JP2007078435A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 被測定物に対して接触式または非接触式のプローブを倣い走査させて被測定面の形状を測定する形状測定方法において、
   少なくとも２段階以上の測定経路を設定し、設定された各段階の測定経路に従ってプローブを倣い走査させて被測定面の形状を測定し各段階の測定経路の測定データを取得する測定工程と、
   前記測定工程の、最後の段階ではない少なくとも一つの段階の測定経路の形状測定後に、その形状測定以前に取得した少なくとも１つの測定データのデータ解析を行い、その解析結果をもとに前記測定工程を続行するか強制終了するかを選択する選択工程と、を有することを特徴とする形状測定方法。
2. 前記取得した測定データのデータ解析と、次段階の被測定面の形状の測定とは、同時に行われることを特徴とする請求項１記載の形状測定方法。
3. ３段階以上に測定経路が設定され、複数の前段階の測定経路によって取得した測定データについて行ったデータ解析結果の少なくとも２つを互いに比較する工程を有することを特徴とする請求項１または２記載の形状測定方法。
4. それぞれの前記測定経路がラスタ走査で被測定面の全体を計測するように定められていて、前記測定経路が互いに異なることを特徴とする請求項１ないし３いずれか一項記載の形状測定方法。
5. 被測定物に対して接触式または非接触式のプローブを少なくとも２段階以上の測定経路に沿って倣い走査させて被測定面の形状を測定する形状測定装置において、
   最終の段階ではない第２段階以後の測定経路に沿った前記プローブの走査中に、前段階の測定経路において得られた測定データに対してデータ解析を行い、前記被測定面の設計形状に対する形状誤差または前記被測定物のセッティング誤差を算出する第１の演算手段と、
   前記第１の演算手段によって算出した形状誤差またはセッティング誤差をもとに測定良否を判定する第２の演算手段と、を有し、
   前記第２の演算手段による判定結果をもとに測定工程を続行するか強制終了するかを選択することを特徴とする形状測定装置。
6. 前記第１および前記第２の演算手段が、装置本体制御コンピュータにインストールされていることを特徴とする請求項５記載の形状測定装置。
7. 前記第１および前記第２の演算手段が、装置本体制御コンピュータと双方向に通信可能な状態で接続された解析用コンピュータにインストールされていることを特徴とする請求項５記載の形状測定装置。
8. 前記第２の演算手段による判定結果を表示する表示手段を有することを特徴とする請求項５ないし７いずれか１項記載の形状測定装置。
9. 装置本体制御コンピュータが、前記第２の演算手段による判定結果をもとに測定工程を強制終了させる機能を有することを特徴とする請求項５ないし８いずれか１項記載の形状測定装置。