JPH07183387A - 電気回路とともに使用するための装置 - Google Patents

電気回路とともに使用するための装置

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JPH07183387A
JPH07183387A JP6272463A JP27246394A JPH07183387A JP H07183387 A JPH07183387 A JP H07183387A JP 6272463 A JP6272463 A JP 6272463A JP 27246394 A JP27246394 A JP 27246394A JP H07183387 A JPH07183387 A JP H07183387A
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JP6272463A
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Miki Moyal
ミキ・モヤル
Thomas Brennan
トーマス・ブレナン
Gene Vance
ゲネ・バンス
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Original Assignee
Advanced Micro Devices Inc
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    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C17/00Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards
    • G11C17/14Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards in which contents are determined by selectively establishing, breaking or modifying connecting links by permanently altering the state of coupling elements, e.g. PROM
    • G11C17/16Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards in which contents are determined by selectively establishing, breaking or modifying connecting links by permanently altering the state of coupling elements, e.g. PROM using electrically-fusible links
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/02Detection or location of defective auxiliary circuits, e.g. defective refresh counters
    • G11C29/027Detection or location of defective auxiliary circuits, e.g. defective refresh counters in fuses

Abstract

(57)【要約】 【目的】 プラスチックパッケージにおけるアナログ集
積回路パラメータのヒューズトリミングのための方法お
よび装置を提供する。 【構成】 装置はヒューズ(40)のような電気的に遮
断可能な回路素子と、電気的に遮断可能な回路素子の状
態を読出してその状態に応答してコードを発生するレベ
ル読出ユニットと、切断電流を提供するための電流源
(52)のような状態変更ユニットと、制御回路(3
0)とを含む。テストレベル読出素子はほとんど切断さ
れかけたヒューズ(40)のスクリーニングを可能にす
る。ヒューズ(40)が切断されているかまたはヒュー
ズ再成長を防ぐために読出しされているとき、切換可能
素子はヒューズ(40)から印加された電圧を除去す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の分野】この発明は、任意のタイプのパッケージ
での封じ込めの前または後でプログラム可能な、集積回
路における不揮発性メモリの1形式に関する。特定的に
は、この発明は、プラスチックパッケージ装置に封じ込
められた精密トリミングアナログ集積回路のためのヒュ
ーズを切断するためのオンチップ回路の使用に関する。
【0002】集積回路設計の技術において、電圧、電流
または電圧利得もしくは電流利得のような回路パラメー
タを設定するために1つまたはそれより多いヒューズを
他のヒューズおよび回路素子とともに用いることは周知
である。ヒューズは一般的に、完全なまたは遮断されて
いない状態と切断されたまたは遮断された状態とを有す
る。完全な状態では、ヒューズは電流を伝導することの
できる、抵抗の小さい素子である。切断された状態で
は、ヒューズは非常に大きい抵抗を有して一般的には電
流を伝導しない。回路パラメータを設定するために他の
回路素子とともに使用される場合、ヒューズは、その完
全な状態が回路パラメータの第1の値に対応しその切断
された状態が回路パラメータの第2の値に対応するよう
に、構成されるだろう。
【0003】ヒューズトリミング回路はアナログ集積回
路素子においてごく普通に使用される。そのようなアナ
ログ集積回路はデジタル信号プロセッサ、通信装置およ
び演算増幅器を含むだろう。アナログ集積回路において
は、回路パラメータを値の予め定められた範囲に精密に
トリミングするのが望ましいことがしばしばある。アナ
ログ集積回路は値の特定の範囲内にそのようなパラメー
タを生ずるよう設計されるが、製造プロセスにおけるば
らつきのため製造の後でパラメータとして許容できない
ほど広い許容限界レベルを生じさせるかもしれない。し
たがって、高性能の応用のためには、アナログ集積回路
パラメータの許容限界範囲を改善するためにヒューズト
リミングを利用することは周知である。
【0004】先行技術の装置においては、ヒューズはプ
ローブパッドとして公知の広い金属の領域に直接近接し
かつ電気的に接続されて集積回路素子の表面上に作製さ
れた。ヒューズは金属層または抵抗の小さいポリシリコ
ン層のような、集積回路素子において使用される導体層
の1つから作製される。当該技術分野において周知のよ
うに、ヒューズは導体層の、幅の狭いストリップから形
成される。ヒューズを通る電流が予め定められた量を超
えると、導体層のストリップの遮断によってヒューズは
「切断する」。集積回路の最終パッシベーション層は、
プローブがプローブパッドと直接接触できるように、プ
ローブパッドから除去されなければならない。
【0005】注目されるように、ヒューズの第1の端部
はプローブパッドと電気的に接触しており、ヒューズの
第2の端部は接地のような、集積回路素子上の他のノー
ドに電気的に接続される。そのような先行技術の装置で
は、ヒューズの第1の端部はまた抵抗器を介して回路に
おける最正の電位またはVCCのような第2の回路ノー
ドにも接続される。ヒューズの第1の端部はまた、ヒュ
ーズの第1の端部における電位を検知して所望される回
路パラメータを発生するための回路にも接続される。抵
抗の小さいヒューズが完全な状態で、電力が集積回路に
供給されると、ヒューズの第1の端部はヒューズの第2
の端部または接地と同じ電位に引かれる。電流はVCC
から抵抗器を介して流れ、抵抗器中に電位降下を引起こ
す。
【0006】ヒューズの第1の端部のVCCレベルに応
答して、第1の端部に結合された回路は第1の値を有す
る電流または電圧のような回路パラメータを発生する。
この第1の値が値の予め定められた範囲外であると判断
されるとヒューズは切断される。ヒューズを切断するた
めに、プローブがプローブパッドに接触しヒューズを切
断させるのに十分な電圧および電流をヒューズ中に供給
して、完全な状態から切断された状態へ移行させる。ヒ
ューズが切断された状態にあり、電流がヒューズを全く
流れない場合、抵抗器はプルアップ抵抗として働いて、
ヒューズの第1の端部における電位をVCCに引く。ヒ
ューズの第1の端部に結合される回路はVCC電位を検
出すると、回路は第2の値で回路パラメータを生ずる。
【0007】プローブパッドをプローブと接触させる必
要があるため、1つまたはそれより多いヒューズを切断
することによるヒューズトリミングは集積回路素子のた
めの製造プロセスにおいてウェハソートステップで起こ
らなければならない。ウェハソートにおいて、完成した
集積回路素子を含むウェハは集積回路素子の各々の機能
性を判断するためにプローブに接触される。機能しない
素子はマークされ拒否される。ウェハソートではまた、
電圧および電流のような、予め定められた回路パラメー
タが測定される。測定された回路パラメータに応答しか
つ命令の予め定められたプログラムに従って、測定され
た回路パラメータを好ましい値に変化させるために、集
積回路素子上の1つまたはそれより多いヒューズが切断
されるかもしれない。ウェハソートの後非機能チップは
廃棄され、機能チップはさらにテストを受けるために実
装される。
【0008】多くの応用において、集積回路素子はプラ
スチックパッケージに実装することが好ましい。プラス
チックパッケージはセラミックパッケージのような他の
パッケージよりも軽量で、安価でかつ、かさばらない。
しかしながら、集積回路素子がプラスチックパッケージ
に封じ込められる製造プロセスは、回路パラメータが完
成した、実装された素子においてかなり変化する原因と
なる。プラスチックパッケージングプロセスは機械的応
力および熱応力を含む塑性応力を引起こし、それが回路
パラメータを変化させる。プラスチックパッケージング
の前および後の両方の多数の集積回路素子から取られた
統計学的サンプリングから、測定された回路パラメータ
の統計学的分布の平均および標準偏差の両方がプラスチ
ックパッケージングプロセスの結果変化することが周知
である。
【0009】測定されたパラメータの統計学的分布にお
けるこの変化に対する1つの解決法は逆トリミングであ
った。プラスチックパッケージングの結果、電圧利得の
ようなパラメータが予め定められた量だけ変化すること
がわかっている場合、パラメータはプラスチックパッケ
ージングによるその既知の変化に対応するようウェハソ
ートで逆トリミングされることが可能である。
【0010】しかしながら、逆トリミングもまた限界を
有する。第1に、プラスチックパッケージングによる統
計学的分布変化は常に一定というわけではない。その結
果、回路パラメータはトリミング過剰またはトリミング
不足となるかもしれず、それらのどちらもが歩留り損の
原因となり得る。また回路パラメータの統計学的分布に
おける標準偏差はプラスチックパッケージングプロセス
による塑性応力に従って増大し、これもまた歩留り損の
原因となる。
【0011】ヒューズトリミングの間にさらに遭遇する
問題はほとんど切断されかけたヒューズに起因する。完
全な状態にあるヒューズは200オームのように非常に
小さい抵抗を有する。正常に切断されたヒューズは20
メグオームのように非常に大きい抵抗を有する。これら
の値は、関連の回路がヒューズの切断された状態からヒ
ューズの完全な状態を容易に区別し得るほど十分に異な
る。しかしながら、いくつかのヒューズは完全に切断さ
れず、ヒューズ抵抗が10Kオームのオーダである、ほ
とんど切断されかけた状態をとることが知られている。
ほとんど切断されかけた状態は1つまたはそれより多
い、ヒューズ材料の残余フィラメントに起因するかもし
れない。
【0012】ほとんど切断されかけたヒューズは問題と
なる。というのも、ほとんど切断されかけたヒューズは
ヒューズの再成長が生じるのを可能にするかもしれない
からである。先行技術のヒューズトリミング回路では、
上記のように、電圧は集積回路の正常動作の間、切断さ
れたヒューズ中で維持される。プルアップ抵抗はヒュー
ズの第1の端部をVCCに結合し、ヒューズの第2の端
部は接地電位のままである。ヒューズがほとんど切断さ
れかけている場合、この電位差の存在は、ヒューズが再
成長し再び抵抗の小さい完全な状態をとる原因となる。
このヒューズの再成長の結果、ヒューズの完全なまたは
切断された状態を検出する回路は再成長したヒューズに
対し誤って完全な状態を検出するかもしれず、回路パラ
メータが誤った値に設定される原因となる。
【0013】したがって、この発明の利点は、プラスチ
ック集積回路パッケージに実装された集積回路素子にお
いてヒューズトリミングを提供することである。しかし
ながら、この発明は封じ込め前のヒューズトリミングも
またもちろん支持することができる。
【0014】この発明の別の利点はオンチップ回路のみ
を用いてオンチップヒューズを切断することを提供する
ことである。
【0015】この発明のさらなる別の利点は、ヒューズ
の再成長を取除くことによって、ヒューズトリミング回
路により発生される回路パラメータにおける誤りを取除
くことである。
【0016】この発明のさらなる別の利点は、ほとんど
切断されかけたヒューズを有する集積回路素子が完全な
機能素子ではないとして拒否できるよう、そのようなほ
とんど切断されかけたヒューズに対しテストを行なうこ
とである。
【0017】この発明のさらなる利点および特徴は、こ
の発明の好ましい実施例を示す添付の図面と関連させて
考慮された場合、以下の説明および前掲の特許請求の範
囲から明らかとなる。
【0018】
【発明の概要】この発明は複数の回路素子を含む電気回
路とともに使用するための装置を提供する。複数の回路
素子は回路内のその複数の回路素子のうちの少なくとも
1つのそれぞれの回路素子の切換え可能な電気的結合の
ために配置される。それぞれの回路素子の少なくとも1
つはコードに応答してコードが第1の値を有するときそ
の少なくとも1つのそれぞれの回路素子を回路内に電気
的に含むようにし、コードが第2の値を有するときその
少なくとも1つのそれぞれの回路素子を回路から電気的
に排除する。装置は、装置内のある位置に電位を確立す
る、電気的に遮断可能な回路素子を含み、遮断可能回路
素子が遮断された状態にあるとき電位は第1の電位レベ
ルにあり、遮断可能回路素子が遮断されていない状態に
あるとき電位は第2の電位レベルにある。装置は遮断可
能回路素子と作動的に接続されるレベル読出ユニットを
さらに含み、レベル読出ユニットは電位が第1の電位レ
ベルにあるとき第1の値および第2の値のうちの一方の
値でコードを発生させ、レベル読出ユニットは電位が第
2の電位レベルにあるとき第1の値および第2の値のう
ちの他方の値でコードを発生させる。装置は、遮断可能
回路素子と作動的に接続され、第1の制御信号に応答し
て遮断可能回路素子を遮断されていない状態から遮断さ
れた状態に変化させるよう構成される状態変更ユニット
をさらに含む。装置は、状態変更ユニットと作動的に接
続され、第1の制御信号を発生する制御回路をさらに含
む。
【0019】この発明は複数の回路素子を含む電気回路
とともに使用するための装置をさらに提供し、複数の回
路素子は、複数の活性化信号に応答して複数の回路分岐
を出力ノードに選択的に結合するための複数のスイッチ
ング手段を含む。複数の活性化信号のうちの関連する活
性化信号が第1の値を有するとき複数のスイッチング素
子のうちのそれぞれのスイッチング素子は各々、複数の
回路分岐のうち関連するそれぞれの回路分岐を出力ノー
ドに結合し、関連する活性化信号が第2の値を有すると
きそれぞれのスイッチング素子は各々、関連するそれぞ
れの回路分岐を出力ノードから切離す。装置は回路を遮
断するための遮断手段を含み、遮断手段は装置内のノー
ドに電位を確立し、遮断手段は第1の電位レベルに電位
を確立するための遮断された状態と第2の電位に電位を
確立するための遮断されていない状態とを有する。装置
は、遮断手段と作動的に接続され、電位を検知して電位
が第1の電位のレベルにあるとき第1の値または第2の
値のうちの一方の値を有するコードを発生するための検
知手段をさらに含み、検知手段は電位が第2の電位レベ
ルにあるとき第1の値および第2の値のうちの他方の値
でコードを発生する。装置は、遮断手段と作動的に接続
され、第1の制御信号に応答して遮断手段を遮断されて
いない状態から遮断された状態に変化させるための状態
変更手段をさらに含む。装置は、状態変更手段に作動的
に接続され、第1の制御信号を発生するための制御手段
をさらに含む。装置は、検知手段と作動的に接続され、
検知手段からコードを受取り複数の活性化信号を発生す
るためのデコーダ手段をさらに含む。
【0020】この発明はさらに、複数の回路分岐の少な
くとも1つを出力ノードと選択的に結合するための方法
を提供し、複数の回路分岐のうちのそれぞれの回路分岐
は各々、複数のスイッチング素子のうちの1つのそれぞ
れのスイッチング素子を含み、それぞれのスイッチング
素子は、それぞれの回路分岐の各々を出力ノードと電気
的に結合するよう、複数の活性化信号のうちの1つのそ
れぞれの活性化信号に応答する。それぞれの活性化信号
が第1の値を有するときそれぞれのスイッチング素子は
各々、それぞれの回路分岐を出力ノードと結合し、それ
ぞれの活性化信号が第2の値を有するときそれぞれのス
イッチング素子は各々、それぞれの回路分岐を出力ノー
ドから切離す。この方法は、ある位置で電位を確立す
る、電気的に遮断可能な回路素子を提供するステップを
含み、遮断可能回路素子が遮断された状態にあるとき電
位は第1の電位レベルにあり、遮断可能回路素子が遮断
されていない状態にあるとき電位は第2の電位レベルに
ある。この方法は第1の電位レベルまたは第2の電位レ
ベルの一方の電位を検出し、電位が第1の電位レベルに
あるとき第1の値および第2の値のちうちの一方の値で
コードを発生し、電位が第2の電位レベルにあるとき第
1の値および第2の値のうちの他方の値でコードを発生
するステップとをさらに含む。この方法は複数の活性化
信号を発生するためにコードをデコードするステップを
さらに含む。
【0021】この発明を明確にかつ容易に理解するため
に、同様の素子は様々な図面において同様の参照番号で
示される。
【0022】
【実施例の詳細な説明】図1はこの発明の装置10の好
ましい実施例の概略図である。好ましい実施例におい
て、装置10は第1の抵抗器14ならびに抵抗器のネッ
トワーク16a−16hおよびトランジスタ18a−1
8hを介して出力ノード20に結合される電圧源12を
含む。
【0023】装置10は第1のヒューズ回路22、第2
のヒューズ回路24および第3のヒューズ回路26をさ
らに含む。ヒューズ回路の構造および動作は図2と併わ
せて詳細に論じられる。ヒューズ回路の各々は入力とし
て制御信号ENBおよびRESETを受ける。加えて、
第1のヒューズ回路22は入力として制御信号Xを受け
る。第2のヒューズ回路24は入力として制御信号Yを
受ける。第3のヒューズ回路26は入力として制御信号
Zを受ける。
【0024】装置10は制御回路30をさらに含む。制
御回路30は制御信号ENB、RESET、X、Yおよ
びZを発生する。制御回路30は、制御信号のタイミン
グおよび印加を制御するための1つまたは2つ以上の予
め定められた命令のプログラムの制御下にあってもよ
い。
【0025】動作において、電圧源12は、電圧源12
から第1の抵抗器14および抵抗器16a−16hを介
して接地ノード32に電流を流す電圧を発生する。トラ
ンジスタ18a−18hの各々は、デコーダ28によっ
て、活性化線21a−21hを介してトランジスタ18
a−18hのそれぞれのゲート端子19a−19hに供
給される活性化信号に応答する。印加された活性化信号
に応答して、トランジスタ18a−18hはその関連す
る抵抗器16a−16hを出力ノード20に結合する。
好ましくは各抵抗器16a−16hは同一である。さら
に好ましくは各トランジスタ18a−18hは同一であ
る。こうして出力ノード20での電位は接地ノード32
の電位と電圧源12により生じる電位との間の8つの別
個の値のうちの任意の1つになるように選択されるだろ
う。この電圧はそれから、出力ノード20と結合される
(図示されていない)回路を介して1つまたはそれより
多い回路パラメータを設定するために用いてもよい。
【0026】デコーダ28は好ましくは当該技術におい
て周知のタイプの3−8デコーダである。デコーダ入力
27に与えられる3ビットコードに応答して、デコーダ
は出力29で8ビットの出力信号を発生し、そのうち1
ビットのみが論理1の値を有する。デコーダ28の入力
に供給された3ビットコードの各ビットは第1のヒュー
ズ回路22、第2のヒューズ回路24および第3のヒュ
ーズ回路26のうちのそれぞれの1つによって発生され
る。
【0027】図1に示されるこの発明の実施例は例示に
すぎないことを理解されたい。出力ノード20に与えら
れる信号を制御するための活性化信号を発生するため
に、ヒューズ回路22、24および26のような、任意
の数のヒューズ回路が利用可能であることを当業者は認
識するであろう。同様に、活性化信号をデコードするた
めに、デコーダ28のような、任意の数のデコーダを使
用することまたはデコーダを全く使用しないことも可能
である。さらに、出力ノード20で適当な信号レベルを
発生するために、抵抗器およびトランジスタの任意の適
当なネットワークを利用してもよい。この発明は図1ま
たは図2に示される回路そのものに限定されるものでは
ない。
【0028】図2は図1に示される装置10とともに用
いられるヒューズ回路の概略図である。図2において、
ヒューズ回路22はヒューズ40、ヒューズ切断回路4
2、ヒューズ読出回路44および不能化スイッチ46を
含む。ヒューズ回路22は切断入力56、可能化入力5
8、リセット入力76および出力84を含む。
【0029】ヒューズ40は集積回路を形成する導体層
のいずれから作製されてもよい。好ましくはヒューズは
第1の平坦なポリシリコンから作製される。低レベル
の、与えられる電流に応答してヒューズ40が短絡とし
て現れるよう、ヒューズは比較的小さい抵抗、好ましく
は200オームを有するべきである。高レベルの、与え
られる電流に応答して、ヒューズ40は好ましくは切断
され、20メグオームのオーダで抵抗を有する、抵抗の
大きな状態に移行する。ヒューズ40は第1のノード5
0に結合される第1の端部41と接地ノード48に結合
される第2の端部43とを有する。こうして、ヒューズ
40は回路を遮断するための遮断手段を形成し、ヒュー
ズ40はヒューズ回路22内のノード50に電位を確立
する。ヒューズ40はこうしてノード50に第1の電位
レベルで電位を確立するための遮断された状態とノード
50に第2の電位レベルで電位を確立するための遮断さ
れていない状態とを有する。
【0030】ヒューズ切断回路42は切断電流源52と
切断スイッチ54とを含む。切断スイッチ54は制御回
路30(図1)によって切断入力56に与えられる信号
に応答して閉じる。図2に示されるように、切断電流源
52はENB入力58に結合される単一の制御入力60
を有する。このように、切断電流源52は制御回路30
によってENB入力58に供給された可能化信号に応答
する。
【0031】動作において、切断電流源52は制御入力
60で可能化信号に応答して切断電流を発生する。切断
電流は好ましくは約15mAであり、切断電流源52は
好ましくはこの大きさの電流を供給するためのバイポー
ラトランジスタ(図示せず)を含む。切断電流源52は
また切断電流の供給を制御するための電界効果トランジ
スタ(図示せず)を含んでもよい。切断入力56で受け
た切断制御信号に応答し、切断スイッチ54が閉じて切
断電流源52をヒューズ40に結合する。好ましくは切
断スイッチ54は切断電流をヒューズ40に約10μs
ecの間結合する。切断スイッチ54は好ましくは電界
効果トランジスタ(図示せず)を含む。切断電流に応答
して、ヒューズ40は切断し、その完全なまたは遮断さ
れていない状態から切断されたまたは遮断された状態へ
変化する。こうして、ヒューズ切断回路42は、ヒュー
ズ40に作動的に接続され、切断入力56で第1の制御
信号に応答してヒューズ40を遮断されていない状態か
ら遮断された状態に変化させるための状態変更手段を形
成する。
【0032】ヒューズ読出回路44は作動電流源62、
テスト電流源64、抵抗器66およびコンパレータ68
を含む。作動電流源62はENB入力58に結合される
制御入力70を有する。制御回路30(図1)からEN
B入力58で受けた制御信号に応答して、作動電流源6
2は抵抗器66を介してヒューズ40に電流を供給す
る。この電流は好ましくは約1μAである。抵抗器66
は好ましくは10Kオームであり、好ましくは、ヒュー
ズ40が完全なまたは遮断されていない状態にあるとき
のヒューズ40の抵抗よりもはるかに大きい値である。
【0033】テスト電流源64はENB入力58と結合
される第1の制御入力72を有する。テスト電流源64
はまたリセット入力76に結合される第2の制御入力7
4を含む。図2に図示されるように、テスト電流源64
は第1の制御入力72および第2の制御入力74の両方
が論理レベル1にあるときのみテスト電流を供給する。
こうしてリセット入力76およびENB入力58に与え
られた制御信号に応答して、テスト電流源64は抵抗器
66を介してヒューズ40にテスト電流を供給する。こ
の電流は好ましくは約100μAである。
【0034】コンパレータ68はノード50でヒューズ
40の第1の端部41に結合される第1の入力78、基
準電圧源86に結合される第2の入力80、可能化入力
88およびヒューズ回路22の出力84に結合される出
力82を有する。当業者には理解されるように、コンパ
レータ68は入力78の電圧を入力80の電圧と比較す
る。入力78に供給されるノード50の電圧が基準電圧
源86によって入力80に供給される基準電圧より大き
いとき、コンパレータ68は出力84で第1の値または
第2の値のうちの一方の値を有する電圧を発生する。ノ
ード50の電圧が基準電圧源86により供給される基準
電圧より小さいとき、コンパレータ68は出力84で第
1の値および第2の値のうちの他方の値を有する電位を
発生する。不能化スイッチ46はENB入力58に与え
られる制御信号に応答して動作する。不能化スイッチ4
6は好ましくは電界効果トランジスタ(図示せず)を含
む。ENB入力58に与えられる制御信号が切断電流源
52、作動電流源62およびテスト電流源64を可能化
する値を有するとき、不能化スイッチ46は開く。EN
B入力58に与えられる制御信号が切断電流源52、作
動電流源62およびテスト電流源64を不能化してこれ
らの電流源が電流を供給しないと、不能化スイッチ46
は閉じ、ノード50を接地ノード48に結合する。この
態様で、この発明に従うと、ヒューズ回路22が動作中
でないときおよび電流が切断、読出し、テストのいずれ
のためにもヒューズに供給されないとき、ノード50は
ヒューズ40を介して接地ノード48に電気的に結合さ
れる。こうして、ヒューズが切断、読出しまたはテスト
のいずれもされていないとき、0ボルトの電位がヒュー
ズ40中に維持される。このことにより、ヒューズ40
が切断またはほとんど切断されかけた後でヒューズが再
成長する可能性が取除かれる。
【0035】作動電流源62はヒューズ40の状態を決
定するために用いられる。好ましくは装置10(図1)
を形成する1つまたはそれより多いヒューズ40は製造
プロセスの一部として切断される。その後、装置10を
含む集積回路素子(図示せず)が初期設定されるとき
(たとえば、パワーアップの間)に必ず、各ヒューズ4
0の状態は命令の予め定められたプログラムに応答して
好ましくは制御回路30(図1)の制御下で判断され
る。ヒューズ40の状態は、抵抗器66を介してヒュー
ズ40に電流を与えるよう作動電流源62を可能化する
ことにより判断される。ヒューズ40が完全な遮断され
ていない状態にあるならば、ノード50はおおよそ接地
ノード48の接地電位にある。コンパレータ68はノー
ド50の電圧を測定することによってヒューズ40が完
全であることを検出する。コンパレータ68は上述した
ように、適当な出力信号を出力84に供給する。出力8
4はデコーダ28(図1)に結合される。当業者により
理解されるように、出力84の信号はデコーダ28内で
ラッチされてもよい。
【0036】テスト電流源64はヒューズ40のほとん
ど切断されかけた状態を検出するために用いられる。ほ
とんど切断されかけた状態では、ヒューズ40はたとえ
ば200オームの、完全な状態の抵抗とたとえば20メ
グオームの切断された状態の抵抗との中間の抵抗を有す
る。ほとんど切断されかけた状態では、ヒューズ40は
10Kオームのオーダの抵抗を有するかもしれない。ほ
とんど切断されかけた状態をテストするために、制御信
号がENB入力58に与えられて作動電流源62を活性
化する。作動電流源62は好ましくは1μAのオーダの
電流をヒューズ40に与える。ヒューズ40がほとんど
切断されかけた状態にある場合、この小さい電流ではヒ
ューズ40は切断されているようにみえる。次に、制御
信号がリセット入力76に与えられてテスト電流源64
を活性化する。テスト電流源64はヒューズ40に10
0μAのオーダの電流を与える。ヒューズ40はほとん
ど切断されかけている場合、この電流ではヒューズ40
は完全なようにみえる。ヒューズ40のほとんど切断さ
れかけた状態の結果、ヒューズ回路22の出力84に与
えられた信号はリセット入力76での制御信号の印加に
応答して変化する。このような変化が検出されると、装
置10を含む集積回路素子(図示せず)は廃棄されるだ
ろう。
【0037】図3はこの発明の方法の好ましい実施例を
表わすフロー図である。この方法はステップ100でス
タートする。ステップ102で、この発明の方法が用い
られる集積回路素子の、予め定められた回路パラメータ
が評価される。予め定められた回路パラメータのすべて
がそれらのそれぞれの予め定められた許容範囲内にある
場合は、集積回路素子をトリミングする必要はない(つ
まり、どのヒューズも切断する必要はない)。その場合
は、「NO」分岐がステップ102からフロー経路10
4に沿ってとられて、この方法はステップ126で終結
する。1つまたはそれより多い回路パラメータが予め定
められた許容範囲外にある場合は、ステップ102から
「YES」分岐がとられてフロー経路106がとられ
る。
【0038】この方法はステップ108で継続し、ここ
で制御回路30(図1)はヒューズ回路22、24およ
び26を可能化する。制御回路30は、それぞれのヒュ
ーズ回路22、24、26のENB入力58(図2)で
制御信号を与えることにより、ヒューズ回路22、24
および26を可能化する。この方法はステップ110で
継続され、ここで制御回路30は選択されたヒューズ回
路22、24、26の切断入力56で制御信号を与える
ことにより、選択されたヒューズ40を切断する。
【0039】ステップ112で、制御信号がそれぞれの
ヒューズ回路22、24、26のENB入力58に与え
られて、それぞれのヒューズ回路22、24、26の作
動電流源62を可能化しそれぞれのヒューズ回路22、
24、26のコンパレータ68がそれぞれのヒューズ回
路22、24、26のヒューズ40の状態を検出できる
ようにする。ステップ114で、制御信号がそれぞれの
ヒューズ回路22、24、26のリセット入力76に与
えられて、それによりそれぞれのヒューズ回路22、2
4、26のテスト電流源64はそれぞれのヒューズ40
にテスト電流を与える。ステップ116で、コンパレー
タ68はそれぞれのヒューズ40の状態を検出する。ス
テップ118では、作動電流に応答してヒューズ回路2
2、24、26の各々により発生される値とテスト電流
に応答してヒューズ回路22、24、26の各々により
発生される値との間で変化が検出されれば、「YES」
分岐がステップ118からとられ、フロー経路120を
辿って、集積回路素子は機能しないとして拒否される。
このような変化が検出されない場合は、「NO」分岐が
とられ、フロー経路122を辿る。ステップ124で、
ヒューズ回路22、24、26のENB入力58に供給
された制御信号はデアサートされ、それによりヒューズ
回路22、24、26の、それぞれの不能化スイッチ4
6は閉じ、印加された電圧をそれぞれのヒューズ40の
各々から除去する。この方法はステップ126で終結す
る。
【0040】上記のことからわかるように、この発明
は、(抵抗器16a−16hを含む)複数の回路分岐を
出力ノード20と選択的に結合するための電気回路とと
もに使用するための方法および装置を提供する。(抵抗
器16a−16hを含む)回路分岐を出力ノード20と
選択的に結合するための活性化信号を発生するために、
1つまたはそれより多いヒューズ40が遮断されていな
い状態から遮断された状態に移行するかもしれない。こ
の発明は、プラスチックパッケージに封じ込められる集
積回路素子とともに使用されるとき、集積回路素子にお
けるヒューズ40が封じ込めの後でオンチップ回路のみ
を用いて切断できるという点で、特に有用性を有する。
加えて、この発明はオンチップヒューズ40のほとんど
切断されかけた状態を判断するためのテストを可能にす
る。そのようなほとんど切断されかけたヒューズ40を
有する素子はヒューズ再成長による信頼性の問題を取除
くために廃棄されるであろう。また、この発明は、ヒュ
ーズ再成長の可能性を取除くために、ヒューズ切断およ
びヒューズ読出動作の間を除いて、すべてのヒューズ4
0の第1の端部41と第2の端部43との短絡を提供す
る。
【0041】ここで与えられた詳細な図面および具体的
な実施例はこの発明の好ましい実施例を記述するものだ
が、それらは例示を目的とするものであること、この発
明の装置は開示される詳細および条件のみに限定されな
いことおよび様々な変更が前掲の特許請求の範囲により
定義されるこの発明の精神から逸脱することなくそこに
なされてもよいことを理解されたい。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の装置の好ましい実施例の概略図であ
る。
【図2】この発明に従う、図1のヒューズ回路の概略図
である。
【図3】この発明の方法の好ましい実施例を示すフロー
図である。
【符号の簡単な説明】
22 ヒューズ回路 24 ヒューズ回路 26 ヒューズ回路 30 制御回路 44 ヒューズ読出回路 54 切断スイッチ
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/822 // H01H 85/00 T 7161−5G (72)発明者 ミキ・モヤル アメリカ合衆国、78758 テキサス州、オ ースティン、ペニー・レーン、2600、ナン バー・209 (72)発明者 トーマス・ブレナン アメリカ合衆国、78745 テキサス州、オ ースティン、スパーソン・レーン、1211 (72)発明者 ゲネ・バンス アメリカ合衆国、78758 テキサス州、オ ースティン、ハントリッジ、902

Claims (27)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電気回路とともに使用するための装置で
    あって、前記回路は複数の回路素子を含み、前記複数の
    回路素子は前記回路内の前記複数の回路素子のうちの少
    なくとも1つのそれぞれの回路素子の切換え可能な電気
    的結合のために配置され、前記少なくとも1つのそれぞ
    れの回路素子はコードに応答して前記コードが第1の値
    を有するとき前記少なくとも1つのそれぞれの回路素子
    は前記少なくとも1つのそれぞれの回路素子を前記回路
    内に電気的に含むようにし、前記コードが第2の値を有
    するとき前記少なくとも1つのそれぞれの回路素子を前
    記回路から電気的に排除し、前記装置はさらに、 電気的に遮断可能な回路素子を含み、前記遮断可能回路
    素子は装置内のある位置に電位を確立し、前記電位は前
    記遮断可能回路素子が遮断された状態にあるとき第1の
    電位レベルにあり、前記電位は前記遮断可能回路素子が
    遮断されていない状態にあるとき第2の電位レベルにあ
    り、さらに、 前記遮断可能回路素子に作動的に接続されるレベル読出
    ユニットを含み、前記レベル読出ユニットは前記電位が
    前記第1の電位レベルにあるとき前記第1の値および前
    記第2の値のうちの一方で前記コードを発生し、前記レ
    ベル読出ユニットは前記電位が前記第2の電位レベルに
    あるとき前記第1の値および前記第2の値のうちの他方
    で前記コードを発生し、さらに、 前記遮断可能回路素子と作動的に接続される状態変更ユ
    ニットを含み、前記状態変更ユニットは第1の制御信号
    に応答して前記遮断可能回路素子を前記遮断されていな
    い状態から前記遮断された状態に変更するように構成さ
    れ、さらに、 前記状態変更ユニットと作動的に接続される制御回路を
    含み、前記制御回路は前記第1の制御信号を発生する、
    装置。
  2. 【請求項2】 前記レベル読出ユニットはテストレベル
    読出素子と動作レベル読出素子とを含み、前記テストレ
    ベル読出素子は第2の制御信号に応答して前記遮断可能
    回路素子にテスト信号を与え、前記テストレベル読出素
    子は前記電位が予め選択された電位レベルにあるとき第
    1のテスト値で前記コードを発生させ、前記予め選択さ
    れた電位レベルは前記第1の電位レベルおよび前記第2
    の電位レベルのうちの一方であり、前記テストレベル読
    出素子は前記電位が前記予め選択された電位レベルと予
    め選択された量だけ異なるとき第2のテスト値で前記コ
    ードを発生し、前記動作レベル読出素子は第3の制御信
    号に応答して前記遮断可能回路素子に動作信号を与え、
    前記動作レベル読出素子は前記電位が前記第1の電位レ
    ベルおよび前記第2の電位レベルのうちの一方にあると
    き第1の動作値で前記コードを発生し、前記動作レベル
    読出素子は前記電位が前記第1の電位レベルおよび第2
    の電位レベルのうちの他方にあるとき第2の動作値で前
    記コードを発生し、前記制御回路は前記テストレベル読
    出素子および前記動作レベル読出素子に作動的に接続さ
    れ、前記制御回路は前記第2の制御信号および前記第3
    の制御信号を発生する、請求項1に記載の、電気回路と
    ともに使用するための装置。
  3. 【請求項3】 前記制御回路に作動的に接続される切換
    可能素子をさらに含み、前記切換可能素子は第1の値を
    有する前記第3の制御信号に応答して電気的に閉じて前
    記第2の電位レベルに前記電位を確立し、前記切換可能
    素子は第2の値を有する前記第3の制御信号に応答して
    電気的に開いて前記第1の電位レベルに前記電位を確立
    し、前記動作レベル読出素子は前記第3の制御信号が前
    記第2の値を有するとき前記動作信号を前記遮断可能回
    路素子に与える、請求項2に記載の、電気回路とともに
    使用するための装置。
  4. 【請求項4】 前記レベル読出ユニットに作動的に接続
    され前記コードを受けるためのデコーダ回路をさらに含
    み、前記デコーダ回路は前記コードをデコードして複数
    の活性化信号を生じ、前記複数の回路素子のそれぞれの
    回路素子の各々は前記デコーディング回路に結合され前
    記複数の活性化信号のうちのそれぞれの活性化信号を受
    け前記それぞれの活性化信号に応答して前記回路内に前
    記それぞれの回路素子の各々を電気的に含む、請求項3
    に記載の、電気回路とともに使用するための装置。
  5. 【請求項5】 前記制御回路は予め定められた、命令の
    プログラムに応答して前記第1の制御信号、前記第2の
    制御信号および前記第3の制御信号を発生する、請求項
    3に記載の、電気回路とともに使用するための装置。
  6. 【請求項6】 前記状態変更ユニットは第1の動作の間
    に前記遮断可能回路素子を前記遮断された状態に変化さ
    せ、前記レベル読出ユニットは第2の動作の間に前記コ
    ードを発生し、前記切換可能素子は第3の動作の間に閉
    じて前記第2の電位レベルに前記電位を確立する、請求
    項5に記載の、電気回路とともに使用するための装置。
  7. 【請求項7】 前記遮断可能回路素子は前記位置に結合
    された第1の端子と、第2の端子とを含み、前記遮断可
    能回路素子は前記第1の端子と前記第2の端子との間に
    電流を伝導し、前記遮断可能回路素子は前記電流が予め
    定められたしきい値を超えると前記遮断されていない状
    態から前記遮断された状態に変化する、請求項6に記載
    の、電気回路とともに使用するための装置。
  8. 【請求項8】 前記切換可能素子は前記第1の端子およ
    び前記第2の端子に結合され、前記切換可能素子は前記
    第1の値を有する前記第3の制御信号に応答して前記第
    1の端子を前記第2の端子と電気的に結合する、請求項
    7に記載の、電気回路とともに使用するための装置。
  9. 【請求項9】 前記動作レベル読出素子は前記第1の端
    子と結合される第1の電流源を含み、前記切換可能素子
    が電気的に開いているとき前記動作信号は前記第1の電
    流源によって前記第1の端子で前記遮断可能回路素子に
    与えられる第1の電流を含む、請求項8に記載の、電気
    回路とともに使用するための装置。
  10. 【請求項10】 前記テストレベル読出素子は前記第1
    の端子と結合される第2の電流源を含み、前記切換可能
    素子が電気的に開いているとき前記テスト信号は前記第
    2の電流源によって前記第1の端子で前記遮断可能回路
    素子に与えられる第2の電流を含む、請求項9に記載
    の、電気回路とともに使用するための装置。
  11. 【請求項11】 前記状態変更ユニットは、前記第1の
    端子に結合され、前記切換可能素子が電気的に開いてい
    るとき、前記第1の端子で前記遮断可能回路素子に第3
    の電流を与えるための第3の電流源を含み、前記第3の
    電流は前記予め定められたしきい値を超える、請求項1
    0に記載の、電気回路とともに使用するための装置。
  12. 【請求項12】 前記遮断可能回路素子は前記第1の端
    子と前記第2の端子との間に結合されるヒューズを含
    み、前記ヒューズは前記遮断可能回路素子が前記遮断さ
    れていない状態にあるとき前記第1、第2および第3の
    電流の少なくとも1つを伝導するように適合される、請
    求項11に記載の、電気回路とともに使用するための装
    置。
  13. 【請求項13】 前記レベル読出ユニットは前記第1の
    端子と結合される第1の入力と予め定められた電位と結
    合される第2の入力とを有するコンパレータを含み、前
    記電位が実質的に前記第1の電位レベルにあるとき前記
    コンパレータは前記第1の値および前記第2の値の一方
    で前記コードを発生し、前記電位が実質的に前記第2の
    電位レベルにあるとき前記コンパレータは前記第1の値
    および前記第2の値の他方で前記コードを発生する、請
    求項12に記載の、電気回路とともに使用するための装
    置。
  14. 【請求項14】 電気回路とともに使用するための装置
    であって、前記電気回路は複数の回路素子を含み、前記
    複数の回路素子は複数の活性化信号に応答して複数の回
    路分岐を出力ノードに選択的に結合するための複数のス
    イッチング手段を含み、前記複数のスイッチング素子の
    うちのそれぞれのスイッチング素子は各々前記複数の活
    性化信号のうちの関連する活性化信号が第1の値を有す
    るとき前記複数の回路分岐のうちの関連するそれぞれの
    回路分岐を前記出力ノードと結合させ、前記それぞれの
    スイッチング素子は各々前記関連する活性化信号が第2
    の値を有するとき前記関連するそれぞれの回路分岐を前
    記出力ノードから切離し、 前記装置は、 回路を遮断するための遮断手段を含み、前記遮断手段は
    装置内でノードに電位を確立し、前記遮断手段は第1の
    電位レベルで前記電位を確立するための遮断された状態
    と第2の電位レベルで前記電位を確立するための遮断さ
    れていない状態とを有し、さらに、 前記遮断手段に作動的に接続され、前記電位を検知して
    前記電位が前記第1の電位レベルにあるとき第1の値ま
    たは第2の値のうちの一方の値を有するコードを発生す
    るための検知手段を含み、前記検知手段は前記電位が前
    記第2の電位レベルにあるとき前記第1の値および前記
    第2の値のうちの他方の値で前記コードを発生し、さら
    に、 前記遮断手段に作動的に接続され、第1の制御信号に応
    答して前記遮断手段を前記遮断されていない状態から前
    記遮断された状態に変化させるための状態変更手段と、 前記状態変更手段と作動的に接続され、前記第1の制御
    信号を発生するための制御手段と、 前記検知手段と作動的に接続され、前記検知手段から前
    記コードを受けて前記複数の活性化信号を発生するため
    のデコーダ手段とを含む、装置。
  15. 【請求項15】 前記検知手段はテストレベル読出手段
    を含み、前記テストレベル読出手段は第2の制御信号に
    応答して前記遮断手段にテスト信号を与え、前記テスト
    レベル読出手段は前記電位が予め選択された電位レベル
    にあるとき第1のテスト値で前記コードを発生し、前記
    予め選択された電位レベルは前記第1の電位レベルまた
    は前記第2の電位レベルのちうちの一方であり、前記テ
    ストレベル読出手段は前記電位が前記予め選択された電
    位と予め定められた量だけ異なるとき第2のテスト値で
    前記コードを発生し、前記制御手段は前記テストレベル
    読出手段と作動的に接続され、前記制御手段は前記第2
    の制御信号を発生する、請求項14に記載の、電気回路
    とともに使用するための装置。
  16. 【請求項16】 前記検知手段は動作レベル読出手段を
    さらに含み、前記動作レベル読出手段は第3の制御信号
    に応答して前記遮断手段に動作信号を与え、前記動作レ
    ベル読出手段は前記電位が前記第1の電位レベルまたは
    前記第2の電位レベルのうちの一方にあるとき第1の動
    作値で前記コードを発生し、前記動作レベル読出手段は
    前記電位が前記第1の電位レベルまたは前記第2の電位
    レベルのうちの他方のレベルにあるとき第2の動作値で
    前記コードを発生し、前記制御手段は前記レベル読出手
    段と作動的に結合し、前記制御手段は前記第3の制御信
    号を発生する、請求項14に記載の、電気回路とともに
    使用するための装置。
  17. 【請求項17】 前記遮断手段は前記ノードと結合され
    る第1の端子、および第2の端子を含み、前記遮断手段
    は前記第1の端子と前記第2の端子との間に電流を伝導
    し、前記遮断手段は前記電流が予め定められたしきい値
    を超えるとき前記遮断されていない状態から前記遮断さ
    れた状態に変化する、請求項16に記載の、電気回路と
    ともに使用するための装置。
  18. 【請求項18】 装置は前記制御手段と作動的に接続さ
    れ、第1の値を有する前記第3の信号に応答して電気的
    に閉じて前記第2の電位レベルで前記電位を確立する切
    換可能手段をさらに含み、前記切換可能手段は第2の値
    を有する前記第3の制御信号に応答して電気的に開いて
    前記第1の電位レベルで前記電位を確立し、前記動作レ
    ベル読出手段は前記第3の制御信号が前記第2の値を有
    するとき前記動作信号を前記遮断手段に与える、請求項
    17に記載の、電気回路とともに使用するための装置。
  19. 【請求項19】 前記状態変更手段は、前記第1の端子
    に結合され、前記切換可能手段が電気的に開くとき前記
    第1の端子で前記遮断手段に第1の電流を与えるための
    第1電流源を含み、前記第1の電流は前記予め定められ
    たしきい値を超える、請求項18に記載の、電気回路と
    ともに使用するための装置。
  20. 【請求項20】 動作レベル読出手段は、前記第1の端
    子に結合され、前記切換可能手段が電気的に開くとき前
    記遮断手段に前記動作信号を与えるための第2の電流源
    を含み、前記動作信号は前記第1の端子で前記第2の電
    流源によって前記遮断手段に与えられる第2の電流を含
    む、請求項19に記載の、電気回路とともに使用するた
    めの装置。
  21. 【請求項21】 前記第1の電流源手段は第1の動作の
    間に前記第1の電流を前記遮断手段に与え、前記第2の
    電流源手段は第2の動作の間に前記第2の電流を前記遮
    断手段に与え、前記スイッチング手段は第3の動作の間
    に電気的に閉じて前記第2の電位レベルで前記電位を確
    立する、請求項20に記載の、電気回路とともに使用す
    るための装置。
  22. 【請求項22】 前記制御手段は予め定められた、命令
    のプログラムに応答して前記第1の制御信号、前記第2
    の制御信号および前記第3の制御信号を発生する、請求
    項21に記載の、電気回路とともに使用するための装
    置。
  23. 【請求項23】 前記テストレベル読出手段は、第1の
    端子に結合され、スイッチング手段が電気的に開くとき
    前記テスト信号を与えるための第3の電流源手段を含
    み、前記テスト信号は前記第1の端子で前記遮断手段に
    与えられる第3の電流を含む、請求項22に記載の、電
    気回路とともに使用するための装置。
  24. 【請求項24】 前記検知手段は、前記遮断手段に結合
    され、前記電位を検知するための第1の入力および予め
    定められた電位レベルに結合される第2の入力を有する
    コンパレータ手段を含み、前記コンパレータ手段は前記
    電位と前記予め定められた電位レベルとを比較し、前記
    検知手段は前記電位が前記予め定められた電位レベルよ
    りも大きいとき前記第1の値および前記第2の値のうち
    一方の値で前記コードを発生し、前記検知手段は前記電
    位が前記予め定められた電位レベルよりも小さいとき前
    記第1の値および前記第2の値のうち他方の値で前記コ
    ードを発生する、請求項23に記載の、電気回路ととも
    に使用するための装置。
  25. 【請求項25】 複数の回路分岐の少なくとも1つを出
    力ノードと選択的に結合するための方法であって、前記
    複数の回路分岐のうちのそれぞれの回路分岐の各々は複
    数のスイッチング素子のうちのそれぞれのスイッチング
    素子を含み、前記それぞれのスイッチング素子は複数の
    活性化信号のうちのそれぞれの活性化信号に応答して前
    記それぞれの回路分岐を各々前記出力ノードと電気的に
    結合し、前記それぞれのスイッチング素子の各々は前記
    それぞれの活性化信号が第1の値を有するとき前記それ
    ぞれの回路分岐を前記出力ノードと結合し、前記それぞ
    れのスイッチング素子の各々は前記それぞれの活性化信
    号が第2の値を有するとき前記出力ノードから前記それ
    ぞれの回路分岐を切離し、前記方法は、 電気的に遮断可能な回路素子を提供するステップを含
    み、前記遮断可能回路素子はある位置に電位を確立し、
    前記電位は前記遮断可能回路素子が遮断された状態にあ
    るとき第1の電位レベルにあり、前記電位は前記遮断可
    能回路素子が遮断されていない状態にあるとき第2の電
    位レベルにあり、さらに、 前記第1の電位レベルまたは前記第2の電位レベルの一
    方で前記電位を検出するステップと、 前記電位が前記第1の電位レベルにあるとき第1の値お
    よび第2の値の一方の値でコードを発生し、前記電位が
    前記第2の電位レベルにあるとき前記第1の値および前
    記第2の値のうちの他方の値で前記コードを発生するス
    テップと、 前記コードをデコードして前記複数の活性化信号を発生
    するステップとを含む、方法。
  26. 【請求項26】 前記電気的に遮断可能な回路素子にテ
    スト信号を与えるステップと、第1のテスト値で前記コ
    ードを発生するステップと、前記遮断可能回路素子に動
    作信号を与えるステップと、第2のテスト値で前記コー
    ドを発生するステップと、前記第1のテスト値と前記第
    2のテスト値とを比較するステップとをさらに含む、請
    求項25に記載の、複数の回路分岐の少なくとも1つを
    出力ノードに選択的に結合するための方法。
  27. 【請求項27】 前記テスト信号は第1の電流を含み、
    前記動作信号は第2の電流を含む、請求項26に記載
    の、複数の回路分岐の少なくとも1つを出力ノードに選
    択的に結合するための方法。
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