JP2007085408A - ロータリジョイント - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 非回転軸2の流路である供給穴(非回転軸側流路)2aに供給される内部流体圧力とは別系統の圧力エアをピン23における拡大頭部23bの第1受圧面が受圧することにより非回転軸2をロータ軸3方向に移動させて両シール面41、42を互いに密着させる方向に付勢する第1流体圧付勢手段5が備えられる。
【選択図】 図1
Description
また、CMP等のような半導体製造装置や洗浄機等でも同様にロータリジョイントが用いられている。
これに対し、電磁力による場合(特許文献2)は、電力を調整することにより付勢力の調整が可能であるため、シール面の面圧を調整することはできるが、電磁力による場合は、永久磁石と電磁石を対向配置させると共に電磁石へ電源を供給するための配線が必要になる等、構造が複雑になると共に、漏れた内部流体で濡れた雰囲気の中に設けられるため、漏電の虞があり、その対策も必要になるという多くの問題がある。
なお、この実施例1では、ロータリジョイントの回転軸が工作機械の回転軸に接続されていて、加工部分に流体圧力としてクーラント(液体)を供給し、第1流体圧付勢手段の流体としてエアを用いる場合を例にとって説明する。
そして、ピン挿通孔13に供給されるエア圧力の調整は、運転状況に応じてその都度手動で行ってもよいが、固定軸2側流路に供給される内部流体圧力、又はロータ軸3の回転数に応じて制御するようにしておくことが望ましい。
即ち、フランジ部22と、ピン挿通孔13と、ピン23と、エアポンプ51と、圧力調整器52とで、第1流体圧付勢手段5が構成されている。
この実施例2のロータリジョイントは、図4の断面図に示すように、非回転軸2には該非回転軸2をロータ軸3方向に移動させて両シール面41、42を互いに密着させる方向に付勢する圧縮コイルスプリング等(第1付勢手段)6が備えられている点が前記実施例1とは相違したものである。
即ち、この実施例2では、フランジ部22とケーシング1に形成された軸方向穴14との間に圧縮コイルスプリング等6が介装されている。
この実施例3のロータリジョイントは、図示を省略するが、非回転軸2をロータ軸3とは逆方向に移動させて両シール面41、42を引き離す方向に付勢する引きコイルスプリング等(第2付勢手段)が備えられている点が前記実施例1とは相違したものである。
従って、この実施例3においても、上記実施例1と同様の効果が得られる
この実施例4のロータリジョイントは、図5の断面図に示すように、フランジ部22とケーシング1との間に、非回転軸2をロータ軸3方向に移動させて両シール面41、42を互いに密着させる方向に付勢する圧縮コイルスプリング等(第1付勢手段)6が備えられている点は前記実施例2と同様であるが、非回転軸2側流路に供給される内部流体圧力とは別系統の流体圧力により非回転軸2を両シール面41、42の密着力を弱める方向に付勢する第2流体圧付勢手段7が備えられている点が、前記実施例1〜3とは相違したものである。
また、従来から備えられていたピン23を利用することで、簡単な構造の追加のみで第2流体圧付勢手段7を備えることができるようになるという効果が得られる。
11 摺動支持孔
12 Oリング
13 ピン挿通孔
14 軸方向穴
2 フローティングシート(固定軸)
2a 供給穴(固定軸側流路)
21 軸部
22 フランジ部
22a 雄ねじ孔
23 ピン
23a 係合溝
23b 拡大頭部
23c 雄ねじ部
24 第1受圧面
25 第2受圧面
3 主軸モータのロータ軸(回転軸)
3a 供給穴(回転軸側流路)
4 シール部
41 シール面
42 シール面
5 第1流体圧付勢手段
51 エアポンプ
52 圧力調整器(圧力調整手段)
6 圧縮コイルスプリング(第1バネ力付け税手段)
7 第2流体圧付勢手段
Claims (11)
- 軸心にそれぞれ流路が備えられた非回転軸と回転軸との対向端面にはそれぞれシール面が備え付けられ、前記非回転軸は回転が阻止された状態、且つケーシングに形成された摺動支持孔に沿って移動自在に設けられていて前記非回転軸を回転軸方向に移動させて前記両シール面を互いに密着させることによりシール部が形成されるように構成されたロータリジョイントであって、
前記非回転軸側流路に供給される内部流体圧力とは別系統の流体圧力により前記非回転軸を回転軸方向に移動させて前記両シール面を互いに密着させる方向に付勢する第1流体圧付勢手段が備えられていることを特徴とするロータリジョイント。 - 軸心にそれぞれ流路が備えられた非回転軸と回転軸との対向端面にはそれぞれシール面が備え付けられ、前記非回転軸は回転が阻止された状態、且つケーシングに形成された摺動支持孔に沿って移動自在に設けられていて前記非回転軸を回転軸方向に移動させて前記両シール面を互いに密着させることによりシール部が形成され、前記非回転軸には該非回転軸を回転軸方向に移動させて前記両シール面を互いに密着させる方向に付勢する第1付勢手段が備えられたロータリジョイントであって、
前記非回転軸側流路に供給される内部流体圧力とは別系統の流体圧力により前記非回転軸を回転軸方向に移動させて前記両シール面を互いに密着させる方向に付勢する第1流体圧付勢手段が備えられていることを特徴とするロータリジョイント。 - 軸心にそれぞれ流路が備えられた非回転軸と回転軸との対向端面にはそれぞれシール面が形成され、前記非回転軸は回転が阻止された状態、且つケーシングに形成された摺動支持孔に沿って移動自在に設けられていて前記非回転軸を回転軸方向に移動させて前記両シール面を互いに密着させることによりシール部が形成され、前記非回転軸には該非回転軸を回転軸とは逆方向に移動させて前記両シール面を引き離す方向に付勢する第2付勢手段が備えられたロータリジョイントであって、
前記非回転軸側流路に供給される内部流体圧力とは別系統の流体圧力により前記非回転軸を回転軸方向に移動させて前記両シール面を互いに密着させる方向に付勢する第1流体圧付勢手段が備えられていることを特徴とするロータリジョイント。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のロータリジョイントにおいて、前記非回転軸は該非回転軸を軸方向に移動自在に支持するケーシングに対し非回転軸から突出形成されたピンが前記ケーシングに軸方向に形成されたピン挿通孔内に移動自在に挿入できる様に設けられており、
前記ピンには前記回転軸方向に推力を発生させる第1受圧面が形成され、
前記第1流体圧付勢手段は、前記ピンが挿入されたピン挿通孔に前記非回転軸側流路に供給される内部流体圧力とは別系統の流体圧力が供給され、該流体圧力を前記ピンの第1受圧面で受圧することによって前記非回転軸を回転軸方向に移動させて前記両シール面を互いに密着させるように構成されていることを特徴とするロータリジョイント。 - 請求項4に記載のロータリジョイントにおいて、前記ピンが前記非回転軸に対し固定されることにより、非回転軸の回転を阻止する回り止めピンとしての役目をなすように構成されていることを特徴とするロータリジョイント。
- 軸心にそれぞれ流路が備えられた非回転軸と回転軸との対向端面にはそれぞれシール面が備え付けられ、前記非回転軸は回転が阻止された状態、且つケーシングに形成された摺動支持孔に沿って移動自在に設けられていて前記非回転軸を回転軸方向に移動させて前記両シール面を互いに密着させることによりシール部が形成され、前記非回転軸には該非回転軸を回転軸方向に移動させて前記両シール面を互いに密着させる方向に付勢する第1付勢手段が備えられたロータリジョイントであって、
前記非回転軸側流路に供給される内部流体圧力とは別系統の流体圧力により前記非回転軸を前記両シール面の密着力を弱める方向に付勢する第2流体圧付勢手段が備えられていることを特徴とするロータリジョイント。 - 請求項6に記載のロータリジョイントにおいて、前記非回転軸は該非回転軸を軸方向に移動自在に支持するケーシングに対し非回転軸から突出形成されたピンを前記ケーシングに軸方向に形成されたピン挿通孔内に移動自在に挿入できる様に設けられており、
前記ピンには前記回転軸方向とは逆方向に推力を発生させる第2受圧面が形成され、
前記第2流体圧付勢手段は、前記ピンが挿入されたピン挿通孔に前記非回転軸側流路に供給される内部流体圧力とは別系統の流体圧力が供給され、該流体圧力を前記ピンの第2受圧面で受圧することによって前記非回転軸を前記両シール面の密着力を弱める方向に付勢するように構成されていることを特徴とするロータリジョイント。 - 請求項1〜7のいずれか1項に記載のロータリジョイントにおいて、前記非回転軸側流路に供給される内部流体圧力とは別系統の流体圧力は圧力調整手段により圧力調整可能に構成されていることを特徴とするロータリジョイント。
- 請求項8に記載のロータリジョイントにおいて、前記圧力調整手段は、前記非回転固定軸側流路に供給される内部流体圧力に応じて流体圧力が制御されるように構成されていることを特徴とするロータリジョイント。
- 請求項8に記載のロータリジョイントにおいて、前記圧力調整手段は、前記回転軸の回転数に応じて流体圧力が制御されるように構成されていることを特徴とするロータリジョイント。
- 請求項1〜10のいずれか1項に記載のロータリジョイントにおいて、前記回転軸が工作機械の回転軸に接続されていることを特徴とするロータリジョイント。
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