JP2007081252A - 半導体装置 - Google Patents

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正一 大関
Tadaaki Kariya
忠昭 苅谷
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裕之 長谷川
Tomoyuki Uchiumi
智之 内海
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Abstract

【課題】
ターンオフスイッチング損失を低減した横型IGBTを提供すること。
【解決手段】
本発明の横型IGBTは、誘電体分離基板の単結晶シリコン領域に形成し、エミッタを挟むコレクタ領域の下に半導体表面に達しない分離領域を設け、これに沿ったN型低抵抗埋め込み層に接するように、かつP型エミッタ層の内側にN型拡散層を設けて、エミッタを形成するベース領域の空乏層を単結晶シリコン領域全体に広げて、ターンオフ時に生じるホール電流のテール電流通流期間を短くしスイッチング損失を低減する。
【選択図】図1

Description

本発明は、横型絶縁ゲートバイポーラトランジスタに係り、特に高速動作に優れた横型絶縁ゲートバイポーラトランジスタに関する。
近年、電力用スイッチング素子としては、高速性及び低いオン抵抗を兼ね備えた絶縁ゲートバイポーラトランジスタ(Insulated Gate Bipolar Transistor:以下IGBTと称す)が使われている。IGBTは、ドリフト領域となるN型半導体基板の一方の表面から内部に延びるP型のベース領域及びベース領域の表面から内部に延びるN型のエミッタ領域を形成し、半導体基板の他方の表面にベース領域から離れてP型のコレクタ領域を形成し、エミッタ領域とベース領域にエミッタ電極を、コレクタ領域にコレクタ電極を設けた構造を有している。IGBTは、コレクタ電極がエミッタ電極より正電位となる電圧を印加し、ゲート電極に正の電位を加えるとエミッタ領域の電子がチャネル及びドリフト領域を通ってコレクタ領域に達する。コレクタ領域に達した電子はコレクタ領域から正孔の注入を促し、これにより高抵抗のドリフト領域は伝導度変調され低抵抗領域となり、ほぼ同じ構造で、コレクタ領域を正孔の注入機能のないP型のドレイン領域に変えたMOSFETより低オン抵抗が実現できる。
このようなIGBTを他の回路素子と共に集積してICを実現する場合には、相互の結線を容易にするためにエミッタ電極、コレクタ電極及びゲート電極を半導体基板の同一表面上に設けた横型構造(ラテラル構造)が望ましい。この構造のIGBTが、特許文献1に記載されている。一方、IGBTはコレクタ−エミッタ対で構成する単位ユニットで流しうる電流値に限界があるため、半導体基体内に多くの単位IGBTを集積化することにより所望の電流容量を実現している。
特許文献1に記載されているIGBTは、半導体基体表面でエミッタ領域とベース領域とコレクタ領域とが櫛型形状を有し、両者の歯部が組み合わさった形状となっている。ベース領域及びその近傍のドリフト領域及びエミッタ領域上には、絶縁膜を介しゲート電極が設けられている。エミッタ領域とベース領域上及びコレクタ領域上にはそれぞれエミッタ電極及びコレクタ電極が設けられ、両電極も櫛型形状を有し、両者の櫛歯部が組み合わさった形状となっている。
また、IGBTを他の回路と共に集積しICを実現するため、IGBTおよび必要に応じて他のデバイスは、それぞれが誘電体分離技術により他のデバイスとは絶縁分離されている。これにより、種類の異なるデバイスを組み合わせ回路機能を持ったICが実現できる。
特開平5−29614号公報(図1、図2、図5)
N型埋め込み層を有する誘電体分離基板上にN型ラテラルIGBTを形成した場合、エミッタ領域の電子がコレクタ電極に達する経路は2経路ある。一方はチャネル及びドリフト領域を介し隣接する(対を成す)コレクタ領域からコレクタ電極へ移動する第1の経路であり、他方はチャネル、ドリフト領域及びN型埋め込み層を介しIGBT端部のコレクタ領域からコレクタ電極へ移動する第2の経路である。また、ホール電流は電子電流に沿って流れる。誘電体分離端に配置されているコレクタには第2の経路を通る電流が多く流れる。
N型ラテラルIGBTがオンからオフに移行するスイッチング過程において、ベースから空乏層が広がるが誘電体分離基板全体に広がらない。これは主に誘電体分離端のコレクタの存在により誘電体分離端への空乏層の広がりを阻害しているためである。このため主に誘電体分離端の第2の経路のホールが取り残されホールのライフタイムによるテール電流が発生しスイッチング損失が発生する問題があった。
本発明の目的は、ターンオフスイッチング損失を低減した半導体装置を提供することである。
本発明の横型IGBTは、誘電体分離基板の単結晶シリコン領域に形成し、エミッタを挟むコレクタ領域の下に半導体表面に達しない分離領域を設け、これに沿ったN型低抵抗埋め込み層に接するように、かつP型エミッタ層の内側にN型拡散層を設けた。
本発明の半導体装置によれば、オンからオフへのスイッチングの際に、ホール電流によるテールを小さくし、テール電流によるスイッチング損失を小さくできる。
以下図面を用いて本発明の実施例について説明する。
本実施例を図1、図2、図3を用いて説明する。図2(A)、図2(B)、図2(C)は、誘電体分離基板の製造工程略図を示し、図1は本実施例の横型IGBTの断面構造を、図3は横型IGBTの平面構造を示す。
まず、本実施例の半導体装置の製造工程を説明する。N型シリコン単結晶基板の基板表面2に酸化膜3を成長させ、ホトエッチ技術を用いて酸化膜3をパターニングし、酸化膜3に開口部を形成する。次に、酸化膜3をマスクにして、開口部から露出している基板表面2のシリコン単結晶を、アルカリ異方性のホトエッチ技術を用いてエッチングし、図2(A)に示すような単結晶シリコン領域6と、単結晶シリコン領域6′とを形成する。このとき、酸化膜3の開口部の幅を変えてエッチ深さを調整する。図2(A)で、開口部の幅がaの部分では誘電体分離基板完成時点でデバイスを形成する単結晶シリコン領域6を各々酸化膜4′で分離される幅を設定し、また、開口部の幅がbの部分では、デバイス形成表面に酸化膜4′が露出しないようにするために、開口部の幅をaより狭く設定する。このように設定して、開口部の幅がaの部分でのエッチ深さh2を、開口部の幅がbの部分でのエッチ深さh1より深くする。このようにして、開口部の幅がaの部分が基板の表面で連続した平面パターンを形成し、いわゆるシリコン単結晶島を形成する。
次に、イオン注入を行って、図2(B)に示すように単結晶シリコン領域6,6′の中に埋め込みN型拡散層16を形成する。次に単結晶シリコン領域6と単結晶シリコン領域6′とを絶縁分離する酸化膜4を成長させる。次に単結晶シリコン領域6と単結晶シリコン領域6′とを支持するための多結晶シリコン5を堆積させ、この多結晶シリコン5を研削して、図2(B)に示すように平坦にする。
次に素子形成領域となる面を素子を絶縁分離する酸化膜4′が表面に現れるまで研削し、図2(C)に示す誘電体分離基板を完成する。なお、図2(C)では、説明の都合上、図2(A)、図2(B)とは上下を逆にしてある。図2(C)に示すように、本実施例の誘電体分離基板では、基板底面側から基板表面側に向けて突き出た酸化膜4が、デバイス形成面に出ない領域cが形成される。単結晶シリコン領域6にはラテラルIGBTを、単結晶シリコン領域6′にはラテラルIGBTの駆動回路や保護回路等の他のデバイスを形成してICにする。
本実施例の横型IGBTの断面構造を図1に示す。図1で、符号15はIGBTのチャネルを形成するベース領域のP型拡散層、9はエミッタ領域を形成するN型拡散層であり、ベース領域のP型拡散層15とエミッタ領域のN型拡散層9とはエミッタ電極14で短絡されている。また、図1で符号11はポリシリコンのゲート電極、12はゲート酸化膜、7はコレクタ領域を構成するP型拡散層、17は、酸化膜4が、図2(C)に示したデバイス形成面に出ない領域cの埋め込みN型拡散層16に接するように拡散した、N型拡散層、13はコレクタ電極、8は絶縁膜である。
これらコレクタ領域のP型拡散層7、エミッタ領域のN型拡散層9はストライプ形状を成して配置され、これら各々の長さは略等しく、これらのコレクタ領域のP型拡散層7とエミッタ領域のN型拡散層9とを交互に複数個櫛型に配置するが、最外列のP型拡散層
15では素子を絶縁分離する酸化膜4′に対向する側のエミッタ領域のN型拡散層9は配置していない。なお、図1に示すように、N型拡散層17の幅を、P型拡散層7の幅より狭くし、埋め込みN型拡散層16が及ぼす影響を少なくしている。
本実施例の横型IGBTでは、コレクタに挟まれたエミッタのベース領域であるP型拡散層15から広がる空乏層が、IGBTの単位ユニットセル内で単結晶シリコン領域6全体に広がるように、エミッタを挟むコレクタ領域に、P型拡散層7の下側にN型拡散層17を設け、このN型拡散層17とデバイス形成表面に達しないように形成された分離領域cの埋め込みN型拡散層16とが接する。このN型拡散層17は単結晶シリコン領域6に形成された埋め込みN型拡散層16を均一な電位に固定する役目を果たす。
本実施例の横型IGBTでは、交互に配置したコレクタ領域とエミッタ領域の両方の最外列にはコレクタ領域を配置しておらずエミッタ領域が最外列に配置されている。この理由は、コレクタ領域のP型拡散層7の形成により、空乏層の広がりが抑えられるため、また、埋め込みN型拡散層16近傍を通り最外列のコレクタ領域に流れるホール電流パスをなくするため配置していない。これによって本実施例の横型IGBTがオンからオフに移行する時に、チャネルを形成するP型拡散層15から広がる空乏層を、誘電体分離基板の単結晶シリコン領域6全体に広げることができる。コレクタ領域から注入されたホールをドリフト領域である図1に示す単結晶シリコン領域6を介して速やかにエミッタ領域に吸収できるので、テール電流が流れる期間を短縮でき、スイッチング損失を低減できる。
図3(A)は本実施例の横型IGBTの平面構造を示す。各々のエミッタ電極14、コレクタ電極13、ゲート電極11は互いに接続し1つのラテラルIGBTを構成している。なお、図3(A)で、符号11′はゲート電極配線、14′はエミッタ配線、18はエミッタコンタクト孔、19はコレクタコンタクト孔を示す。図3(B)、図3(C)、図3(D)はエミッタ領域の拡大であり、概略平面パターンを示す。図3(B)はゲート電極11にP型拡散層15が並列に伸びており二つのチャネルを構成している。図3(C)では、図3(B)の構成を基本とし複数チャネルを形成した例である。図3(D)はゲート電極開口部20にエミッタ領域を形成する所謂メッシュ型のエミッタを構成している例である。このゲート電極開口部20の形状は、4角形以上の多角形で構成する。
以上説明したように、本実施例の横型IGBTでは、図1に示すようにエミッタ領域を表面まで達しない誘電体分離領域で挟み、この領域にコレクタ領域を形成したので、オンからオフへのスイッチングの過程で広がる空乏層を誘電体分離基板全体に広げることができ、ホールを速やかにエミッタに吸収することができる。従って、ホール電流によるテールを小さくできるので、テール電流に由来するスイッチング損失を小さくできる。
図4に本実施例の横型IGBTを示す。本実施例は、実施例1とは、図1に示したコレクタ領域でN型拡散層17を除いた構造である点が異なる。本実施例では、コレクタ領域のP型拡散層7を表面まで達しない誘電体分離領域cの埋め込みN型拡散層16に一部が接するあるいは近接するように配置する。これによりP型エミッタ層接合近傍の電位を埋め込みN型拡散層16を通して全体に固定する。
本実施例の横型IGBTでも、エミッタを挟むように半導体表面まで達しない誘電体分離層を設けているので、オンからオフへのスイッチングの過程で広がる空乏層を誘電体分離基板全体に広げることができ、ホールを速やかにエミッタに吸収することができる。
本実施例では、実施例1と実施例2のN型ラテラルIGBTで、各拡散層の導電型を逆にしたP型ラテラルIGBTとした。これ以外の構成は実施例1、実施例2と同様である。
本実施例の横型IGBTでも、エミッタを挟むように半導体表面まで達しない誘電体分離層を設けているので、オンからオフへのスイッチングの過程で広がる空乏層を誘電体分離基板全体に広げることができ、電子を速やかにエミッタに吸収することができる。従って、本実施例でも電子電流によるテールを小さくできるのでテール電流によるスイッチング損失を小さくできる。
実施例1のラテラルIGBTの断面構造の説明図。 実施例1のラテラルIGBTの製造工程の説明図。 実施例1のラテラルIGBTの平面構造の説明図。 実施例2のラテラルIGBTの断面構造の説明図。
符号の説明
2…基板表面、3、4、4′…酸化膜、5…多結晶シリコン、6、6′…単結晶シリコン領域、7、15…P型拡散層、8…絶縁膜、9、17…N型拡散層、11…ゲート電極、11′…ゲート電極配線、12…ゲート酸化膜、13…コレクタ電極、14…エミッタ電極、14′…エミッタ配線、16…埋め込みN型拡散層、18…エミッタコンタクト孔、19…コレクタコンタクト孔、20…ゲート電極開口部。

Claims (12)

  1. 半導体基板から絶縁分離した半導体単結晶領域を有する誘電体分離基板に形成した横型構造の半導体装置において、
    該半導体単結晶領域に形成された半導体装置が、複数の単位コレクタ領域と単位エミッタ領域とを備えたIGBTであって、
    該複数の単位コレクタ領域と単位エミッタ領域とが前記半導体単結晶領域の基板表面側に形成されており、
    前記半導体単結晶領域が、基板底面側から基板表面側に向け突き出した断面形状の絶縁分離域を備えていることを特徴とする半導体装置。
  2. 請求項1に記載の半導体装置において、
    単位コレクタ領域と単位エミッタ領域とが、延在して対向するストライプ構造を成し、
    前記基板底面側から基板表面側に向け突き出した断面形状の絶縁分離域の上の半導体単結晶領域に、前記単位コレクタ領域を配置したことを特徴とする半導体装置。
  3. 請求項2に記載の半導体装置において、
    前記半導体単結晶領域に、前記絶縁領域に隣接する第1導電型の埋め込み拡散層を有し、
    前記単位コレクタ領域が第2導電型の第1の拡散層であることを特徴とする半導体装置。
  4. 請求項3に記載の半導体装置において、
    前記単位コレクタ領域の第1の拡散層と該第1の拡散層の下に形成した第1導電型の第2の拡散層を備えていることを特徴とする半導体装置。
  5. 請求項4に記載の半導体装置において、
    前記単位コレクタ領域の第1の拡散層の幅が、第2の拡散層の幅より広いことを特徴とする半導体装置。
  6. 請求項2に記載の半導体装置において、前記単位エミッタ領域と単位コレクタ領域とを、交互に対向して配置し、最外列に前記単位エミッタ領域を配置したことを特徴とする半導体装置。
  7. 半導体基板から絶縁分離した複数の半導体単結晶領域を有する誘電体分離基板に形成した横型構造の半導体装置において、
    第1の半導体単結晶領域に形成された半導体装置が、複数の単位コレクタ領域と単位エミッタ領域とを備えたIGBTであって、
    該複数の単位コレクタ領域と単位エミッタ領域とが、前記第1の半導体単結晶領域の基板表面側に形成されており、
    前記第1の半導体単結晶領域に、基板底面側から基板表面側に向け突き出した断面形状の絶縁分離域を備えており、
    第2の半導体単結晶領域に、前記IGBTの駆動回路が形成されていて少なくとも1つずつの第1の半導体単結晶領域と第2の単結晶領域を備えていることを特徴とする半導体装置。
  8. 請求項7に記載の半導体装置において、
    前記第1の半導体単結晶領域に形成した横型IGBTが、
    単位コレクタ領域と単位エミッタ領域とが、延在して対向するストライプ構造を成し、
    前記基板底面側から基板表面側に向け突き出した断面形状の絶縁分離域の上の半導体単結晶領域に前記単位コレクタ領域を配置したことを特徴とする半導体装置。
  9. 請求項8に記載の半導体装置において、
    前記第1の半導体単結晶領域に、前記絶縁領域に隣接する第1導電型の埋め込み拡散層を有し、
    前記単位コレクタ領域が第2導電型の第1の拡散層であることを特徴とする半導体装置。
  10. 請求項9に記載の半導体装置において、
    前記単位コレクタ領域の第1の拡散層と該第1の拡散層の下に形成した第1導電型の第2の拡散層を備えていることを特徴とする半導体装置。
  11. シリコン基板から絶縁分離したシリコン単結晶領域を有する誘電体分離基板に形成した横型構造の半導体装置の製造方法において、
    シリコン単結晶基板の第1の表面に形成した酸化膜に第1の開口部と、該第1の開口部より開口部の幅が狭い第2の開口部とを形成するパターニング工程と、
    該パターニング工程の後に、前記酸化膜の開口部から露出したシリコン単結晶基板表面をエッチングして、前記第1の開口部に第1の溝部を、第2の開口部に第2の溝部を形成するエッチング工程と、
    該エッチング工程の後に、前記第1の溝部と第2の溝部と第1の表面に沿ってシリコン単結晶と同じ導電型の拡散層を形成する工程と、絶縁分離膜を前記第1の溝部と第2の溝部と第1の表面とに形成する絶縁分離膜形成工程と、
    該絶縁分離膜形成工程の後に、前記溝部を形成したシリコン単結晶基板の第1の表面に多結晶シリコンを堆積する堆積工程と、
    該堆積工程の後に、前記第1の溝部に形成した第1の絶縁分離膜が現れるまで前記シリコン単結晶基板の第2の表面を研削する研削工程と、
    前記第2の溝部に形成した第2の絶縁分離膜の上の前記シリコン単結晶基板の第2の表面に、前記横型半導体装置の単位コレクタ領域を形成するコレクタ領域形成工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
  12. 請求項11に記載の半導体装置の製造方法において、
    前記絶縁分離したシリコン単結晶領域に形成した横型構造の半導体装置が、IGBTであることを特徴とする半導体装置の製造方法。

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN102983160A (zh) * 2012-12-26 2013-03-20 无锡凤凰半导体科技有限公司 绝缘栅双极型晶体管

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