JP2007157767A - チップの実装装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板にペーストを介して複数のチップT1〜T3を順次積層して実装する実装ツール11と、検出面16を有し、基板又はこの基板に実装されたチップから検出面までの高さを非接触で検出するレーザ変位計15と、チップを基板に実装するとき、レーザ変位計によって検出された基板又は基板に実装されたチップから検出面までの高さと、実装ツールのチップを保持した保持面の高さとの差が所定の値になるよう実装ツールを下降させてチップに加える加圧力を制御する制御装置とを具備する。
【選択図】 図4
Description
上記基板に上記ペーストを介して複数のチップを順次積層して実装する実装手段と、
検出面を有し、上記基板又はこの基板に実装されたチップから上記検出面までの高さを非接触で検出する非接触検出手段と、
上記チップを上記基板に実装するとき、上記非接触検出手段によって検出された上記基板又は基板に実装されたチップから上記検出面までの高さと、上記実装手段の上記チップを保持した保持面の高さとの差が所定の値になるよう上記実装手段を下降させて上記チップに加える加圧力を制御する制御手段と
を具備したことを特徴とするチップの実装装置にある。
図1に示すこの発明の実装装置Aはベース1を有する。このベース1上にはXテーブル2が同図に矢印で示すX方向に沿って移動可能に設けられている。このXテーブル2は上記ベース1に設けられたX駆動源3によってX方向に沿って駆動されるようになっている。
Claims (3)
- 基板にペーストを介して複数のチップを積層して実装するチップの実装装置であって、
上記基板に上記ペーストを介して複数のチップを順次積層して実装する実装手段と、
検出面を有し、上記基板又はこの基板に実装されたチップから上記検出面までの高さを非接触で検出する非接触検出手段と、
上記チップを上記基板に実装するとき、上記非接触検出手段によって検出された上記基板又は基板に実装されたチップから上記検出面までの高さと、上記実装手段の上記チップを保持した保持面の高さとの差が所定の値になるよう上記実装手段を下降させて上記チップに加える加圧力を制御する制御手段と
を具備したことを特徴とするチップの実装装置。 - 基準面を有し、上記基板に上記チップを実装する前に、上記実装手段の上記保持面を上記基準面に接触させることで、上記非接触検出手段の検出面と上記実装手段の上記チップを保持する保持面との高さの差を上記非接触検出手段によって検出させる基準治具を有することを特徴とする請求項1記載のチップの実装装置。
- 上記非接触検出手段はレーザ変位計であって、上記実装手段と一体的に設けられていることを特徴とする請求項1記載のチップの実装装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005346847A JP4861690B2 (ja) | 2005-11-30 | 2005-11-30 | チップの実装装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005346847A JP4861690B2 (ja) | 2005-11-30 | 2005-11-30 | チップの実装装置 |
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Country | Link |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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