍとの接触状態を保持しながら、上金型２２とダイプレート２３との間が離間することで成型素材Ｍに対する成型圧力が解除される。この上金型２２と成型素材Ｍとの接触状態を保持する保持工程において、成型室３５内に不活性ガスを別途導入したり不活性ガスの導入流量を増大させて、成型素材Ｍの冷却速度を高める急冷工程が行われる。

本実施の形態においては、上記のように成型圧力を解除した後、上金型２２と成型素材Ｍとを接触させた状態で成型素材Ｍの冷却を急冷を行うようにしているので、成型素材Ｍの表裏における冷却速度差を低減して成型素材Ｍのヒビ割れを防止し、かつ成型素材Ｍの反りを抑制することができる。

特に、下金型２７の移動量をＳ１（＜Ｓ）に設定することで、成型圧力を解除した後、上金型２２の自重を成型素材Ｍに作用させるようにしているので、成型素材Ｍの反りを効果的に抑制しながら、成型素材Ｍと上金型２２及び下金型２７との間の熱抵抗を小さくして冷却効率の向上を図ることができる。

成型素材Ｍの温度が所定の取出し温度（例えば２００℃〜２５０℃）にまで冷却された後、不活性ガスの導入を停止し、図３Ｄに示すように下加圧軸３０の駆動により下金型２７を更に下方移動させて、上金型２２を成型素材Ｍから離間させる。この後、成型室３５を開放して、ガラス基板成型体Ｍ１を回収する。

以上のように本実施の形態によれば、上金型２２をダイプレート２３に対して上下方向へ一定距離（Ｓ）相対移動可能に構成したので、成型後、ダイプレート２３を上金型２２に対して距離Ｓ内において上方へ相対移動させることで、成型素材Ｍを一対の金型２２，２７で挟持した状態を保持したまま成型圧力を解除することが可能となる。これにより、急冷工程において、成型圧力を解除した後、上金型２２を成型素材Ｍに接触させた状態を保持することができるようになるので、成型素材の表裏の温度差に起因するヒビ割れや反りの発生が抑えられ、成型精度及び平坦性に優れたガラス基板成型体Ｍ１を製造することができる。

また、成型体Ｍ１の反り量改善のためのアニール処理が不要であり、また、冷却ガスとしての不活性ガスの導入量を制限せずに成型素材Ｍの冷却工程を実施できるので、低コストで生産性を損なうことなく良質のガラス基板成型体を製造することができる。

（第２の実施の形態）
図４は本発明の第２の実施の形態によるプレス成型装置４１の概略構成を示す断面図である。なお、図において上述の第１の実施の形態と対応する部分については同一の符号を付しその詳細な説明は省略するものとする。

上述の第１の実施の形態においては、図３Ｃに示したように、成型素材Ｍの急冷工程において、成型素材Ｍに対して上金型２２の自重を作用させるようにしていた。このとき、成型素材Ｍの大きさや厚さ、形状等によっては、上金型２２の自重のみでは反りの抑制が図れない場合がある。そこで、本実施の形態では、上金型２２の自重に加えて一定の付勢力を成型素材Ｍに作用させることで、当該成型素材Ｍの反りの発生を抑制するようにしている。

図４に示すプレス成型装置４１は、ダイプレート２３に対する上金型２２の上下方向への相対移動を案内するガイド軸３６の周りに付勢部材としてコイルバネ３７が設けられている。コイルバネ３７は、上金型２２とダイプレート２３との間に予負荷状態で取り付けられおり、上金型２２をダイプレート２３から離間させる方向へ付勢している。

なお、図示の例では、ダイプレート２３のガイド孔２３ａの下面側に、加熱成型時において圧縮されたコイルバネ３７を収容するための収容部２３ｂを設けることで、ダイプレート２３と上金型２２との間の密着性を阻害しないようにしている。

上述のような構成のプレス成型装置４１においては、成型素材Ｍに対する成型後の急冷工程の際に、上金型２２の自重に加えてコイルバネ３７の設置本数に応じた付勢力を成型素材Ｍに作用させることが可能となる。付勢力の大きさは、コイルバネ３７のバネ力あるいはコイルバネ３７の設置数によって適宜調整することができる。なお、コイルバネ３７の設置部位は、上述したガイド軸３７の周囲に限られない。

また、上金型２２の自重に加えられる付勢力は上述したコイルバネ３７のバネ力に限られない。例えば図５に示すプレス成型装置４２においては、上金型２２とダイホルダ２３との間に設置した補助プレート３８を錘として載置することで、補助プレート３８の自重に相当する付勢力を成型素材Ｍに作用させることができる。付勢力の大きさは、補助プレート３８の重量によって適宜調整することができる。なお、この場合も同様に、上金型２２と成型素材Ｍとの接触状態を保持したまま成型圧力を解除できる程度の大きさのクリアランスＳ１を、補助プレート３８とダイプレート２３との間に設定するものとする。

以下、本発明の実施例について説明する。

第１の実施の形態で説明したように、成型素材Ｍに対する成型後の急冷工程において、成型圧力を解除した際に上金型の自重を成型素材に作用させた状態で冷却を行って得られた成型体（ガラス基板）の反り量のデータの一例を図６に示す。なお、比較のため、従来技術で説明したように、成型素材から上金型を離間させた状態で急冷工程を行ったときの成型体の反り量のデータを図６に併せて示す。

実験に用いた成型素材はホウケイ酸ガラス（ショット社製Ｄ２６３）で、ガラス転移温度は５２９℃、外形寸法は直径１５０ｍｍ、厚み０．５５ｍｍの薄板ガラスである。金型の外形寸法は直径１５５ｍｍである。成型温度や型開き温度、成型圧力条件は同じ設定とした。

図６に示すように、比較例として示す従来のプレス成型法では、反り量が８００μｍ〜９００μｍもあったのに対し、実施例では反り量を１０μｍ〜５０μｍにまで低減することができた。なお、転写精度は比較例及び実施例ともに同程度であった。

以上、本発明の実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。

例えば以上の実施の形態では、成型素材にガラス素材を適用したが、これに限らず、例えばプラスチック素材や金属素材等のプレス成型に本発明は適用可能である。また、上記上金型２２の自重による急冷工程は、成型後の冷却工程全般について行われても良いし、冷却工程の一部においてのみ行われるようにしてもよい。

また、以上の実施の形態では、プレス成型装置２１において、下加圧軸３０側を駆動することで一対の金型２２，２７間の開閉を行うようにしたが、勿論この例に限らず、上加圧軸２６側を駆動させて金型の開閉を行うようにしてもよい。

本発明の第１の実施の形態によるプレス成型装置２１の概略構成を示す断面図である。 プレス成型装置２１を用いたプレス成型方法及びガラス基板の製造方法を説明する工程図である。 プレス成型装置２１を用いたプレス成型方法及びガラス基板の製造方法を説明する工程図である。 本発明の第２の実施の形態によるプレス成型装置４１の概略構成を示す断面図である。 本発明の第２の実施の形態において説明するプレス成型装置４２の概略構成を示す断面図である。 本発明の実施例において説明する一実験結果を示す図表である。 従来のプレス成型装置１の概略構成及びプレス成型方法を説明する概略断面図である。

符号の説明

２１，４１，４２…プレス成型装置、２２…上金型、２３，２８…ダイプレート（金型保持部）、２４，２９…ダイホルダ、２５…上型継手、２６…上加圧軸、２７…下金型、３０…下型継手、３１…下加圧軸、３２…隔壁、３３…加熱ランプ、３４…反射板、３５…成型室、３６…ガイド軸、３６ａ…ストッパ、３７…コイルバネ（付勢部材）、３８…補助プレート（付勢部材）、Ｍ…成型素材（ガラス素材）、Ｍ１…成型体（ガラス基板）、Ｓ…ダイプレート２３に対する上金型２２の最大相対移動距離

Claims (9)

1. 上金型及び下金型からなる一対の金型と、前記上金型を保持する金型保持部と、前記一対の金型を加圧する加圧軸と、前記一対の金型を加熱する加熱手段と、前記一対の金型を冷却する冷却手段とを備えたプレス成型装置において、
   前記上金型は、前記金型保持部に対して上下方向に一定の距離相対移動可能に取り付けられている
   ことを特徴とするプレス成型装置。
2. 前記上金型は、前記金型保持部に挿通される単数又は複数本のガイド軸と、このガイド軸に形成され前記金型保持部に係合することで前記金型保持部に対する前記上金型の相対移動距離を規定するストッパとを備えている
   ことを特徴とする請求項１に記載のプレス成型装置。
3. 前記上金型と前記金型保持部との間には、前記上金型を前記金型保持部から離間させる方向へ付勢する付勢部材が取り付けられている
   ことを特徴とする請求項１に記載のプレス成型装置。
4. 上下一対の金型間に成型素材を配置し、加熱工程、加圧工程及び冷却工程を経て成型体を作製するプレス成型方法において、
   前記加圧工程では、前記一対の金型間に所定の成型圧力を加えて前記成型素材を加圧成型し、
   前記冷却工程は、その少なくとも一部に、前記所定の成型圧力を解除した後、上金型を前記成型素材に接触させた状態を保持する保持工程を有する
   ことを特徴とするプレス成型方法。
5. 前記保持工程では、前記上金型の自重を前記成型素材に作用させる
   ことを特徴とする請求項４に記載のプレス成型方法。
6. 前記保持工程では、前記上金型の自重に加えて一定の付勢力を作用させる
   ことを特徴とする請求項４に記載のプレス成型方法。
7. 上下一対の金型間にガラス素材を配置し、加熱工程、加圧工程及び冷却工程を経てガラス基板を製造するガラス基板の製造方法において、
   前記冷却工程は、
   前記一対の金型間に所定の成型圧力を加えた状態で前記ガラス素材を冷却する徐冷工程と、
   前記所定の成型圧力を解除した後、上金型を前記ガラス素材に接触させた状態を保持して前記ガラス素材を冷却する急冷工程とを有する
   ことを特徴とするガラス基板の製造方法。
8. 前記急冷工程では、前記上金型の自重を前記ガラス素材に作用させる
   ことを特徴とする請求項７に記載のガラス基板の製造方法。
9. 前記急冷工程では、前記上金型の自重に加えて一定の付勢力を作用させる
   ことを特徴とする請求項７に記載のガラス基板の製造方法。
   

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