JP2007123626A - インナーリードボンディング方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】インナーリードボンディング工程でフォーミング量を厳密に調整する。
【解決手段】インナーリードボンディングを行う直前に、レーザー測定器5で、ボンディング対象部分のテープ基板1の高さL1 と半導体チップ3の高さL2 を測定し、これらの高さの差がフォーミング量に対応する設定値L* になっている状態で、ボンディングツール4によるインナーリードボンディングを行う。
【選択図】図5
【解決手段】インナーリードボンディングを行う直前に、レーザー測定器5で、ボンディング対象部分のテープ基板1の高さL1 と半導体チップ3の高さL2 を測定し、これらの高さの差がフォーミング量に対応する設定値L* になっている状態で、ボンディングツール4によるインナーリードボンディングを行う。
【選択図】図5
Description
本発明は、インナーリードボンディングの製造方法と、この方法が実施可能な装置に関する。
TAB(Tape Automated Bonding)技術においては、テープ基板に形成されたインナーリードと半導体チップの端子を接続する「インナーリードボンディング工程」を行う。従来より、この工程は、半導体チップのエッジ(端子より外側の部分)とインナーリードが接触してショートすることを防ぐ、或いは封止樹脂の回り込み促進等の目的で、以下の方法で行われている(下記の特許文献1および2等参照)。
先ず、クランプによりテープ基板のボンディング対象部分を水平に支持し、ボンディング対象のデバイスホールの下側に配置されたステージに半導体チップを載せる。この状態で、ステージの高さを予め設定された高さに保持することで、半導体チップの電極とインナーリードとの間隔を所定量に保持する。
次に、前記デバイスホールの上側からボンディングツールを下降させることにより、インナーリードを、デバイスホール内で変形させながら半導体チップの電極に押し当てて熱圧着する。これにより、前記間隔に応じたフォーミング量(接続後の、テープ基板の厚さ方向におけるインナーリードの変形量)が確保される。
次に、前記デバイスホールの上側からボンディングツールを下降させることにより、インナーリードを、デバイスホール内で変形させながら半導体チップの電極に押し当てて熱圧着する。これにより、前記間隔に応じたフォーミング量(接続後の、テープ基板の厚さ方向におけるインナーリードの変形量)が確保される。
そして、「インナーリードボンディング工程」を終了した後に、テープ基板を製品形状より大きく切断して、抜き取り検査でフォーミング量の測定を行い、フォーミング量が規格から外れている場合には、作業者がステージの高さを変更している。
特開平6−333986公報
特開平8−115944公報
しかしながら、上記従来の方法では、フォーミング量の測定を製品形状より大きく切断されたテープ基板で行っているため、テープ基板の反りの状態が製品とは異なり、正確な測定ができない。したがって、この測定結果に基づいてステージの高さを変更しても、規格通りのフォーミング量が得られない可能性が高い。特に、精密なフォーミング量が要求される製品の場合、ステージの高さを厳密に調整する必要がある。
本発明は、インナーリードボンディング工程においてフォーミング量を厳密に管理・調整できる方法を提供することを課題とする。
上記課題を解決するために、本発明のインナーリードボンディング方法は、テープ基板のボンディング対象部分を水平に支持した状態で、ボンディング対象のデバイスホールの下側に半導体チップを配置し、この状態で、前記テープ基板の高さと前記半導体チップの高さを測定し、これらの高さの差が所定値になっている状態で前記デバイスホールの上側からボンディングツールを下降させることにより、インナーリードを変形させながら半導体チップの電極に押し当てて熱圧着することを特徴とするインナーリードボンディング方法を特徴とする。
本発明の方法によれば、インナーリードボンディングを行う直前に、ボンディング対象部分のテープ基板の高さと半導体チップの高さを測定し、これらの高さの差が所定値になっている状態でインナーリードボンディングを行うため、フォーミング量を厳密に調整できる。
本発明のインナーリードボンディング装置は、本発明のインナーリードボンディング方法を実施可能な装置であって、テープ基板のボンディング対象部分を水平に支持するクランプと、ボンディング対象のデバイスホールの下側に、高さが変更できる台に載せられた状態で半導体チップを配置するチップ配置手段と、ボンディング対象のデバイスホールの上側にボンディングツールを移動するボンディングツール移動手段と、前記テープ基板の高さと前記半導体チップの高さをデバイスホールの上側から測定する高さ測定手段と、前記高さ測定手段からの高さ測定値から、前記テープ基板の高さと前記半導体チップの高さの差を算出し、その算出値が所定値となるように半導体チップを載せた台の高さを調整する高さ調整手段と、を備えたことを特徴とする。
本発明のインナーリードボンディング装置は、本発明のインナーリードボンディング方法を実施可能な装置であって、テープ基板のボンディング対象部分を水平に支持するクランプと、ボンディング対象のデバイスホールの下側に、高さが変更できる台に載せられた状態で半導体チップを配置するチップ配置手段と、ボンディング対象のデバイスホールの上側にボンディングツールを移動するボンディングツール移動手段と、前記テープ基板の高さと前記半導体チップの高さをデバイスホールの上側から測定する高さ測定手段と、前記高さ測定手段からの高さ測定値から、前記テープ基板の高さと前記半導体チップの高さの差を算出し、その算出値が所定値となるように半導体チップを載せた台の高さを調整する高さ調整手段と、を備えたことを特徴とする。
以下、本発明の実施形態について説明する。
図1は、この実施形態で使用するテープ基板1を示す斜視図である。このテープ基板1には、半導体チップを配置する多数のデバイスホール11が形成され、各デバイスホール11に複数本のリード12が、銅箔に対するパターニングにより形成されている。また、テープ基板1の幅方向両端にはスプロケット孔13が形成されている。テープ基板1は、このスプロケット孔13を使用してスプロケットホイールの駆動により供給側のリールから払い出される。
図1は、この実施形態で使用するテープ基板1を示す斜視図である。このテープ基板1には、半導体チップを配置する多数のデバイスホール11が形成され、各デバイスホール11に複数本のリード12が、銅箔に対するパターニングにより形成されている。また、テープ基板1の幅方向両端にはスプロケット孔13が形成されている。テープ基板1は、このスプロケット孔13を使用してスプロケットホイールの駆動により供給側のリールから払い出される。
この実施形態のインナーリードボンディング装置では、テープ基板1が巻かれた供給側のリールと巻き取り側のリールとの間に、水平搬送用のレールが配置されている。これにより、供給側のリールから払い出されたテープ基板1が、レールに沿って所定長さだけ水平に搬送された後に、巻き取り側のリールに巻き取られるようになっている。テープ基板1の水平搬送は、図示されない水平搬送回路により制御される。
図2に示すように、テープ基板1が水平に搬送される中間の位置に、テープ基板1のボンディング対象部分を水平に保持するクランプの挟持板2が設置されている。挟持板2はテープ基板1の上下に配置され、両挟持板2には、テープ基板1のデバイスホール11を露出させる穴21が形成されている。このクランプは図示されない駆動回路により駆動制御される。
この実施形態のインナーリードボンディング装置では、また、図3に示すように、ボンディングツール4の隣にレーザー測定器5を配置し、移動機構6により両者が一体に上下左右に移動可能になっている。半導体チップ3を載せるステージ7は、ステージ駆動回路71により上下方向に移動可能になっている。また、このステージ7は、図示されない配置機構(チップ配置手段)によって、半導体チップ3を載せた状態で挟持板2の穴21の下側に配置可能となっている。そして、ボンディングツール4、レーザー測定器5、移動機構6、およびステージ駆動回路71が、信号処理回路8に接続されている。
信号処理回路8はマイクロコンピュータからなり、図4にフローチャートで示す演算処理を行うように構成されている。
この演算処理は、ステップS1で、移動機構6に移動信号Uとして、レーザー測定器5が挟持板2の穴21に露出しているテープ基板1の上側に配置される(図5の状態となる)ように、移動機構6を移動させるための信号U1を出力する。次に、ステップS2に移行して、レーザー測定器5に測定信号Kを出力する。これにより、図5に示すように、レーザー測定器5でテープ基板1までの距離L1(テープ基板1の高さ)が測定される。
この演算処理は、ステップS1で、移動機構6に移動信号Uとして、レーザー測定器5が挟持板2の穴21に露出しているテープ基板1の上側に配置される(図5の状態となる)ように、移動機構6を移動させるための信号U1を出力する。次に、ステップS2に移行して、レーザー測定器5に測定信号Kを出力する。これにより、図5に示すように、レーザー測定器5でテープ基板1までの距離L1(テープ基板1の高さ)が測定される。
次に、ステップS3に移行して、レーザー測定器5から距離L1の測定値を示す信号を入力して、記憶部に記憶する。次に、ステップS4に移行して、移動機構6に移動信号Uとして、レーザー測定器5が半導体チップ3の中心の上側に配置される(図6の状態となる)ように、移動機構6を移動させるための信号U2を出力する。
次に、ステップS5に移行して、レーザー測定器5に測定信号Kを出力する。これにより、図6に示すように、レーザー測定器5で半導体チップ3までの距離L2 (半導体チップ3の高さ)が測定される。
次に、ステップS5に移行して、レーザー測定器5に測定信号Kを出力する。これにより、図6に示すように、レーザー測定器5で半導体チップ3までの距離L2 (半導体チップ3の高さ)が測定される。
次に、ステップS6に移行して、レーザー測定器5から距離L2の測定値を示す信号を入力して、この測定値L2と、記憶部に記憶されている測定値L1を用いて、テープ基板1と半導体チップ3の高さの差L=L2−L1を算出する。
次に、ステップS7に移行して、ステップS6で算出された高さの差Lと、予め設定されているテープ基板1と半導体チップ3の高さの差L*とを用いて、測定値Lの設定値L*からの偏差A=L−L*を算出する。設定値L*はフォーミング量の規格に対応した値とする。
次に、ステップS7に移行して、ステップS6で算出された高さの差Lと、予め設定されているテープ基板1と半導体チップ3の高さの差L*とを用いて、測定値Lの設定値L*からの偏差A=L−L*を算出する。設定値L*はフォーミング量の規格に対応した値とする。
次に、ステップS8に移行して、偏差Aが0であるか否かを判定し、A=0であればステップS10に移行し、A≠0であればステップS9に移行する。ステップS9では、ステージ駆動回路71に駆動信号Rとして、ステップS7で算出された偏差Aの分だけステージ7を上昇させる(偏差Aが負であれば下降させる)信号RAを出力して、ステップS10に移行する。
ステップS10では、移動機構6に移動信号Uとして、ボンディングツール4が半導体チップ3の中心の上側に配置された後に、リード12の上に接する状態となるまで下降する(図3の状態となる)ように、移動機構6を移動させるための信号UBを出力する。次に、ステップS11に移行して、ボンディングツール4に駆動信号Bを出力する。
次に、ステップS12に移行して、移動機構6に移動信号Uとして、ボンディングツール4が所定高さとなるまで移動機構6を上昇させるための信号U3を出力する。次に、ステップS13に移行して、ステージ駆動回路71に駆動信号Rとして、ステージ7を最も低い位置まで下降させる信号R0を出力する。
次に、ステップS12に移行して、移動機構6に移動信号Uとして、ボンディングツール4が所定高さとなるまで移動機構6を上昇させるための信号U3を出力する。次に、ステップS13に移行して、ステージ駆動回路71に駆動信号Rとして、ステージ7を最も低い位置まで下降させる信号R0を出力する。
この実施形態の装置において、レーザー測定器5と、移動機構6と、演算処理回路8で行う演算処理のステップS1〜S6が、本発明のインナーリードボンディング装置の高さ測定手段に相当する。また、演算処理のステップS7〜S9が、本発明のインナーリードボンディング装置の高さ調整手段に相当する。また、移動機構6と演算処理のステップS10が、本発明のインナーリードボンディング装置のボンディングツール移動手段に相当する。
この実施形態のインナーリードボンディング装置は以下のように作動する。先ず、ボンディング対象のデバイスホール11が挟持板2の穴21と一致するまでテープ基板1が搬送された後に、この搬送が停止される。この時点で、挟持板2によりテープ基板1のボンディング対象部分が挟持される。次に、図示されない配置機構により、挟持板2の穴21の下側に、半導体チップ3を載せたステージ7が配置される。次に、ステージ駆動回路71によりステージ7を上昇させて、下側の挟持板2の穴21内に半導体チップ3が配置されるようにする。
次に、信号処理回路8から移動機構6に移動信号U=U1が出力されて、移動機構6が移動することにより、図5に示すように、レーザー測定器5が挟持板2の穴21に露出しているテープ基板1の上側に配置される。次に、信号処理回路8から測定信号Kがレーザー測定器5に出力されて、図5に示すように、レーザー測定器5でテープ基板1までの距離L1 (テープ基板1の高さ)が測定される。
次に、信号処理回路8から移動機構6に移動信号U=U2が出力されて、移動機構6が移動することにより、図6に示すように、レーザー測定器5が半導体チップ3の中心の上側に配置される。次に、信号処理回路8から測定信号Kがレーザー測定器5に出力されて、図6に示すように、レーザー測定器5で半導体チップ3までの距離L2(半導体チップ3の高さ)が測定される。
次に、信号処理回路8でテープ基板1と半導体チップ3の高さの差L=L2−L1が算出され、この算出値Lの設定値L*からの偏差A=L−L*が算出され、偏差Aが0であれば信号処理回路8から移動機構6に移動信号U=UBが出力されて、ボンディングツール4が半導体チップ3の中心の上側に配置された後に、リード12の上に接する状態となるまで下降して、図3に示す状態となる。
偏差Aが0でなければ、信号処理回路8からステージ駆動回路71に駆動信号R=RA が出力されて、偏差Aが正であれば偏差Aの分だけステージ7が上昇(偏差Aが負であれば下降)する。次に、信号処理回路8から移動機構6に移動信号U=UBが出力されて、ボンディングツール4が半導体チップ3の中心の上側に配置された後に、リード12の上に接する状態となるまで下降して、図3に示す状態となる。
図3に示す状態となったら、信号処理回路8からボンディングツール4に駆動信号Bが出力されて、図7に示すように、ボンディングツール4が下降し、その先端部41が加熱状態となって所定時間保持される。これにより、リード12のデバイスホール11の内側に露出した部分(インナーリード)が、デバイスホール11内で変形しながら半導体チップ3の電極31に押し当てられて熱圧着される。
次に、信号処理回路8から移動機構6に移動信号U3が出力されて、ボンディングツール4が所定高さまで上昇し、ステージ駆動回路71に駆動信号R0が出力されて、ステージ7が最も低い位置まで下降する。次に、クランプの駆動回路により、クランプの挟持板2によるテープ基板1の支持が解除される。図8はこの状態を示す。
このようにして一つのデバイスホール11に対するインナーリードボンディングが行われた後に、テープ基板1が、次のボンディング対象のデバイスホール11が挟持板2の穴21の位置に至るまで、水平に搬送されて、次のボンディング対象のデバイスホール11に対するインナーリードボンディングが行われる。
このようにして一つのデバイスホール11に対するインナーリードボンディングが行われた後に、テープ基板1が、次のボンディング対象のデバイスホール11が挟持板2の穴21の位置に至るまで、水平に搬送されて、次のボンディング対象のデバイスホール11に対するインナーリードボンディングが行われる。
この実施形態のインナーリードボンディング方法によれば、インナーリードボンディングを行う直前に、ボンディング対象部分のテープ基板1の高さL1と半導体チップ3の高さL2を測定し、これらの高さの差がフォーミング量に対応する設定値L*になっている状態でインナーリードボンディングを行うため、フォーミング量を厳密に調整することができる。また、抜き取り検査でフォーミング量の測定を行う必要がなくなる。
1…テープ基板、11…デバイスホール、12…リード、12a…インナーリード、13…スプロケット孔、2…クランプの挟持板、21…挟持板の穴、4…ボンディングツール、5…レーザー測定器、6…移動機構、7…ステージ、71…ステージ駆動回路、8…信号処理回路。
Claims (2)
- テープ基板のボンディング対象部分を水平に支持した状態で、ボンディング対象のデバイスホールの下側に半導体チップを配置し、この状態で、前記テープ基板の高さと前記半導体チップの高さを測定し、これらの高さの差が所定値になっている状態で前記デバイスホールの上側からボンディングツールを下降させることにより、インナーリードを変形させながら半導体チップの電極に押し当てて熱圧着することを特徴とするインナーリードボンディング方法。
- テープ基板のボンディング対象部分を水平に支持するクランプと、
ボンディング対象のデバイスホールの下側に、高さが変更できる台に載せられた状態で半導体チップを配置するチップ配置手段と、
ボンディング対象のデバイスホールの上側にボンディングツールを移動するボンディングツール移動手段と、
前記テープ基板の高さと前記半導体チップの高さをデバイスホールの上側から測定する高さ測定手段と、
前記高さ測定手段からの高さ測定値から、前記テープ基板の高さと前記半導体チップの高さの差を算出し、その算出値が所定値となるように半導体チップを載せた台の高さを調整する高さ調整手段と、
を備えたことを特徴とするインナーリードボンディング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005315158A JP2007123626A (ja) | 2005-10-28 | 2005-10-28 | インナーリードボンディング方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005315158A JP2007123626A (ja) | 2005-10-28 | 2005-10-28 | インナーリードボンディング方法および装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007123626A true JP2007123626A (ja) | 2007-05-17 |
Family
ID=38147125
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005315158A Pending JP2007123626A (ja) | 2005-10-28 | 2005-10-28 | インナーリードボンディング方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2007123626A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7637004B2 (en) | 2006-08-01 | 2009-12-29 | Seiko Epson Corporation | Electronic device manufacturing method and supporter |
-
2005
- 2005-10-28 JP JP2005315158A patent/JP2007123626A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US7637004B2 (en) | 2006-08-01 | 2009-12-29 | Seiko Epson Corporation | Electronic device manufacturing method and supporter |
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