JP2007064746A - 慣性センサ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電素子からなり、基部10と、基部10から延出する一対の励振用腕部20と、励振用腕部20と反対側に基部10から延出する一対の検出用腕部30とを備え、各励振用腕部20が、基部10側から離れる方向に幅が狭くなるように形成される励振テーパ部21と、励振テーパ部21側から所定の幅で形成される励振定幅部22とを備え、各検出用腕部30が、基部10側から離れる方向に幅が狭くなるように形成される第一検出テーパ部31と、第一検出テーパ部31側から所定の幅で形成される第一検出定幅部32と、第一検出定幅部32側から離れる方向に幅が狭くなるように形成される第二検出テーパ部33と、第二検出テーパ部33側から所定の幅で形成される第二検出定幅部34とを備えて構成される。
【選択図】 図1
Description
図4に示すように、H型構造の慣性センサ素子200は、基部210と、この基部210から延出する一対の励振用腕部220と、この励振用腕部220とは反対側に当該基部210から延出する一対の検出用腕部230とから構成され、当該検出用腕部230の幅JWAが励振用腕部220の幅JWBより広く形成されている。この基部210にはパッケージに固定するための支持部240が一対の検出用腕部230の間に設けられている(例えば、特許文献1参照)。
また、コリオリの力が加わって、Z軸方向に歪みが生じる際に、検出用腕部230の幅JWAが励振用腕部220の幅JWBより広いために、歪みが小さくなっていた。
なお、本実施形態において、圧電素子を水晶として説明する。また、厚みは、素子全体で所定の厚さで一定となっている場合について説明する。
なお、本実施形態では、この励振テーパ部21は、幅が狭くなる変化率を2段階に分けて形成されている。つまり、励振テーパ部21のテーパとなる辺が、基部10の長辺に対して緩やかな傾斜となる部分と、急な傾斜となる部分とからなり、基部10の長辺に対して緩やかな傾斜となる部分が基部10側に位置するようになっている。
なお、前記励振テーパ部21と同様に、この第一検出テーパ部31は、幅が狭くなる変化率を2段階に分けて形成されている。また、第二検出テーパ部33も前記励振テーパ部21と同様に幅が狭くなる変化率を2段階に分けて形成されている。
また、第一検出定幅部32の長さL1は、励振用腕部20の励振定幅部22の長さL3の3分の1となっている。
また、第二検出定幅部34の長さL2は、当該第二検出定幅部34の長さL2と励振用腕部20の励振定幅部22の長さL3との比が+1%となるように形成されている。
なお、このように、振動の節が基部10にある場合を振動バランスが良いという。
なお、検出電極Kは、厚さ方向に異なる極性を並べつつ、幅方向に異なる極性を対向させて設けられている。
F3=Kf×λ2×W3/(L3)2 ・・・ (1)
ここで、Kfは周波数定数であり、λは、境界条件である。
また、励振時の第一検出定幅部32の周波数F1は、(2)式で現される。
F1=Kf×λ2×W1/(L1)2 ・・・ (2)
また、励振時の第二検出定幅部34の周波数F2は、(3)式で現される。
F2=Kf×λ2×W2/(L2)2 ・・・ (3)
Fs3=Kf×λ2×t/(L3)2 ・・・ (4)
ここで、tは、厚さである。
また、検出振動時の第一検出定幅部32の周波数Fs1は、(5)式で現される。
Fs1=Kf×λ2×t/(L1)2 ・・・ (5)
また、検出振動時の第二検出定幅部34の周波数Fs2は、(6)式で現される。
Fs2=Kf×λ2×t/(L2)2 ・・・ (6)
したがって、第二検出定幅部34の長さL2と励振定幅部22の長さL3との比が±1%で形成されることで検出振動時の振動バランスが良くなり、精度良く角速度を検出することができる。
また、検出振動時に検出用腕部30が励振用腕部20の振動とカップリングすることができるので、振動漏れが増大し、精度良く角速度を検出することができる。
10 基部
20 励振用腕部
21 励振テーパ部
22 励振定幅部
30 検出用腕部
31 第一検出テーパ部
32 第一検出定幅部
33 第二検出テーパ部
34 第二検出定幅部
K 検出電極
W1,W2,W3 幅
L1,L2,L3 長さ
Claims (3)
- 圧電素子からなり、基部と、当該基部から延出する一対の励振用腕部と、当該励振用腕部と反対側に当該基部から延出する一対の検出用腕部とを備え、
前記各励振用腕部が、
前記基部側から離れる方向に幅が狭くなるように形成される励振テーパ部と、
当該励振テーパ部側から所定の幅で形成される励振定幅部とを備え、
前記各検出用腕部が、
前記基部側から離れる方向に幅が狭くなるように形成される第一検出テーパ部と、
当該第一検出テーパ部側から所定の幅で形成される第一検出定幅部と、
当該第一検出定幅部側から離れる方向に幅が狭くなるように形成される第二検出テーパ部と、
当該第二検出テーパ部側から所定の幅で形成される第二検出定幅部とを備えて構成されることを特徴とする慣性センサ素子。 - 前記第二検出定幅部の幅が、前記第一検出定幅部の幅より狭く、かつ、前記励振定幅部の幅より狭く形成され、
前記第一検出定幅部の幅が、前記励振定幅部の幅の2倍以上広く形成されることを特徴とする請求項1に記載の慣性センサ素子。 - 前記第二検出定幅部の長さと前記励振定幅部の長さとの比が−1%〜+1%となるように形成されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の慣性センサ素子。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017204057A1 (ja) * | 2016-05-26 | 2017-11-30 | ソニー株式会社 | ジャイロセンサ及び電子機器 |
CN111707250A (zh) * | 2020-06-03 | 2020-09-25 | 北京自动化控制设备研究所 | 一种石英音叉陀螺减振装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09159463A (ja) * | 1995-12-12 | 1997-06-20 | Toyota Motor Corp | 角速度センサ |
JPH1054725A (ja) * | 1996-08-12 | 1998-02-24 | Toyota Motor Corp | 角速度検出装置 |
JPH1114365A (ja) * | 1997-06-19 | 1999-01-22 | Ngk Insulators Ltd | 振動型ジャイロスコープ |
JP2000146594A (ja) * | 1998-11-17 | 2000-05-26 | Toyota Motor Corp | 振動型センサの断線検出装置 |
JP2001194149A (ja) * | 2000-01-07 | 2001-07-19 | Kinseki Ltd | 角速度センサ |
JP2002277247A (ja) * | 2001-03-22 | 2002-09-25 | Citizen Watch Co Ltd | 振動ジャイロ |
WO2004079296A1 (ja) * | 2003-03-06 | 2004-09-16 | Nec Corporation | 六脚型圧電振動ジャイロスコープ |
JP2006184176A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサ素子 |
JP2006208261A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサ素子 |
-
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09159463A (ja) * | 1995-12-12 | 1997-06-20 | Toyota Motor Corp | 角速度センサ |
JPH1054725A (ja) * | 1996-08-12 | 1998-02-24 | Toyota Motor Corp | 角速度検出装置 |
JPH1114365A (ja) * | 1997-06-19 | 1999-01-22 | Ngk Insulators Ltd | 振動型ジャイロスコープ |
JP2000146594A (ja) * | 1998-11-17 | 2000-05-26 | Toyota Motor Corp | 振動型センサの断線検出装置 |
JP2001194149A (ja) * | 2000-01-07 | 2001-07-19 | Kinseki Ltd | 角速度センサ |
JP2002277247A (ja) * | 2001-03-22 | 2002-09-25 | Citizen Watch Co Ltd | 振動ジャイロ |
WO2004079296A1 (ja) * | 2003-03-06 | 2004-09-16 | Nec Corporation | 六脚型圧電振動ジャイロスコープ |
JP2006184176A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサ素子 |
JP2006208261A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサ素子 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017204057A1 (ja) * | 2016-05-26 | 2017-11-30 | ソニー株式会社 | ジャイロセンサ及び電子機器 |
CN111707250A (zh) * | 2020-06-03 | 2020-09-25 | 北京自动化控制设备研究所 | 一种石英音叉陀螺减振装置 |
CN111707250B (zh) * | 2020-06-03 | 2022-09-09 | 北京自动化控制设备研究所 | 一种石英音叉陀螺减振装置 |
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Publication number | Publication date |
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