JP2007073133A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 制御対象を支持する可動軸と、前記可動軸を揺動自在に支持する支持機構と、前記可動軸をその軸線と直交する第１の軸を中心として揺動させる第１の磁気駆動機構と、前記可動軸をその軸線と第１の軸の双方に直交する第２の軸を中心として揺動させる第２の磁気駆動機構とを有する２軸型アクチュエータにおいて、
   前記第１の磁気駆動機構と前記第２の磁気駆動機構は、コイルに流れる電流と磁石から発せられる磁界とで、前記コイルと前記磁石との間に電磁力を作用させて、前記可動軸を揺動させるものであり、
   前記可動軸の傾き角度を規制するストッパが設けられていることを特徴とする２軸型アクチュエータ。
2. 可動部には、前記可動軸の軸線に沿って形成された穴が設けられ、固定部に設けられた前記ストッパが、前記穴内に挿入されて、前記可動軸の傾きが規制されている請求項１記載の２軸型アクチュエータ。
3. 前記ストッパによって、前記コイルと前記磁石が当たらないように、前記可動軸が規制される請求項１または２記載の２軸型アクチュエータ。
4. 固定部には円筒状のコイルが、可動部には前記コイルの内部に入る磁石が設けられている請求項２記載の２軸型アクチュエータ。
5. 前記支持機構は、前記可動軸を前記第１の軸回りに揺動自在に支持する可動リングと、前記可動リングを前記第２の軸回りに揺動自在支持する固定ベースと、を有する請求項１ないし４のいずれかに記載の２軸型アクチュエータ。
6. 前記支持機構は、前記可動軸と前記可動リングとの間、および前記可動リングと固定ベースとの間に、回転を許容する小球を有する請求項５記載の２軸型アクチュエータ。
7. 少なくとも所定のレーザ光を射出する光源と、前記レーザ光を平行光に変換するコリメータレンズと、前記請求項１ないし６のいずれかに記載の２軸型アクチュエータと、前記２軸型アクチュエータの可動軸に設けられて前記平行光を参照光として光記録媒体に向けて反射する反射ミラーと、前記光記録媒体から出力される回折光を検知する光検知器と、が設けられていることを特徴とするホログラフィー装置。
8. 前記反射ミラーは、前記基準軸に対するミラー面のなす角度θが０度＜θ＜９０度の範囲で予め傾斜させられている請求項７記載のホログラフィー装置。