JP2007085587A - 高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニット - Google Patents

Abstract

【課題】 風量調整機構におけるシール機構を簡単な構造とし、かつ気密性の高いシール機構を有する高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニットを提供する。
【解決手段】 上部の導入口からの空気をエアフィルタ７にてフィルタリングして下部の吹出口から放出する高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニット１００において、前記エアフィルタを内部に取り付けた立方体のフィルタユニット１０と、前記導入口のダンパーダクト内に設けられた風量調整用ダンパー羽根１と、前記風量調整用ダンパー羽根１のダンパー軸４を駆動するダンパー軸駆動部２と、前記ダンパー軸駆動部２から垂下する軸５の先端に取り付けられた軸駆動継手６とで構成する。そして、前記軸駆動継手６のねじ部とヘッド部との間の溝部にＯリングを取り付け、前記フィルタユニット１０の吹出口側の額縁部に設けられた貫通口に密接して前記軸駆動継手６を挿着する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、半導体工場、病院、製薬工場、食品工場およびその他の工場などにおいてクリーン環境を確保するためのクリーンルームの構成に用いる高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニットに関するものである。

上部に導入口、下部に吹出口を有する高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニットの従来技術として、ネジ回し工具挿入用孔にドライバーを挿入して、操作棒を捻回し、連結用パイプ、軸部材、蔓巻発条および作動軸を回転させてダンパーの開閉を行うものがある（例えば、特許文献１参照。）。

また、導入口に風量調整ダンパーを設け、この風量調整ダンパーに調整用フレキシブルシャフトを機械的に連係し、調整用フレキシブルシャフトの先端を吹出口の縁部に調整可能に位置させたものがある（例えば、特許文献２参照。）。

実開昭６１−４６３２８号公報 実開昭６３−２８１１４号公報

しかしながら、特許文献１の高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニットの風量調整機構は、チャンバー内に操作部があるためチャンバーの外形寸法が大きくなる問題があった。また、風量調整機構の汚染空気側と清浄空気側とを遮断する機構（シール機構）が非常に複雑な構造であるなどの問題があった。

また、特許文献２では、チャンバーの外側に風量調整機構を設ける構造が開示されているが、その風量調整機構におけるシール構造は何も示されていなく、それを示唆する記載もない。

高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニットにおいては、汚染空気側と清浄空気側とを遮断することは、非常に重要な要素であり、遮断が不十分であれば清浄空気側の清浄度が確保できず、重大な問題が発生することになる。

本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、風量調整機構におけるシール機構を簡単な構造とし、かつ気密性の高いシール機構を有する高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニットを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために本発明の高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニットは、上部の導入口からの空気をエアフィルタにてフィルタリングして下部の吹出口からする高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニットにおいて、前記エアフィルタを内部に取り付けた立方体のフィルタユニットと、前記導入口のダンパーダクト内に設けられた風量調整用ダンパー羽根と、前記風量調整用ダンパー羽根のダンパー軸を駆動するダンパー軸駆動部と、前記ダンパー軸駆動部から垂下する軸の先端に取り付けられた軸駆動継手と、前記軸駆動継手のねじ部とヘッド部との間の溝部に取り付けられたＯリングとを有することを特徴とする。

本発明の高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニットによると、ユニットの組み立て作業が簡易に行え、また、風量調整機構が簡単であるため部品点数が少なく、コスト軽減できる。また、風量調整機構におけるシール機構を簡単な構造とし、かつ気密性の高い風量調整機構を提供できる。

以下、図面を参照して本発明に係る高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニットの実施形態について説明する。

図１は、本発明に係る高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニットの実施形態を示す斜視図である。図２は、本発明に係る高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニットの断面図である。ただし、図１では図２で示すパンチング１５を取り外した状態の斜視図であって、フィルタユニット１０内にフィルタ７を装着された状態を、例えばクリーンルーム内から見た状態を示している。

図１および図２において、高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニット１００は、例えば立方体（箱型）のフィルタユニット１０内の下側にエアフィルタ７が取り付けられた状態で、図示しない固定部材にて天井材２２に設置される。

下面に吹出口を有するフィルタユニット１０内の中間位置の側壁にＵ字型のフィルタ取付枠１９を周設されている。エアフィルタ７の上側面は、フィルタユニット１０内のフィルタ取付枠１９に当接させ、下側面はフィルタユニット１０内の所定位置（例えば４箇所）に固定されているフィルタ締付ボルト８に設けられたフィルタ締付金具９にて取付けられている。前記フィルタ締付ボルト８は、フィルタユニット１０内の所定位置に金具２１によって固定されていて、フィルタ締付金具９との間にはフィルタ締付ナット１２が設けられている。

また、フィルタユニット１０の下側開放口２０に台形状を呈する全面穴あきパンチング１５が配置され、パンチング１５の全周縁にパンチング額縁１８が形成されている。パンチング額縁１８は、天井材２２に当接させ、例えば４箇所のパンチング取付ビス１６にてフィルタユニット１０の額縁１１に取り付けられている。そして、フィルタユニット１０内にダンパーダクト部３から導かれる全ての空気は、エアフィルタ７を通して清浄された空気が下側開放口２０に放出され、さらにパンチング１５を通してクリーンルーム内に放出される。

次に、実施形態の高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニット１００に係る風量調整機構について説明する。

フィルタユニット１０のフィルタ取付枠１９より上側の外部側壁に開設された接続口３ａには、ダンパーダクト部３が取り付けられている。そして、ダンパーダクト部３の内部には、ダンパー軸４に軸支されたダンパー羽根１が取り付けられている。このダンパー羽根１を回転することによって、接続口３ａからの空気量を調整することが出来る。

このダンパー羽根１を回転駆動するダンパー駆動部２が、ダンパーダクト部３の側壁に設けられている。さらに、ダンパー駆動部２には、このダンパー駆動部２から垂下する軸５がフィルタユニット１０に沿って取り付けられていて、この軸５によってダンパー軸４を回転駆動する。軸５は、連結金具１３を介して軸駆動継手６と連結されており、この軸駆動継手６が額縁１１に取り付けられる。軸駆動継手６のヘッド部６ａの下側のパンチング額縁１８には開口部１７が設けられていて、ヘッド部６ａが露出するように形成されている。尚、軸５は、フレキシブルな軸であってもよい。

したがって、軸駆動継手６のヘッド部６ａをドライバー等で回転すると、連結金具１３を介して軸５が回転し、さらにダンパー駆動部２によってダンパー軸４を回転してダンパー羽根１による空気量の調整が行われる。

次に、風量調整機構の詳細を以下に説明する。
図３は、風量調整機構の第１の実施形態を示す詳細断面図である。
フィルタユニット１０の額縁１１に設けられた貫通口２５ａに軸駆動継手６を取り付けるために、前記貫通口２５ａに位置する軸駆動継手６側には、予め装着されたＯリング２８および先端がテーパー状４０となっているＯリング受２７を備えている。即ち、軸駆動継手６のねじ部３０とヘッド部６ａとの間の溝部６ｂにＯリング２８が設けられている。そして、ＯリングにはＯリング受２７が取り付けられる。このＯリング受２７の径は、貫通口２５ａの径よりやや小さな大きさとしている。

そして、この軸駆動継手６を貫通口２５ａに挿着すると、Ｏリング２８の反発力にてＯリング受２７を外側に広げて貫通口２５ａに係止すると共に、エアフィルタ７を通さない空気の流れを遮断する。挿着後、ナイロンワッシャ２６を軸駆動継手６の円筒部２９に挿着し、さらに締付Ｕナット１４を軸駆動継手６の円筒部２９のねじ部３０に挿着して固定する。これにより、軸駆動継手６をフィルタユニット１０の額縁１１に取り付け、緩みのないように締付Ｕナット１４で締め付け固定する。

前記締付Ｕナット１４は、軸駆動継手６の落下を防止するとともに、軸駆動継手６の緩みによるＯリング２８のシール性の低下を防止する。また、ナイロンワッシャ２６は、軸５の振れ防止のために取付られている。また、Ｏリング受２７はＯリング２８を外側から支持すると共に、先端のテーパー形状４０によって貫通口２５ａへ容易に挿入できるように構成されている。

さらに、軸駆動継手６の上部に設けられている円筒部２９に連結金具１３の一方を挿入し、連結金具１３の他方に軸５を挿入する。連結金具１３による軸５と軸駆動継手６の円筒部２９の固定は、軸駆動継手固定ビス２４および軸固定ビス２３によって固定される。

軸駆動継手６には、溝３１が設けられている。そして、図１に示すようにパンチング１５の額縁１８に設けられた開口部１７から、例えばドライバー等の冶工具によって軸駆動継手６を回転させることによって軸５が回転し、さらにダンパー駆動部２に設けられたダンパー軸４が回動し、ダンパー羽根１が開閉する。これにより、フィルタユニット１０からクリーンルーム内に吹き出される風量を調整することができる。尚、軸駆動継手６を回転する風量の調整操作は、クリーンルーム内から行うことができる。

図４は、風量調整機構の第２の実施形態を示す詳細断面図である。
この第２の実施形態の風量調整機構と図３の違いは、ナイロンワッシャ２６とＯリング受２７が省略されている代わりに、貫通部２５ａが形成されるフィルタユニット１０の額縁１１が軸駆動継手６の円筒部２９側に折り曲げられてＯリング受２７ｂを形成している点である。

前記Ｏリング受２７ｂは、フィルタユニット額縁１１を絞り加工、または型抜き加工によって形成することができる。また、この場合は、Ｏリング受２７ｂは、図３に示されるナイロンワッシャ２６の替わりとなるため、ナイロンワッシャ２６が不要になる。その他の構成は図３と同じであるのでその説明は省略する。

上述した実施形態の高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニットによれば、風量調整機構をフィルタユニットの外側に設けているので、組み立て作業が簡易に行うことができる。また、風量調整機構が簡単であるため、部品点数が少なくコスト軽減できる。また、風量調整機構におけるシール構造を、Ｏリングを用いた簡単な構造とし、Ｏリングの反発力にてＯリング受を外側に広げて貫通口に密接しているため、エアフィルタを通さない空気の流れを遮断することができる。

本発明に係る高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニットの実施形態の形状を示す斜視図。 本発明に係る高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニットの断面の形状を示す図。 本発明に係る高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニットの風量調整機構の第１の実施形態を示す図。 本発明に係る高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニットの風量調整機構の第２の実施形態を示す図。

符号の説明

１ ダンパー羽根
２ ダンパー駆動部
３ ダンパーダクト部
４ ダンパー軸
５ 軸
６ 軸駆動継手
６ａ ヘッド部
６ｂ 溝部
７ エアフィルタ
８ フィルタ締付ボルト
９ フィルタ締付金具
１０ フィルタユニット
１１ 額縁
１２ フィルタ締付ナット
１３ 連結金具
１４ 締付Ｕナット
１５ パンチング
１６ パンチング取付ビス
１７ 開口部
１８ パンチング額縁
１９ フィルタ取付枠
２０ 下側開放口
２１ 金具
２２ 天井材
２６ ナイロンワッシャ
２７、２７ｂ Ｏリング受
２８ Ｏリング
２９ 円筒部
３０ ねじ部
３１ 溝
４０ テーパー状
１００ 高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニット

Claims (7)

1. 上部の導入口からの空気をエアフィルタにてろ過して下部の吹出口から放出する高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニットにおいて、
   前記エアフィルタを内部に取り付けた立方体のフィルタユニットと、
   前記導入口のダンパーダクト内に設けられた風量調整用ダンパー羽根と、
   前記風量調整用ダンパー羽根のダンパー軸を駆動するダンパー軸駆動部と、
   前記ダンパー軸駆動部から垂下する軸の先端に取り付けられた軸駆動継手と、
   前記軸駆動継手のねじ部とヘッド部との間の溝部に取り付けられたＯリングと
   を有することを特徴とする高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニット。
2. 前記フィルタユニットの吹出口側の額縁部に設けられた貫通口に前記軸駆動継手を装着して、前記Ｏリングによって密接させることを特徴とする請求項１に記載の高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニット。
3. 前記Ｏリングと前記貫通口の前記額縁部との間にはＯリング受が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニット。
4. 前記貫通口の前記額縁部が内側に折り曲げられＯリング受が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニット。
5. 前記Ｏリング受は、前記額縁部を絞り加工または型抜き加工として形成することを特徴とする請求項４に記載の高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニット。
6. 前記軸駆動継手の前記ねじ部にワッシャを介して締付ナットを挿着し、前記軸駆動継手を前記貫通口の前記額縁部に固定することを特徴とする請求項１に記載の高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニット。
7. 前記Ｏリング受の先端部がテーパー状になっていることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の高性能エアフィルタ内蔵吹出口フィルタユニット。

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