JP2007056288A - 半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハ200収容領域が略均等な高温雰囲気に設定された処理室201内に、表面の少なくとも一部にシリコン層が形成されたウエハ200を搬入し、処理室201内に少なくとも水素化物系のシリコンを含む原料ガスと水素ガスとを供給し、シリコン層の表面にエピタキシャル膜を成長させる第1の工程と、処理室内にエッチングガスを供給し、シリコン層以外の基板表面に堆積したシリコン化物を除去する第2の工程とを複数回繰り返して、シリコン層の表面に所望の厚さのエピタキシャル膜を選択成長させる。
【選択図】 図2
Description
室内の基板収容領域が略均等な高温雰囲気に設定された処理室内に、表面の少なくとも一部にシリコン層が形成された基板を搬入する工程と、
前記処理室内に少なくとも水素化物系のシリコンを含む原料ガスと水素ガスとを供給し、前記シリコン層の表面にエピタキシャル膜を成長させる第1の工程と、
前記処理室内にエッチングガスを供給し、前記シリコン層以外の基板表面に堆積したシリコン化物を除去する第2の工程と、を有し、
少なくとも前記第1の工程と第2の工程とを複数回繰り返して、前記シリコン層の表面に所望の厚さのエピタキシャル膜を選択成長させることを特徴とする半導体デバイスの製造方法が提供される。
本発明の好ましい実施例では、表面の少なくとも一部にシリコン窒化膜もしくはシリコン酸化膜を有し、かつシリコン表面も露出したシリコン基板を処理室内に挿入し、処理室内にシラン系のガスまたはゲルマン系ガスの少なくとも一方および水素ガスを導入する第1のステップと、塩素ガス、フッ素ガスもしくは塩化水素ガスを導入する第2のステップとを順に複数回繰り返すことにより選択的にシリコン表面のみにエピタキシャル成長を行う。
図1は、本発明の好ましい実施例における縦型CVD装置を説明するための概略斜視図であり、図2は、本発明の好ましい実施例における縦型CVD装置の処理炉を説明するための概略縦断面図である。
図2に示すように、処理炉202は、アウタチューブ205よりなる反応管と、ガス排気管231およびガス供給管232が接続されたマニホールド209と、マニホールド209の下端部(炉口161)を蓋し処理室201を密閉するシールキャップ219と、ウエハを多段に保持するウエハ保持体としてのボート217と、ボート217の回転機構156と、図示しないヒータ素線と断熱部材とを有しウエハ200を加熱するヒータ207等から構成される。
101…筐体
102…ロードロック室
105…カセットステージ
109…カセット棚
110…バッファカセット棚
112…ウエハ移載機
114…カセット移載機
115…カセットエレベータ
118…クリーンユニット
121…ボートエレベータ
122…スライドステージ
123…ロードロックドア
124…搬送制御手段
156…回転機構
162…制御装置
175…排気バルブ
176、177、178、179…バルブ
183、184、185…MFC
180…第1のガス供給源
181…第2のガス供給源
182…第3のガス供給源
200…ウエハ
201…処理室
202…処理炉
205…アウターチューブ
207…ヒータ
217…ボート
219…シールキャップ
231…ガス排気管
232…ガス供給管
244…ゲートバルブ
246…排気システム
Claims (1)
- 室内の基板収容領域が略均等な高温雰囲気に設定された処理室内に、表面の少なくとも一部にシリコン層が形成された基板を搬入する工程と、
前記処理室内に少なくとも水素化物系のシリコンを含む原料ガスと水素ガスとを供給し、前記シリコン層の表面にエピタキシャル膜を成長させる第1の工程と、
前記処理室内にエッチングガスを供給し、前記シリコン層以外の基板表面に堆積したシリコン化物を除去する第2の工程と、を有し、
少なくとも前記第1の工程と第2の工程とを複数回繰り返して、前記シリコン層の表面に所望の厚さのエピタキシャル膜を選択成長させることを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005240657A JP2007056288A (ja) | 2005-08-23 | 2005-08-23 | 半導体デバイスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005240657A JP2007056288A (ja) | 2005-08-23 | 2005-08-23 | 半導体デバイスの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007056288A true JP2007056288A (ja) | 2007-03-08 |
Family
ID=37920021
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005240657A Pending JP2007056288A (ja) | 2005-08-23 | 2005-08-23 | 半導体デバイスの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2007056288A (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0521357A (ja) * | 1991-07-10 | 1993-01-29 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2008522437A (ja) * | 2004-12-01 | 2008-06-26 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 交互ガス供給による選択的エピタキシープロセス |
-
2005
- 2005-08-23 JP JP2005240657A patent/JP2007056288A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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JPH0521357A (ja) * | 1991-07-10 | 1993-01-29 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2008522437A (ja) * | 2004-12-01 | 2008-06-26 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 交互ガス供給による選択的エピタキシープロセス |
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