JP2007155340A - 微少質量測定用センサ - Google Patents
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Abstract
本発明の目的は、液相試料中での測定に適した、信頼性の高い微少質量測定用センサを提供することである。
【解決手段】
上記の目的を達成する為に本発明は、水晶基板の表面に金属膜を形成して成る水晶振動子を用いた微少質量測定用センサにおいて、QCMセンサ素子が嵌合されて搭載される凹部をQCMセンサ容器に有し、凹部内側の水平面の内縁部に枠状の接合面を有し、先述の接合面でQCMセンサ素子が気密的に接合され搭載されていることを特徴とし、また、QCMセンサに搭載されたQCMセンサ素子の露出した電極の端部で、QCMセンサ素子の裏面に導通する貫通路を有することを特徴とし、また、QCMセンサ素子の信号出力端が、QCMセンサ容器の外面に延在されていることを特徴として課題を解決する。
【選択図】 図1
Description
2 金属膜
3 微少質量測定用センサ(QCMセンサ)
4 微少質量測定用センサ素子(QCMセンサ素子)
5 凹部
6 微少質量測定用センサ容器(QCMセンサ容器)
7 枠状の接合面
8 露出した電極の端部
9 微少質量測定用センサ素子の裏面
10 貫通路
11 信号出力端
12 微少質量測定用センサ容器の外面
Claims (3)
- 水晶基板の表面に金属膜を形成して成る水晶振動子を用いた微少質量測定用センサにおいて、微少質量測定用センサ素子が嵌合されて搭載される凹部を微少質量測定用センサ容器に有し、該凹部内側の水平面の内縁部に枠状の接合面を有し、該接合面で該微少質量測定用センサ素子が気密的に接合され搭載されていることを特徴とする微少質量測定用センサ。
- 該微少質量測定用センサに搭載された該微少質量測定用センサ素子の露出した電極の端部で、該微少質量測定用センサ素子の裏面に導通する貫通路を有することを特徴とする請求項1に記載の微少質量測定用センサ。
- 該微少質量測定用センサ素子の信号出力端が、該微少質量測定用センサ容器の外面に延在されていることを特徴とする請求項1に記載の微少質量測定用センサ。
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