JP2007101491A - 変位センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】変位センサ100を構成するセンサ本体部300は、測定子200を変位可能に支持する支持プレート320と、測定子200に取り付けられ基準反射面411を有する反射ミラー410と、所定位置に固定され参照反射面421を有する参照反射板420と、光束を射出する光源431と、基準反射面411および参照反射面421にて反射され重ね合わされた光学像を撮像する撮像素子441と、撮像された光学像に基づいて基準反射面411および参照反射面421からの各反射光が重ね合わされることで生じる干渉縞の強度分布に関する強度分布情報を認識し、強度分布情報に基づいて接触部211の変位位置を算出する演算処理手段450とを備えている。
【選択図】図1
Description
このような測定装置において、接触部が被測定物表面に接触した際における接触部の微小変位に基づいて被測定物表面を検出する変位センサとして接触プローブが使用される(例えば、特許文献1参照)。
形状測定装置10は、接触プローブ11と、この接触プローブ11を被測定物に沿って三次元的に移動させる駆動機構12とを備えている。接触プローブ11は、図8に示すように、先端に接触部14を有するスタイラス13と、スタイラス13を支持するセンサ本体部15とを備えている。センサ本体部15は、スタイラス13をxp、yp、zp方向の一定の範囲内で変位可能に支持するとともに接触部14の変位方向および変位量(変位位置)を検出する。
センサ本体部15は、互いに直交する軸方向をX軸方向、Y軸方向、およびZ軸方向とした場合に、Z軸方向に移動可能とする第1の移動機構と、第1の移動機構と接続しY軸方向に移動可能とする第2の移動機構と、第2の移動機構と接続しX軸方向に移動可能とする第3の移動機構とを備える。そして、第3の移動機構がスタイラス13を支持固定する。また、各移動機構の内部には、それぞれ測定機構が設けられている。各測定機構は、いわゆるLVDT(Linear Variable-Diffential Transformer)機構で構成され、各移動機構のX軸方向、Y軸方向、およびZ軸方向の変位位置を検出することで、接触部の変位位置を検出する。
また、3つの測定機構により3つの移動機構の変位位置をそれぞれ検出する構造であるため、接触部の変位位置の検出精度が3つの移動機構の製造精度に大きく左右され、接触部の変位位置を高精度に検出することが難しい。
そして、センサ本体部は、支持手段、基準反射手段、参照反射手段、光束射出手段、撮像手段、および演算処理手段で構成されているため、以下に示すように、接触部の変位位置を検出できる。
すなわち、光束射出手段から光束を射出させ、基準反射面および参照反射面に光束を照射する。
また、基準反射面および参照反射面にて反射され撮像面上に重ね合わされた光学像を撮像手段に撮像させる。
そして、演算処理手段は、撮像手段にて撮像された光学像に基づいて基準反射面および参照反射面からの各反射光が重ね合わされることで生じる干渉縞の強度分布に関する強度分布情報を認識する。また、演算処理手段は、認識した強度分布情報に基づいて、例えば認識した強度分布情報の変化を検出することで、基準反射面および参照反射面の相対位置の変化を算出する。ここで、基準反射手段は、測定子に取り付けられ、測定子の変位に応じて変位する。このため、演算処理手段は、基準反射面および参照反射面の相対位置の変化を算出することで、基準反射面の変位位置、すなわち、接触部の変位位置を算出する。
ここで、演算処理手段による位相情報の抽出方法としては、特に限定されず、例えば、位相シフト法やフーリエ変換法等のいずれの方法を採用しても構わない。
本発明によれば、演算処理手段が干渉縞の位相の変化量に基づいて接触部の変位位置を算出するので、簡単な演算処理にて高精度かつ迅速に接触部の変位位置を算出できる。
ところで、参照反射手段はいずれの位置に配設されても、基準反射手段および参照反射手段からの各反射光を重ね合わせた光学像に干渉縞が生成される。例えば、参照反射手段の配設位置としては、光束射出手段から射出され基準反射手段に至る光束の光路上に配設してもよく、あるいは、光束射出手段から射出され基準反射手段に至る光束の光路とは異なる光路上に配設しても構わない。しかしながら、参照反射手段を、光束検出手段から射出され基準反射手段に至る光束の光路とは異なる光路上に配設する構成を採用した場合には、光束射出手段から射出される光束の光路を2つ形成する必要があり、センサ本体部の小型化を阻害する恐れがある。
本発明によれば、光束射出手段から射出され基準反射手段に至る光束の光路上に参照反射手段が配設されているので、光束射出手段から射出される光束の光路を1つのみ形成すればよく、センサ本体部の小型化を図れる。
ところで、干渉縞の強度分布情報に基づいて基準反射面の変位位置(接触部の変位位置)を算出する際には、基準反射面の形状の算出方法とは異なり、光学像内における干渉縞の強度分布情報のうち直交する2軸方向のみの強度分布情報に基づいて接触部の変位位置を算出することが可能である。
本発明の一実施例で示すように、撮像手段を十字状に配設されたラインセンサで構成すれば、光学像内における干渉縞の強度分布情報のうち直交する2軸方向のみの強度分布情報を含む情報を撮像手段から演算処理手段に出力できる。このため、演算処理手段において、最小限の強度分布情報のみを用いるため、情報量を削減して情報の処理時間を短縮し迅速に接触部の変位位置を算出できる。
本発明によれば、支持手段が基準反射手段を含む測定子の重心位置にて測定子を変位可能に支持するので、自重により測定子の姿勢が変更されることがない。このため、例えば、変位センサを種々の姿勢で用いた場合であっても、接触部の変位が測定子の自重による姿勢変更の影響を受けることがなく被測定物への接触による変位のみとなり、接触部の変位位置を高精度に検出できる。
図1は、変位センサとしての接触プローブ100の全体構成を示す断面図である。
なお、図1では、説明の便宜上、紙面上下方向をZ軸とし、該Z軸に直交する2軸を、X軸(紙面左右方向)、Y軸(紙面垂直方向)とする。
接触プローブ100は、例えば、図7に示す形状測定装置10の接触プローブ11として用いることができ、被測定物表面に当接した際に接触圧によって変位する測定子200と、この測定子200を変位可能に支持するとともに測定子200の変位位置を検出するセンサ本体部300とを備える。
なお、以下では、前記初期状態においてスタイラス210の軸線の延長線を中心線Aと記載する。
ハウジング部310は、内部の収納空間311に支持プレート320および変位位置検出手段400を収納配置する。
図2は、支持プレート320の構造の一例を示す平面図である。
この支持プレート320としては、例えば、図2に示すような弾性体である薄板ばね等を採用できる。具体的に、この支持プレート320は、3本の切込み線321を有し、3本の切込み線321は支持プレート320の中心C1を点対称の中心として対称に設けられている。各切込み線321は、円弧部322と、直線部323とを有し、略くの字状に曲がっている。そして、3本の切込み線321が支持プレート320の中心C1を取り巻いて配置され、一の切込み線321の円弧部322の内側に他の切込み線321の直線部323が位置する。切込み線321の部分において支持プレート320がZ軸方向に変位可能となり、測定子200がこの支持プレート320の中心に形成された孔324に取り付けられることにより測定子200が三次元的に変位可能に支持される。
また、本実施形態では、支持プレート320は、変位位置検出手段400を構成する後述する反射ミラー410を含めた測定子200の重心位置にて測定子200を変位可能に支持する。
ビームスプリッタ432は、中心線A上に配設され、光源431からの光束を参照反射板420および反射ミラー410に向けて反射するとともに、参照反射板420および反射ミラー410からの各反射光を透過させる。
コリメートレンズ433は、中心線A上でビームスプリッタ432および参照反射板420の間に配設されている。
図3は、撮像面441A上に結像した光学像Fの一例を示す図である。
所定の間隔を空けて配置された参照反射板420および反射ミラー410にてそれぞれ反射された各反射光が重ね合わされることで、参照反射板420および反射ミラー410の光路差に応じて、光学像Fには、干渉縞IFが生じる。
撮像素子441は、参照反射板420および反射ミラー410にてそれぞれ反射された各反射光の該撮像素子441への入射方向に直交する平面(XY平面、撮像面441A)内で、中心線Aに一致する位置Oから互いに直交する方向に延出する十字状に配設されたラインセンサで構成されている。撮像素子441の十字形状の各延出方向は、上述したX軸方向およびY軸方向に一致する。そして、撮像素子441は、撮像面441A上の光学像を撮像して電気信号を演算処理手段450に出力する。
ところで、接触部211が被測定物に接触し測定子200の姿勢が変化すると、測定子200の変位に応じて参照反射面421に対する基準反射面411の相対位置が変位(参照反射面421および基準反射面411間の光路差が変化)し、上述した干渉縞IFの移動や干渉縞IFの縞数の変化等、干渉縞IFに変化が生じる。そして、演算処理手段450は、撮像素子441からの電気信号に基づいて、干渉縞IFの変化を認識し、基準反射面411の変位位置、すなわち、接触部211の変位位置を算出する。より具体的には、演算処理手段450は、撮像素子441からの電気信号に基づいて、干渉縞IFの位相に関する位相情報を抽出し、該位相情報の変化に基づいて基準反射面411の変位位置、すなわち、接触部211の変位位置を算出する。
本実施形態では、演算処理手段450は、位相情報を電子位相シフトモアレ法に基づく方法にて抽出する。
図4は、演算処理手段450による接触部211の変位位置を算出する処理動作を示すフローチャートである。
図5は、基準反射面411の姿勢の変化と接触部211の位置の変化を説明するための図である。具体的に、図5(A)は、参照反射板420、反射ミラー410、および測定子200を模式的に示した図である。図5(B)は、図5(A)における測定子200の先端部分を拡大した図である。なお、図5において、破線は、測定子200および反射ミラー410の初期状態を示し、実線が測定子200および反射ミラー410の変位した状態を示している。
先ず、演算処理手段450は、撮像素子441からの電気信号に基づいて、X軸方向およびY軸方向の干渉縞IFの強度分布を認識する(ステップS1)。
具体的に、X軸方向の干渉縞IFの強度分布I(x)(強度分布情報)は、以下の式(1)で表される。
先ず、式(1)に基づいて、αθy、tの値を算出する処理動作を説明する。
ここで、式(1)を簡略化するために、ω=(αθy+κθy)/λ、g(x)=h(x)+s+tとして、式(1)を以下の式(3)に置き換える。
+B(x)cos[2π{ωx+g(x)}]cos[2πωrefx+φi]
=A(x)Ccos[2πωrefx+φi]
+(B(x)C/2)・cos[2π{(ω+ωref)x+g(x)}+φi]
+(B(x)C/2)・cos[2π{(ω−ωref)x+g(x)}−φi]・・・・・・(5)
ステップS3の後、演算処理手段450は、式(6)に基づいて、干渉縞IFのX軸方向の位相に関する位相情報Φ(x)を抽出する(ステップS4)。
具体的に、演算処理手段450は、式(6)において参照情報の位相φiを0、π/2、π、3π/2として、位相が90度ずつシフトした4つのモアレ縞のX軸方向の強度分布情報I1 ´、I2 ´、I3 ´、I4 ´を生成する。
=2π{(ω−ωref)x+g(x)}・・・・・・(7)
ここで、位相情報Φ(x)は、上述したように置き換えたωおよびg(x)を元に戻すと、以下の式(8)で表される。
=2π{(αθy/λ)x+t}・・・・・・(10)
具体的に、演算処理手段450は、ステップS5において生成したX軸方向の位置に応じた変化量情報ΔΦ(x)の数値データに対して、最小二乗法等の近似処理を実施することで以下の式(11)に示す一次関数を算出する。
(1)支持プレート320が弾性体から構成され測定子200を三次元的に変位可能に支持するので、従来の3つの移動機構により測定子を三次元的に変位可能に支持する構成と比較して、可動部である支持プレート320を単体で構成でき、支持プレート320の構造の簡素化を図れかつ、軽量化を図れる。このため、測定子200を被測定物に沿って高速に移動させた場合であっても、測定子200を被測定物の形状に沿って高速に変位させることができ、被測定物の形状を迅速に測定できる。
前記実施形態では、演算処理手段450は、電子位相シフトモアレ法に基づく方法(ステップS2〜S6)により、接触部211の変位位置を算出していたが、干渉縞IFの強度分布に関する強度分布情報I(x)、I(y)に基づいて接触部211の変位位置を算出すれば、その他のいずれの方法を採用しても構わない。
例えば、演算処理手段450は、位相情報を電子位相シフトモアレ法に基づく方法により抽出していたが、これに限らず、位相シフト法やフーリエ変換法等の他の方法により位相情報を抽出する構成を採用してもよい。
また、例えば、強度分布情報I(x)、I(y)において、初期状態および測定子200の変位時でのX軸方向およびY軸方向での干渉縞の振幅強度成分B(x)、B(y)の変化を検出し、該変化に基づいて接触部211の変位位置を算出する方法を採用してもよい。
例えば、前記実施形態で説明した配置位置に対して、光源431の配置位置と、撮像光学系440の配置位置とを逆の配置位置にした構成を採用してもよい。
また、例えば、前記実施形態で説明した配置位置に対して、参照反射板420の配置位置を、ビームスプリッタ432を挟んで光源431の配置位置に対向する配置位置にした構成を採用してもよい。
前記実施形態では、撮像素子441は、撮像面441A上に十字状に配設されたラインセンサで構成されていたが、これに限らず、例えば、CCD(Charge Coupled Device)やMOS(Metal Oxide Semiconductor)センサ等を採用し、図6に示すように、撮像面441A上の略矩形領域RAや干渉縞の全領域Fを撮像する構成を採用してもよい。
したがって、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
200・・・測定子
211・・・接触部
300・・・センサ本体部
320・・・支持プレート(支持手段)
410・・・反射ミラー(基準反射手段)
411・・・基準反射面
420・・・参照反射板(参照反射手段)
421・・・参照反射面
431・・・光源(光束射出手段)
441・・・撮像素子(撮像手段)
441A・・・撮像面
450・・・演算処理手段
F・・・光学像
IF・・・干渉縞。
Claims (5)
- 被測定物に接触する接触部を有する測定子と、前記測定子を変位可能に支持するとともに前記接触部の変位位置を検出するセンサ本体部とを備え、
前記センサ本体部は、
前記測定子を変位可能に支持する支持手段と、
前記測定子に取り付けられ、入射した光束の少なくとも一部を反射可能とする基準反射面を有する基準反射手段と、
所定位置に固定され、入射した光束の少なくとも一部を反射可能とする参照反射面を有する参照反射手段と、
前記基準反射面および前記参照反射面に向けて光束を射出する光束射出手段と、
前記基準反射面および前記参照反射面にてそれぞれ反射され撮像面上に重ね合わされた光学像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段にて撮像された光学像に基づいて前記基準反射面および前記参照反射面からの各反射光が重ね合わされることで生じる干渉縞の強度分布に関する強度分布情報を認識し、前記強度分布情報に基づいて前記接触部の変位位置を算出する演算処理手段とを備えていることを特徴とする変位センサ。 - 請求項1に記載の変位センサにおいて、
前記演算処理手段は、前記強度分布情報に基づいて前記干渉縞の位相に関する位相情報を抽出し、予め設定された前記干渉縞の位相に関する設定位相情報と前記位相情報とを比較して位相の変化量に関する変化量情報を生成し、前記変化量情報に基づいて前記接触部の変位位置を算出することを特徴とする変位センサ。 - 請求項1または請求項2に記載の変位センサにおいて、
前記参照反射手段は、入射した光束の一部を反射し他の光束を透過する部材で構成され、前記光束射出手段から射出され前記基準反射手段に至る光束の光路上で前記基準反射手段の光路前段側に配設されていることを特徴とする変位センサ。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の変位センサにおいて、
前記撮像手段は、前記基準反射面および前記参照反射面にてそれぞれ反射された光束の前記撮像手段への入射方向に直交する平面内で所定位置から互いに直交する方向に延出する十字状に配設されたラインセンサで構成されていることを特徴とする変位センサ。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の変位センサにおいて、
前記支持手段は、前記基準反射手段および前記測定子の重心位置にて前記測定子を変位可能に支持することを特徴とする変位センサ。
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