JP2007055161A - 液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 リザーバ基板2にマスク90をセット、または、リザーバ基板2に保護テープを貼り付けて、ドライバIC15の実装工程において放出されるガスがリザーバ基板2に付着しないようにした。また、ドライバIC15を隔離するための遮蔽壁92、または、遮蔽壁92を有するドライバIC実装ツール91によって、ドライバIC15の実装工程において放出されるガスがリザーバ基板2に付着しないようにした。
【選択図】図8
Description
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態に係る液滴吐出ヘッド100の分解斜視図である。また、図2は、液滴吐出ヘッド100が組み立てられた状態のA−A断面を示す縦断面図である。なお、この液滴吐出ヘッド100は、ノズル基板の表面側に設けられたノズル孔から液滴を吐出するフェイスイジェクトタイプのものであり、また静電気力により駆動される静電駆動方式のものである。また、図1は、駆動信号を供給するためのFPC(Flexible Printed Circuit)の一部を含めて示している。
電極基板4は、ホウ珪酸ガラス等のガラスで形成するとよい。ここでは、電極基板4がホウ珪酸ガラスで形成されている場合を例に示すが、これに限定するものではない。たとえば、電極基板4を単結晶シリコンで形成してもよい。この電極基板4には、凹部(ガラス溝)12が、形成されている。この凹部12は、たとえば深さ0.3μmで形成するとよい。また、この凹部12の内部には個別電極17が、一定の間隔を有して後述の振動板8と対向するように作成されている。この個別電極17は、たとえばITO(Indium Tin Oxide)を0.1μmの厚さでスパッタして作製するとよい。
キャビティ基板3は、たとえば単結晶シリコンからなり、底壁が振動板8となる圧力室(又は吐出室)7が複数形成されている。この圧力室7は、個別電極17の電極列に対応して2列に形成されるようになっている。また、キャビティ基板3には、電極列の間にキャビティ基板3を貫通するように第1の穴部22が形成されている。さらに、キャビティ基板3は、振動板8に電圧を印加するための共通電極16を有している。そして、この共通電極16は、FPC30と接続されている。
リザーバ基板2は、たとえば単結晶シリコンからなり、圧力室7に液滴を供給するためのリザーバ10が2つ形成されており、リザーバ10の底面には、リザーバ10から圧力室7へ液滴を移送するための供給孔9が形成されている。また、リザーバ10の底面には、リザーバ10の底面を貫通するインク供給孔11が形成されている。このリザーバ基板2に形成されたインク供給孔11と、キャビティ基板3に形成されたインク供給孔11及び電極基板4に形成されたインク供給孔11は、リザーバ基板2、キャビティ基板3及び電極基板4が接合された状態において互いに繋がっており、外部からリザーバ10に液滴を供給するためのものである(図2参照)。さらに、リザーバ基板2のリザーバ10の間には、リザーバ基板2を貫通する第2の穴部23が形成されている。
ノズル基板1は、たとえば厚さ100μmのシリコン基板からなり、各々のノズル連通孔6と連通する複数のノズル孔5が形成されている。なお、ノズル孔5を2段に形成して液滴を吐出する際の直進性を向上させている(図2参照)。また、電極基板4、キャビティ基板3、リザーバ基板2及びノズル基板1を接合するときに、シリコンからなる基板とホウ珪酸ガラスからなる基板を接合する場合は陽極接合により、シリコンからなる基板同士を接合する場合は直接接合によって接合することができる。またシリコンからなる基板同士は、接着剤を用いて接合することもできる。ここでは、ノズル基板1とリザーバ基板2とは、エポキシ系接着剤を用いて接着接合している。
図9は、液滴吐出ヘッド100の製造工程の他の一例を示す縦断面図である。図を用いて、本発明の実施の形態2に係わる液滴吐出ヘッド100の製造工程を説明する。なお、実施の形態2では、ドライバIC実装ツール91を使用してドライバIC15を実装する場合について説明する。なお、実施の形態2と実施の形態1との相違点について説明し、実施の形態1と同様である液滴吐出ヘッド100の構成や他の製造工程については説明を省略する。
Claims (8)
- 個別電極と該個別電極に駆動信号を供給するドライバICを実装するための実装部とが形成された電極基板と、前記実装部に対応する部分を開口した第1の穴部と前記個別電極に対向する位置に液滴吐出用の圧力室とが形成されたキャビティ基板と、前記第1の穴部に連通するように開口した第2の穴部と前記圧力室に液滴を供給するためのリザーバとが形成されたリザーバ基板とが積層された積層体を形成する工程と、
前記第2の穴部に対応する部分を開口させたマスクを前記積層体のリザーバ基板上にセットする工程と、
前記マスクがセットされた後に、前記積層体の実装部にドライバICを実装する工程とを有する
ことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。 - 個別電極と該個別電極に駆動信号を供給するドライバICを実装するための実装部とが形成された電極基板と、前記実装部に対応する部分を開口した第1の穴部と前記個別電極に対向する位置に液滴吐出用の圧力室とが形成されたキャビティ基板と、前記第1の穴部に連通するように開口した第2の穴部と前記圧力室に液滴を供給するためのリザーバとが形成されたリザーバ基板とが積層された積層体を形成する工程と、
前記積層体のリザーバ基板における第2の穴部以外の部分に保護テープを貼り付ける工程と、
前記保護テープを貼り付けた後に、前記積層体の実装部にドライバICを実装する工程とを有する
ことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。 - 個別電極と該個別電極に駆動信号を供給するドライバICを実装するための実装部とが形成された電極基板と、前記実装部に対応する部分を開口した第1の穴部と前記個別電極に対向する位置に液滴吐出用の圧力室とが形成されたキャビティ基板と、前記第1の穴部に連通するように開口した第2の穴部と前記圧力室に液滴を供給するためのリザーバとが形成されたリザーバ基板とが積層された積層体を形成する工程と、
前記実装部及び前記第1の穴部、前記第2の穴部を隔離するための遮蔽壁を前記積層体における前記第1の穴部及び前記第2の穴部に挿入し、
前記遮蔽壁の内側で、前記積層体の実装部にドライバICを実装する工程とを有する
ことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。 - 前記遮蔽壁を有するドライバIC実装ツールを用いて、前記積層体の実装部にドライバICを実装する
ことを特徴とする請求項3に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。 - 異方性導電接着剤により前記積層体の実装部にドライバICを実装する
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。 - 前記積層体の実装部にドライバICを実装する工程において、
前記実装部と前記ドライバICとをピンによってアライメントする
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。 - 前記積層体の実装部にドライバICを実装する工程において、
前記実装部と前記ドライバICとをカメラによってアライメントする
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。 - 前記請求項1〜7のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法を含む
ことを特徴とする液滴吐出装置の製造方法。
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