JP2007148224A

JP2007148224A - 露光装置

Info

Publication number: JP2007148224A
Application number: JP2005345417A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Koike; 昌宏小池; Yoshinori Saruwatari; 義徳猿渡
Original assignee: Howa Machinery Ltd
Current assignee: Howa Machinery Ltd
Priority date: 2005-11-30
Filing date: 2005-11-30
Publication date: 2007-06-14
Anticipated expiration: 2025-11-30
Also published as: JP4868119B2

Abstract

【課題】この発明は、露光フィルムが大まかにアライメントテーブルに貼り付けられたとしても、撮像手段でフィルムマーク位置とワークマーク位置とを認識できる露光装置を提供するものである。
【解決手段】基板材データ入力手段２２から入力された仮想ワークマーク位置を記憶する。アライメントテーブル１８に貼り付けられた露光フィルム６のフィルムマーク１０ａを撮像手段９により検出する。そのフィルムマーク位置と前記仮想ワークマーク位置とからフィルムアライメント手段２８によりずれ量を演算し、フィルムマーク位置と仮想ワークマーク位置とが一致するようにフィルムアライメントを行う。これにより、アライメント時にワークマークとフィルムマークとが大幅にずれていないので、撮像手段９により各マークを認識できる。
【選択図】図２

Description

この発明は、プリント基板材と露光フィルムを、夫々のアライメントマークによりアライメントした後、露光する露光装置に関する。

従来の露光装置では、露光フィルムの回路パターンをプリント基板材に露光している。このとき、露光フィルムのアライメントマークとプリント基板材のアライメントマークとを撮像手段のＣＣＤカメラにより撮像し、その検出結果に基づいて露光フィルムのアライメントマークとプリント基板材のアライメントマークとが一致するようにプリント基板材と露光フィルムとを相対的にアライメントしている。このアライメントにおいて、プリント基板材のアライメントマークのアライメントマーク位置のばらつきと、作業者による露光フィルムのアライメントテーブルへの貼付けによる貼付け位置のばらつきにより、露光フィルムのアライメントマークとプリント基板材のアライメントマークの相対的なずれが大きくなり、その結果、一方により他方のアライメントマークが隠され、ＣＣＤカメラにより露光フィルムとプリント基板材の夫々のアライメントマークの相対位置を認識できない恐れがある。特許文献１のものでは、プリアライメントされたプリント基板材のアライメントマークを専用の広視野の第１のＣＣＤカメラで撮像し、その検出結果によりプリント基板材と露光フィルムの夫々のアライメントマークを第２のＣＣＤカメラの撮像エリアに入れた後、第２のＣＣＤカメラでプリント基板材のアライメントマークと露光フィルムのアライメントマークとを撮像してアライメントしている。この第１のＣＣＤカメラの撮像により、第２のＣＣＤカメラがプリント基板材と露光フィルムのアライメントマークを認識できないことがないようになっている。

特開２０００−２５０２３２号公報

前記特許文献１に記載のものでは、事前に第１のＣＣＤカメラによりプリント基板材のアライメントマーク位置を検出し、その検出結果によりプリント基板材と露光フィルムの夫々のアライメントマークを第２のＣＣＤカメラの撮像エリアに入れるので、ずれによりアライメントマークが認識されない状態を防止している。しかしながら、露光装置にプリント基板材と露光フィルムのアライメントのための高倍率であるが視野が狭い第２のＣＣＤカメラとは別に広視野の第１のＣＣＤカメラを備えているので、露光装置を大型化すると共に構造を複雑にする問題があった。また、高価なＣＣＤカメラをプリント基板材と露光フィルムのアライメントのためのＣＣＤカメラとは別に備えているので、露光装置が高価になる問題があった。
この発明は、プリント基板材のアライメントマークを検出する専用の撮像手段を必要とせず、アライメント用の撮像手段でプリント基板材と露光フィルムのアライメントマークを撮像しアライメントを行う際に、ラフに露光フィルムが貼り付けられたとしても、プリント基板材と露光フィルムの夫々のアライメントマークが撮像手段により認識でき、アライメントマークを認識した際に、プリント基板材のアライメントマークと露光フィルムのアライメントマークの中心位置が略一致するように構成した露光装置を提供するものである。

本発明は、プリント基板材と、露光フィルムの夫々のアライメントマークを撮像し、プリント基板材のアライメントマークのアライメントマーク位置と、露光フィルムのアライメントマークのアライメントマーク位置とを検出する撮像手段を備え、撮像手段により検出された夫々のアライメントマーク位置により相対的にプリント基板材と露光フィルムとをアライメントする整合機構を備え、アライメントした状態でプリント基板材に露光フィルムの露光パターンを露光する露光手段を備えた露光装置において、プリント基板材の露光に先立ってプリント基板材のアライメントマークのアライメントマーク位置を入力する基板材データ入力手段と、その入力されたアライメントマーク位置を仮想プリント基板材のアライメントマークのアライメントマーク位置として記憶する仮想基板材データ記憶手段とを備え、仮想プリント基板材のアライメントマーク位置に基づいて、撮像手段により検出された露光フィルムのアライメントマーク位置を仮想プリント基板材のアライメントマーク位置へ移動させるフィルムアライメント手段を備えたことを特徴とする。

また、フィルムアライメント手段は、仮想プリント基板材のアライメントマーク位置と、撮像手段により検出された露光フィルムのアライメントマーク位置とにより、露光フィルムのアライメントマーク位置を仮想プリント基板材のアライメントマーク位置へ移動させるアライメント量を演算する演算手段を備えていることを特徴とする。

また、フィルムアライメント手段は仮想プリント基板材のアライメントマーク位置となった露光フィルムのアライメントマーク位置を記憶するフィルムマーク位置記憶手段を備えていることを特徴とする。

また、前記仮想基板材データ記憶手段は、基板材データ入力手段から入力されたプリアライメントされるプリント基板材のアライメントマーク位置を仮想プリント基板材のアライメントマーク位置として記憶することを特徴とする。

本願の発明によれば、基板材データ入力手段から露光装置に入力されたプリント基板材のアライメントマーク位置を仮想プリント基板材のアライメントマーク位置として仮想基板材データ記憶手段に記憶し、プリント基板材と露光フィルムのアライメントに先立って、記憶した仮想プリント基板材のアライメントマーク位置へ撮像手段により検出された露光フィルムのアライメントマーク位置を整合機構により移動するので、撮像手段の撮像範囲の中心に露光フィルムのアライメントマークを位置させることができ好適である。その露光フィルムのアライメントマーク位置を用いて、整合機構によりプリント基板材と露光フィルムとのアライメントマークをアライメントするので、露光フィルムを大まかに貼り付けたとしても即ち露光フィルムのアライメントテーブルへの貼付けのとき露光フィルムのアライメントマーク位置にずれが生じたとしても、プリント基板材と露光フィルムの夫々のアライメントマークの中心がずれ、プリント基板材または露光フィルムの一方のアライメントマークが他方により隠されたり、撮像手段が認識できずアライメントできないということがなく好ましい。更に、外部からプリント基板材のアライメントマーク位置が基板材データ入力手段を用いて入力されるので、特許文献１に記載の露光装置のように、アライメント用の撮像手段とは別にプリアライメントされたプリント基板材のアライメントマーク位置を検出するための第１のＣＣＤカメラを備えていないので、露光装置の構造が複雑にならないと共に小さく安価にできる効果がある。

また、フィルムアライメント手段は仮想プリント基板材のアライメントマーク位置となった露光フィルムのアライメントマーク位置を記憶するフィルムマーク位置記憶手段を備えているので、プリント基板材と露光フィルムのアライメントの際に、このフィルムマーク位置記憶手段に記憶されたアライメントマーク位置も使うことができる。

また、前記仮想基板材データ記憶手段は、基板材データ入力手段から入力されたプリアライメントされるプリント基板材のアライメントマーク位置を仮想プリント基板材のアライメントマーク位置として記憶するので、プリント基板材と露光フィルムの相対的なアライメント前の、露光装置内でプリアライメントされ整合機構に搬送されたプリント基板材のアライメントマークと露光フィルムのアライメントマークとの位置のずれを小さくできる。

本願発明の実施の形態について図１〜図４により説明する。露光装置１は、図１に示すように、露光装置１を制御する制御装置２と、供給されて来たプリント基板材３を整合機構４に受け渡す前にプリント基板材３の予備的位置合わせを行うプリアライメント手段５と、プリント基板材３と露光フィルム６とをアライメントする整合機構４と、整合機構４によりアライメントした状態でプリント基板材３に露光フィルム６の図示しない露光パターンを露光する露光手段７とを備えている。露光手段７は露光ランプであり、露光ランプ７の光軸がプリント基板材３の露光面と直角となるように配設されている。

プリント基板材３は、図３（ｂ）に示すように、４隅に貫通孔からなる円形マークとしてのアライメントマーク（以下ワークマークと記載する）８ａ〜８ｄが設けてある。尚、ワークマーク８ａ〜８ｄは説明の関係上大きい径で表示している。ワークマーク８ｄは他のワークマーク８ａ〜８ｃに対して対称な位置からずれて設けられており、全てのワークマーク８ａ〜８ｄが後述の撮像手段９により検出されるかどうかによって、プリント基板材３の供給が正しく行われたかどうか判断できるようになっている。また、露光フィルム６には図示しない回路パターンが形成されていると共に、図３の（ａ）に示すように４隅には透明な円形マーク１１の中心に不透明（図３では不透明部分を斜線により示す）な円形マーク１２を同心に設けたアライメントマーク（以下フィルムマークと記載する）１０ａ〜１０ｄが設けてある。フィルムマーク１０ａ〜１０ｄも説明の関係上大きい径で表示している。フィルムマーク１０ａ〜１０ｄは、露光フィルム６とプリント基板材３とを正しく重ねたとき、図３の（ｃ）に示すようにフィルムマーク１０ａ〜１０ｄの円形マーク１１、１２間にワークマーク８ａ〜８ｄが位置するようになっている。

プリアライメント手段５はローダー機能を備えたローダー機構でもあり、図示しない受入コンベアとの間で授受されたプリント基板材３がプリアライメントテーブル１３上に吸着保持されると、予備的位置合わせとしてプリアライメントを行う。プリアライメントテーブル１３は、図示しないプリアライメントユニットによって、プリアライメント手段５内に位置するプリント基板材３の露光面と平行な水平方向Ｘと、プリント基板材３の露光面と平行で水平方向Ｘと直交する水平方向Ｙに移動すると共に、プリアライメントテーブル１３の中心を軸する回転方向θに回転可能となっている。このプリアライメントテーブル１３は、プリアライメントテーブル１３をプリント基板材３の露光面と直交する直行方向Ｚに昇降可能なプリアライメント手段基部２４上に設けられている。プリアライメントは、例えば、プリアライメント用センサ１４によりプリント基板材３の端面を基準面１５として、直交する２つの基準面１５，１５のエッジ検出を行うことによりプリント基板材３のずれ量を検出し、そのずれ量の分、プリアライメントテーブル１３を水平方向Ｘ，Ｙ及び回転方向θに移動することで行われる。プリアライメント手段５は、プリント基板材３のプリアライメントが済むと、ローダー機構として動作し、プリント基板材３を図１に実線で示す水平状態から図１に二点鎖線で示す垂直状態として整合機構４との間で授受する。尚、１６は露光処理が完了したプリント基板材３を整合機構４との間で垂直状態で授受した後、水平状態として図示しない取出しコンベアと授受するアンローダー機構である。

整合機構４は、図１に示すように、プリアライメント手段５から受け渡されたプリント基板材３を垂直に吸引保持する吸着保持装置１７を備えている。吸着保持装置１７は、ワーク保持ベース１７Ｌ，１７Ｒから成り、ワーク保持ベース１７Ｌはプリント基板材３の一方の面を、ワーク保持ベース１７Ｒはプリント基板材３の他方の面を吸着保持可能可能である。一方のワーク保持ベース１７Ｌはプリアライメント手段５との間で、他方のワーク保持ベース１７Ｒはアンローダー機構１６との間で、夫々プリント基板材３を授受する授受位置Ｐ１と、プリント基板材３を吸引保持した状態でアライメントテーブル１８に保持された露光フィルム６と対向する露光位置Ｐ２に案内されるようになっている。また、ワーク保持ベース１７Ｌ，１７Ｒは、プリント基板材３を夫々対向する露光フィルム６に密着するように直交方向Ｚに移動可能となっている。また、整合機構４は露光フィルム６を保持するフィルム保持機構１９を備えている。フィルム保持機構１９は、アライメントテーブル１８とアライメントユニット２０から構成されている。アライメントテーブル１８は露光のための矩形の透光窓３２が形成され、露光フィルム６を密着するガラス板１８ａが透光窓３２を塞ぐように配設されており、露光ランプ７からの光が通過可能となっている。アライメントユニット２０は、アライメントテーブル１８を水平方向Ｘ、垂直方向Ｙに移動すると共にアライメントテーブル１８の中心を軸として回転方向θに回転する。また、整合機構４は、一面を露光処理されたプリント基板材３をワーク保持ベース１７Ｌからワーク保持ベース１７Ｒに受け渡す受け渡し装置２１を備えている。

制御装置２は、操作手段２２とプログラマブルコントローラＰＬＣと撮像手段９とアライメントコントローラＡＬＣとを備えている。操作手段２２は、例えばタッチパネルであり、露光装置１の操作や外部とのデータの入出力を行うことができ、プリント基板材３の露光に先立って、複数の品種即ちサイズ等の異なるプリント基板材３の、露光装置１に搬入されプリアライメントされた際の各ワークマーク位置を入力する基板材データ入力手段を兼ねている。

撮像手段９は、複数のＣＣＤカメラ２３と図示しない移動手段を備えており、移動手段は、図４に示すように、プログラマブルコントローラＰＬＣからの指令により各ＣＣＤカメラ２３の撮像範囲３１の中心Ｃ１をプリント基板材３の品種に応じた後述の仮想ワークマーク２５の各中心Ｃ２と一致するように移動する。撮像手段９は、各ＣＣＤカメラ２３により露光フィルム６に設けられた複数の各フィルムマーク１０ａ〜１０ｄ及びプリント基板材３に設けられた複数の各ワークマーク８ａ〜８ｄを撮像して、フィルムマーク位置及びワークマーク位置を演算検出し、それら位置のデータをアライメント手段２７及びフィルムアライメント手段２８に出力する。

アライメントコントローラＡＬＣは、基板材データ入力手段２２から入力されたワークマーク位置を仮想プリント基板材のアライメントマーク２５のアライメントマーク位置（以下仮想ワークマーク位置と記載する）として記憶する仮想基板材データ記憶手段２６と、アライメント手段２７と、フィルムアライメント手段２８とを備えている。ここで仮想ワークマーク位置は、プリント基板材３をプリアライメントしたと仮定したときの設計上のワークマーク位置であって、実際にプリアライメントされたプリント基板材３のワークマーク位置を露光装置１内で実測したものでは無い。

アライメント手段２７は、撮像手段９により検出されたフィルムマーク位置とワークマーク位置からフィルムマーク位置とワークマーク位置のずれ量（Ｘ，Ｙ，θ）を演算し、フィルムマーク１０ａ〜１０ｄとワークマーク８ａ〜８ｄとが一致するようにフィルムマーク１０ａ〜１０ｄとワークマーク８ａ〜８ｄの相対的なアライメント量（整合量）を演算しプログラマブルコントローラＰＬＣを介してアライメントユニット２０を制御する。

フィルムアライメント手段２８は、フィルムマーク位置記憶手段２９と演算手段３０を含んでいる。フィルムアライメント手段２８は、仮想ワークマーク位置と、アライメントテーブル１８に貼り付けられた露光フィルム６の撮像手段９による最初に検出されたフィルムマーク位置とを用いて、演算手段３０によりフィルムマーク１０ａ〜１０ｄと仮想ワークマーク２５とのずれ量を算出してフィルムマーク１０ａ〜１０ｄを仮想ワークマーク位置へ移動させるアライメント量を演算する。このアライメント量によりフィルムアライメント手段２８はプログラマブルコントローラＰＬＣを介してアライメントユニット２０を駆動してアライメントテーブル１８を移動し、例えば図４に示すようにフィルムマーク１０ａの中心Ｃ３を仮想ワークマーク２５の中心Ｃ２と一致するように二点鎖線のフィルムマーク位置から実線で示すフィルムマーク位置にフィルムアライメントを行う。フィルムマーク位置記憶手段２９は、そのフィルムアライメントされたフィルムマーク位置を記憶する。

次に露光装置１の動作について説明する。先ず、操作手段２２から各品種に対応した複数のプリント基板材３のワークマーク位置が入力され、仮想ワークマーク位置として仮想基板材データ記憶手段２６に記憶される。ワークマーク位置の入力データは、例えばプリント基板材３の基準面１５からワークマーク８ａ〜８ｄまでの寸法を入力する。次に、アライメントテーブル１８に最初に露光を行う品種のプリント基板材３に対応した露光フィルム６が貼り付けられる。この露光フィルム６のフィルムマーク位置が撮像手段９により検出される第１シャッター動作が行われる。フィルムアライメント手段２８により、このフィルムマーク位置と、最初に露光を行う品種のプリント基板材３に対応した仮想ワークマーク位置とによりアライメント量が演算され、フィルムマーク位置と仮想ワークマーク位置とが一致されるフィルムアライメントが行われる。そして、再度第１シャッター動作によって、撮像手段９によりフィルムマーク位置の検出が行われ、仮想ワークマーク位置とフィルムマーク位置との一致が確認される。フィルムアライメントされたフィルムマーク位置が第１フィルムマーク位置としてフィルムマーク位置記憶手段２９に記憶される。上記動作は露光フィルム６がアライメントテーブル１８に貼り付けられたとき、最初に行われる。尚、再度の第１シャッター動作によるワークマーク位置とフィルムマーク位置との一致の確認は省くこともできる。

また、プリント基板材３がプリアライメント手段５に搬送されてプリアライメントされた後、露光フィルム６と対向する露光位置Ｐ２に搬送される。その後、一方側（図１において左側）でワーク保持ベース１７Ｌがプリント基板材３に向けて移動し、プリント基板材３を露光フィルム６に密着させた状態で撮像手段９はワークマーク位置を検出する第２シャッター動作を行う。アライメント手段２７により、このワークマーク位置と第１フィルムマーク位置とからずれ量が演算され、プリント基板材３を露光フィルム６から離間させた状態でプリント基板材３に対して露光フィルム６がアライメントされる。プリント基板材３と露光フィルム６がアライメントされた後、ワーク保持ベース１７Ｌがプリント基板材３に向けて移動し、露光フィルム６がプリント基板材３に密着される。その状態で、何らかの原因によってプリント基板材３と露光フィルム６とにずれが発生している恐れがあるので、撮像手段９によりワークマーク８ａ〜８ｄとフィルムマーク１０ａ〜１０ｄとが検出される第３シャッター動作が行われ、一致しているか確認される。このとき、ワークマーク位置とフィルムマーク位置とが一致している場合には、第３シャッター動作で検出されたフィルムマーク位置が第３フィルムマーク位置として記憶される。そして、ワークマーク位置とフィルムマーク位置とが一致している場合には露光処理が行われる。

露光処理が終了するとプリント基板材３が露光フィルム６から離間し、プリント基板材３はワーク保持ベース１７Ｌからワーク保持ベース１７Ｒに受け渡し装置２１により受け渡され、他方側（図１において右側）でフィルムアライメントされた露光フィルム６の露光パターンがプリント基板材３の未露光面に上記と同様な動作が行われて露光処理された後、ワーク保持ベース１７Ｒからアンローダー機構１６に受け渡され、プリント基板材３が露光装置１から搬出される。また、ワーク保持ベース１７Ｌには新たなプリント基板材３が装着され、以後、前記第２シャッター動作から搬出までの工程が繰り返される。このとき、直前の第３フィルムマーク位置を用いてプリント基板材３と露光フィルム６とのアライメントが行われる。この第２シャッター動作から露光処理までの工程のとき、何らかの原因でエラーが発生し第３シャッター動作で第３フィルムマーク位置を検出できないとき、第１シャッター動作で検出された第１フィルムマーク位置にフィルムマーク１０ａ〜１０ｄが一致するように露光フィルム６が戻され、次工程のアライメントにおいて第１フィルムマーク位置が第３フィルムマーク位置として用いられ、プリント基板材３と露光フィルム６とがアライメントされる。

また、露光処理するプリント基板材３の品種が変わり、そのプリント基板材３に対応する新しい露光フィルム６がアライメントテーブル１８に貼り付けられると、前記と同様に第１シャッター動作が行われ、新たに貼り付けられた露光フィルム６が新たな仮想ワークマーク位置と新たなフィルムマーク位置とによりフィルムアライメントされ、新たな第１フィルムマーク位置が記憶される。この後、前記と同様に第２シャッター動作から搬出が繰り返される。

以上のように露光フィルム６がアライメントテーブル１８に貼り付けられると、アライメントの前に、第１シャッター動作によりフィルムマーク位置を検出し、そのフィルムマーク位置を仮想ワークマーク位置とするフィルムアライメントが行われるので、露光フィルム６の貼付けがラフ（大まかな位置決め）であっても、仮想ワークマーク位置の中心Ｃ２と一致するように配置されたＣＣＤカメラ２３ａ〜２３ｄの撮像範囲３１の中心Ｃ１にフィルムマーク１０ａ〜１０ｄの中心Ｃ３が一致し、プリント基板材３にワークマーク８ａ〜８ｄを設けた際に加工誤差があったとしても、プリント基板材３と露光フィルム６とのアライメントを行う際にワークマーク位置とフィルムマーク位置とのずれ量が小さくなり、ＣＣＤカメラ２３ａ〜２３ｄが一方のマークにより他方のマークを認識できないことがなく、アライメントを確実に行える。尚、フィルムアライメントを行った第２シャッター動作から露光処理の工程の次回の工程において、前回の第３フィルムマーク位置を用いてアライメントすることで、同種のプリント基板材のアライメント量が少なくなるようにしているが、フィルムマーク１０ａ〜１０ｄを最初の第１フィルムマーク位置に戻し、第１フィルムマーク位置と第２シャッター動作で検出されたワークマーク位置とでアライメントを行うようにしても良い。尚、露光位置Ｐ２において、ワーク保持ベース１７Ｌ，１７Ｒがアライメントテーブル１３に向けて移動するように構成したが、アライメントテーブル１３がワーク保持ベース１７Ｌ，１７Ｒに向けて移動しても良い。また、特許文献１に記載の露光装置のように、露光フィルムとプリント基板材とを水平状態で対向させるものでも実施できる。

本願発明の露光装置の説明図である。制御装置の説明図である。（ａ）は露光フィルム、（ｂ）はプリント基板材、（ｃ）は両者を重ねて整合した状態を示す正面図である。仮想ワークマークとフィルムマークと撮像範囲の整合を示す図である。

符号の説明

１露光装置
３プリント基板材
４整合機構
６露光フィルム
７露光手段
８ａ〜８ｄワークマーク（アライメントマーク）
９撮像手段
１０ａ〜１０ｄフィルムマーク（アライメントマーク）
２２基板材データ入力手段
２５仮想ワークマーク（アライメントマーク）
２６仮想基板材データ記憶手段
２８フィルムアライメント手段
２９フィルムマーク位置記憶手段
３０演算手段

Claims

プリント基板材と、露光フィルムの夫々のアライメントマークを撮像し、プリント基板材のアライメントマークのアライメントマーク位置と、露光フィルムのアライメントマークのアライメントマーク位置とを検出する撮像手段を備え、撮像手段により検出された夫々のアライメントマーク位置により相対的にプリント基板材と露光フィルムとをアライメントする整合機構を備え、アライメントした状態でプリント基板材に露光フィルムの露光パターンを露光する露光手段を備えた露光装置において、プリント基板材の露光に先立ってプリント基板材のアライメントマークのアライメントマーク位置を入力する基板材データ入力手段と、その入力されたアライメントマーク位置を仮想プリント基板材のアライメントマークのアライメントマーク位置として記憶する仮想基板材データ記憶手段とを備え、仮想プリント基板材のアライメントマーク位置に基づいて、撮像手段により検出された露光フィルムのアライメントマーク位置を仮想プリント基板材のアライメントマーク位置へ移動させるフィルムアライメント手段を備えたことを特徴とする露光装置。
フィルムアライメント手段は、仮想プリント基板材のアライメントマーク位置と、撮像手段により検出された露光フィルムのアライメントマーク位置とにより、露光フィルムのアライメントマーク位置を仮想プリント基板材のアライメントマーク位置へ移動させるアライメント量を演算する演算手段を備えていることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
フィルムアライメント手段は仮想プリント基板材のアライメントマーク位置となった露光フィルムのアライメントマーク位置を記憶するフィルムマーク位置記憶手段を備えていることを特徴とする請求項１または２記載の露光装置。
前記仮想基板材データ記憶手段は、基板材データ入力手段から入力されたプリアライメントされるプリント基板材のアライメントマーク位置を仮想プリント基板材のアライメントマーク位置として記憶することを特徴とする請求項１から３の何れか１項記載の露光装置。