CN111707250A - 一种石英音叉陀螺减振装置 - Google Patents

一种石英音叉陀螺减振装置 Download PDF

Info

Publication number
CN111707250A
CN111707250A CN202010493576.1A CN202010493576A CN111707250A CN 111707250 A CN111707250 A CN 111707250A CN 202010493576 A CN202010493576 A CN 202010493576A CN 111707250 A CN111707250 A CN 111707250A
Authority
CN
China
Prior art keywords
tuning fork
quartz tuning
membrane
elastic
fork gyroscope
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202010493576.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111707250B (zh
Inventor
刘飞
刘晓智
王汝弢
张菁华
盛洁
苏翼
王登顺
王永胜
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Automation Control Equipment Institute BACEI
Original Assignee
Beijing Automation Control Equipment Institute BACEI
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Automation Control Equipment Institute BACEI filed Critical Beijing Automation Control Equipment Institute BACEI
Priority to CN202010493576.1A priority Critical patent/CN111707250B/zh
Publication of CN111707250A publication Critical patent/CN111707250A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111707250B publication Critical patent/CN111707250B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5607Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16FSPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16FSPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/04Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5607Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks
    • G01C19/5621Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks the devices involving a micromechanical structure

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

本发明涉及一种石英音叉陀螺减振装置,石英音叉(103)、组合梁(301)、膜状结构(302)以及管壳(303)。组合梁(301)包含四个呈空间S形分布弹性梁(311),外侧与膜状结构(302)固定,内侧与石英音叉中心锚点(104)相连,膜状结构(302)的下部为用于提供稳定封闭环境的管壳(303)。膜状结构(302)整体呈长方形,在与驱动叉指(105)和所述检测叉指(106)对应处开有豁口(320)。在不增大体积的条件下,能够有效隔离和衰减外界振动、冲击等力学输入,抑制应力。

Description

一种石英音叉陀螺减振装置
技术领域
本发明属于减振技术领域,具体涉及一种用于石英音叉陀螺敏感结构的减振装置。
背景技术
石英音叉陀螺基于压电效应和哥氏振动原理,具有成本低、体积小、重量轻、功耗低等突出优点。实际使用中,为对外界振动、冲击输入进行衰减,提供力学环境适应性,通常需要对陀螺进行减振防护。一种常见的减振如图1所示,采用四个分立式圆柱形减振器101对石英音叉陀螺的表头102(内部含有敏感元件——石英音叉)进行防护,从而对外界振动、冲击进行抑制和过滤,另一种常见的减振如图2所示,采用通过注塑或者金属模压的方式形成的一体化减振器201对陀螺表头102进行防护。
上述减振方式均为外置减振方式,一般需要占用较大的额外空间,不利于发挥石英音叉陀螺体积小、集成度高等优势。
发明内容
本发明解决的技术问题是,提供了一种用于石英音叉陀螺内减振装置,在不增大体积的条件下,能够有效隔离和衰减外界振动、冲击等力学输入,抑制应力。
本发明一种石英音叉陀螺减振装置的技术方案为:石英音叉陀螺的表头102内含石英音叉103,所述石英音叉103整体呈H形,中心长方形区域为锚点104,两侧分别为驱动叉指105和检测叉指106,其特征在于,所述表头102内置弹性支撑结构,所述弹性支撑结构一方面对石英音叉103实现机械支撑,另一方面隔离和衰减外界振动、冲击。
进一步地,所述弹性支撑结构包括组合梁301、膜状结构302以及管壳303;
所述组合梁301包含四个呈S形分布弹性梁311,外侧与膜状结构302固定,内侧与石英音叉中心锚点104相连,膜状结构302的下部为用于提供封闭环境的管壳303。
进一步地,所述膜状结构302整体呈长方形,在与所述驱动叉指105和所述检测叉指106对应处开有豁口320。
进一步地,组合梁301和膜状结构302的材料采用金属或树脂。
进一步地,通过调整组合梁的截面、长度等参数对支撑频率进行调节,所述支撑频率为2kHz~3kHz。
本发明的有益效果是:在不增大体积的条件下,通过内置弹性梁结构能够有效隔离和衰减外界振动、冲击等力学输入,抑制应力等,提升陀螺的力学环境适应性。
附图说明
图1是石英音叉陀螺表头分立式减振示意图;
图2是石英音叉陀螺表头一体化减振示意图;
图3是本发明石英音叉陀螺减振装置示意图;
图4是内减振主视图;
图5是组合梁局部图;
图6是组合梁与石英音叉互连示意图。
图中:101.分立式圆柱形减振器,102.表头,103.石英音叉,104.锚点,105.驱动叉指,106.检测叉指,201.一体化减振器,301.组合梁,302.膜状结构,303.管壳,311.弹性梁,320.豁口。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详细说明。
为克服现有技术的缺陷,本发明采用内置减振方式。
石英音叉陀螺的表头102内含石英音叉103,石英音叉103整体呈H形,中心长方形区域为锚点104,两侧分别为驱动叉指105和检测叉指106。本发明通过在表头102内置弹性支撑结构,一方面实现了石英音叉103的机械支撑,同时通过弹性支撑结构能够有效隔离和衰减外界振动、冲击等力学输入,抑制应力等,在不增大体积的条件下,提升陀螺的力学环境适应性。
如图3和图4所示,用于MEMS惯性仪表的内减振由石英音叉103(被减振对象)、组合梁301、膜状结构302、管壳303等组成。
其中,被减振对象石英音叉103整体呈H形,中心长方形区域为锚点104。两侧分别为驱动叉指105和检测叉指106。
如图5和图6所示,组合梁301包含四个呈S形分布的弹性梁311,弹性梁311的外侧与膜状结构302可通过胶接或者焊接的方式固连。弹性梁311的内侧与石英音叉中心锚点104相连,可通过胶接或者焊接等方式。可通过调整组合梁的截面、长度等参数对支撑频率进行调节,一种典型的支撑频率为2kHz~3kHz。
膜状结构302整体呈长方形,驱动叉指105和检测叉指106对应处开有豁口320,组合梁301和膜状结构302的材料可以是金属或树脂等。
膜状结构302的下部为管壳303,用于为石英音叉、组合梁和膜状结构提供稳定的封闭环境,膜状结构302与管壳303对应位置可通过胶接或者焊接等方式固连。
上述具体实施方式仅限于解释和说明本发明的技术方案,但并不能构成对权利要求保护范围的限定。本领域技术人员应当清楚,在本发明的技术方案的基础上做任何简单的变形或替换而得到的新的技术方案,均落入本发明的保护范围内。

Claims (5)

1.一种石英音叉陀螺减振装置,石英音叉陀螺的表头(102)内含石英音叉(103),所述石英音叉(103)整体呈H形,中心长方形区域为锚点(104),两侧分别为驱动叉指(105)和检测叉指(106),其特征在于,所述表头(102)内置弹性支撑结构,所述弹性支撑结构一方面对石英音叉(103)实现机械支撑,另一方面隔离和衰减外界振动、冲击。
2.根据权利要求1所述的一种石英音叉陀螺减振装置,其特征在于,所述弹性支撑结构包括组合梁(301)、膜状结构(302)以及管壳(303);
所述组合梁(301)包含四个呈S形分布弹性梁(311),外侧与膜状结构(302)固定,内侧与石英音叉中心锚点(104)相连,膜状结构(302)的下部为用于提供封闭环境的管壳(303)。
3.根据权利要求2所述的一种石英音叉陀螺减振装置,其特征在于,所述膜状结构(302)整体呈长方形,在与所述驱动叉指(105)和所述检测叉指(106)对应处开有豁口(320)。
4.根据权利要求2所述的一种石英音叉陀螺减振装置,其特征在于,组合梁(301)和膜状结构(302)的材料采用金属或树脂。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的一种石英音叉陀螺减振装置,其特征在于,通过调整组合梁的截面、长度等参数对支撑频率进行调节,所述支撑频率为2kHz~3kHz。
CN202010493576.1A 2020-06-03 2020-06-03 一种石英音叉陀螺减振装置 Active CN111707250B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010493576.1A CN111707250B (zh) 2020-06-03 2020-06-03 一种石英音叉陀螺减振装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010493576.1A CN111707250B (zh) 2020-06-03 2020-06-03 一种石英音叉陀螺减振装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111707250A true CN111707250A (zh) 2020-09-25
CN111707250B CN111707250B (zh) 2022-09-09

Family

ID=72539191

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010493576.1A Active CN111707250B (zh) 2020-06-03 2020-06-03 一种石英音叉陀螺减振装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111707250B (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114383591A (zh) * 2020-10-20 2022-04-22 北京晨晶电子有限公司 双轴石英微机械陀螺仪
CN114542652A (zh) * 2020-11-24 2022-05-27 北京晨晶电子有限公司 减振结构及其制备方法
CN114543777A (zh) * 2020-11-24 2022-05-27 北京晨晶电子有限公司 内减振石英音叉陀螺
CN115342793A (zh) * 2022-07-18 2022-11-15 西安交通大学 一种抗干扰双端音叉石英振动陀螺

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1879007A (zh) * 2003-11-12 2006-12-13 日本碍子株式会社 振子的支撑部件
JP2007064746A (ja) * 2005-08-30 2007-03-15 Kyocera Kinseki Corp 慣性センサ素子
CN101666646A (zh) * 2009-10-16 2010-03-10 中国人民解放军国防科学技术大学 一种倾斜双端音叉式硅微机械陀螺及其制作方法
CN102009945A (zh) * 2010-11-11 2011-04-13 北京自动化控制设备研究所 一种微机械石英音叉陀螺敏感结构加工方法
JP2011075415A (ja) * 2009-09-30 2011-04-14 Tdk Corp 圧電振動デバイス
US20120325000A1 (en) * 2011-06-24 2012-12-27 Seiko Epson Corporation Bending vibration piece and electronic device
CN103256926A (zh) * 2012-02-21 2013-08-21 北京自动化控制设备研究所 一种石英音叉止挡结构
CN103256927A (zh) * 2012-02-21 2013-08-21 北京自动化控制设备研究所 一种石英音叉止挡结构的制造方法
CN104316039A (zh) * 2014-10-13 2015-01-28 北京遥测技术研究所 一种内置集成电荷放大器的石英音叉陀螺
CN110926444A (zh) * 2019-12-19 2020-03-27 北京航天控制仪器研究所 一种振动非敏感硅微机电陀螺

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1879007A (zh) * 2003-11-12 2006-12-13 日本碍子株式会社 振子的支撑部件
JP2007064746A (ja) * 2005-08-30 2007-03-15 Kyocera Kinseki Corp 慣性センサ素子
JP2011075415A (ja) * 2009-09-30 2011-04-14 Tdk Corp 圧電振動デバイス
CN101666646A (zh) * 2009-10-16 2010-03-10 中国人民解放军国防科学技术大学 一种倾斜双端音叉式硅微机械陀螺及其制作方法
CN102009945A (zh) * 2010-11-11 2011-04-13 北京自动化控制设备研究所 一种微机械石英音叉陀螺敏感结构加工方法
US20120325000A1 (en) * 2011-06-24 2012-12-27 Seiko Epson Corporation Bending vibration piece and electronic device
CN103256926A (zh) * 2012-02-21 2013-08-21 北京自动化控制设备研究所 一种石英音叉止挡结构
CN103256927A (zh) * 2012-02-21 2013-08-21 北京自动化控制设备研究所 一种石英音叉止挡结构的制造方法
CN104316039A (zh) * 2014-10-13 2015-01-28 北京遥测技术研究所 一种内置集成电荷放大器的石英音叉陀螺
CN110926444A (zh) * 2019-12-19 2020-03-27 北京航天控制仪器研究所 一种振动非敏感硅微机电陀螺

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
张瀚等: "一种新型固支结构石英音叉陀螺的设计", 《仪表技术与传感器》 *
林日乐等: "石英微机械陀螺敏感芯片的结构解耦特性研究", 《压电与声光》 *
路文一等: "石英音叉陀螺音叉封装问题研究", 《光学技术》 *

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114383591A (zh) * 2020-10-20 2022-04-22 北京晨晶电子有限公司 双轴石英微机械陀螺仪
CN114383591B (zh) * 2020-10-20 2023-07-18 北京晨晶电子有限公司 双轴石英微机械陀螺仪
CN114542652A (zh) * 2020-11-24 2022-05-27 北京晨晶电子有限公司 减振结构及其制备方法
CN114543777A (zh) * 2020-11-24 2022-05-27 北京晨晶电子有限公司 内减振石英音叉陀螺
CN114543777B (zh) * 2020-11-24 2023-04-25 北京晨晶电子有限公司 内减振石英音叉陀螺
CN114542652B (zh) * 2020-11-24 2024-05-10 北京晨晶电子有限公司 减振结构及其制备方法
CN115342793A (zh) * 2022-07-18 2022-11-15 西安交通大学 一种抗干扰双端音叉石英振动陀螺

Also Published As

Publication number Publication date
CN111707250B (zh) 2022-09-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111707250B (zh) 一种石英音叉陀螺减振装置
CN100405015C (zh) 一种具有高抗振性能的光纤陀螺惯性测量系统
FI122397B (fi) Värähtelevä mikromekaaninen kulmanopeusanturi
JPH08247816A (ja) 質量流量計
WO2016206152A1 (zh) 一种单锚定点四质量块mems谐振式陀螺仪
EP3407017A1 (en) Inertia measurement unit for unmanned aircraft
US9227833B2 (en) Vibration isolated MEMS structures and methods of manufacture
US8328416B2 (en) Shock proof watch
JPS6217692B2 (zh)
JPS59110935A (ja) 二室形エンジン支持体
CN104165624A (zh) 一种基于侧壁压电驱动的环形振动陀螺及其驱动和检测方法
JPS5666539A (en) Liquid sealed vibro-isolating device
CN110528340A (zh) 声子晶体隔振器及浮置板轨道隔振设备
CN110849365A (zh) 一种捷联惯导系统的惯性组件
JP2014089049A (ja) 角速度センサ
US11454934B2 (en) Shock protection for a strip resonator with RCC pivots
CN109883603A (zh) 一种基于soi的硅微谐振式压力敏感芯片谐振器
US6450032B1 (en) Vibrating beam force sensor having improved producibility
US3431808A (en) Torsion-operated oscillators
US6128956A (en) Active cover accelerometer
CN103477115B (zh) 流体封入式隔振装置
CN110469625A (zh) 借助空气弹簧调频的液压式反共振隔振器
CN206096178U (zh) 一种具有减重结构的石英挠性加速度传感器
Thakur et al. Analysis of acceleration sensitivity in MEMS tuning fork gyroscope
CN111102972A (zh) 一种采用内置减震器的光纤陀螺惯性组件

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant