JP2007134601A - シリコンウエハの温度測定方法及び温度測定用放射温度計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 Siウエハ1の肉厚内で該ウエハ1の主として径方向に沿ってから放射される赤外光のうち、中心波長が9〜10μm、波長範囲が8〜16μmの放射赤外光を、Siウエハ1の端部に該Siウエハ1の表面に対してほぼ45°に傾斜するように形成された斜面1eで全反射させて略垂直方向へ導いて赤外線放射温度計2に入射させることにより、その赤外光の放射エネルギー量からSiウエハ1の温度を算出する。
【選択図】 図3
Description
ここで、前記測定波長域は、請求項8及び10に記載のように、赤外光の波長範囲が8μmから16μmに設定されていることが望ましい。
図1は本発明に係るSiウエハの温度測定方法のうち、請求項1〜3,6,8に対応する第一の実施形態を示す概略側面図、図2は図1の平面図、図3は図1中の丸囲いした部分Bの拡大図である。これら図1〜図3において、1は厚さtが通常0.3〜0.6mm位の円板状のSiウエハ、2は該Siウエハ1の温度を測定するために用いられる赤外線放射温度計である。
1E オリフラ部分
1e,7e 斜面
1v 垂直端面
1f 加工表面
2 赤外線放射温度計
2b サーモパイル型赤外線センサ
2c 基準温度補償用温度センサ
4a 演算部(演算手段)
5 反射鏡
6 導波管
7 窪み
Claims (10)
- シリコンが有する光吸収領域に対応する波長域において、シリコンウエハからその温度に応じて放射される赤外光の放射エネルギー量を測定してシリコンウエハの温度を算出するシリコンウエハの温度測定方法であって、
前記シリコンウエハの肉厚内において主として該ウエハの径方向に沿って放射される前記波長域の赤外光の放射エネルギー量を測定して前記シリコンウエハの温度を算出することを特徴とするシリコンウエハの温度測定方法。 - シリコンが有する光吸収領域に対応する波長域において、シリコンウエハからその温度に応じて放射される赤外光の放射エネルギー量を測定してシリコンウエハの温度を算出するシリコンウエハの温度測定方法であって、
前記シリコンウエハの肉厚内において主として該ウエハの径方向に沿って放射される前記波長域の赤外光を、該シリコンウエハの表面に対して略垂直な方向に導き、この略垂直方向に導かれた赤外光の放射エネルギー量を測定して前記シリコンウエハの温度を算出することを特徴とするシリコンウエハの温度測定方法。 - 前記シリコンウエハの端面が、その表面に対して所定の傾斜角度を有するような斜面に形成されており、シリコンウエハの肉厚内において主として該ウエハの径方向に沿って放射される前記波長域の赤外光をこの斜面を介して全反射させることにより、前記の放射赤外光を前記シリコンウエハの表面に対して略垂直な方向に導いて所定の温度測定を行なう請求項2に記載のシリコンウエハの温度測定方法。
- 前記シリコンウエハの端面が、その表面に対して垂直な面に形成されており、この垂直端面から、シリコンウエハの肉厚内において主として該ウエハの径方向に沿って放射される前記波長域の赤外光をシリコンウエハの端面に対面させて設けた反射鏡を介して放射温度計に導いて所定の温度測定を行なう請求項2に記載のシリコンウエハの温度測定方法。
- 前記シリコンウエハの端面が、その表面に対して垂直な面に形成されており、この垂直端面から、シリコンウエハの肉厚内において主として該ウエハの径方向に沿って放射される前記波長域の赤外光をシリコンウエハの端面に対面させて設けた導波管を介して放射温度計に導いて所定の温度測定を行なう請求項2に記載のシリコンウエハの温度測定方法。
- 前記シリコンウエハの端面に形成される斜面が、(100)面の異方性エッチングによって形成されたものである請求項3に記載のシリコンウエハの温度測定方法。
- シリコンが有する光吸収領域に対応する波長域において、シリコンウエハからその温度に応じて放射される赤外光の放射エネルギー量を測定してシリコンウエハの温度を算出するシリコンウエハの温度測定方法であって、
前記シリコンウエハの中央部付近に(100)面の異方性エッチングにより四角錐形状の窪みを形成し、シリコンウエハの肉厚内において主として該ウエハの径方向に沿って放射される前記波長域の赤外光をこの窪みの斜面を介して全反射させることにより、前記の放射赤外光を前記シリコンウエハの表面に対して略垂直な方向に導き、この略垂直方向に導かれた赤外光の放射エネルギー量から前記シリコンウエハの温度を算出することを特徴とするシリコンウエハの温度測定方法。 - 前記測定波長域は、赤外光の波長範囲が8μmから16μmに設定されている請求項1〜7のいずれかに記載のシリコンウエハの温度測定方法。
- シリコンウエハからその温度に応じて放射される赤外光の放射エネルギー量を測定する赤外線センサとこの赤外線センサの絶対温度を測定する基準温度補償用温度センサとこれら両センサの出力信号を演算してシリコンウエハの温度を算出する演算手段とを有するシリコンウエハの温度測定用放射温度計であって、
前記赤外線センサが、測定対象となるシリコンウエハの肉厚内において主として該ウエハの径方向に沿って放射される赤外光のうち、シリコンが有する光吸収領域に対応する波長域の赤外光のみを取り込んでその放射エネルギー量を測定するように構成されていることを特徴とするシリコンウエハの温度測定用放射温度計。 - 前記赤外線センサによる測定波長域は、赤外光の波長範囲が8μmから16μmに設定されている請求項9に記載のシリコンウエハの温度測定用放射温度計。
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JP2001013014A (ja) * | 1999-07-02 | 2001-01-19 | Toshiba Mach Co Ltd | 非接触式温度計の較正方法 |
JP2002294461A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-09 | Toshiba Corp | 薄膜の膜厚モニタリング方法及び基板温度測定方法 |
WO2004015157A2 (en) * | 2002-08-13 | 2004-02-19 | Lam Research Corporation | Methods and apparatus for in situ substrate temperature monitoring by electromagnetic radiation emission |
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