JP2007083366A - アブレイシブウォータージェットによる基板切断方法、及び、基板切断装置。 - Google Patents

Abstract

【課題】ウォータージェットと研磨材とが所定の割合となり且つ均等に混合された状態のアブレイシブウォータージェットを該ノズル内に、人的な管理を必要とせず、適宜に供給する。
【解決手段】水３に所要量のスラリー４を混入したスラリー混入液５を主タンク１内に収容し、更に、水３に所要量のスラリー４を混入して両者の混合割合が所定の割合となるように設定されたスラリー混入液５の貯蔵タンク２１を備えると共に、貯蔵タンク２１内の水３とスラリー４とが均等に混合されるように撹拌するスラリー混入液５の撹拌工程によって、その水３とスラリー４とが均等に混合された状態のスラリー混入液５を主タンク１内に供給するように設定されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、水に所要量のスラリーを混入したスラリー混入液に高圧流体による圧力を加えてノズルから噴出させることによって基板を切断するアブレイシブウォータージェットによる基板切断方法、及び、基板切断装置に関するものである。

従来から、ワークをアブレイシブウォータージェットによって加工（切断）する方法は、一般的に、研磨材に高圧流体（ウォータージェット）による圧力を加えてノズルから噴出させてワークを加工するものである（例えば、特許文献１参照。）。

この特許文献１のアブレイシブウォータージェットによるワーク加工方法とは、湿った状態の研磨材を研磨材タンク内に貯留する。そして、研磨材タンク内にコンプレッサによるエアの圧力で加圧すると、オリフィスから湿った状態の研磨材を円滑に滴下させる。さらに、滴下した湿った状態の研磨材をコンプレッサによるエアで研磨材供給管を介してアブレイシブノズルヘッドから噴出させてワークを加工する。その加工後に、使用した研磨材を再利用し、消耗した研磨材は、新研磨材タンクから補給するものである。
従って、研磨材タンクは、アブレイシブノズルヘッドに、ウォータージェットに混合してアブレイシブウォータージェットを発生させるための研磨材を供給する。このようにして、湿った状態の研磨材は、アブレイシブノズルヘッド内で、ウォータージェットと混合するように開示されている。

特開２０００−７６７号公報（第３頁、図１）

しかしながら、従来のアブレイシブウォータージェットによるワーク加工方法によれば、ウォータージェットと研磨材との混合割合は、アブレイシブウォータージェットの状態にならないと判断が困難である。
なぜならば、ウォータージェットと研磨材との混合割合を所定の割合に設定しておかないと、アブレイシブノズルヘッド内で目詰まりをおこすこと、ワークを加工する加工能力が低下すること等のワーク切断上の諸問題が発生する。
このことから、湿った状態の研磨材を研磨材タンク内に単に貯留しているだけでは、アブレイシブノズルヘッドに限らず、該ノズルヘッドに到達するまでの経路内でも、湿った状態の研磨材が詰まりやすい。更に、ワーク加工の停止時に、前記した経路内での研磨材の沈降現象を非常に引き起こしやすいので、常に人的に管理する必要が生じる。
また、アブレイシブノズルヘッド内で、ウォータージェットと研磨材とが所定の割合となり且つ均等に混合されることは、人的な管理なしでは非常に困難と云える。

従って、本発明は、ウォータージェットと研磨材とが所定の割合となり且つ均等に混合された状態のアブレイシブウォータージェットをアブレイシブノズルヘッド内に、人的な管理を必要とせず、適宜に供給することを目的とするものである。

そこで、前記した技術的課題を解決するための本発明の請求項１に係わるアブレイシブウォータージェット（６）による基板切断方法は、水（３）に所要量のスラリー（４）を混入したスラリー混入液（５）を主タンク（１）内に収容すると共に、この主タンク（１）内のスラリー混入液（５）に高圧流体（９）による圧力を加えてノズル（２）から噴出させることによって基板（２８）を切断するアブレイシブウォータージェット（６）による基板切断方法において、
水（３）に所要量のスラリー（４）を混入して両者（３・４）の混合割合が所定の割合となるように設定されたスラリー混入液（５）の貯蔵タンク（２１）を更に備えると共に、この貯蔵タンク（２１）内の水（３）とスラリー（４）とが均等に混合されるように撹拌するスラリー混入液（５）の撹拌工程を行い、
更に、スラリー混入液（５）の撹拌工程によって、その水（３）とスラリー（４）とが均等に混合された状態の貯蔵タンク（２１）内のスラリー混入液（５）を主タンク（１）内に供給するように設定されていることを特徴とする。

また、前記した技術的課題を解決するための本発明の請求項２に係わるアブレイシブウォータージェット（６）による基板切断方法は、貯蔵タンク（２１）内に供給したスラリー混入液（５）に対して、その水（３）とスラリー（４）との混合割合を計測するスラリー混入液（５）の計測センサ（２７）を更に備えると共に、この貯蔵タンク（２１）内の水（３）とスラリー（４）との混合割合が所定の割合となるように管理するスラリー混入液（５）の管理工程を行い、
更に、スラリー混入液（５）の管理工程によって、その水（３）とスラリー（４）との混合割合が所定の割合となるように、その水（３）とスラリー（４）とを夫々、貯蔵タンク（２１）内に供給するように設定されていることを特徴とする。

また、前記した技術的課題を解決するための本発明の請求項３に係わるアブレイシブウォータージェット（６）による基板切断装置（１００）は、水（３）に所要量のスラリー（４）を混入したスラリー混入液（５）を収容する主タンク（１）と、この主タンク（１）内のスラリー混入液（５）に高圧流体（９）による圧力を加えて噴出させることによって基板（２８）を切断するノズル（２）と、を少なくとも設けたアブレイシブウォータージェット（６）による基板切断装置（１００）において、
水（３）と所要量のスラリー（４）との混合割合が所定の割合となるように混入したスラリー混入液（５）の貯蔵タンク（２１）を更に設けると共に、この貯蔵タンク（２１）内の水（３）とスラリー（４）とが均等に混合されるように撹拌するスラリー混入液（５）の撹拌器（２３）を備え、
更に、スラリー混入液（５）の撹拌器（２３）によって、水（３）とスラリー（４）とが均等に混合された状態の貯蔵タンク（２１）内のスラリー混入液（５）を主タンク（１）内に供給するように構成されていることを特徴とする。

また、前記した技術的課題を解決するための本発明の請求項４に係わるアブレイシブウォータージェット（６）による基板切断装置（１００）は、貯蔵タンク（２１）内に供給したスラリー混入液（５）に対して、その水（３）とスラリー（４）との混合割合を計測するスラリー混入液（５）の計測センサ（３０）を更に備えると共に、スラリー混入液（５）の計測センサ（２７）によって、その水（３）とスラリー（４）との混合割合が所定の割合となるように、その水（３）とスラリー（４）とを夫々、貯蔵タンク（２１）内に供給するように構成されていることを特徴とする。

なお、前記した符号は、説明の便宜上付したものであり、本発明を図面に示される実施の形態に限定するものではない。

本発明によれば、水とスラリーとが均等に混合された状態のスラリー混入液を供給するアブレイシブウォータージェットを用いて基板を切断することにより、アブレイシブウォータージェットによる切断加工を安定し且つ連続して稼動させることができ、更に、切断加工された成形品（製品）の生産性をより一層向上させることができる、アブレイシブウォータージェットによる基板切断方法、及び、基板切断装置を提供すると云う優れた効果を奏する。

以下、図１から図３に基づいて、最良の実施形態を説明する。
図１は、本発明に係るアブレイシブウォータージェットによる基板切断装置１００（以下、「切断装置１００」と記す。）の概略図を示す。図２は、図１に対応する切断装置１００に、更に配管を接続した概略図を示す。図３は、図１に対応する切断装置１００に、更に別の主タンクを接続した概略拡大図を示す。
なお、図２及び図３は、図１に準ずるものとして同一符号を記す。

図１から図３に示す切断装置１００は、主タンク１とノズル２とを少なくとも設ける。主タンク１は、ノズル２と配管７（７ａ）を介して連通する。このノズル２は、水３に所要量のスラリー４を混入したスラリー混入液５に対して、高圧流体（図例では高圧水９）を加えてアブレイシブウォータージェット６として噴出する。
例えば、水３には、水道水・純水等の真水を用い、スラリー４には、アルミナ・シリカ・シリコンカーバイド・ガーネット等の砥粒材料を用いる。
つまり、スラリー４はノズル２に到達するまでに、主タンク１内で水４と混入してスラリー混入液５として供給されており、従来の湿った状態の研磨材を、アブレイシブノズルヘッド内で、ウォータージェットと混合するものとは全く異なるものと云える。
従って、このスラリー混入液５を主タンク１内から直接配管７（７ａ）を介してノズル２に供給するので、スラリー４量の過不足による目詰まりや加工能力低下といった問題は解消されると共に、ノズル２及び主タンク１からノズル２までの配管７（７ａ）において、人的に管理する必要が最小限に削減できる。

主タンク１内には、摺動自在に嵌装させるスペーサ８を備える。このスペーサ８によって遮蔽状態とされたスラリー混入液５と高圧水９とを主タンク１内に個別に供給させる。そして、このスラリー混入液５に対して、その水３とスラリー４とが均等に混合されるように撹拌するスラリー混入液５の撹拌器１０を備える。
更に、主タンク１内に高圧水９を供給して、その圧力９をスペーサ８に加えることによって、スラリー混入液５の攪拌器１０により水３とスラリー４とが均等に混合された状態のスラリー混入液５をノズル２に供給する。

スペーサ８は、主タンク１内にスラリー混入液５と高圧水９とを個別に供給するための遮断部材の役割をし、図例のとおり、スラリー混入液５に浮遊した状態となる。そして、スペーサ８が主タンク１内を上下方向に摺動する際、スペーサ８が水平方向に保持した状態で上下動するように設定される。
このスペーサ８の浮遊状態をより一層安定させるために、スペーサ８の内部に液体１１、例えば、水３、或は、その他の溶液を収容することが望ましい。このスペーサ８に収容する液体１１の比重は、スラリー混入液５よりも小さい値にする。
即ち、この液体１１は、比重を１にすることがより一層望ましい。

また、スペーサ８の上面１２側、或は、下面１３側が、主タンク１の摺動方向の両壁面１４側（１４ａ・１４ｂ）に衝突しないように、主タンク１内の高圧水９側に段部１５（１５ａ）、及び、スラリー混入液５側に段部１５（１５ｂ）を夫々備える。
つまり、スペーサ８を下方向に摺動させる場合、高圧水９側に圧力を大きく加えて、スペーサ８の上面１２側を押圧する一方で、スペーサ８を上方向に摺動させる場合、スラリー混入水５側に圧力を大きく加えて、スペーサ８の下面１３側を押圧する。

なお、スペーサ８は、主タンク１内を摺動自在に嵌装できれば、図例に限定せず、主タンク１の両側面に嵌め込むような構造にすることも可能である。そして、主タンク１内のスペーサ８を上下方向に限定せず、任意の方向、例えば、左右方向にスペーサ８を摺動自在に配置構成することも可能である。

また、主タンク１内に高圧流体（高圧水９）を供給・排出するための水３を貯留する水源タンク１６を設ける。この水源タンク１６は、主タンク１に配管７（７ｂ）及び水３を高圧水９にするための適宜な圧力ポンプ１７を介して連通する。
つまり、水源タンク１６、圧力ポンプ１７、配管７（７ｂ）によって、主タンク１内の水３に所定圧力を加えて高圧水９とすることにより、主タンク１内のスペーサ８の上面１２側を押圧する。一方、主タンク１内の高圧水９を排出するために、配管７（７ｃ）を介して水源タンク１６に循環する。この配管７（７ｃ）には、高圧水９（水３）を再利用するために、浄化フィルタ１８を介して水源タンク１６に循環する。
従って、主タンク１内の高圧水９において、スペーサ８が下方向に摺動する場合、配管７（７ｂ）側が開状態、配管７（７ｃ）側が閉状態となる。一方、スペーサ８が上方向に摺動する場合、配管７（７ｂ）側が閉状態、配管７（７ｃ）側が開状態となる。このことにより、高圧水９(水３）を常時、主タンク１内に供給することができる。

スラリー混入液５の撹拌器１０は、スラリー混入液５に対して、その水３とスラリー４とが均等に混合させるために、主タンク１内の壁面１４（１４ｂ）側に備える。そして、スペーサ８の下面１３側と衝突して攪拌器１０が停止・損傷しないように、壁面１４（１４ｂ）と段部１５（１５ｂ）との間に備える。そして、この攪拌器１０には、スラリー混入液５を攪拌させるスクリュー部１９と、該スクリュー部１９を攪拌駆動させる攪拌駆動手段２０とを備える。
例えば、スラリー混入液５に対するスラリー４の混合割合が、５体積％以上且つ７０体積％以下となる所定の割合で混合されることが望ましい。この数値の根拠として、７０体積％より大きい場合、ノズル２内で目詰まりをおこしやすく、一方、５体積％より小さい場合、基板２８を切断加工する加工能力が低下すること等の基板切断上の諸問題が発生することから前述した数値に設定する。
なお、この攪拌器１０として、マグネット型を採用させることが望ましい。このマグネット型の攪拌器１０とは、該スクリュー部１９をスラリー混入液５に浮遊状態とする。
つまり、スクリュー部１９と攪拌駆動手段２０とが磁石でいう、Ｓ極同士、或は、Ｎ極同士の離反状態を保持する。この離反状態を保持できれば、主タンク１内の壁面１４（１４ｂ）側に配置構成せず、主タンク１内の両側面側に、適宜に配置変更が可能である。
従って、スラリー混入液５の攪拌器１０において、主タンク１内に水３とスラリー４との混合割合が所定の割合となったスラリー混入液５に対して、その水３とスラリー４とが均等に混合されるように攪拌することができる。

更に、スラリー混入液５を貯蔵する貯蔵タンク２１を設ける。この貯蔵タンク２１は、主タンク１に配管７（７ｄ）を介して連通する。そして、主タンク１内に配管７（７ｄ）を介して、スラリー混入液５を供給するために加圧する適宜な圧力ポンプ２２を備える。
つまり、貯蔵タンク２１、圧力ポンプ２２、配管７（７ｄ）によって、主タンク１内のスラリー混入液５に所定圧力を加えることにより、主タンク１内のスペーサ８の下面１３側に供給する。このことは、主タンク１内に供給されたスラリー混入液５を配管７（７ａ）、ノズル２を介してアブレイシブウォータージェット６として使用した後に、貯蔵タンク２１から主タンク１内にスラリー混入液５を適宜に供給できるように構成される。
従って、主タンク１内のスラリー混入液５において、スペーサ８が下方向に摺動する場合、配管７（７ａ）側が開状態、配管７（７ｄ）側が閉状態となり、一方、スペーサ８が上方向に摺動する場合、配管７（７ａ）側が閉状態、配管７（７ｄ）側が開状態となる。

貯蔵タンク２１内には、前述した主タンク１内に備えた攪拌器１０と同様に、貯蔵タンク２１にもスラリー混入液５の別の攪拌器２３を更に備える。この攪拌器２３においても、前述した攪拌器１０と同様の機能となるスクリュー部２４、攪拌駆動手段２５を備え、更に、マグネット型の攪拌器２３を採用することがより一層望ましい。この場合においても、例えば、スラリー混入液５に対するスラリー４の混合割合が、５体積％以上且つ７０体積％以下となる所定の割合で混合されることが望ましい。
つまり、スラリー混入液５の攪拌器１０・２３を夫々、主タンク１内、並びに、貯蔵タンク２１内に備えることにより、水３に含む所要量のスラリー４を混入させる主タンク１、並びに、貯蔵タンク２１の両者で、水３とスラリー４との混合割合が所定の割合となるのに加えて、水３とスラリー４とが均等に混合することができるように構成される。
ただし、貯蔵タンク２１内から主タンク１内へ、その水３とスラリー４との混合割合を所定の割合となるのに加えて、水３とスラリー４とが均等に混合された状態のスラリー混入液５を供給することが十分に可能であれば、主タンク１内の攪拌器１０（１９・２０）を備えずに実施することも可能である。
従って、切断装置１００の自動化するメリットを格段に向上できる。

また、貯蔵タンク２１内に水３を供給するために、前述した水源タンク１６から配管７（７ｆ）を介して連通する。この水源タンク１６を共有せず、別タンク（図示なし）を備えることも可能である。そして、貯蔵タンク２１内に所要量のスラリー４を供給するために、スラリー源タンク２６を備える。
更に、貯蔵タンク２１内に供給したスラリー混入液５に対して、その水３とスラリー４との混合割合を計測するスラリー混入液５の計測センサ２７を更に備えると共に、スラリー混入液５の計測センサ２７によって、その水３とスラリー４との混合割合が所定の割合となるように、その水３とスラリー４とを夫々、貯蔵タンク２１内に供給するよう管理される。なお、計測センサ２７は、主タンク１内に備えることも可能である。
計測センサ２７は、例えば、スラリー混入液５に対するスラリー４の混合割合が、５体積％以上且つ７０体積％以下となる所定の割合で混合されるように自動的に管理されている。所定の割合に対してこの混合割合が小さくなると、スラリー源タンク２６から適宜にスラリー４を貯蔵タンク２１内に供給し、一方、所定の割合に対してこの混合割合が大きくなると、水源タンク１６から配管７（７ｆ）を介して適宜に水３を貯蔵タンク２１内に供給されることになる。
つまり、図例の切断装置１００の貯蔵タンク２１によれば、貯蔵タンク２１内にて水３と所要量のスラリー４とを混入させ、更に、別の攪拌器２３、及び／又は、計測センサ２７によって、スラリー混入液５に対して、その水３とスラリー４との混合割合が所定の割合となることに加えて、その水３とスラリー４とが均等に混合された状態で貯留しているので、より一層、面倒な人的な管理も必要とせず、貯蔵タンク２１内から配管７（７ｄ）を介して主タンク１内にスラリー混入液５を適宜に供給することができる。

一方、主タンク１内のスラリー混入液５を排出することは、前述した配管７（７ａ）、ノズル２を介して、アブレイシブウォータージェット６として基板２８に噴出することを意味する。そして、対象となる基板２８とは、例えば、ウェーハ基板、樹脂封止（パッケージ）基板等を表し、樹脂封止基板には、樹脂封止済のリードフレーム、プラスチック基板、セラミック基板、ガラス基板、或は、その他の封止済基板を用いる。
つまり、水３とスラリー４との混合割合が所定の割合となることに加えて、水３とスラリー４とが均等に混合された状態のスラリー混入液５をアブレイシブウォータージェット６として用いて、基板２８を切断することができる。

基板２８の切断分離後に発生する切断屑２９を含むスラリー混入液５は、すべて廃棄処理するのではなく、キャッチャ３０内に捕集する。この捕集されたスラリー混入液５は、配管７（７ｅ）を介して貯蔵タンク２１に循環する。この配管７（７ｅ）には、スラリー混入液５を再利用するために、浄化フィルタ３１を介して貯蔵タンク２１に循環する。その際、切断屑２９を浄化フィルム３１にて廃棄処理し、再利用されるスラリー混入水５のみを配管７（７ｅ）を介して貯蔵タンク２１内に供給される。

図２には、図１に示す切断装置１００に、配管７（７ｇ）を更に接続し、高圧水９側では配管７（７ｂ）と切換バルブ３２を介して連通し、一方、スラリー混入液５（ノズル２）側では配管７（７ａ）と切換バルブ３３を介して連通する。この配管７（７ｇ）の役割として、人的な管理をより一層削減するために接続される。
つまり、図１に示す切断装置１００を断続的に稼動すること、或は、完全に停止するような場合、主タンク１とノズル２とを接続する配管７（７ａ）に、スラリー混入液５が残存する。即ち、再び切断装置１００を稼動する際に、このスラリー４が沈降し、ノズル２及び配管７（７ａ）にて目詰まりすることが考えられる。この場合、図２に示すように、ノズル２及び配管７（７ａ）内の残存するスラリー混入液５を排出するために、水源タンク１６の水３を圧力ポンプ１７によって高圧水９とし、配管７（７ｂ）、切換バルブ３２、配管７（７ｇ）、切換バルブ３３、ノズル２側の配管７（７ａ）の経路を順次たどり、ノズル２から残存するスラリー混入液５をノズル２外部へと排出することができる。少なくとも、このスラリー混入液５の排出作業を実施する場合には、主タンク１内に高圧水９、及び、主タンク１内からスラリー混入液５を供給しない閉状態となる。

従って、常にノズル２及び配管７（７ａ）の経路をクリーンな状態で利用することができるので、切断装置１００における人的な管理を一層削減でき、切断装置１００の自動化するメリットを向上させることができる。更には、常にクリーンな経路を利用することによって、アブレイシブウォータージェット６の加工能力を格段に向上できる。

図３には、図１に示す切断装置１００に、別の主タンク３４を更に設ける。そして、高圧水９側の配管７（７ｂ）とは、切換バルブ３５、配管７（７ｈ）を介して連通し、一方、スラリー混入液５（ノズル２）側の配管７（７ｉ）とは、切換バルブ３６を介して配管７（７ａ）に連通する。この別の主タンク３４の役割として、切断装置１００におけるアブレイシブウォータージェット６を連続的に且つ安定して供給するために、主タンク１とは更に設けたものである。その他に、高圧水９側の配管７（７ｃ）とは、主タンク１内の高圧水９を排出させる配管７（７ｊ）、切換バルブ３７を介して連通し、一方、スラリー混入液５側の配管７（７ｄ）とは、主タンク１内にスラリー混入液５を供給させる切換バルブ３８、配管７（７ｋ）を介して連通する。
つまり、図３に示すように、主タンク１側のスラリー混入液５をアブレイシブウォータージェット６としてノズル２から供給後、切換バルブ３５・３６にて別の主タンク３４側に切り換えて、より一層、連続的に且つ安定してアブレイシブウォータージェット６をノズル２に供給することができる。

なお、この切断装置１００における人的管理を最小限に削減するために、少なくとも、主タンク１・３４、並びに、貯蔵タンク２１における全面、或は、所定箇所面を透明性のある適宜なタンクにすることも可能である。

ここで、切断装置１００における基板切断方法を図１にて説明する。
まず、主タンク１内にスラリー混入液５、水３（高圧水９）が夫々供給される。このとき、主タンク１内において、スラリー混入液５はスラリー混入液５の攪拌器１０によって攪拌されて、その水３とスラリー４とが均等に混合された状態となると共に、貯蔵タンク２１内においても、スラリー混入液５はスラリー混入液５の攪拌器２３によって攪拌されて、その水３とスラリー４とが均等に混合された状態で主タンク１内に配管７（７ｄ）を介して供給される。この状態図が図１となる。
次に、開状態の配管７（７ｂ）を介して圧力ポンプ１７にて主タンク１側に水３を送り込み、この水３を高圧水９として主タンク１のスペーサ８の上面１２側に供給すると、高圧水９がスペーサ８の上面１２側を押圧してスペーサ８を下方向に摺動させる。このスペーサ８を下方向に摺動させることにより、開状態の配管７（７ａ）を介してノズル２から攪拌器１０にて攪拌されて、その水３とスラリー４とが均等に混合された状態のスラリー混入液５をアブレイシブウォータージェット６として噴出させる。このとき、配管７（７ｃ）、及び、配管７（７ｄ）は、閉状態となる。
次に、アブレイシブウォータージェット６により基板２８を所定形状に切断分離し、成形品（製品）を完成させる。一方、切断分離後の切断屑２９を含むスラリー混入液５は、キャッチャ３０内に捕集され、次に、配管７（７ｅ）介して再利用されるスラリー混入液５のみ貯蔵タンク２１内に循環される。そして、切削屑２９は浄化フィルタ３１にて廃棄処理される。
次に、対象となる基板２８が完全に切断分離されると、配管７（７ａ）及び配管７（７ｂ）は閉状態となり、配管７（７ｄ）を介して圧力ポンプ２２にて主タンク１側に、その水３とスラリー４とが均等に混合された状態のスラリー混入液５を貯蔵タンク２１内から供給すると、スペーサ８の下面１３側を押圧してスペーサ８を上方向に摺動させる。このスペーサ８を上方向に摺動させることにより、開状態の配管７（７ｃ）を介して再利用されるスラリー混入液５のみ水源タンク１６内に循環される。そして、不要な水３（高圧水９）は浄化フィルタ１８にて浄化されて廃棄処理される。

以上のことから、本実施形態によれば、基板２８の切断加工で用いる、水３（高圧水９）及びスラリー混入液５を、基板２８の切断加工時に、適宜に供給することができるので、最小限に人的管理を削減できると共に、切断装置１００を安定し且つ連続して稼動させることができ、更に、切断加工された成形品（製品）の生産性をより一層向上させることができる。

図１は、本発明に係るアブレイシブウォータージェットによる基板切断装置の概略図を示す。 図２は、図１に対応する切断装置に、配管を更に接続した概略図を示す。 図３は、図１に対応する切断装置に、別の主タンクを更に接続した概略図を示す。

符号の説明

１・３４ 主タンク
２ ノズル
３ 水
４ スラリー
５ スラリー混入液
６ アブレイシブウォータージェット
７ 配管７（７ａ・７ｂ・７ｃ・７ｄ・７ｅ・７ｆ・７ｇ・７ｉ）
８ スペーサ
９ 高圧水（高圧流体）
１０・２３ 攪拌器
１１ 液体
１２ 上面
１３ 下面
１４（１４ａ・１４ｂ） 壁面
１５（１５ａ・１５ｂ） 段部
１６ 水源タンク
１７・２２ 圧力ポンプ
１８・３１ 浄化フィルタ
１９・２４ スクリュー部
２０・２５ 攪拌駆動手段
２１ 貯蔵タンク
２６ スラリー源タンク
２７ 計測センサ
２８ 基板
２９ 切断屑
３０ キャッチャ
３２・３３・３５・３６・３７・３８ 切換バルブ
１００ 切断装置

Claims (4)

1. 水に所要量のスラリーを混入したスラリー混入液を主タンク内に収容すると共に、この主タンク内のスラリー混入液に高圧流体による圧力を加えてノズルから噴出させることによって基板を切断するアブレイシブウォータージェットによる基板切断方法において、
   前記した水に所要量のスラリーを混入して両者の混合割合が所定の割合となるように設定されたスラリー混入液の貯蔵タンクを更に備えると共に、この貯蔵タンク内の水とスラリーとが均等に混合されるように撹拌するスラリー混入液の撹拌工程を行い、
   更に、前記したスラリー混入液の撹拌工程によって、その水とスラリーとが均等に混合された状態の前記した貯蔵タンク内のスラリー混入液を前記主タンク内に供給するように設定されていることを特徴とするアブレイシブウォータージェットによる基板切断方法。
2. 前記した貯蔵タンク内に供給したスラリー混入液に対して、その水とスラリーとの混合割合を計測するスラリー混入液の計測センサを更に備えると共に、この貯蔵タンク内の水とスラリーとの混合割合が所定の割合となるように管理するスラリー混入液の管理工程を行い、
   更に、前記したスラリー混入液の管理工程によって、その水とスラリーとの混合割合が所定の割合となるように、その水とスラリーとを夫々、前記貯蔵タンク内に供給するように設定されていることを特徴とする請求項１に記載のアブレイシブウォータージェットによる基板切断方法。
3. 水に所要量のスラリーを混入したスラリー混入液を収容する主タンクと、この主タンク内のスラリー混入液に高圧流体による圧力を加えて噴出させることによって基板を切断するノズルと、を少なくとも設けたアブレイシブウォータージェットによる基板切断装置において、
   前記した水と所要量のスラリーとの混合割合が所定の割合となるように混入したスラリー混入液の貯蔵タンクを更に設けると共に、この貯蔵タンク内の水とスラリーとが均等に混合されるように撹拌するスラリー混入液の撹拌器を備え、
   更に、前記したスラリー混入液の撹拌器によって、その水とスラリーとが均等に混合された状態の前記した貯蔵タンク内のスラリー混入液を前記主タンク内に供給するように構成されていることを特徴とするアブレイシブウォータージェットによる基板切断装置。
4. 前記した貯蔵タンク内に供給したスラリー混入液に対して、その水とスラリーとの混合割合を計測するスラリー混入液の計測センサを更に備えると共に、前記したスラリー混入液の計測センサによって、その水とスラリーとの混合割合が所定の割合となるように、その水とスラリーとを夫々、前記貯蔵タンク内に供給するように構成されていることを特徴とする請求項３に記載のアブレイシブウォータージェットによる基板切断装置。
   

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