JP2007165578A - 面発光型半導体レーザ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 VCSEL100は、基板102上に、n型の下部DBR106、活性層領域108、下部DBRとともに共振器を構成するp型の上部DBR112、及びp型のGaAsコンタクト層114を含む半導体層を順次積層する。レーザ光を出射するポストPとパッド形成領域118とが半導体層に形成された溝116によって分離されている。ポストPのコンタクト層114に電気的に接続され、レーザ光の出射領域を規定する開口部132が形成されたp側の上部電極130と、パッド形成領域118上に形成され、パッド形成領域のコンタクト層114を下部DBR106に電気的に接続するための第2の上部電極140とを有している。
【選択図】 図3
Description
さらに本発明は、ベアチップ状態において信頼性の高い安定動作を実現可能な面発光型半導体レーザを提供することを目的とする。
104:n側電極 106:下部DBR
108:活性層領域 110:電流狭窄層
112:上部DBR 114:コンタクト層
116:溝 118:パッド形成領域
120:層間絶縁膜 130:p側電極
132:開口部 134:電極配線
136:電極パッド 140:上部電極
150:短絡手段 200:外周溝
202:側面 210、220:第2の上部電極
232:外縁
Claims (21)
- 基板上に、少なくとも第1導電型の第1の多層膜反射鏡、活性層領域、第1の多層膜反射鏡とともに共振器を構成する第2導電型の第2の多層膜反射鏡、及びコンタクト層を含む半導体層が積層され、レーザ光を出射するポスト状の発光部とパッド形成領域とが半導体層に形成された溝によって分離された面発光型半導体レーザであって、
発光部のコンタクト層に電気的に接続され、レーザ光の出射領域を規定する開口部が形成された第1の上部電極と、
パッド形成領域上に形成され、パッド形成領域のコンタクト層を第1の多層膜反射鏡に電気的に接続するための第2の上部電極と、
を備えた面発光型半導体レーザ。 - 第2の上部電極は、パッド形成領域の外縁に沿って形成されている、請求項1に記載の面発光型半導体レーザ。
- 第1の上部電極は、前記溝を介してパッド形成領域上にまで延在し、かつパッド形成領域上に形成された電極パッドに接続される、請求項1または2に記載の面発光型半導体レーザ。
- パッド形成領域の外縁のコンタクト層を露出させるようにパッド形成領域上に絶縁膜が形成され、第2の上部電極は、絶縁膜の端部を覆うように絶縁膜およびコンタクト層上に形成されている、請求項1ないし3いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ。
- パッド形成領域の外縁に沿ってコンタクト層から第1の多層膜反射鏡に至る外周溝が形成され、外周溝によって露出された少なくともコンタクト層の側面が第2の上部電極により覆われている、請求項1ないし4いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ。
- 第2の上部電極は、前記外周溝によって露出された第1の多層反射膜の表面に接続されている、請求項5に記載の面発光型半導体レーザ。
- 外周溝は、発光部を取り囲む溝と同時に形成される、請求項5または6に記載の面発光型半導体レーザ。
- パッド形成領域は、基板をダイシングする領域によって規定される、請求項1ないし7いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ。
- 基板は第1の導電型を有し、基板の裏面に下部電極が形成され、第2の上部電極は下部電極に電気的に接続されている、請求項1ないし3いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ。
- 第2の上部電極は、基板の下部電極が接続されている導電性部材に電気的に接続されている、請求項9に記載の面発光型半導体レーザ。
- コンタクト層は、p型のGaAsである、請求項1ないし7いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ。
- 請求項1ないし11いずれか1つに記載の面発光型半導体装置を実装したモジュール。
- 請求項12に記載されたモジュールと、モジュールから発せられたレーザ光を光媒体を介して送信する送信手段とを備えた、光送信装置。
- 請求項12に記載されたモジュールと、モジュールから発せられた光を空間伝送する伝送手段とを備えた、光空間伝送装置。
- 請求項12に記載されたモジュールと、モジュールから発せられたレーザ光を送信する送信手段とを備えた、光送信システム。
- 請求項12に記載されたモジュールと、モジュールから発せられた光を空間伝送する伝送手段とを備えた、光空間伝送システム。
- レーザ光を出射するポスト状の発光部とパッド形成領域とが溝によって分離された面発光型半導体レーザの製造方法であって、
基板上に、少なくとも第1導電型の第1の多層膜反射鏡、活性層領域、第1の多層膜反射鏡とともに共振器を構成する第2導電型の第2の多層膜反射鏡、及びコンタクト層を含む半導体層を形成し、
半導体層に溝を形成して発光部とパッド形成領域とを分離し、
発光部およびパッド形成領域を含む基板上に絶縁膜を形成し、
発光部のコンタクト層を露出させ、かつパッド形成領域の外縁のコンタクト層を露出させるように前記絶縁膜をパターニングし、
露出された発光部のコンタクト層と接続された第1の上部電極およびパッド形成領域の外縁のコンタクト層と接続された第2の上部電極を形成する、
面発光型半導体レーザの製造方法。 - 製造方法はさらに、第2の上部電極と第1の多層膜反射鏡とを電気的に接続するステップを含む、請求項17に記載の製造方法。
- レーザ光を出射するポスト状の発光部とパッド形成領域とが溝によって分離された面発光型半導体レーザの製造方法であって、
基板上に、少なくとも第1導電型の第1の多層膜反射鏡、活性層領域、第1の多層膜反射鏡とともに共振器を構成する第2導電型の第2の多層膜反射鏡、及びコンタクト層を含む半導体層を形成し、
半導体層に、発光部を取り囲む溝とパッド形成領域の外縁に沿った外周溝とを形成し、
発光部およびパッド形成領域を含む基板上に絶縁膜を形成し、
発光部のコンタクト層を露出させるように前記絶縁膜をパターニングし、
露出された発光部のコンタクト層に接続された第1の上部電極および外周溝によって露出された半導体層の側面を覆う第2の上部電極を形成する、
面発光型半導体レーザの製造方法。 - 第2の上部電極は、パッド形成領域のコンタクト層と第1の多層膜反射鏡とを電気的に接続する、請求項19に記載の製造方法。
- 製造方法はさらに、外周溝に沿って基板を切断するステップを含む、請求項19または20に記載の製造方法。
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