JP2007048992A - 半導体レーザの窓形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体基板1上に、第1導電型下クラッド層2と活性層3と第2導電型上クラッド層4を含む半導体結晶層を形成する工程、第2導電型上クラッド層4をエッチングしてリッジ4Aを形成する工程、リッジ形成後に第2導電型上クラッド層4上にSiNマスク膜5を形成すると共に、エッチングによって拡散マスクとなる開口部5Aを形成する工程、SiNマスク膜5及び開口部5A上に拡散源膜となるZnO,SiO2混晶膜6を形成する工程、ZnO,SiO2混晶膜6上にSiO2膜からなるキャップ層7を形成する工程及びキャップ層形成後に熱処理を行ない、開口部5Aを経て第2導電型上クラッド層4、活性層3及び第1導電型下クラッド層2にZnの拡散層を形成して窓を形成する工程を含む。
【選択図】 図1
Description
以下、この発明の実施の形態1を図にもとづいて説明する。図1は、実施の形態1の方法を工程順に示す図で、(a)(b)(c)は各工程における構造図を示すものである。なお、(b)工程における(b−1)は正面図、(b−2)は側面図を示し、(c)工程における(c−1)は正面図、(c−2)は側面図を示す。
実施の形態1の形成方法は、図1(a)に示すように、半導体基板1上に、第1導電型下クラッド層2、活性層3、及び第2導電型上クラッド層4を含む半導体結晶層を積層する。
次に、この発明の実施の形態2を図にもとづいて説明する。図2は、実施の形態2の方法を工程順に示す図で、(a)(b)(c)は各工程における構造図を示すものである。
実施の形態2の形成方法は、図2(a)に示すように、半導体基板1上に、第1導電型下クラッド層2及び活性層3を積層し、その上に図には示していないが図4(a)と同様なSiNマスク膜5を熱CVD 装置により均一に形成し、写真製版技術により固相拡散すべき部分のみRIEでエッチングして図4(a)と同様な開口部5Aを形成し、拡散マスクとする。
次に、この発明の実施の形態3を図にもとづいて説明する。図3は、実施の形態3の方法を説明するための構造図である。図3に示すように、半導体基板1上に、第1導電型下クラッド層2、活性層3、及び第2導電型上クラッド層4を含む半導体結晶層を積層した上に図示していないがレジストマスクを形成し、これをマスクとしてエッチングを行なうことにより第2導電型上クラッド層4にリッジを形成する。
実施の形態3は第2導電型上クラッド層4を経ずにZnを拡散することができるため、拡散領域をより安定的に制御することができる。
Claims (3)
- 半導体基板上に、第1導電型下クラッド層と活性層と第2導電型上クラッド層を含む半導体結晶層を形成する工程、上記第2導電型上クラッド層をエッチングしてリッジを形成する工程、上記リッジ形成後に第2導電型上クラッド層上にSiNマスク膜を形成すると共に、エッチングによって拡散マスクとなる開口部を形成する工程、上記SiNマスク膜及び開口部上に拡散源膜となるZnO,SiO2混晶膜を形成する工程、上記ZnO,SiO2混晶膜上にSiO2膜からなるキャップ層を形成する工程及び上記キャップ層形成後に熱処理を行ない、上記開口部を経て上記第2導電型上クラッド層、活性層及び第1導電型下クラッド層にZnの拡散層を形成して窓を形成する工程を含む半導体レーザの窓形成方法。
- 半導体基板上に、第1導電型下クラッド層と活性層を含む半導体結晶層を形成する工程、上記半導体結晶層の上にSiNマスク膜を形成すると共に、エッチングによって拡散マスクとなる開口部を形成する工程、上記SiNマスク膜及び開口部上に拡散源膜となるZnO,SiO2混晶膜を形成する工程、上記ZnO,SiO2混晶膜上にSiO2膜からなるキャップ層を形成する工程、上記キャップ層形成後に熱処理を行ない、上記開口部を経て上記活性層及び第1導電型下クラッド層にZnの拡散層を形成して窓を形成する工程、上記キャップ層、ZnO,SiO2混晶膜及びSiNマスク膜をエッチング除去し、上記半導体結晶層上に第2導電型上クラッド層を形成する工程及び上記第2導電型上クラッド層をエッチングしてリッジを形成する工程を含む半導体レーザの窓形成方法。
- 半導体基板上に、第1導電型下クラッド層と活性層と第2導電型上クラッド層を含む半導体結晶層を形成する工程、上記第2導電型上クラッド層をエッチングしてリッジを形成する工程、上記リッジ形成後にへき開を実施して光出射方向の両側端面を露出させる工程、上記両側端面に拡散源膜となるZnO,SiO2混晶膜を堆積させる工程、上記ZnO,SiO2混晶膜上にSiO2膜からなるキャップ層を形成する工程及び上記キャップ層形成後に熱処理を行ない、上記活性層及び第1導電型下クラッド層にZnの拡散層を形成して窓を形成する工程を含む半導体レーザの窓形成方法。
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