JP2007165379A - 転写装置 - Google Patents

Abstract

【課題】転写基材の転写面上の転写用素材を被転写基材の被転写面に容易に転写できるようにすること。
【解決手段】本転写装置２は、転写面６ａを９０度以上の剥離角度(θ１)の方向に一定の剥離力（Ｆｕ）を加える剥離機構１０と、剥離機構１０により転写面６ａの剥離された第１部分６ａ１と剥離されていない第２部分６ａ２との境界線部分６ａ３を第１部分６ａ１と第２部分６ａ２とが挟む側からその挟む角度(θ２)の範囲内の押し付け角度(θ３)でもって一定の押し付け力（Ｆｄ）で押し付けるスキージ機構１２と、剥離機構１０およびスキージ機構１２を被転写基材４に対して剥離方向に移動させる移動機構１４とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、被転写基材の被転写面に貼り合わせられている転写基材の転写面を被転写面から剥離して転写面上の転写用素材を被転写面に転写する転写装置に関するものである。この転写用素材には例えば多数の導体箔（微細配線）を種々なパターンに配置した導体パターンがある。

従来から、被転写基材の被転写面に導体パターン等の転写用素材を形成する方法としてシート状ないしはフィルム状の転写基材を用いた転写装置が知られる（特許文献１参照）。この転写装置においては転写基材の一方の表面を転写面として導体パターンを形成し、この導体パターンを転写基材ごと被転写基材の表面に貼り合わせた後、転写基材を被転写基材の表面から剥離するようにしている。

一方、転写基材には、μｍオーダー間隔で多数の導体箔が配置され、かつ、それぞれの配線幅もμｍオーダーであるような転写用素材が配置されている基材があり、このような転写基材の転写用素材を被転写基材に転写させる場合、上記従来の転写装置では、転写用素材である微細配線が被転写基材の被転写面に転写されずに、転写基材の転写面に残留してしまいやすい。

そこで、本発明者らは、転写用素材を転写基材の転写面に残留させずに被転写基材の被転写面に転写させることができる転写装置について鋭意研究した。

まず、第１に考えたのは、転写基材の転写面に導体箔が残留しないように、上記導体箔の転写面に対する接着保持力を下げることである。転写面に対して導体箔を弱く接着保持させておけば導体箔が転写面から容易に剥離することができると考えられるからである。しかしながら、導体箔は線幅が微細でありまた導体箔の配置間隔も微細であるから導体箔が位置ずれしないよう転写面と被転写基材の被転写面とを貼り合わせる作業に多大な労力が要求されること、また、剥離作業中においても導体箔が位置ずれしやすいので剥離作業にも多大な労力が要求される。そのため、上記接着保持力を下げることは難しい。そこで、第２に考えたのは、転写面を被転写面に押し付けつつ転写面を被転写面から剥離することである。しかしながら、転写面を被転写面に押し付ける力が強すぎると、被転写面に導体箔が変形して転写されたりする一方、押し付ける力が弱すぎると導体箔が転写面に残留しやすくなり、押し付ける力を微妙にバランスさせつつ剥離する必要があり、その剥離作業には多大な時間と多大な労力が要求される。
特開２００４−３１９９７６号公報

本発明により解決すべき課題は、転写面上の転写用素材を被転写基材の被転写面に容易に転写できるようにすることである。

（１）本発明による第１の転写装置は、被転写基材の被転写面に貼り合わせられている転写基材の転写面を被転写面から剥離して転写面上の転写用素材を被転写面に転写する転写装置において、転写面に９０度以上の剥離角度の方向に一定の剥離力を加える剥離機構と、上記剥離力に抗して、剥離済みの転写面部分（第１部分）と未剥離の転写面部分（第２部分）との境界線部分を第１部分と第２部分とが挟む側からその挟む角度の範囲内の押し付け角度でもって一定の押し付け力で押し付けるスキージ機構と、剥離機構およびスキージ機構を被転写基材に対して剥離方向に連動して移動させる移動機構とを備えたことを特徴とするものである。

本発明第１の転写装置によると、移動機構により剥離機構およびスキージ機構を剥離の進行に連動して被転写基材に対して剥離方向に移動させると、剥離機構からの９０度以上の剥離角度の方向の剥離力により転写面は被転写面から剥離される。そして、この場合、スキージ機構により、転写面の剥離された第１部分と剥離されていない第２部分との境界線部分が押し付けられているので、転写面上の転写用素材は剥離の進行に伴い被転写面に転写されることになる。この場合、スキージ機構による境界線部分の押し付けの態様が第１部分と第２部分とが挟む側からその挟む角度の範囲内の押し付け角度でもって一定の押し付け力で押し付けているので、転写用素材が転写基材の転写面に残留することなく被転写面に転写させることができるので、従来のような転写のための多大な労力を削減することができるようになった。

本発明第１の転写装置の好適な一態様は、剥離機構は、転写基材の一端側端部の基材幅と同等程度以上のチャック幅を有し、かつ、転写基材の一端側端部をその幅方向全体にわたり均等なチャック力でチャックするチャック部と、このチャック部に対してその全幅においてほぼ均等な力で引っ張る引っ張り部とを具備することである。この態様では転写基材がフィルム状やシート状であって、その転写面に微細な線幅でかつ微細な配置間隔で複数の導体箔等の転写用素材が形成されていても、それら転写用素材全体を転写面に残留させることなく被転写面に転写させることができるようになる。

この場合、上記引張り部は、転写基材もしくは転写基材が連結している巻き取りロープと、この転写基材もしくは巻き取りロープを一定の回転トルクで巻き取りつつ剥離方向に移動して転写面を被転写面から剥離する巻き取りローラとを含むことが好ましい。

さらにこの場合、上記スキージ機構は上記境界線部分を上記第１部分と第２部分とが挟む側から押し付けるスキージを備え、上記巻き取りローラの巻き取り動作に連動してスキージを剥離方向に移動させることが好ましい。

上記態様によると、転写基材を剥離に伴い巻き取りローラで巻き取ることができて便利であると同時にスキージを巻き取りローラに連動して剥離方向に移動させることができ、より適確に、転写用素材が転写基材の転写面に残留することなく被転写面に転写させることができるようになる。

本発明第１の転写装置のさらに好適な一態様は、上記移動機構により巻き取りローラとスキージとを一体に剥離方向に移動させることである。これにより、より適確に、転写用素材が転写基材の転写面に残留することなく被転写面に転写させることができるようになる。

（２）本発明による第２の転写装置は、被転写基材の被転写面に貼り合わせられている転写基材の転写面を被転写面から剥離して転写面上の転写用素材を被転写面に転写する転写装置において、転写面に９０度以上の剥離角度の方向に一定の剥離力を加える剥離機構と、上記剥離力に抗して、剥離済み転写面部分（第１部分）と未剥離の転写面部分（第２部分）との境界線部分を第１部分と第２部分とが挟む側からその挟む角度の範囲内の押し付け角度でもって一定の押し付け力で押し付けるスキージ機構と、被転写基材を剥離機構およびスキージ機構に対して転写面の剥離方向とは反対の方向に移動させる移動機構とを備えたことを特徴とするものである。

本発明第２の転写装置によると、移動機構により被転写基材を剥離機構およびスキージ機構に対して剥離の進行に連動して剥離方向に移動させると、剥離機構からの９０度以上の剥離角度の方向の剥離力により転写面は被転写面から剥離される。そして、この場合、スキージ機構により、転写面の剥離された第１部分と剥離されていない第２部分との境界線部分が押し付けられているので、転写面上の転写用素材は剥離の進行に伴い被転写面に転写されることになる。この場合、スキージ機構による境界線部分の押し付けの態様が第１部分と第２部分とが挟む側からその挟む角度の範囲内の押し付け角度でもって一定の押し付け力で押し付けているので、転写用素材が転写基材の転写面に残留することなく被転写面に転写させることができるので、従来のような転写のための多大な労力を削減することができるようになった。

本発明第２の転写装置の好適な一態様は、剥離機構が、転写基材の一端側端部の基材幅と同等程度以上のチャック幅を有し、かつ、転写基材の一端側端部をその幅方向全体にわたり均等なチャック力でチャックするチャック部を具備することである。この場合、剥離機構は、被転写基材の移動に対して停止した位置で転写基材もしくは転写基材が連結している巻き取りロープを巻き取る巻き取りローラを備えることが好ましい。さらに、スキージ機構は、被転写基材の移動に対して停止した位置で第１部分と第２部分とが挟む側からその挟む角度の範囲内の押し付け角度でもって上記境界線部分を一定の押し付け力で押し付けるスキージを備えることが好ましい。

本発明第１、第２の転写装置のさらに好適な一態様は、スキージを上記境界線部分に向けて付勢する付勢部材を備えることである。付勢部材の付勢によりスキージを適確な押し付け力で境界線部分に押し付けて、転写用素材が転写基材の転写面に残留することなく被転写面に転写させることができるようになる。

本発明第１、第２の転写装置のさらに好適な一態様は、剥離機構が剥離角度を調整する剥離角度調整機構を備えることである。

本発明第１、第２の転写装置のさらに好適な一態様は、スキージ機構は、スキージが第１部分と第２部分との境界線部分を第１部分と第２部分とが挟む側からその挟む角度の範囲内で押し付ける押し付け角度を調整する押し付け角度調整機構を備えることである。この押し付け角度の調整により、転写用素材が転写基材の転写面に残留することなく被転写面に転写させることができるようになる。

本発明第１、第２の転写装置のさらに好適な一態様は、スキージ機構は、転写面の剥離された第１部分と剥離されていない第２部分との境界線部分を押し付ける押し付け力を調整する押し付け力調整機構を備えることである。この押し付け力の調整により、転写用素材が転写基材の転写面に残留することなく被転写面に転写させることができるようになる。

（３）本発明による第１の転写方法は、被転写基材の被転写面に貼り合わせられている転写基材の転写面を被転写面から剥離して転写面上の転写用素材を被転写面に転写する転写方法において、転写面に９０度以上の剥離角度の方向に一定の剥離力を加えるステップと、剥離中は、上記剥離力に抗して、剥離済みの転写面部分（第１部分）と未剥離の転写面部分（第２部分）との境界線部分を第１部分と第２部分とが挟む側からその挟む角度の範囲内の押し付け角度でもって一定の押し付け力で押し付けておくステップと、転写面を被転写面から剥離する方向に転写基材を移動させるステップとを含むことを特徴とするものである。

（４）本発明による第２の転写方法は、被転写基材の被転写面に貼り合わせられている転写基材の転写面を被転写面から剥離して転写面上の転写用素材を被転写面に転写する転写方法において、転写面に９０度以上の剥離角度の方向に一定の剥離力を加えるステップと、剥離中は、転写面を被転写面から剥離させる剥離力に抗して、剥離済みの転写面部分（第１部分）と未剥離の転写面部分（第２部分）との境界線部分を第１部分と第２部分とが挟む側からその挟む角度の範囲内の押し付け角度でもって一定の押し付け力で押し付けておくステップと、被転写基材を転写面の剥離方向とは反対の方向に相対移動させて転写面を被転写面から剥離するステップとを含むことを特徴とするものである。

本発明によれば、転写面上の転写用素材を被転写基材の被転写面に容易にまた転写用素材が転写基材側に残留しないようにして転写することができるようになる。

以下、添付した図面を参照して、本発明の実施の形態に係る転写装置を説明する。

（実施の形態１）
図１に実施の形態１の転写装置の断面図、図２にその外観の部分切欠き斜視図、図３に図１の要部を拡大して示す部分断面図、図４に被転写基材と転写基材との貼り合わせ、剥離、転写の過程を示す。

実施の形態１の転写装置２は、互いに貼り合わせされた被転写基材４と転写基材６とが搭載される多孔質の吸着台８を備える。この吸着台８は、被転写基材４をその多孔質により吸着固定できるようになっている。

図１ないし図３では被転写基材４と転写基材６は簡略化して示されている。図４を参照して被転写基材４と転写基材６とを説明する。図４（ａ）で示すように被転写基材４は基材層４ａと接着材層４ｂとを備え、これらを貫通する複数のビア４ｃそれぞれに導体４ｄが充填されている。被転写基材４の接着材層４ｂの表面は被転写面４ｅになる。転写基材６はその下面が転写面６ａになっていて複数の導体箔６ｂが接着されていている。複数の導体箔６ｂは転写用素材としての導体パターンになっている。図４（ｂ）で示すように被転写基材４の被転写面４ｅ上に転写基材６の転写面６ａが貼り合わされる。転写基材６の一端側端縁には被転写基材４との対向する側に段部６ｃが形成されている。図４（ｃ）で示すように転写基材６は被転写基材４から剥離され、次いで図４（ｄ）で示すように転写基材６の複数の導体箔６ｂからなる導体パターンが被転写基材４に転写される。転写基材６、被転写基材４は、フィルム状、シート状のものであり、転写基材６の転写面６ａに形成される複数の導体箔６ｂは、その線幅が微細、例えば、μｍオーダーであり、それらの配置間隔も微細、例えば、μｍオーダーになっている。これら導体箔６ｂは、配線を構成することができる。

転写装置２は、図４（ｂ）で示すように被転写基材４上に貼り合わせされた転写基材６を図４（ｃ）で示すように該被転写基材４上から剥離し、図４（ｄ）で示すように転写基材６の導体箔６ｂを被転写基材４に転写するためのものである。

図１ないし図３に戻って、転写装置２は、剥離機構１０と、スキージ機構１２と、移動機構１４とを備える。

（剥離機構１０）
剥離機構１０は、転写面６ａを９０度以上の剥離角度(θ１)の方向に一定の剥離力（Ｆｕ）を加えて被転写面４ｅから剥離する機構であり、チャック部１０１と、巻取りロープ１０２と、巻取りローラ１０３と、剥離角度調整機構１０４とを備える。

チャック部１０１は転写基材６の一端側端部の基材幅（Ｗ１）と同等程度あるいはそれ以上のチャック幅を有し、転写基材６の一端側端部をその幅方向全体にわたり均等ないしはほぼ均等なチャック力でチャックすることができるようになっている。この場合、チャック部１０１は転写基材６の一端側端部の段部６ｃを利用してチャックすることができるようになっている。

巻取りロープ１０２は一端側がチャック部１０１に連結され他端側が巻取りローラ１０３に連結されている。巻取りロープ１０２はチャック部１０１に対してその全幅においてほぼ均等な力で引っ張ることができるようにチャック部１０１との連結位置が設定されている。

巻取りローラ１０３は図示略の剥離モータにより回転駆動されて巻取りロープ１０２を巻き付けていくことによりチャック部１０１を引っ張り、これによって、転写基材６の転写面６ａを被転写基材４の被転写面４ｅから剥離させるようになっている。巻取りロープ１０２と巻取りローラ１０３は、転写基材６の転写面６ａを被転写基材４の被転写面４ｅから一定の剥離力で引っ張る引っ張り部を構成する。

剥離角度調整機構１０４は、巻き取りローラ１０３の吸着台８からの高さを調整することにより、転写基材６の剥離角度(θ１)を９０度以上１８０度以下の範囲で調整することができるようになっている。

（スキージ機構１２）
スキージ機構１２は、スキージ１２１と、圧縮バネ１２２と、押し付け角度／押し付け力調整機構１２３とを備える。

スキージ１２１は、転写基材６の転写面６ａにおいて剥離機構１０により既に剥離済みの第１部分６ａ１と未だ剥離されていない第２部分６ａ２との境界線部分６ａ３を第１部分６ａ１と第２部分６ａ２とが挟む側からその挟む角度(θ２)の範囲内の押し付け角度(θ３)でもって一定の押し付け力（Ｆｄ）で押し付けるようになっている。スキージ１２１は境界線部分６ａ３の長さ寸法（Ｌ１）より長いエッジ幅（Ｗ２）を有する比較的鋭利な先端とされたスキージエッジ１２１ａを備えている。

押し付け角度／押し付け力調整機構１２３は、スキージ１２１の押し付け角度(θ３)を調整し、かつ、転写基材６の転写面６ａの第１部分６ａ１と第２部分６ａ２との境界線部分６ａ３を押し付ける押し付け力（Ｆｄ）を調整することができるようになっている。

（移動機構１４）
移動機構１４は、巻取りローラ１０３とスキージ１２１とを剥離方向に一定の速度(剥離速度)で移動させる機構である。移動機構１４は、詳細には図示していないが、巻き取りローラ１０３とスキージ１２１とを搭載したラックと、このラックに噛合する減速ギヤと、この減速ギヤを回転駆動するモータと、モータの駆動を制御するコンピュータとを備え、コンピュータの指令によりモータが回転すると、減速ギヤが回転する。ラックは減速ギヤの回転運動を直線運動（剥離方向への運動）に変換することにより、巻き取りローラ１０３とスキージ１２１とが剥離方向に移動させられる。

なお、被転写基材４は平面視矩形形状をなす例えばＰＥＴ等の素材からなるフィルム状基材（被転写シート）であり、図解の簡略化のため基材層４ａとこの基材層４ａ上の接着材層４ｂとだけで示されているが、実際は、上下のカバーと、基材層４ａの下側にも接着材層が設けられている。被転写基材４は縦横寸法に限定されないが、例えば縦横寸法は数ｃｍないし１０数ｃｍでその厚みが数μｍであり、説明の理解および図解の都合で厚みが誇張して図示されている。

転写基材６は被転写基材４と平面視同形状同寸法になっている。転写基材６も例えばＰＥＴ等の素材からなり、その縦横寸法は限定されないが、例えば縦横寸法は数ｃｍないし１０数ｃｍでその厚みは数μｍである。被転写基材６と同様に、説明の理解および図解の都合で厚みが誇張して図示されている。

以上の構成のようにして被転写基材４と転写基材６は一方の表面が被転写面４ｅ、他方の表面が転写面６ａとして貼り合わせられている。

次に図５ないし図７を参照して、上記転写装置２による転写動作を説明する。

まず、図５で示すように剥離機構１０のチャック部１０１で転写基材６の一端側をチャックし、次いでモータにより巻取りローラ１０３を回転駆動して転写基材６の剥離を開始する。この剥離の開始と同時に移動機構１４により巻取りローラ１０３とスキージ１２１とを剥離方向に移動させる。これにより図６で示すように転写基材６の転写面６ａの一端側には９０度以上の剥離角度（θ１）の方向に巻取りローラ１０３の巻き取りによる剥離力（Ｆｕ）が加えられて転写面６ａは剥離角度(θ１)で被転写面４ｅから剥離されていく。この場合、剥離角度（θ１）は一定に維持される。

この場合、転写基材６において転写面６ａが剥離された第１部分６ａ１と剥離されていない第２部分６ａ２との境界線部分６ａ３はスキージ１２１により第１部分６ａ１と第２部分６ａ２とにより挟まれる内側からその挟む角度（θ２）の範囲内の押し付け角度（θ３）でもって一定の押し付け力（Ｆｄ）で押し付けられている。そして、図７で示すように巻取りローラ１０３で巻取りロープ１０３を巻き付けていくとともに、移動機構１４により巻取りローラ１０３とスキージ１２１とを剥離方向に移動させると、転写面６ａは被転写面４ｅから完全に剥離される。

以上の結果、転写基材６上の導体箔６ｂはスキージ１２１を通じて被転写基材４の被転写面４ｅ上に押し付けられつつ剥離機構１０により導体箔６ｂには転写基材６から剥離させる方向の力が増しかつ導体箔６ｂを転写基材６に接着させている接着力よりも導体箔６ｂと被転写面４ｅに接着させる接着力が相対的に増し導体箔６ｂは転写基材６から被転写面４ｅ側に転写される。

（実施の形態２）
図８に本発明の実施の形態２に係る転写装置１０を示す。

実施の形態２では、被転写基材４を剥離機構１０およびスキージ機構１２に対して上記剥離の進行に連動して剥離方向とは反対の方向に移動させる移動機構１４を備えている。また、剥離機構１４の巻き取りローラ１０３は、被転写基材４の移動に対して停止した位置で転写基材６を巻き取り、また、スキージ機構１２のスキージ１２１は、被転写基材４の移動に対して停止した位置で第１部分６ａ１と第２部分６ａ２とが挟む側からその挟む角度(θ２)の範囲内の押し付け角度(θ３)でもって上記境界線部分６ａ３を一定の押し付け力で押し付けるようになっている。

この実施の形態２の場合も、転写基材６上の導体箔６ｂはスキージ１２１を通じて被転写基材４の被転写面４ｅ上に押し付けられつつ剥離機構１４により導体箔６ｂには転写基材６から剥離させる方向の力が増しかつ導体箔６ｂを転写基材６に接着させている接着力よりも導体箔６ｂと被転写面４ｅに接着させる接着力が相対的に増し導体箔６ｂは転写基材６の転写面６ａから被転写面４ａ側に転写される。

図１は本発明の実施の形態１に係る転写装置の断面図である。 図２は実施の形態１に係る転写装置の外観を示す斜視図である。 図３は図１の要部を拡大して示す部分断面図である。 図４は実施の形態１の転写装置による被転写基材と転写基材との貼り合わせ、剥離、転写の過程の説明に供する図である。 図５は実施の形態１の転写装置の剥離開始時の動作説明に供する図である。 図６は実施の形態１の転写装置の剥離中の動作説明に供する図である。 図７は実施の形態１の転写装置の剥離終了時の動作説明に供する図である。 図８は本発明の実施の形態２に係る転写装置の断面図である。

符号の説明

２ 転写装置
４ 被転写基材
４ａ 基材層
４ｂ 接着剤層
４ｅ 被転写面
６ 転写基材
６ａ 転写面
６ｂ 導体箔（転写用素材）
１０ 剥離機構
１２ スキージ機構
１４ 移動機構

Claims (17)

1. 被転写基材の被転写面に貼り合わせられている転写基材の転写面を被転写面から剥離して転写面上の転写用素材を被転写面に転写する転写装置において、
   転写面に９０度以上の剥離角度の方向に一定の剥離力を加える剥離機構と、
   上記剥離力に抗して、剥離済みの転写面部分（第１部分）と未剥離の転写面部分（第２部分）との境界線部分を第１部分と第２部分とが挟む側からその挟む角度の範囲内の押し付け角度でもって一定の押し付け力で押し付けるスキージ機構と、
   剥離機構およびスキージ機構を被転写基材に対して剥離方向に連動して移動させる移動機構と、
   を備えたことを特徴とする転写装置。
2. 剥離機構は、
   転写基材の一端側端部の基材幅と同等程度以上のチャック幅を有し、かつ、転写基材の一端側端部をその幅方向全体にわたり均等なチャック力でチャックするチャック部と、
   このチャック部に対してその全幅においてほぼ均等な力で引っ張る引っ張り部と、
   を具備したことを特徴とする請求項１に記載の転写装置。
3. 上記引張り部は、
   転写基材もしくは転写基材が連結している巻き取りロープと、
   この転写基材もしくは巻き取りロープを一定の回転トルクで巻き取りつつ剥離方向に移動して転写面を被転写面から剥離する巻き取りローラと、
   を含むことを特徴とする請求項２に記載の転写装置。
4. 上記スキージ機構は上記境界線部分を上記第１部分と第２部分とが挟む側から押し付けるスキージを備え、上記巻き取りローラの巻き取り動作に連動してスキージを剥離方向に移動させる、ことを特徴とする請求項３に記載の転写装置。
5. 上記移動機構は、巻き取りローラとスキージとを一体に剥離方向に移動させる移動機構を備える、ことを特徴とする請求項４に記載の転写装置。
6. 被転写基材の被転写面に貼り合わせられている転写基材の転写面を被転写面から剥離して転写面上の転写用素材を被転写面に転写する転写装置において、
   転写面に９０度以上の剥離角度の方向に一定の剥離力を加える剥離機構と、
   上記剥離力に抗して、剥離済み転写面部分（第１部分）と未剥離の転写面部分（第２部分）との境界線部分を第１部分と第２部分とが挟む側からその挟む角度の範囲内の押し付け角度でもって一定の押し付け力で押し付けるスキージ機構と、
   被転写基材を剥離機構およびスキージ機構に対して転写面の剥離方向とは反対の方向に移動させる移動機構と、を備えたことを特徴とする転写装置。
7. 剥離機構は、転写基材の一端側端部の基材幅と同等程度以上のチャック幅を有し、かつ、転写基材の一端側端部をその幅方向全体にわたり均等なチャック力でチャックするチャック部を具備したことを特徴とする請求項６に記載の転写装置。
8. 剥離機構は、被転写基材の移動に対して停止した位置で転写基材もしくは転写基材が連結している巻き取りロープを巻き取る巻き取りローラを備える、ことを特徴とする請求項６または７に記載の転写装置。
9. スキージ機構は、被転写基材の移動に対して停止した位置で第１部分と第２部分とが挟む側からその挟む角度の範囲内の押し付け角度でもって上記境界線部分を一定の押し付け力で押し付けるスキージを備える、ことを特徴とする請求項６ないし８のいずれかに記載の転写装置。
10. スキージを上記境界線部分に向けて付勢する付勢部材を備えた、ことを特徴とする請求項４または９に記載の転写装置。
11. 剥離機構は、剥離角度を調整する剥離角度調整機構を備える、ことを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の転写装置。
12. スキージ機構は、スキージが第１部分と第２部分との境界線部分を第１部分と第２部分とが挟む側からその挟む角度の範囲内で押し付ける押し付け角度を調整する押し付け角度調整機構を備える、ことを特徴とする請求項１ないし１１のいずれかに記載の転写装置。
13. スキージ機構は、転写面の剥離された第１部分と剥離されていない第２部分との境界線部分を押し付ける押し付け力を調整する押し付け力調整機構を備える、ことを特徴とする請求項１ないし１２のいずれかに記載の転写装置。
14. 転写基材の転写面には転写用素材としてμｍオーダー間隔で配置された複数の導体箔からなる第１の導体パターンが形成されており、被転写基材の被転写面には第２の導体パターンが形成されており、この第２の導体パターン上に上記第１の導体パターンが転写されることを特徴とする請求項１ないし１３のいずれかに記載の転写装置。
15. 転写基材が、薄いシート状またはフィルム状のフレキシブルな基材より構成されている、ことを特徴とする請求項１４に記載の転写装置。
16. 被転写基材の被転写面に貼り合わせられている転写基材の転写面を被転写面から剥離して転写面上の転写用素材を被転写面に転写する転写方法において、
    転写面に９０度以上の剥離角度の方向に一定の剥離力を加えるステップと、
    剥離中は、上記剥離力に抗して、剥離済みの転写面部分（第１部分）と未剥離の転写面部分（第２部分）との境界線部分を第１部分と第２部分とが挟む側からその挟む角度の範囲内の押し付け角度でもって一定の押し付け力で押し付けておくステップと、
    転写面を被転写面から剥離する方向に転写基材を移動させるステップと、
    を含むことを特徴とする転写方法。
17. 被転写基材の被転写面に貼り合わせられている転写基材の転写面を被転写面から剥離して転写面上の転写用素材を被転写面に転写する転写方法において、
    転写面に９０度以上の剥離角度の方向に剥離力を加えるステップと、
    上記剥離力に抗して、剥離済みの転写面部分（第１部分）と未剥離の転写面部分（第２部分）との境界線部分を第１部分と第２部分とが挟む側からその挟む角度の範囲内の押し付け角度でもって一定の押し付け力で押し付けておくステップと、
    被転写基材を転写面の剥離方向とは反対の方向に相対移動させて転写面を被転写面から剥離するステップと、
    を含むことを特徴とする転写方法。

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