JP4597017B2 - ロータリジョイント - Google Patents
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- F16L27/00—Adjustable joints; Joints allowing movement
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- F16L27/0804—Adjustable joints; Joints allowing movement allowing adjustment or movement only about the axis of one pipe the fluid passing axially from one joint element to another
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
- F16J15/34—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member
- F16J15/3436—Pressing means
- F16J15/3448—Pressing means the pressing force resulting from fluid pressure
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Description
また、CMP等のような半導体製造装置や洗浄機等でも同様にロータリジョイントが用いられている。
これに対し、電磁力による場合(特許文献2)は、電力を調整することにより付勢力の調整が可能であるため、シール面の面圧を調整することはできるが、電磁力による場合は、永久磁石と電磁石を対向配置させると共に電磁石へ電源を供給するための配線が必要になる等、構造が複雑になると共に、漏れた内部流体で濡れた雰囲気の中に設けられるため、漏電の虞があり、その対策も必要になるという多くの問題がある。
そして、ピン挿通孔13に供給されるエア圧力の調整は、運転状況に応じてその都度手動で行ってもよいが、固定軸2側流路に供給される内部流体圧力、又はロータ軸3の回転数に応じて制御するようにしておくことが望ましい。
即ち、フランジ部22と、ピン挿通孔13と、ピン23と、エアポンプ51と、圧力調整器52とで、第1流体圧付勢手段5が構成されている。
即ち、この実施例2では、フランジ部22とケーシング1に形成された軸方向穴14との間に圧縮コイルスプリング等6が介装されている。
11 摺動支持孔
12 Oリング
13 ピン挿通孔
14 軸方向穴
2 フローティングシート(固定軸)
2a 供給穴(固定軸側流路)
21 軸部
22 フランジ部
22a 雄ねじ孔
23 ピン
23a 係合溝
23b 拡大頭部
23c 雄ねじ部
24 第1受圧面
3 主軸モータのロータ軸(回転軸)
3a 供給穴(回転軸側流路)
4 シール部
41 シール面
42 シール面
5 第1流体圧付勢手段
51 エアポンプ
52 圧力調整器(圧力調整手段)
6 圧縮コイルスプリング等(第1付勢手段)
Claims (3)
- 軸心にそれぞれ流路が備えられた非回転軸と回転軸との対向端面にはそれぞれシール面が備え付けられ、前記非回転軸は回転が阻止された状態、且つケーシングに形成された摺動支持孔に沿って移動自在に設けられていて前記非回転軸を回転軸方向に移動させて前記両シール面を互いに密着させることによりシール部が形成されるように構成されたロータリジョイントであって、
前記非回転軸側流路に供給される内部流体圧力とは別系統の流体圧力により前記非回転軸を回転軸方向に移動させて前記両シール面を互いに密着させる方向に付勢する第1流体圧付勢手段が備えられ、
前記非回転軸は該非回転軸を軸方向に移動自在に支持するケーシングに対し非回転軸から突出形成されたピンが前記ケーシングに軸方向に形成されたピン挿通孔内に移動自在に挿入できる様に設けられており、
前記ピンには前記回転軸方向に推力を発生させる第1受圧面が形成され、
前記第1流体圧付勢手段は、前記ピンが挿入されたピン挿通孔に前記非回転軸側流路に供給される内部流体圧力とは別系統の流体圧力が供給され、該流体圧力を前記ピンの第1受圧面で受圧することによって前記非回転軸を回転軸方向に移動させて前記両シール面を互いに密着させるように構成されていることを特徴とするロータリジョイント。 - 軸心にそれぞれ流路が備えられた非回転軸と回転軸との対向端面にはそれぞれシール面が備え付けられ、前記非回転軸は回転が阻止された状態、且つケーシングに形成された摺動支持孔に沿って移動自在に設けられていて前記非回転軸を回転軸方向に移動させて前記両シール面を互いに密着させることによりシール部が形成され、前記非回転軸には該非回転軸を回転軸方向に移動させて前記両シール面を互いに密着させる方向に付勢する第1付勢手段が備えられたロータリジョイントであって、
前記非回転軸側流路に供給される内部流体圧力とは別系統の流体圧力により前記非回転軸を回転軸方向に移動させて前記両シール面を互いに密着させる方向に付勢する第1流体圧付勢手段が備えられ、
前記非回転軸は該非回転軸を軸方向に移動自在に支持するケーシングに対し非回転軸から突出形成されたピンが前記ケーシングに軸方向に形成されたピン挿通孔内に移動自在に挿入できる様に設けられており、
前記ピンには前記回転軸方向に推力を発生させる第1受圧面が形成され、
前記第1流体圧付勢手段は、前記ピンが挿入されたピン挿通孔に前記非回転軸側流路に供給される内部流体圧力とは別系統の流体圧力が供給され、該流体圧力を前記ピンの第1受圧面で受圧することによって前記非回転軸を回転軸方向に移動させて前記両シール面を互いに密着させるように構成されていることを特徴とするロータリジョイント。 - 請求項1または2に記載のロータリジョイントにおいて、前記ピンが前記非回転軸に対し固定されることにより、非回転軸の回転を阻止する回り止めピンとしての役目をなすように構成されていることを特徴とするロータリジョイント。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2005272995A JP4597017B2 (ja) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | ロータリジョイント |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP2005272995A JP4597017B2 (ja) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | ロータリジョイント |
Publications (2)
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|---|---|
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Family
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2005272995A Expired - Lifetime JP4597017B2 (ja) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | ロータリジョイント |
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2005
- 2005-09-21 JP JP2005272995A patent/JP4597017B2/ja not_active Expired - Lifetime
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