JP2007108049A - 表面検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検査対象ワークに光沢がある被検査電子部品に対して、照明の発光部下に小型孔がある拡散板を用いることで、ハレーションを防止させ、容易に表明状態（異物、傷）を検出する表面検査方法を提供する。
【解決手段】検査対象ワーク５に照明３を照射してカメラ１により上記検査対象ワーク５の光沢を有した表面を検査する表面検査方法において、
上記照明３と上記検査対象ワーク５の間に設けたハレーション９を防止する拡散板４の小型孔６を、上記検査対象ワーク５に隣接させ、上記照明３の光を上記小型孔６を通過させて上記検査対象ワーク５に照射し、上記検査対象ワーク５の表面を検査する構成とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、検査対象ワークとなる光沢表面を有した被検査電子部品に照明を照射し、被検査電子部品の表面を画像認識により検査する表面検査方法に関するものである。

従来の表面検査方法では、ハレーション防止策として、照明部にカメラのレンズ部を囲む拡散板を設け、ハレーション防止をする照明が用いられてきた。なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報として、例えば、特許文献１が知られている。
特開昭６１−１３１４２号公報

しかしながら、前記従来の表面検査方法では、カメラのレンズ部を拡散板の挿通孔から突出させて使用する方法となり、レンズ部先端は細いものを使用する必要があり、また、小スペースに拡散板を仕込むにも照明サイズが大きくなり、取り付けに問題が発生し、小型化、作業性、価格性に対して課題を有していた。

本発明の表面検査方法は、前記課題を解決しようとするものであり、検査対象ワーク表面が光沢ある場合でも、ハレーションを防止でき、小型で安価に表面検査ができる安定した表面検査方法を提供するものである。

上記課題を解決するために本発明の表面検査方法は、
検査対象ワークに照明を照射してカメラにより上記検査対象ワークの光沢を有した表面を検査する表面検査方法において、
上記照明と上記検査対象ワークの間に設けたハレーションを防止する拡散板の小型孔を、上記検査対象ワークに隣接させ、上記照明の光を上記小型孔を通過させて上記検査対象ワークに照射し、上記検査対象ワークの表面を検査する構成を有し、
検査対象ワーク上に設置する照明と検査対象ワークに近接する位置に小型孔を設けた拡散板を取り付けた状態で照明を照射することで、照明の上方に位置するカメラにより、リング状の照明の孔および拡散板の小型孔を通過して、ハレーションを抑えた検査対象ワークの表面画像を容易に認識し、検査することができるという作用効果を有する。

本発明の表面検査方法は、小型孔付きの拡散板を検査対象ワーク上に設置し、上面から照射する照明の影響によるハレーション発生を抑えることができ、検査対象ワークの異物や傷が容易に検出でき、また、表面検査装置を安価で小型に製作できるという効果を有する。

以下、本発明の一実施の形態について図面を用いて説明する。

図１は、本発明の一実施の形態における表面検査方法の構成図である。

図２は、本発明の一実施の形態における小型孔を設けた拡散板の模式図である。

図３は、拡散板を仕込まない、従来の電子部品検査対象ワークの表面状態画像を示す図である。

図４は、本発明の一実施の形態における拡散板を仕込んだ電子部品検査対象ワークの表面状態画像を示す図である。

図１において、検査対象ワーク５は表面に光沢があり、照明をそのまま表面に照射するとハレーション９が発生し、表面の外観検査を行う際に、異物７か、傷８か、ハレーション９かの区別がつかない。

撮像用カメラ１のレンズ２を用い、検査したい電子部品である検査対象ワーク５と照明３との間に小型孔付き拡散板４を仕込み、照明３を照射して表面状態画像を撮像する。

このように、照明３の直接光を当てずに拡散板４を介して照明を当てることにより、検査対象ワーク５に均一な拡散光を照射することができ、電子部品検査対象ワーク５は、図４に示すように、ハレーションが発生しない表面状態画像を得ることができる。

この小型孔付き拡散板４は、その小型孔６が検査対象ワーク５の真上近傍に隣接するように、照明３の下方に配置してある。

図２に示す小型孔付き拡散板４の小型孔６は、検査対象ワーク５よりも大きい孔を拡散板４に施したものであり、図１に示す位置に設置すると、上面から照射した照明３が、拡散板４を通して検査対象ワーク５に照明が照射される。

それにより、拡散板４を通過した光が検査対象ワーク５に照射され、図４に示すようなハレーションが抑えられた検査容易な表面状態画像を得ることができ、ハレーション９の影響をうけることなく、異物７や、傷８の検査を行うことができる。

なお、検査対象ワーク５においては、表面光沢のある電子部品に限定されることなく、表面光沢がある対象物（検査対象ワーク）であれば同じく検査することが可能である。

従って、小型孔付き拡散板４を使用した表面検査方法により、検査対象ワーク５の表面光沢によるハレーション９を防止することができ、検査対象ワーク５の異物７や傷８を容易に検出することが可能になる。

また、小型孔付き拡散板４の小型孔６は、検査対象ワーク５よりも大きい孔としたが、検査対象ワーク５が検査（画像認識）できるくらいのサイズで、検査対象ワーク５とほぼ同じ大きさのサイズが、ハレーション９を防止する際には、同等以上の作用効果を奏することができる。

本発明の表面検査方法は、検査対象ワーク上面から照射する照明の影響によるハレーション発生を抑えることができて検査対象ワークの異物や傷が容易に検出でき、光沢表面を有した被検査電子部品に照明を照射し、被検査電子部品の表面を画像認識により検査する表面検査方法等の用途として有用である。

本発明の一実施の形態における表面検査方法の構成図 本発明の一実施の形態における小型孔を設けた拡散板の模式図 従来の電子部品検査対象ワークの表面状態画像を示す図 本発明の一実施の形態における拡散板を仕込んだ電子部品検査対象ワークの表面状態画像を示す図

符号の説明

１ 撮像用カメラ
２ レンズ
３ 照明（照射用照明）
４ 拡散板（小型孔付き拡散板）
５ 検査対象ワーク（被検査電子部品）
６ 小型孔
７ 異物
８ 傷
９ ハレーション

Claims (1)

1. 検査対象ワークに照明を照射してカメラにより上記検査対象ワークの光沢を有した表面を検査する表面検査方法において、
   上記照明と上記検査対象ワークの間に設けたハレーションを防止する拡散板の小型孔を、上記検査対象ワークに隣接させ、上記照明の光を上記小型孔を通過させて上記検査対象ワークに照射し、上記検査対象ワークの表面を検査する表面検査方法。

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