JP2007109803A - トリミング回路、電子回路及びトリミング制御システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電源PSから、セレクタ11、抵抗、ヒューズFが接地GNDに直列に接続される。このヒューズFの直上には、プローブトリムを行なうためのプローブパッド21が接続される。このセレクタ11は、背面接続(back-to-back)された2個のn型MOSトランジスタから構成される。このn型MOSトランジスタのゲート端子にセレクタ制御回路12が接続される。そして、ヒューズFの電源側には、トリムセンス回路が設けられている。トリムセンス回路において、ヒューズの溶断を検知し、この検知により、各トリミング回路TCに対応する素子の動作を変更する。
【選択図】図1
Description
いられる。
、デバイスを製造した電流供給回路やヒューズ等の特性の揺らぎにより、十分にトリミングができない場合がある。
本発明によれば、トリミング回路と、前記トリミング回路毎に対応させたトリムセンス回路を接続したことを要旨とする。これにより、プローブパッドを用いたプローブトリムと、トリミング選択手段を用いたパッケージトリムにより、トリミングができないリスクの低減を図ることができる。従って、確実にトリミングを行なうことにより、速やかに所望のデバイスを供給することができる。
路TCの基本構成を図1に示す。このトリミング回路TCは、電源PSから、セレクタ11、抵抗、ヒューズFが接地GNDに直列に接続されている。このヒューズFの直上には、プローブトリムを行なうためのプローブパッド21が接続されている。
まず、ウエハ上で回路試験を行ない、トリミングの要否を判断する。トリミングが必要な場合には、プローブトリムを行なう。具体的には、プローブパッド21から電流を供給し、ヒューズの切断を行なう。
・ 上記実施形態によれば、トリミング回路TCは、プローブパッド21を備えるとともに、セレクタ制御回路12及びセレクタ11を備える。これにより、プローブパッド21を用いたプローブトリムにより、確実にトリミングを行なうことができる。一方、パッケージング後のアッセンブリーシフト等の影響は、セレクタ制御回路12及びセレクタ11を用いたパッケージトリムにより、トリミングを行なうことができる。また、パッケージトリムによりトリミングが困難な場合には、マスク変更を行なうことなく、プローブトリムにより、速やかに是正を行なうことができる。
○ 上記実施形態のトリミング回路TCにおいては、n型MOSトランジスタを用いた。これに限らず、例えば、p型MOSトランジスタやバイポーラトランジスタ等、他の種類のトランジスタを用いてもよい。なお、p型MOSトランジスタを用いる場合には、VCCラインを、接地電位よりも低い電位とする。
Claims (5)
- 電源と接地との間に、ヒューズを設け、このヒューズの溶断を検知するトリムセンス回路を接続するトリミング回路であって、
前記ヒューズの電源側に、プローブトリムを行なうためのプローブパッドと、パッケージトリムを行なうためのトリミング選択手段とを設けたことを特徴とするトリミング回路。 - 前記トリミング選択手段は、背面接続された2個のトランジスタと、
前記トランジスタの制御端子に接続された制御手段とから構成したことを特徴とする請求項1に記載のトリミング回路。 - 前記トランジスタは、n型MOSトランジスタを用いて構成したことを特徴とする請求項2に記載のトリミング回路。
- 請求項1〜3のいずれか1つに記載のトリミング回路と、前記トリミング回路毎に対応させたトリムセンス回路を接続したことを特徴とする電子回路。
- トリミング実行手段を備えたウエハテスタ装置とパッケージテスタ装置と、
共通したプロセスにおいて製造されるロット特定情報と、このロットにおいて用いられるトリミング回路を特定する回路特定情報を記憶するトリミング管理データ記憶手段とを備えたトリミング制御システムであって、
パッケージテスタ装置が、トリミング回路におけるパッケージトリムの結果を測定し、
前記パッケージトリムの不良を検知した場合、このトリミング回路の位置を特定し、
前記トリミング回路の位置情報をトリミング管理データ記憶手段に記録し、
前記ウエハテスタ装置は、前記トリミング管理データ記憶手段に記録された後続ロットにおいて、この位置のトリミング回路においてプローブトリムを実行することを特徴とするトリミング制御システム。
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