JP2007053048A - 集束荷電粒子ビームを用いた加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 集束荷電粒子ビームにより観察・加工される試料を微小化し、微小試料のみを局所的に冷却する。あるいは、熱ドリフトを緩和可能な構造を有する試料載置部を使用する。
【選択図】 図1
Description
図1〜図3は本発明の第1実施形態に係り、集束荷電粒子ビームを用いた加工装置の微小試料台及び試料台詳細である。第1実施形態は、微小試料台と試料台を備えた実施形態例である。
図4〜図5は本発明の第2実施形態に係り、集束荷電粒子ビームを用いた加工装置の特殊載置台及び特殊載置台支持体詳細である。第2実施形態は特殊載置台及び特殊載置台支持体を備えた実施形態例である。
図6は本発明の第3実施形態に係り、本発明の第1実施形態の微小試料台に、第2実施形態の特殊載置台及び特殊載置台支持体を設置した場合の微小試料台及び試料台の斜視図である。第3実施形態は試料台に特殊載置台及び特殊載置台支持体を備えた実施形態例である。
<第4実施形態>
図7は本発明の第4実施形態に係り、集束荷電粒子ビームを用いた加工装置の可動式試料台斜視図である。第4実施形態は、第1の実施形態における試料台2を可動試料台31に設置した例であり、試料台2には図1に示した電子冷却機構6を有する微小試料台5が備えられている。
2 試料台
3 微小試料
4 微小載置部
5 微小試料台
6 電子冷却機構
7 細管またはプローブ
8 冷却管
11 特殊載置台
12 特殊載置台支持体
12a 特殊載置台支持体縦壁部
13 上板
13a 上板端部
14 底板
14a 底板端部
15 接続部材
31 可動試料台
32 ベース板
33 コンタクト
34 電源
35 電源接続部
Claims (16)
- 集束荷電粒子ビームにより加工される微小試料が載置される微小載置部が微小試料台に備えられ、微小載置部は微小試料台に対して熱的に独立し、微小載置部を冷却する冷却手段を備えたことを特徴とする集束荷電粒子ビームを用いた加工装置。
- 請求項1において、集束荷電粒子ビームにより加工される試料が載置される試料台が備えられていることを特徴とする集束荷電粒子ビームを用いた加工装置。
- 請求項1又は2において、微小試料が試料から切り出されていることを特徴とする集束荷電粒子ビームを用いた加工装置。
- 請求項1〜3のいずれかにおいて、微小載置部よりも熱伝導の低い材料からなる微小試料台が設けられていることを特徴とする集束荷電粒子ビームを用いた加工装置。
- 請求項4において、冷却手段は、電力を供給することにより冷却を行う電子冷却機構であることを特徴とする集束荷電粒子ビームを用いた加工装置。
- 請求項4において、冷却手段は、冷却媒体が充填されて微小載置部に当接されるプローブであることを特徴とする集束荷電粒子ビームを用いた加工装置。
- 請求項4において、冷却手段は、微小載置部に設けられた、冷却媒体が流通する冷却管であることを特徴とする集束荷電粒子ビームを用いた加工装置。
- 集束荷電粒子ビームにより加工される試料が載置される上板と、上板に対し平行に配される底板を備え、上板と底板を接続部材で接続して特殊載置台を形成し、特殊載置台よりも熱伝導の低い材料からなる特殊載置台支持体に特殊載置台を支持し、上板もしくは底板のどちらか一方を特殊載置台支持体側に固定し、接続部材を冷却することで上板と底板の熱収縮方向を互いに逆向きとする冷却手段を備えたことを特徴とする集束荷電粒子ビームを用いた加工装置。
- 請求項8において、集束荷電粒子ビームにより加工される試料が載置される試料台が備えられていることを特徴とする集束荷電粒子ビームを用いた加工装置。
- 請求項8又は9において、冷却手段は、電力を供給することにより冷却を行う電子冷却機構であることを特徴とする集束荷電粒子ビームを用いた加工装置。
- 請求項8又は9において、冷却手段は、冷却媒体が充填されて微小載置部に当接されるプローブであることを特徴とする集束荷電粒子ビームを用いた加工装置。
- 請求項8又は9において、冷却手段は、微小載置部に設けられた、冷却媒体が流通する冷却管であることを特徴とする集束荷電粒子ビームを用いた加工装置。
- 請求項1〜7のいずれかにおいて、試料台または微小試料台が着脱自在に載置される試料台ホルダーを備えていることを特徴とする集束荷電粒子ビームを用いた加工装置。
- 請求項5または7において、試料台または冷却手段を有する微小試料台が着脱自在に載置される試料台ホルダーを備え、試料台ホルダーには冷却手段に接続されて冷却源を供給するコンタクトが設けられていることを特徴とする集束荷電粒子ビームを用いた加工装置。
- 請求項8〜12のいずれかにおいて、試料台または特殊載置部支持体が着脱自在に載置される試料台ホルダーを備えていることを特徴とする集束荷電粒子ビームを用いた加工装置。
- 請求項10または12において、試料台または冷却手段を有する特殊載置台支持体が着脱自在に載置される試料台ホルダーを備え、試料台ホルダーには冷却手段に接続されて冷却源を供給するコンタクトが設けられていることを特徴とする集束荷電粒子ビームを用いた加工装置。
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