JP2007157535A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005352121A JP4862375B2 (ja) | 2005-12-06 | 2005-12-06 | 進行波形マイクロ波プラズマ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005352121A JP4862375B2 (ja) | 2005-12-06 | 2005-12-06 | 進行波形マイクロ波プラズマ発生装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2007157535A JP2007157535A (ja) | 2007-06-21 |
JP2007157535A5 true JP2007157535A5 (de) | 2007-11-08 |
JP4862375B2 JP4862375B2 (ja) | 2012-01-25 |
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ID=38241631
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005352121A Expired - Fee Related JP4862375B2 (ja) | 2005-12-06 | 2005-12-06 | 進行波形マイクロ波プラズマ発生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4862375B2 (de) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5421551B2 (ja) * | 2008-06-11 | 2014-02-19 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP5324137B2 (ja) * | 2008-06-11 | 2013-10-23 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP5324138B2 (ja) * | 2008-06-11 | 2013-10-23 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
WO2009150971A1 (ja) * | 2008-06-11 | 2009-12-17 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
TWI758589B (zh) * | 2018-03-01 | 2022-03-21 | 美商應用材料股份有限公司 | 電漿源組件和提供電漿的方法 |
KR102231371B1 (ko) * | 2020-01-29 | 2021-03-25 | 주식회사 피에스엠 | 콜드 플라즈마 발생장치 및 이를 포함하는 다중 콜드 플라즈마 어레이 장치 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6244578A (ja) * | 1985-08-21 | 1987-02-26 | Canon Inc | プラズマcvd法による堆積膜形成装置 |
JPH07122396A (ja) * | 1993-10-28 | 1995-05-12 | Kobe Steel Ltd | プラズマ装置へのマイクロ波導入装置 |
JPH09232099A (ja) * | 1996-02-20 | 1997-09-05 | Hitachi Ltd | プラズマ処理装置 |
DE19801366B4 (de) * | 1998-01-16 | 2008-07-03 | Applied Materials Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zur Erzeugung von Plasma |
FR2798552B1 (fr) * | 1999-09-13 | 2001-11-30 | Centre Nat Rech Scient | Dispositif assurant une division de puissance micro-onde predeterminee sur une pluralite de charges, notamment pour la production de plasma |
TW492040B (en) * | 2000-02-14 | 2002-06-21 | Tokyo Electron Ltd | Device and method for coupling two circuit components which have different impedances |
JP2002093597A (ja) * | 2000-09-14 | 2002-03-29 | Miura Gakuen | プラズマ発生用アンテナ、プラズマ処理装置、プラズマ処理方法、及び被処理物の製造方法、並びに半導体装置の製造方法 |
JP4564213B2 (ja) * | 2001-09-14 | 2010-10-20 | 三井造船株式会社 | プラズマ生成用アンテナ及びcvd装置 |
JP3677017B2 (ja) * | 2002-10-29 | 2005-07-27 | 東京エレクトロン株式会社 | スロットアレイアンテナおよびプラズマ処理装置 |
US7183514B2 (en) * | 2003-01-30 | 2007-02-27 | Axcelis Technologies, Inc. | Helix coupled remote plasma source |
JP4109213B2 (ja) * | 2004-03-31 | 2008-07-02 | 株式会社アドテック プラズマ テクノロジー | 同軸形マイクロ波プラズマトーチ |
-
2005
- 2005-12-06 JP JP2005352121A patent/JP4862375B2/ja not_active Expired - Fee Related
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