JP2007083647A - Apparatus and method for manufacturing photosensitive laminate - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブを備え、前記保護フイルムは、所定の長さ毎に剥離されるとともに、該保護フイルムの剥離により露出した前記感光材料層が基板に貼り付けられる感光性積層体の製造装置及び製造方法に関する。 The present invention includes a long photosensitive web in which a photosensitive material layer and a protective film are sequentially laminated on a support, and the protective film is peeled at predetermined lengths, and the protective film is provided. The present invention relates to a manufacturing apparatus and a manufacturing method of a photosensitive laminate in which the photosensitive material layer exposed by peeling off is attached to a substrate.
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、PDPパネル用基板では、感光材料(感光性樹脂)層を有する感光性シート体(感光性ウエブ)を基板表面に貼り付けて構成される。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されたものである。 For example, in a liquid crystal panel substrate, a printed wiring substrate, and a PDP panel substrate, a photosensitive sheet body (photosensitive web) having a photosensitive material (photosensitive resin) layer is attached to the substrate surface. The photosensitive sheet is obtained by sequentially laminating a photosensitive material layer and a protective film on a flexible plastic support.
そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼り付け装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光材料層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。 In view of this, a pasting apparatus used for pasting this type of photosensitive sheet body usually transports substrates such as a glass substrate and a resin substrate spaced apart from each other by a predetermined interval, and also a photosensitive unit pasted on the substrate. In accordance with the range of the material layer, a method of peeling the protective film from the photosensitive sheet body is adopted.
例えば、特許文献1に開示されているフイルム張付方法及び装置では、図16に示すように、フイルムロール1から繰り出される積層体フイルム1aは、ガイドロール2a、2bに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在されている。
For example, in the film sticking method and apparatus disclosed in Patent Document 1, as shown in FIG. 16, the laminated
水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム1aは、サクションロール4に巻き掛けられるとともに、前記ガイドロール2bと前記サクションロール4との間には、ハーフカッタ5とカバーフイルム剥離装置6とが設けられている。
A
ハーフカッタ5は、一対のディスクカッタ5a、5bを備えている。ディスクカッタ5a、5bは、積層体フイルム1aのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム1aのカバーフイルム(図示せず)をその裏側の感光性樹脂層(図示せず)と一体に切断する。
The
カバーフイルム剥離装置6は、粘着テープロール7から繰り出される粘着テープ7aを押圧ロール8a、8b間でカバーフイルムに強く圧着させた後、巻き取りロール9によって巻き取る。カバーフイルムは、一対のディスクカッタ5a、5bにより形成された残存部分を残して感光性樹脂層から剥離され、粘着テープ7aと共に巻き取りロール9に巻き取られる。
The cover film peeling apparatus 6 winds the
サクションロール4の下流には、基板搬送装置10によって、順次、間欠的に搬送される複数の基板11の上面に、カバーフイルムの剥離された積層体フイルム1aを重ねて加熱圧着するラミネーションロール12a、12bが配設されている。このラミネーションロール12a、12bの下流側には、支持フイルム巻き取りロール13が配置されている。基板11に貼り付けられている透光性支持フイルム(図示せず)は、支持フイルム巻き取りロール13に巻き取られる。
Downstream of the
ここで、ディスクカッタ5a、5bを積層体フイルム1aの搬送方向と直交する方向に移動させて切断処理を行うには、以下の方法が適用可能である。
Here, in order to perform the cutting process by moving the
積層体フイルム1aをラミネーションロール12a、12bに連続的に供給しながら基板11に貼り付ける場合には、ハーフカッタ5を積層体フイルム1aの搬送速度に同期させて搬送方向に移動させながら切断処理を行うか、あるいは、ハーフカッタ5とラミネーションロール12a、12bとの間にフイルムリザーバを設け、フイルムリザーバの下流側で積層体フイルム1aをラミネーションロール12a、12bに連続的に供給する一方、フイルムリザーバの上流側で積層体フイルム1aの搬送を停止させて切断処理を行うことが可能である。
When the laminated
また、積層体フイルム1aをラミネーションロール12a、12bに間欠的に供給しながら基板11に貼り付ける場合には、積層体フイルム1aの搬送停止中にハーフカッタ5を駆動して切断処理を行うか、あるいは、積層体フイルム1aをラミネーションロール12a、12bに連続的に供給する場合と同様に、フイルムリザーバを介してラミネーションロール12a、12bによる貼り付け処理とハーフカッタ5による切断処理とを独立に行うことが可能である。
In addition, when the
ところで、積層体フイルム1aをラミネーションロール12a、12bに連続的に供給して貼り付け処理を行う場合、カバーフイルムの残存する積層体フイルム1a及び基板11をラミネーションロール12a、12bに供給するタイミングの調整が難しく、製品不良の発生するおそれがある。また、ハーフカッタ5を積層体フイルム1aの搬送方向に移動させる機構、あるいは、フイルムリザーバが必要となるため、構成が複雑となる。さらに、積層体フイルム1aの搬送方向に対するハーフカッタ5の移動スペースやフイルムリザーバの設置スペースを確保しなければならず、その分、装置が大型化する不具合がある。さらにまた、積層体フイルム1aのハーフカッタ5による切断処理等によって発生するテンション変動が貼り付け処理部に伝達されると、積層体フイルム1aと基板11との貼り付け状態に影響が生じ、製品品質が低下する。
By the way, when the laminated
一方、積層体フイルム1aをラミネーションロール12a、12bに間欠的に供給して貼り付け処理を行う場合、カバーフイルムの残存する積層体フイルム1aと基板11との位置決め精度を比較的容易に確保することが可能であり、また、ハーフカッタ5の移動機構やフイルムリザーバを不要にできるため、連続的に処理する場合に比較すると、製品不良の発生の低下、装置構成の簡易化並びに小型化が可能となる。
On the other hand, when the
しかしながら、積層体フイルム1aがラミネーションロール12a、12bに接触した状態で停止する時間が長くなると、ラミネーションロール12a、12bからの熱の影響により、ラミネーションロール12a、12bに接触する部分と、接触していない部分との間にスジ状のムラが発生し、あるいは、接触部分の感光性樹脂層に熱カブリが発生する等、積層体フイルム1aの品質の低下することが懸念される。
However, if the
一方、これらの問題を回避するため、ラミネーションロール12a、12bでの積層体フイルム1aの停止時間をできるだけ短くすることも考えられる。しかしながら、カバーフイルムを幅方向に切断するためには、所定の時間が必要であり、特に、製品の大型化に伴って積層体フイルム1aの幅が大きくなると、その分、切断処理に長時間を要するため、停止時間を短縮することが困難となる場合がある。
On the other hand, in order to avoid these problems, it is conceivable to shorten the stop time of the laminated
本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な工程及び構成で、長尺状感光性ウエブを基板に正確に貼り付けることができるとともに、高品質な感光性積層体を効率的に得ることが可能な感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。 The present invention solves this type of problem, and with a simple process and configuration, a long photosensitive web can be accurately adhered to a substrate, and a high-quality photosensitive laminate can be efficiently produced. An object of the present invention is to provide an apparatus and a method for producing a photosensitive laminate that can be obtained.
本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブの少なくとも前記保護フイルムに、剥離部分と残存部分との境界位置に対応して幅方向に切断可能な加工部位を形成する加工部と、
前記残存部分を残して前記長尺状感光性ウエブから前記剥離部分を剥離させる剥離部と、
基板を所定の間隔で貼り付け位置に搬送する基板搬送部と、
前記貼り付け位置で、前記残存部分を前記基板間に配設する一方、前記剥離部分が剥離されて露出した前記感光材料層を所定温度に加熱し、前記基板に貼り付けて貼り付け基板を得る貼り付け部と、
前記残存部分が前記貼り付け部を移動する第1速度を低速に制御し、露出した前記感光材料層が前記貼り付け部を移動する第2速度を前記第1速度よりも速い高速に制御する速度制御部と、
を備え、前記第1速度による制御を行う間、前記貼り付け部における前記基板と露出した前記感光材料層との位置決め制御を行うとともに、少なくとも前記加工部による前記加工部位の形成処理を行い、前記第2速度による制御を行う間、前記感光材料層を前記基板に貼り付ける貼り付け処理を行うことを特徴とする。
In the present invention, a photosensitive material layer and a protective film are sequentially laminated on a support, and at least the protective film of the long photosensitive web is arranged in the width direction corresponding to the boundary position between the peeled portion and the remaining portion. A processing part that forms a processing part that can be cut into
A peeling part for peeling off the peeling part from the long photosensitive web leaving the remaining part;
A substrate transport unit for transporting the substrate to affixing position at a predetermined interval;
At the affixing position, the remaining part is disposed between the substrates, while the photosensitive material layer exposed by the exfoliation of the exfoliation part is heated to a predetermined temperature and affixed to the substrate to obtain an affixed substrate. Paste part,
A speed at which a first speed at which the remaining portion moves on the pasting portion is controlled at a low speed, and a second speed at which the exposed photosensitive material layer moves at the pasting portion is controlled at a high speed higher than the first speed. A control unit;
And performing positioning control of the substrate and the exposed photosensitive material layer in the affixed portion while performing the control by the first speed, and at least performing the processing of forming the processing portion by the processing portion, During the control at the second speed, an affixing process for affixing the photosensitive material layer to the substrate is performed.
また、本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブを送り出す工程と、
送り出された前記長尺状感光性ウエブの少なくとも前記保護フイルムに、剥離部分と残存部分との境界位置に対応して幅方向に切断可能な加工部位を形成する工程と、
前記残存部分を残して前記長尺状感光性ウエブから前記剥離部分を剥離させて前記感光材料層を露出させる工程と、
基板を所定の間隔で貼り付け位置に搬送する工程と、
前記加工部位を形成する間、前記貼り付け位置で前記残存部分を第1速度で移動させ、前記基板と露出した前記感光材料層との位置決め制御を行う工程と、
前記貼り付け位置を前記残存部分が通過した後、前記長尺状感光性ウエブを前記第1速度よりも速い第2速度で移動させ、露出した前記感光材料層を所定温度に加熱して前記基板に貼り付け、貼り付け基板を得る工程と、
を有することを特徴とする。
The present invention also includes a step of feeding a long photosensitive web in which a photosensitive material layer and a protective film are sequentially laminated on a support;
Forming a processing part that can be cut in the width direction corresponding to the boundary position between the peeled part and the remaining part on at least the protective film of the long photosensitive web that has been sent out;
Exposing the photosensitive material layer by peeling off the peeled portion from the elongated photosensitive web leaving the remaining portion;
Transporting the substrate to affixing position at a predetermined interval;
A step of moving the remaining portion at a first speed at the affixing position while forming the processed portion, and performing positioning control between the substrate and the exposed photosensitive material layer;
After the remaining portion passes through the pasting position, the long photosensitive web is moved at a second speed higher than the first speed, and the exposed photosensitive material layer is heated to a predetermined temperature to form the substrate. A step of attaching to the substrate and obtaining an attachment substrate;
It is characterized by having.
この場合、基板と感光材料層との位置決め制御が低速の第1速度で高精度に行われるとともに、基板に対する感光材料層の貼り付け処理が行われないこの間に、長尺状感光性ウエブの搬送方向に対する加工部の移動範囲を必要最小限として加工部位の形成処理が行われる。また、基板に感光材料層を貼り付ける際には、長尺状感光性ウエブに対する加工部位の形成処理を行わず、第1速度よりも高速の第2速度で長尺状感光性ウエブ及び基板を搬送し、前記形成処理によって発生するテンション変動等の影響を受けることのない状態で効率的且つ高精度に貼り付け基板が製造される。 In this case, the positioning control of the substrate and the photosensitive material layer is performed with high accuracy at a low first speed, and the photosensitive material layer is not attached to the substrate. The forming process of the processing part is performed with the moving range of the processing part with respect to the direction as the minimum necessary. In addition, when the photosensitive material layer is attached to the substrate, the long photosensitive web and the substrate are attached at a second speed higher than the first speed, without forming a processing portion on the long photosensitive web. A bonded substrate is manufactured efficiently and with high accuracy in a state where the substrate is conveyed and is not affected by a variation in tension generated by the forming process.
なお、製造された貼り付け基板は、貼り付け部の下流に配設された切断部において、低速の第1速度で長尺状感光性ウエブ及び基板を搬送する間に切り離すことができる。 Note that the manufactured bonded substrate can be separated while the long photosensitive web and the substrate are conveyed at a low first speed in the cutting unit disposed downstream of the bonded unit.
また、低速の第1速度で長尺状感光性ウエブ及び基板を搬送する間に、加工部位が形成された長尺状感光性ウエブの剥離部分に接着ラベルを接着する処理を行うことができる。 In addition, while the long photosensitive web and the substrate are transported at the low first speed, it is possible to perform the process of adhering the adhesive label to the peeled portion of the long photosensitive web on which the processing site is formed.
速度制御部による速度制御は、貼り付け部の上流に配設された検出部によって加工部位を検出し、その検出情報に従った貼り付け部と加工部位との位置関係に基づいて行うことができる。 The speed control by the speed control unit can be performed based on the positional relationship between the pasting part and the processing part according to the detection information by detecting the processing part by the detection unit disposed upstream of the pasting part. .
ここで、長尺状感光性ウエブが貼り付け部に停止している時間が所定時間以上になると、長尺状感光性ウエブの貼り付け部に接触する部分と接触しない部分との間に熱の影響によるスジ状のむらが発生する。また、長尺状感光性ウエブが貼り付け部を通過するのに要する時間が所定時間以上になると、感光材料層に熱カブリが発生する。従って、これらの時間を考慮して、低速の第1速度を設定する。 Here, when the length of time that the long photosensitive web is stopped on the pasting portion becomes a predetermined time or longer, heat is transferred between the portion that contacts the pasting portion of the long photosensitive web and the portion that does not touch. Striped unevenness occurs due to the influence. Further, when the time required for the long photosensitive web to pass through the affixed portion exceeds a predetermined time, heat fogging occurs in the photosensitive material layer. Therefore, the low first speed is set in consideration of these times.
この場合、前記第1速度は、スジ状のむら及び熱カブリの発生しない時間の範囲で、前記長尺状感光性ウエブの搬送を所定時間停止させる停止速度と、前記長尺状感光性ウエブを低速で移動させる低速移動速度との組み合わせとして設定することができる。 In this case, the first speed includes a stop speed for stopping the conveyance of the long photosensitive web for a predetermined time in a time range in which streaky unevenness and thermal fog do not occur, and a low speed for the long photosensitive web. It can be set as a combination with a low speed moving speed.
なお、長尺状感光性ウエブに形成された加工部位を貼り付け部に配置して基板を位置決め制御する間、加工部において加工部位の形成処理を行うためには、加工部から貼り付け部に至る長尺状感光性ウエブの搬送距離を、剥離部分の両側に位置する残存部分間の距離の略整数倍の距離に設定する。 In addition, while the processing part formed on the long photosensitive web is placed on the pasting part and the substrate is positioned and controlled, in order to perform the processing part forming process in the processing part, from the processing part to the pasting part. The long photosensitive web transport distance is set to a distance that is approximately an integral multiple of the distance between the remaining portions located on both sides of the peeled portion.
本発明では、貼り付け部において長尺状感光性ウエブを低速の第1速度で搬送することにより、長尺状感光性ウエブと基板とを高精度に位置決めすることができる。 In the present invention, the long photosensitive web and the substrate can be positioned with high accuracy by transporting the long photosensitive web at the first low speed at the attaching portion.
また、低速の第1速度で長尺状感光性ウエブを搬送する間に加工部を駆動して加工部位を形成するため、長尺状感光性ウエブの搬送方向に対する加工部の移動距離が少なく、従って、装置の小型化が容易に達成される。 In addition, since the processing portion is driven to form the processing portion while the long photosensitive web is transported at the first low speed, the processing portion has a small moving distance with respect to the transport direction of the long photosensitive web, Therefore, downsizing of the device can be easily achieved.
また、低速の第1速度で長尺状感光性ウエブが搬送されるため、加工部での加工処理に要する時間を十分に確保することができる。そのため、幅員の大きな長尺状感光性ウエブの加工処理に対しても容易に対応することができる。 Further, since the long photosensitive web is transported at the low first speed, the time required for the processing in the processing section can be sufficiently secured. Therefore, it is possible to easily cope with processing of a long photosensitive web having a large width.
さらに、長尺状感光性ウエブを低速の第1速度で搬送している間、長尺状感光性ウエブの剥離部分間を連結する接着ラベルの接着処理、製造された貼り付け基板間の切断処理等を、加工部位の形成処理と並行して効率的に行うことができる。 Furthermore, while the long photosensitive web is being conveyed at a low first speed, the adhesive label is bonded to connect the peeled portions of the long photosensitive web, and the manufactured bonded substrate is cut. Etc. can be efficiently performed in parallel with the forming process of the processing site.
そして、第1速度よりも高速の第2速度で長尺状感光性ウエブを搬送させ、加工部位の形成処理、接着ラベルの接着処理、貼り付け基板間の切断処理等を行わない間に、基板に対する感光材料層の貼り付け処理を行うことにより、貼り付け処理を除く前記各処理に起因する外乱によるテンション変動等の影響を受けることなく、貼り付け基板を効率的且つ高精度に製造することができる。 Then, the long photosensitive web is transported at the second speed higher than the first speed, and the substrate is processed while the processing site forming process, the adhesive label bonding process, the cutting process between the bonded substrates, and the like are not performed. By applying the photosensitive material layer to the substrate, it is possible to efficiently and highly accurately manufacture the bonded substrate without being affected by tension fluctuations caused by disturbances caused by the above-described processes other than the bonding process. it can.
なお、長尺状感光性ウエブが貼り付け部に停止している時間及び通過するのに要する時間が所定時間以上とならないように第1速度を設定することで、感光材料層にスジ状のむらや熱カブリが発生することがなく、貼り付け基板を一層高精度に製造することができる。 In addition, by setting the first speed so that the time during which the long photosensitive web is stopped at the affixed portion and the time required for passing the photosensitive web does not exceed a predetermined time, streaky irregularities are formed on the photosensitive material layer. There is no occurrence of thermal fogging, and the bonded substrate can be manufactured with higher accuracy.
図1は、本実施形態に係る感光性積層体の製造装置20の概略構成図であり、この製造装置20は、液晶又は有機EL用カラーフィルタの製作工程で、長尺状感光性ウエブ22の感光性樹脂層28(後述する)をガラス基板24に熱転写する作業を行う。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a photosensitive
図2は、製造装置20に使用される感光性ウエブ22の断面図である。この感光性ウエブ22は、可撓性ベースフイルム(支持体)26と、感光性樹脂層(感光材料層)28と、保護フイルム30とを積層して構成される。
FIG. 2 is a cross-sectional view of the
図1に示すように、製造装置20は、感光性ウエブ22をロール状に巻回した感光性ウエブロール22aを収容し、この感光性ウエブロール22aから前記感光性ウエブ22を送り出すウエブ送り出し機構32と、送り出された前記感光性ウエブ22の保護フイルム30に幅方向に切断可能なハーフカット部位(加工部位)34を形成するハーフカット機構36(加工部)と、一部に非接着部38aを有する接着ラベル38(図3参照)を保護フイルム30に接着させるラベル接着機構40(ラベル接着部)とを備える。
As shown in FIG. 1, the
ラベル接着機構40の下流には、前記感光性ウエブ22から保護フイルム30を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構44(剥離部)と、ガラス基板24を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構45(基板搬送部)と、前記保護フイルム30の剥離により露出した感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に貼り付ける貼り付け機構46(貼り付け部)とが配設される。
Downstream of the
貼り付け機構46における貼り付け位置の上流近傍には、感光性ウエブ22の境界位置であるハーフカット部位34を直接検出する検出機構47(検出部)が配設され、前記貼り付け機構46の下流には、各ガラス基板24間の前記感光性ウエブ22を切断する基板間ウエブ切断機構48(切断部)が配設される。この基板間ウエブ切断機構48の上流には、運転開始時に使用されるウエブ先端切断機構48aが設けられる。
A detection mechanism 47 (detection unit) that directly detects a half-
ウエブ送り出し機構32の下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ22の後端と、新たに使用される感光性ウエブ22の先端とを貼り付ける貼り付け台49が配設される。この貼り付け台49の下流には、感光性ウエブロール22aの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端位置検出器51が配設される。ここで、フイルム端位置調整は、ウエブ送り出し機構32を幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。なお、ウエブ送り出し機構32は、複数の感光性ウエブロール22aを幅方向に配列して装填し、これらの複数の感光性ウエブロール22aを同時に繰り出し可能に構成してもよい。
In the vicinity of the downstream side of the
ハーフカット機構36は、ウエブ送り出し機構32に収容巻回されている感光性ウエブロール22aのロール径を算出するためのローラ対50の下流に配置され、感光性ウエブ22の搬送方向(矢印A方向)に移動可能に構成される。このハーフカット機構36は、感光性ウエブ22の搬送方向(矢印A方向)に所定の距離だけ離間して配設される2枚の丸刃52a、52bと、丸刃52a、52bに対向配置され、感光性ウエブ22を下方向から吸着する吸着プレート53とを備える。丸刃52a、52bは、感光性ウエブ22の幅方向に走行して前記感光性ウエブ22の所定の位置にハーフカット部位34を形成する。ハーフカット機構36が配設される位置は、ハーフカット機構36から貼り付け機構46に至る感光性ウエブ22の搬送路の長さがガラス基板24の両端部に配置されるハーフカット部位34間の距離の略整数倍となるように設定される。
The half-
図2に示すように、ハーフカット部位34は、少なくとも保護フイルム30を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム30を確実に切断するために感光性樹脂層28乃至ベースフイルム26まで切り込むよう、丸刃52a、52bの切り込み深さが設定される。丸刃52a、52bは、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ22の幅方向に移動してハーフカット部位34を形成する方式や、前記感光性ウエブ22上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位34を形成する方式が採用される。このハーフカット部位34は、丸刃52a、52bに代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃(トムソン刃)等で形成する方式を採用してもよい。
As shown in FIG. 2, the half-
ハーフカット部位34は、ガラス基板24の間隔を設定するものであり、例えば、両側の前記ガラス基板24にそれぞれ10mmずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板24間のハーフカット部位34で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構46において感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
The half-
ラベル接着機構40は、ガラス基板24間に対応して保護フイルム30の残存部分30bを残すため、剥離側前方の剥離部分30aaと剥離側後方の剥離部分30abとを連結する接着ラベル38を供給する。図2に示すように、保護フイルム30は、残存部分30bを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分30aaとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分30abとする。
The
図3に示すように、接着ラベル38は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム30と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル38は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部(微粘着を含む)38aを有するとともに、この非接着部38aの両側、すなわち、前記接着ラベル38の長手方向両端部に、前方の剥離部分30aaに接着される第1接着部38bと、後方の剥離部分30abに接着される第2接着部38cとを有する。
As shown in FIG. 3, the
図1に示すように、ラベル接着機構40は、ハーフカット機構36とともに感光性ウエブ22の搬送方向(矢印A方向)に移動可能に構成され、複数の接着ラベル38を最大約250mm以下の間隔で離間して貼り付け可能な吸着パッド54a〜54eと、吸着パッド54a〜54eに対向配置され、感光性ウエブ22を下方向から吸着する吸着プレート55とを備える。
As shown in FIG. 1, the
剥離機構44は、感光性ウエブ22の送り出し側のテンション変動を低減し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム62を備える。サクションドラム62の近傍には、剥離ローラ63が配置されるとともに、この剥離ローラ63を介して感光性ウエブ22から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム30は、残存部分30bを除いて保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる。
The
剥離機構44の下流側には、感光性ウエブ22にテンションを付与可能なテンション制御機構66が配設される。テンション制御機構66は、シリンダ68を備え、このシリンダ68の駆動作用下に、テンションダンサー70が揺動変位することにより、このテンションダンサー70が摺接する感光性ウエブ22のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構66は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
A
検出機構47は、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ72を備えており、前記光電センサ72は、ハーフカット部位34の楔状の溝形状部や、保護フイルム30の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ72は、バックアップローラ73に対向して配置される。なお、光電センサ72に代えて、非接触変位計やCCDカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。
The
検出機構47により検出されるハーフカット部位34の位置データは、リアルタイムで統計処理及びグラフ化が可能であり、ばらつき異常や偏りの発生時に警報を出すことができる。
The position data of the half-cut
また、ハーフカット部位34を直接検出するのではなく、このハーフカット部位34の近傍に孔部や切り欠きを形成したり、レーザ加工やアクアジェット加工による孔開けや切り込みを設けたり、インクジェットやプリンタ等によるマーキングを設けたりしてマーク部を形成し、このマーク部を検出して境界位置信号としてもよい。
Further, instead of directly detecting the half-
基板搬送機構45は、ガラス基板24を挟持するように配設される複数組の基板加熱部(例えば、ヒータ)74と、このガラス基板24を矢印C方向に搬送する搬送部76とを備える。基板加熱部74では、ガラス基板24の温度を常時監視し、異常時には、搬送部76の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板24を後工程でNG排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部76には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板24が浮上されて矢印C方向に搬送される。ガラス基板24の搬送は、ローラコンベアでも行える。
The
ガラス基板24の温度測定は、基板加熱部74内さらには貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式(例えば、熱電対)の他、非接触式であってもよい。
The temperature measurement of the
基板加熱部74の上流には、複数のガラス基板24が収容される基板ストッカー71が設けられる。この基板ストッカー71に収容されている各ガラス基板24は、ロボット75のハンド部75aに設けられた吸着パッド79に吸着されて取り出され、基板加熱部74に挿入される。
A
基板加熱部74の下流には、ガラス基板24の先端に当接してこのガラス基板24を保持するストッパ77と、前記ガラス基板24の先端位置を検出する位置センサ78とが配設される。位置センサ78は、ガラス基板24が貼り付け位置に向かう途中でガラス基板先端を検出し、そこから定量送ることで、ゴムローラ80a、80b間の所定の位置に位置決めするためにある。ここで、位置センサ78は、複数個配設して各位置におけるガラス基板24の到着タイミングを監視し、基板搬送開始時のスリップ等による遅れをチェックするのが好ましい。なお、ガラス基板24の加熱は、上記のような搬送加熱の他、バッチ式のオーブンを使用してロボット搬送してもよい。
Downstream of the
貼り付け機構46は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ80a、80bを備える。ゴムローラ80a、80bには、バックアップローラ82a、82bが摺接するとともに、前記バックアップローラ82bは、ローラクランプ部83を介してゴムローラ80b側に押圧される。
The
図4に示すように、ローラクランプ部83は、駆動モータ93を備え、この駆動モータ93の駆動軸に連結された減速機93aの駆動軸93bにボールねじ94が軸着される。ボールねじ94には、ナット部材95が螺合するとともに、このナット部材95は、スライドベース96に固定される。スライドベース96のウエブ幅方向(矢印B方向)両端には、テーパカム97a、97bが固着される。テーパカム97a、97bの高さは、矢印B1方向に向かって高くなるように設定される。テーパカム97a、97b上には、ローラ98a、98bが載置されており、このローラ98a、98bは、加圧シリンダ84a、84bの下部に保持されている。
As shown in FIG. 4, the
図1に示すように、ゴムローラ80aの近傍には、感光性ウエブ22が前記ゴムローラ80aに接触することを防止するための接触防止ローラ86が移動可能に配設される。貼り付け機構46の上流近傍には、感光性ウエブ22を予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部87が配設される。この予備加熱部87は、例えば、赤外線ヒータや温風加熱器等の熱加熱手段を備える。
As shown in FIG. 1, a
ガラス基板24は、貼り付け機構46から基板間ウエブ切断機構48を通ってさらに矢印C方向に延在する搬送路88を介して矢印C方向に搬送される。この搬送路88には、フイルム搬送ローラ90と基板搬送ローラ92とが、ウエブ先端切断機構48aを介装して配設される。ゴムローラ80a、80bと基板搬送ローラ92との間隔は、ガラス基板24の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。
The
基板間ウエブ切断機構48及びウエブ先端切断機構48aは、感光性ウエブ22及びガラス基板24の搬送方向(矢印C方向)に移動可能に構成され、感光性ウエブ22の幅方向に移動する切刃89、89aと、切刃89、89aに対向配置され、感光性ウエブ22を上方向から吸着する吸着プレート91、91aとを備える。
The inter-substrate
製造装置20では、ウエブ送り出し機構32、ハーフカット機構36、ラベル接着機構40、剥離機構44、テンション制御機構66及び検出機構47が、貼り付け機構46の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構32から前記検出機構47を前記貼り付け機構46の下方に配置し、感光性ウエブ22の上下が逆になって感光性樹脂層28がガラス基板24の下側に貼り付けられてもよく、また、前記製造装置20全体を直線状に構成してもよい。
In the
製造装置20は、図5に示すように、工程制御部100(速度制御部)を介して全体が制御されており、この製造装置20の各機能部毎に、基板加熱制御部102、ハーフカット制御部104、ラベル接着制御部106、ラミネート制御部108、フイルム切断制御部110等が設けられる。これらは、工程内ネットワーク112を介して工程制御部100に接続され、工程制御部100は、工場ネットワークを介して図示しない管理コンピュータから指示情報(条件設定や生産情報)を受け取り、生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。
As shown in FIG. 5, the
基板加熱制御部102は、上流工程からガラス基板24を受け入れ、このガラス基板24を所望の温度まで加熱して貼り付け機構46に供給する基板搬送機構45の動作及び該ガラス基板24の情報のハンドリング等を制御する。
The substrate
ハーフカット制御部104は、ハーフカット機構36を所定のタイミングで駆動し、感光性ウエブ22にハーフカット部位34を形成する処理を制御し、ラベル接着制御部106は、ラベル接着機構40を所定のタイミングで駆動し、感光性ウエブ22に接着ラベル38を接着する処理を制御する。
The half-
ラミネート制御部108は、検出機構47により検出された感光性ウエブ22のハーフカット部位34の位置情報に基づき、貼り付け機構46を制御する。
The
フイルム切断制御部110は、基板間ウエブ切断機構48及びウエブ先端切断機構48aを所定のタイミングで駆動し、ガラス基板24間の感光性ウエブ22を切断し、あるいは、先端部分の不要な感光性ウエブ22を切断する処理を制御する。
The film
製造装置20内は、仕切り壁111を介して第1クリーンルーム112aと第2クリーンルーム112bとに仕切られる。第1クリーンルーム112aには、ウエブ送り出し機構32からテンション制御機構66までの機構が収容されるとともに、第2クリーンルーム112bには、検出機構47以降の機構が収容される。第1クリーンルーム112aと第2クリーンルーム112bとは、貫通部114を介して連通する。
The inside of the
製造装置20内は、仕切り壁111を設けることにより、貼り付け機構46での加熱による熱気が上昇して感光性ウエブ22への熱影響、例えば、表面の皺、変形、熱収縮又は延びを防止する。さらに、塵埃の発生や該塵埃が落下し易い上部(第1クリーンルーム112a)と下部(第2クリーンルーム112b)とを遮断して、特に貼り付け機構46のクリーン度を確保する。なお、第2クリーンルーム112bの圧力を第1クリーンルーム112aの圧力よりも高圧に設定し、前記第2クリーンルーム112bに塵埃が流入することを阻止することが望ましい。
By providing the
このように構成される製造装置20の動作について、本発明に係る製造方法との関連で以下に説明する。
The operation of the
先ず、イニシャル(頭出し)開始時には、ウエブ送り出し機構32に取り付けられている感光性ウエブロール22aから感光性ウエブ22を繰り出し、ハーフカット機構36、ラベル接着機構40、剥離機構44及び貼り付け機構46を通してフイルム搬送ローラ90に先端部を挟持させる(図6参照)。この場合、接触防止ローラ86が矢印で示す方向に変位しており、感光性ウエブ22が加熱されているゴムローラ80a、80bに接触しない状態に保持される。これにより、ガラス基板24に貼り付けられる前の感光性ウエブ22が過剰に加熱されて品質低下の惹起する事態を回避することができる。
First, at the start of initial (cueing), the
次に、ラミネート運転時における製造装置20を構成する各機能部の動作につき、図7に示すタイミングチャートに基づいて説明する。
Next, the operation of each functional unit constituting the
先ず、図8に示すように、接触防止ローラ86が矢印方向に上昇するとともに、フイルム搬送ローラ90及びゴムローラ80aが回転駆動され、感光性ウエブ22がゴムローラ80aに沿って矢印C方向に速度V1で搬送される。
First, as shown in FIG. 8, the
このとき、ハーフカット制御部104により制御されるハーフカット機構36は、吸着プレート53が矢印方向に上昇して感光性ウエブ22を吸着するとともに、感光性ウエブ22の搬送速度に同期して矢印A方向に速度V1で移動し、その状態において、丸刃52a、52bが感光性ウエブ22の幅方向に速度V3で移動して、この感光性ウエブ22を保護フイルム30から感光性樹脂層28乃至ベースフイルム26まで切り込み、残存部分30bの寸法に対応する2個所のハーフカット部位34を形成する。これにより、感光性ウエブ22には、残存部分30bを挟んで前方の剥離部分30aaと後方の剥離部分30abとが設けられる(図2参照)。ハーフカット部位34が形成されると、吸着プレート53が下降して感光性ウエブ22から離間し、ハーフカット機構36が元の位置に復帰する。
At this time, the half-
なお、丸刃52a、52bが感光性ウエブ22の幅方向に移動する速度V3は、感光性ウエブ22が矢印A方向に速度V1以下で移動している間にハーフカット部位34の形成を完了できる速度に設定されている。また、ハーフカット部位34を形成している間、ゴムローラ80bは下降した状態になっており、貼り付け機構46におけるガラス基板24に対する感光性ウエブ22の貼り付け処理は行われない。
The speed V3 at which the
次に、ハーフカット部位34の形成された感光性ウエブ22は、速度V1で連続的にラベル接着機構40に搬送される。ラベル接着制御部106により制御されるラベル接着機構40は、ハーフカット部位34が到達した時点で吸着プレート55が図8に示す矢印方向に上昇し、感光性ウエブ22に形成された残存部分30b近傍のベースフイルム26を吸着するとともに、感光性ウエブ22に同期して矢印A方向に速度V1で移動し、その状態において、吸着パッド54a〜54eに吸着保持された所定枚数の接着ラベル38が保護フイルム30の残存部分30bを跨いで、前方の剥離部分30aaと後方の剥離部分30abとに一体的に接着される(図3参照)。接着ラベル38が接着されると、吸着プレート55が下降して感光性ウエブ22から離間し、ラベル接着機構40が元の位置に復帰する。
Next, the
なお、ラベル接着機構40による接着処理は、感光性ウエブ22が矢印A方向に速度V1以下で移動している間に完了するものとする。また、接着処理を行う間、貼り付け機構46における感光性ウエブ22の貼り付け処理は行われない。
Note that the bonding process by the
接着ラベル38が接着された感光性ウエブ22は、図1に示すように、剥離機構44に連続的に搬送される。剥離機構44では、感光性ウエブ22のベースフイルム26がサクションドラム62に吸着保持されるとともに、接着ラベル38によって連結された保護フイルム30が残存部分30bを残して前記感光性ウエブ22から剥離される。この保護フイルム30は、剥離ローラ63を介して鋭角の剥離角で剥離されて保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる。
The
その際、感光性ウエブ22は、サクションドラム62により強固に保持されており、この感光性ウエブ22から保護フイルム30を剥離する時の衝撃が下流の前記感光性ウエブ22に作用することがない。これにより、貼り付け機構46に剥離の衝撃が伝わることがなく、後述するラミネート処理において、ガラス基板24のラミネート部分にスジ状の不良個所等が発生することを良好に阻止することができる。
At this time, the
剥離機構44の作用下に、保護フイルム30が残存部分30bを残してベースフイルム26から剥離された後、感光性ウエブ22は、テンション制御機構66によってテンション調整が行われ、さらに検出機構47で光電センサ72によりハーフカット部位34の検出が行われる。
Under the action of the
感光性ウエブ22は、ハーフカット部位34の検出情報に基づいて、フイルム搬送ローラ90の回転作用下に、貼り付け機構46に定量搬送される。
The
一方、ガラス基板24は、基板加熱制御部102により制御される基板加熱部74によって所定温度に加熱されており、検出機構47の光電センサ72からの検出情報に従った所定のタイミングで基板搬送機構45により搬送され、ゴムローラ80a、80b間の所定の位置に臨入する。
On the other hand, the
前記の状態から、ラミネート制御部108の制御下に、図4に示すように、駆動モータ93に連結された減速機93aの作用下にボールねじ94が所定方向に回転すると、このボールねじ94に螺合するナット部材95と一体的にスライドベース96が矢印B2方向に移動する。このため、テーパカム97a、97bは、ローラ98a、98bとの接触面が高くなり、前記ローラ98a、98bを上方に変位させる。従って、加圧シリンダ84a、84bが上昇し、バックアップローラ82b及びゴムローラ80bを上昇させることにより、ゴムローラ80a、80b間にガラス基板24が所定のプレス圧力で挟み込まれる(図9参照)。その際、プレス圧力は、加圧シリンダ84a、84bのエア圧力により調整される。
From the above state, when the
このようにして感光性ウエブ22及びガラス基板24がゴムローラ80a、80bによって挟持された後、上部のゴムローラ80a及びフイルム搬送ローラ90が速度V2(V2>V1)で回転制御されて感光性ウエブ22及びガラス基板24を矢印C方向に搬送し、ガラス基板24に感光性樹脂層28が加熱溶融されて転写(ラミネート)される。このラミネート処理の間、上流側のハーフカット機構36及びラベル接着機構4では、ハーフカット処理及び接着処理が行われず、これらの処理によるテンション変動等がラミネート処理に影響を及ぼすことがなく、良好な状態でラミネート処理が遂行される。
After the
なお、ラミネート条件としては、速度が1.0m/min〜10.0m/min、ゴムローラ80a、80bの温度が100℃〜150℃、前記ゴムローラ80a、80bのゴム硬度が40度〜80度、該ゴムローラ80a、80bのプレス圧(線圧)が50N/cm〜400N/cmである。
The laminating conditions include a speed of 1.0 m / min to 10.0 m / min, a temperature of the
そして、図10に示すように、ガラス基板24の先端がフイルム搬送ローラ90の近傍に至ると、このフイルム搬送ローラ90が前記ガラス基板24から離間する方向に移動する。さらに、ガラス基板24から前方(矢印C方向)に突出する感光性ウエブ22の先端が、ウエブ先端切断機構48aに対して所定の位置に至ると、フイルム切断制御部110の制御下に、吸着プレート91aが下降して感光性ウエブ22を吸着保持する一方、切刃89aが感光性ウエブ22の幅方向に移動し、不要部分である前記感光性ウエブ22の先端が切断される。この場合、ウエブ先端切断機構48aは、感光性ウエブ22に同期して矢印C方向に速度V2で移動しながら、感光性ウエブ22を切断する。ウエブ先端切断機構48aは、感光性ウエブ22の先端部を切断した後、元の待機位置に復帰し、通常運転時には使用されない。
As shown in FIG. 10, when the tip of the
図11に示すように、ゴムローラ80a、80bを介してガラス基板24に感光性ウエブ22の1枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ80aの回転が停止される(図7、区間a1参照)。ゴムローラ80aの回転停止により感光性ウエブ22が停止状態になった後、前記感光性ウエブ22がラミネートされた前記ガラス基板24(以下、貼り付け基板24aともいう)が基板搬送ローラ92によりクランプされる。
As shown in FIG. 11, when the lamination of one
そして、ゴムローラ80bが、ゴムローラ80aから離間する方向に退避してクランプが解除される。具体的には、図4に示すように、駆動モータ93に連結された減速機93aが前記とは逆方向に回転駆動され、ボールねじ94及びナット部材95を介してスライドベース96が矢印B1方向に移動する。このため、テーパカム97a、97bは、ローラ98a、98bに接触する面の高さが低くなり、加圧シリンダ84a、84bが下降する。これにより、バックアップローラ82b及びゴムローラ80bが下降してクランプの解除が行われる。
Then, the
なお、ゴムローラ80aの回転停止に先立つ所定時間前において、ストッパ77によるガラス基板24の停止状態が解除され、基板搬送機構45の搬送部76によってガラス基板24が速度V4で搬送され、位置センサ78を介してアンクランプ状態となっているゴムローラ80a、80b間の所定位置に臨入して待機する。
The
ゴムローラ80aの停止から所定時間(例えば、1秒)が経過した後、ゴムローラ80a及び基板搬送ローラ92の回転が開始され、ラミネート時の速度V2よりも遅い速度V1で、所定時間(例えば、3秒、図7、区間a2参照)、感光性ウエブ22及び貼り付け基板24aが矢印C方向に搬送され、次いで、ゴムローラ80a及び基板搬送ローラ92の回転を所定時間(例えば、1秒)停止する(図7、区間a3参照)。このとき、感光性ウエブ22の基板間位置22bがゴムローラ80aの下方付近の所定位置に移動する。
After a predetermined time (for example, 1 second) has elapsed from the stop of the
ここで、貼り付け基板24aが作成されてから、次の貼り付け基板24aの作成が開始されるまでの間(区間a1〜a3)、感光性ウエブ22は、ゴムローラ80aに当接した状態で搬送が停止され、あるいは、低速(搬送速度V1)で搬送されている。
Here, the
この場合、搬送停止状態が短く設定されているため(例えば、1秒)、感光性樹脂層28がゴムローラ80aからの熱によって悪影響を受けることがなく、ゴムローラ80aに接する部分と接していない部分との境界部分にスジ状のむらの発生するおそれがない。なお、感光性ウエブ22は、低速であっても搬送状態が継続されている限り、品質上問題となるようなスジ状のむらの発生しないことが確認されている。
In this case, since the conveyance stop state is set to be short (for example, 1 second), the
また、区間a1〜a3の時間を、例えば、5秒以内に制限することにより、感光性ウエブ22の感光性樹脂層28が熱の影響によって変質(熱カブリ)してしまうこともなく、良好な状態を維持することができる。
In addition, by limiting the time of the sections a1 to a3 to, for example, within 5 seconds, the
一方、ゴムローラ80a、80bによる1枚目の貼り付け基板24aのラミネートが終了し、感光性ウエブ22の一部がゴムローラ80aに接触した状態で停止し、次いで、速度V1で移動して再び停止するまでの間(図7、区間a1〜a3)、ハーフカット機構36を構成する吸着プレート53が上昇して感光性ウエブ22を吸着した後、感光性ウエブ22と同期した速度V1で矢印A方向(図1)に移動するとともに、丸刃52a、52bが感光性ウエブ22の幅方向に走行し、感光性ウエブ22にハーフカット部位34を形成する。
On the other hand, the lamination of the
なお、ハーフカット機構36から貼り付け機構46に至る感光性ウエブ22の搬送路の長さは、隣接する残存部分30b間の距離(図3参照)の略整数倍となるように設定されており、ハーフカット機構36においてハーフカット部位34を形成している間に、貼り付け機構46にラミネート処理を行わない残存部分30bを配置させることができる。
Note that the length of the conveyance path of the
同様にして、ラベル接着機構40を構成する吸着プレート55が上昇して感光性ウエブ22を吸着した後、感光性ウエブ22と同期した速度V1で矢印A方向(図1)に移動するとともに、吸着パッド54a〜54eに吸着された接着ラベル38がハーフカット機構36によって形成されたハーフカット部位34に接着される(図4参照)。なお、ラベル接着機構40によるラベル接着処理は、ハーフカット機構36によるハーフカット部位34の形成処理と並行して行われる。
Similarly, after the
この場合、区間a1〜a3では、感光性ウエブ22が停止し、あるいは、ラミネート時よりも低速の速度V1で搬送されているため、ハーフカット機構36及びラベル接着機構40の矢印A方向への移動範囲が少なく、従って、これらの機構を感光性ウエブ22の搬送方向に移動させる場合であっても、装置が大型化する懸念はない。
In this case, in the sections a1 to a3, the
また、感光性ウエブ22の搬送動作に同期して移動しながら、ハーフカット部位34の形成及び接着ラベル38の接着処理が行われるため、感光性ウエブ22にテンション変動の生じるおそれがない。従って、例えば、ラベル接着機構40と剥離機構44との間にリザーバを設ける必要もなく、その分、装置構成を簡素化することができる。
Further, since the formation of the half-
さらに、ハーフカット機構36及びラベル接着機構40による処理が行われている間、貼り付け機構46には、感光性ウエブ22の残存部分30bが配置され、ラミネート処理が行われないため、貼り付け機構46の上流側での各処理によってテンション変動が生じたとしても、貼り付け機構46の感光性ウエブ22に悪影響を与えることがない。
Further, while the processing by the half-
ハーフカット機構36及びラベル接着機構40による処理が終了すると、吸着プレート53、55による感光性ウエブ22の吸着が解除されるとともに、ハーフカット機構36及びラベル接着機構40の矢印A方向への移動が停止され、元の位置に復帰する。
When the processing by the half-
次いで、ゴムローラ80bが上昇し、ゴムローラ80a、80bにより次なるガラス基板24と感光性ウエブ22とがクランプされる。そして、ゴムローラ80a、80b及び基板搬送ローラ92の回転作用下にガラス基板24及び感光性ウエブ22が速度V2で搬送されてラミネートが開始されるとともに、貼り付け基板24aが矢印C方向に搬送される(図12参照)。貼り付け基板24aは、図13に示すように、それぞれの端部同士が残存部分30bによって覆われている。従って、感光性樹脂層28がガラス基板24に転写される際、額縁状に転写を行うことができる。
Next, the
この場合、ガラス基板24に対する感光性ウエブ22のラミネート処理が行われている間、ハーフカット機構36によるハーフカット部位34の形成処理、及び、ラベル接着機構40による接着ラベル38の接着処理は行われないため、テンション変動等の影響を受けることなく、ラミネート処理を高精度に行うことができる。また、ハーフカット部位34の形成処理及び接着ラベル38の接着処理に要する時間を考慮する必要がなく、感光性ウエブ22及びガラス基板24をラミネート処理可能な速度V2で高速搬送することができるため、貼り付け基板24aを効率的に製造することができる。
In this case, while the
1枚目の貼り付け基板24aの搬送方向後端部が基板搬送ローラ92に至ると、前記基板搬送ローラ92を構成する上方ローラが上昇してクランプを解除するとともに、下方ローラと搬送路88の回転が継続されて前記貼り付け基板24aが搬送される。次いで、図14に示すように、2枚目の貼り付け基板24aの後端部がゴムローラ80a、80bの近傍に至ると、再び、前記ゴムローラ80a、80b及び基板搬送ローラ92の回転が停止される(図7、区間a1参照)。そして、図15に示すように、基板搬送ローラ92の上方ローラが下降して2枚目の貼り付け基板24aをクランプする一方、ゴムローラ80bが下降してクランプを解除する。その後、ゴムローラ80a及び基板搬送ローラ92がラミネート時の速度V2よりも遅い速度V1で2枚目の貼り付け基板24a及び感光性ウエブ22を搬送する。
When the rear end of the first bonded
このとき、基板搬送ローラ92を通過した1枚目の貼り付け基板24aと2枚目の貼り付け基板24aとの間の基板間位置22bが基板間ウエブ切断機構48に至ると、基板間位置22bの感光性ウエブ22が基板間ウエブ切断機構48を構成する吸着プレート91によって吸着される。そして、基板間ウエブ切断機構48は、吸着プレート91を感光性ウエブ22とともに矢印C方向に速度V1で移動しながら切刃89を幅方向に走行させ、貼り付け基板24a間で感光性ウエブ22を切断する。感光性ウエブ22を切断した基板間ウエブ切断機構48は、元の位置に戻される。
At this time, when the inter-substrate position 22b between the first bonded
なお、貼り付け機構46から基板間ウエブ切断機構48に至る搬送路の長さは、貼り付け基板24aの搬送方向の長さの略整数倍となるように設定されており、貼り付け機構46にラミネート処理を行わない残存部分30bが配置されている間に、基板間ウエブ切断機構48によって切断処理を行うことができる。従って、切断処理によるテンション変動等が貼り付け基板24aの製造に影響を与えることはない。
The length of the transport path from the
なお、基板間ウエブ切断機構48が感光性ウエブ22を切断する間、上流側に配設されたハーフカット機構36及びラベル接着機構40は、感光性ウエブ22に対するハーフカット部位34の形成処理及び接着ラベル38の接着処理を並行して行う。
In addition, while the inter-substrate
以上の処理は、3枚目以降の貼り付け基板24aに対して同様にして行われる。そして、貼り付け基板24a間が切断された後、ベースフイルム26及び残存部分30bが貼り付け基板24aから剥離されて感光性積層体116(図1)が製造される。
The above processing is similarly performed on the third and subsequent bonded
なお、上述した実施形態では、貼り付け基板24a間の感光性ウエブ22を基板間ウエブ切断機構48によって切断した後、個々の貼り付け基板24aからベースフイルム26及び残存部分30bを剥離して感光性積層体116を製造するようにしているが、貼り付け基板24a間の感光性ウエブ22を切断することなく、ベースフイルム26を連続的に巻き取るとともに、残存部分30bを剥離して感光性積層体116を製造するようにしてもよい。この場合、基板間ウエブ切断機構48は、不要である。
In the above-described embodiment, the
20…製造装置 22…感光性ウエブ
24…ガラス基板 26…ベースフイルム
28…感光性樹脂層 30…保護フイルム
32…ウエブ送り出し機構 34…ハーフカット部位
36…ハーフカット機構 38…接着ラベル
40…ラベル接着機構 44…剥離機構
45…基板搬送機構 46…貼り付け機構
47…検出機構 48…基板間ウエブ切断機構
66…テンション制御機構 80a、80b…ゴムローラ
86…接触防止ローラ 90…フイルム搬送ローラ
92…基板搬送ローラ 100…工程制御部
102…基板加熱制御部 104…ハーフカット制御部
106…ラベル接着制御部 108…ラミネート制御部
110…フイルム切断制御部
DESCRIPTION OF
Claims (12)
前記残存部分を残して前記長尺状感光性ウエブから前記剥離部分を剥離させる剥離部と、
基板を所定の間隔で貼り付け位置に搬送する基板搬送部と、
前記貼り付け位置で、前記残存部分を前記基板間に配設する一方、前記剥離部分が剥離されて露出した前記感光材料層を所定温度に加熱し、前記基板に貼り付けて貼り付け基板を得る貼り付け部と、
前記残存部分が前記貼り付け部を移動する第1速度を低速に制御し、露出した前記感光材料層が前記貼り付け部を移動する第2速度を前記第1速度よりも速い高速に制御する速度制御部と、
を備え、前記第1速度による制御を行う間、前記貼り付け部における前記基板と露出した前記感光材料層との位置決め制御を行うとともに、少なくとも前記加工部による前記加工部位の形成処理を行い、前記第2速度による制御を行う間、前記感光材料層を前記基板に貼り付ける貼り付け処理を行うことを特徴とする感光性積層体の製造装置。 The photosensitive material layer and the protective film can be cut in the width direction corresponding to the boundary position between the peeled portion and the remaining portion on at least the protective film of the long photosensitive web that is sequentially laminated on the support. A processing part for forming a processing part;
A peeling part for peeling off the peeling part from the long photosensitive web leaving the remaining part;
A substrate transport unit for transporting the substrate to affixing position at a predetermined interval;
At the affixing position, the remaining part is disposed between the substrates, while the photosensitive material layer exposed by the exfoliation of the exfoliation part is heated to a predetermined temperature and affixed to the substrate to obtain an affixed substrate. Paste part,
A speed at which a first speed at which the remaining portion moves on the pasting portion is controlled at a low speed, and a second speed at which the exposed photosensitive material layer moves at the pasting portion is controlled at a high speed higher than the first speed. A control unit;
And performing positioning control of the substrate and the exposed photosensitive material layer in the affixed portion while performing the control by the first speed, and at least performing the processing of forming the processing portion by the processing portion, An apparatus for manufacturing a photosensitive laminate, wherein an adhesive process for attaching the photosensitive material layer to the substrate is performed during the control at the second speed.
前記貼り付け部の下流には、前記残存部分及び前記支持体を前記貼り付け基板間で切断する切断部が配設され、前記切断部は、前記第1速度による制御を行う間に切断処理を行うことを特徴とする感光性積層体の製造装置。 The manufacturing apparatus according to claim 1,
A cutting unit for cutting the remaining portion and the support body between the pasting substrates is disposed downstream of the pasting unit, and the cutting unit performs a cutting process while performing control at the first speed. An apparatus for producing a photosensitive laminate, comprising:
前記加工部の下流には、前記残存部分の両側に位置する前記剥離部分を連結する接着ラベルを接着するラベル接着部が配設され、前記ラベル接着部は、前記第1速度による制御を行う間に前記接着ラベルの前記剥離部分への接着処理を行うことを特徴とする感光性積層体の製造装置。 The manufacturing apparatus according to claim 1,
A label adhering portion for adhering an adhesive label that connects the peeled portions located on both sides of the remaining portion is disposed downstream of the processing portion, and the label adhering portion is controlled during the control by the first speed. An apparatus for producing a photosensitive laminate, wherein an adhesive treatment is performed on the peeled portion of the adhesive label.
前記貼り付け部の上流には、前記加工部位を検出する検出部が配設され、前記速度制御部は、前記検出部により検出された前記加工部位の検出情報に従い、前記第1速度及び前記第2速度を制御することを特徴とする感光性積層体の製造装置。 In the manufacturing apparatus of any one of Claims 1-3,
A detection unit for detecting the processing site is disposed upstream of the pasting unit, and the speed control unit is configured to detect the first speed and the first speed according to the processing site detection information detected by the detection unit. An apparatus for producing a photosensitive laminate, wherein two speeds are controlled.
前記第1速度による制御は、少なくとも前記加工部による前記加工部位の形成処理に要する時間を確保し、且つ、前記貼り付け部における前記感光材料層に対する熱の影響が生じない時間以内で行われることを特徴とする感光性積層体の製造装置。 In the manufacturing apparatus of any one of Claims 1-4,
The control based on the first speed is performed within a time during which at least the time required for forming the processed portion by the processed portion is ensured and the influence of heat on the photosensitive material layer at the pasting portion does not occur. An apparatus for producing a photosensitive laminate.
前記第1速度は、前記長尺状感光性ウエブの搬送を所定時間停止させる停止速度と、前記長尺状感光性ウエブを低速で移動させる低速移動速度との組み合わせとして設定されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。 The manufacturing apparatus according to claim 5, wherein
The first speed is set as a combination of a stop speed for stopping the conveyance of the long photosensitive web for a predetermined time and a low speed for moving the long photosensitive web at a low speed. Manufacturing apparatus for photosensitive laminate.
前記加工部から前記貼り付け部に至る前記長尺状感光性ウエブの搬送距離は、前記剥離部分の両側に位置する前記残存部分間の距離の略整数倍に設定されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。 In the manufacturing apparatus of any one of Claims 1-6,
The photosensitive distance is characterized in that a conveying distance of the long photosensitive web from the processed part to the pasting part is set to be approximately an integral multiple of a distance between the remaining parts located on both sides of the peeling part. Manufacturing device for conductive laminates.
送り出された前記長尺状感光性ウエブの少なくとも前記保護フイルムに、剥離部分と残存部分との境界位置に対応して幅方向に切断可能な加工部位を形成する工程と、
前記残存部分を残して前記長尺状感光性ウエブから前記剥離部分を剥離させて前記感光材料層を露出させる工程と、
基板を所定の間隔で貼り付け位置に搬送する工程と、
前記加工部位を形成する間、前記貼り付け位置で前記残存部分を第1速度で移動させ、前記基板と露出した前記感光材料層との位置決め制御を行う工程と、
前記貼り付け位置を前記残存部分が通過した後、前記長尺状感光性ウエブを前記第1速度よりも速い第2速度で移動させ、露出した前記感光材料層を所定温度に加熱して前記基板に貼り付け、貼り付け基板を得る工程と、
を有することを特徴とする感光性積層体の製造方法。 A step of feeding a long photosensitive web in which a photosensitive material layer and a protective film are sequentially laminated on a support;
Forming a processing part that can be cut in the width direction corresponding to the boundary position between the peeled part and the remaining part on at least the protective film of the long photosensitive web that has been sent out;
Exposing the photosensitive material layer by peeling off the peeled portion from the elongated photosensitive web leaving the remaining portion;
Transporting the substrate to affixing position at a predetermined interval;
A step of moving the remaining portion at a first speed at the affixing position while forming the processed portion, and performing positioning control between the substrate and the exposed photosensitive material layer;
After the remaining portion passes through the pasting position, the long photosensitive web is moved at a second speed higher than the first speed, and the exposed photosensitive material layer is heated to a predetermined temperature to form the substrate. A step of attaching to the substrate and obtaining an attachment substrate;
The manufacturing method of the photosensitive laminated body characterized by having.
前記長尺状感光性ウエブを前記第1速度で移動させる間、前記残存部分及び前記支持体を前記貼り付け基板間で切断する工程を有することを特徴とする感光性積層体の製造方法。 The manufacturing method according to claim 8, wherein
A method for producing a photosensitive laminate, comprising the step of cutting the remaining portion and the support body between the pasting substrates while moving the long photosensitive web at the first speed.
前記長尺状感光性ウエブを前記第1速度で移動させる間、前記残存部分の両側に位置する前記剥離部分を連結する接着ラベルを接着する工程を有することを特徴とする感光性積層体の製造方法。 The manufacturing method according to claim 8, wherein
A process for producing a photosensitive laminate, comprising the step of adhering adhesive labels that connect the peeled portions located on both sides of the remaining portion while moving the long photosensitive web at the first speed. Method.
前記第1速度による制御は、少なくとも前記加工部位の形成処理に要する時間を確保し、且つ、前記貼り付け位置における前記感光材料層に対する熱の影響が生じない時間以内で行われることを特徴とする感光性積層体の製造方法。 In the manufacturing method of any one of Claims 8-10,
The control based on the first speed is performed within a time that secures at least a time required for the formation process of the processed portion and does not cause an influence of heat on the photosensitive material layer at the attaching position. A method for producing a photosensitive laminate.
前記第1速度は、前記長尺状感光性ウエブの搬送を所定時間停止させる停止速度と、前記長尺状感光性ウエブを低速で移動させる低速移動速度との組み合わせとして設定されることを特徴とする感光性積層体の製造方法。 The manufacturing method according to claim 11, wherein
The first speed is set as a combination of a stop speed for stopping the conveyance of the long photosensitive web for a predetermined time and a low speed for moving the long photosensitive web at a low speed. A method for producing a photosensitive laminate.
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