JP2007115769A - 電気特性測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】交流電圧電流源30からインダクタンス20を介して電気的特性を測定するための半導体試料10に交流電圧を供給する。そして、電気計測器40によって、インダクタンス20の両端の電位を計測する。交流電圧電流源30の周波数は、インダクタンス20(L)と半導体試料10の表面に設けられる絶縁膜11のキャパシタンスCとのLC共振条件を満足させるように設定される。これにより、半導体試料10の表面に接着される絶縁膜11を取り除くことなく、半導体試料10の電気的特性を測定することが可能となる。
【選択図】図1
Description
通常、半導体表面には、絶縁膜、例えば表面保護の絶縁膜、ゲート絶縁膜、フィールド絶縁膜等が形成されており、半導体のこの絶縁膜との界面準位密度が、半導体の電気的特性、つまり半導体デバイスの電気的特性に大きく影響する。
しかし、この測定方法では、空乏層の存在が必要であり、この空乏層の形成のため半導体の厚さが10μm以上であることが必要とされる。このため、空乏層の厚さが小さい薄膜半導体では、この電圧−容量の変化から半導体特性を正確に評価することが困難であるという問題があった。
また、半導体表面の絶縁膜を剥がして電気的特性測定のための電極を半導体面上に形成して測定することも考えられるが、この方法では正確な測定がなされないため、望ましい測定方法ではなかった。
このとき、半導体試料内には、空乏層が形成されるが、この空乏層の形成のためには、半導体試料の厚さが10μm以上であることを必要とする。このため、薄膜の半導体を用いるSOI(Semiconductor on Insulator)からなる電界効果トランジスタ素子や多結晶薄膜とトランジスタ素子の場合は、空乏層の変化が小さく、電圧―容量の変化から素子の特性を評価することが困難であった。
また、本発明の好ましい形態例として、半導体試料に光を照射する光照射手段を付加することも考えられる。この本発明の好ましい形態例によれば、半導体試料に光を照射することにより、半導体試料内に光誘起される過剰キャリヤが半導体の格子欠陥により減衰する様子を精度良く測定することができ、半導体試料の電気伝導度を測定することが可能となる。
図1は、本発明の装置に係る第一の実施の形態例を示した図である。本発明装置の基本構成は、試料となる半導体表面に絶縁膜11が形成されている半導体試料10と、半導体試料10に接続されたインダクタンス20と、このインダクタンス20と接続された交流電圧電流源30と、インダクタンス20の両端に接続され、半導体試料10とインダクタンス20の接続点の電位を測定するための電位測定器40から構成されている。
すなわち、Z0=Zとなる。
ここで、インダクタンス20にかかる電圧をVLとし、半導体試料10の表面に形成された絶縁膜11のキャパシタンスCにかかる電圧をVCとすると、共振時のそれぞれの電圧は、数式(3)、数式(4)に示されるようになる。つまり、大きさが同じで、極性が異なる電圧となっていることが分かる。
このインダクタンス80として、101μHを用いた理由は、絶縁膜SiO2のキャパシタンスの容量Cが1.0nF程度であり、この共振周波数が500kHzになるように調整したことに起因している。このインダクタンス80(図1の20)は可変インダクタンスとして自在に選定することができるものである。
本発明の実施の形態例によれば、交流電圧電流減と半導体試料の間にインダクタンスを接続し、このインダクタンスと半導体試料のキャパシタンスとの間の電位を測定することにより、半導体のインピーダンス、すなわち電気的特性を知ることができる。
容易に印加することができ、半導体試料10の電気的特性を調べることができる。
例えば、本発明において、半導体試料以外でも、光を照射したときに電気的特性、例えばキャリヤ濃度が変化するような物質を被測定物とした場合でも、その電気的特性を測定することが可能である。
Claims (6)
- 交流電圧電流源と、電気特性を測定するための半導体試料と、該半導体試料の表面に接続された絶縁膜と、前記交流電圧電流源からの交流電圧を前記半導体試料に印加する電極と、前記電極と前記交流電圧電流源との間に接続されるインダクタンスと、前記インダクタンスと前記電極との間の電位を測定するための電位測定手段とを備え、
前記絶縁膜のキャパシタンスと前記インダクタンスとの合成インピーダンスが、前記交流電圧電流源の周波数においてゼロとなる共振条件を形成するようにしたこと
を特徴とする電気特性測定装置。 - 請求項1に記載の電気特性測定装置において、
前記半導体試料に直流バイアス電圧を印加することを特徴とする電気特性測定装置。 - 請求項1に記載の電気特性測定装置において、
前記半導体試料に光を照射する光照射手段を有することを特徴とする電気特性測定装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の電気特性測定装置において、
前記電極に液体金属電極を用いることを特徴とする電気特性測定装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の電気特性測定装置において、
前記電極と前記半導体試料との間に空隙を設け、前記電極と前記半導体試料を非接触にすることを特徴とする電気特性測定装置。 - 請求項5に記載の電気的測定装置において、
前記半導体試料の交流インピーダンスの内のキャパシタンス成分及び前記空隙のキャパシタンスとの合成キャパシタンスと、前記電極と前記交流電圧電流源との間に接続されるインダクタンスとの合成インピーダンスがゼロとなる条件で、前記交流電圧電流源の周波数を設定することを特徴とする電気特性測定装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013004567A (ja) * | 2011-06-13 | 2013-01-07 | Pioneer Electronic Corp | 検査装置及び方法 |
JP2014186022A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-10-02 | Mitsubishi Electric Corp | 太陽電池パネルの診断方法 |
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2005
- 2005-10-18 JP JP2005303364A patent/JP5167527B2/ja active Active
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