JP2007041346A - Electro-optical device and electronic apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To stabilize a potential of a power supply in a drive circuit unit. <P>SOLUTION: Interlayer insulating films 12, 41, 42 are formed on a TFT array substrate 10, and a branched line 91y, an interlayer insulating film 43, a branched line 93y and an interlayer insulating film 44 are formed thereon, in this order. The interlayer insulating film 43 electrically insulates a drive power supply line 93, including the branched line 93y from a common potential line 91, including the branched line 91y, as well as, acts as dielectric film of a capacitance C1. Accordingly, by forming the drive power supply line 93 and the common potential line 91 on the TFT array substrate 10 and forming the interlayer insulating film 43 between these lines, a capacitance can be constituted by using the multilayer structure, as it is, formed on the TFT array substrate 10, without having to install a capacitor element that is to be a capacitance. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば液晶装置等の電気光学装置及び該電気光学装置を備えて構成される、例えば液晶プロジェクタ等の電子機器の技術分野に関する。   The present invention relates to a technical field of an electro-optical device such as a liquid crystal device and an electronic apparatus such as a liquid crystal projector configured to include the electro-optical device.

この種の電気光学装置の一例である液晶装置では、例えばTFTアレイ基板上に、マトリクス状に配列された複数の画素電極を備えており、これらの配列された平面領域が画像表示領域とされる。その動作時には、例えばデータ線、走査線等の配線を介して、画素スイッチング用TFT等の電子素子に、画像信号、走査信号等が供給される。そして、画像信号等が電子素子から選択的に画素電極に供給されることでマトリクス駆動が行われる。即ち、複数の画素電極がマトリクス状に平面配列された画像表示領域における画像表示が行われる。このように構成したTFTアレイ基板は、接着手段とされるシール材を介して対向基板と貼り合わされ、これらの基板間の隙間に液晶等の電気光学物質が封入される。   In a liquid crystal device which is an example of this type of electro-optical device, for example, a plurality of pixel electrodes arranged in a matrix are provided on a TFT array substrate, and these arranged planar regions serve as image display regions. . During the operation, an image signal, a scanning signal, and the like are supplied to an electronic element such as a pixel switching TFT via, for example, a data line, a scanning line, or the like. Then, matrix driving is performed by selectively supplying an image signal or the like from the electronic element to the pixel electrode. That is, image display is performed in an image display region in which a plurality of pixel electrodes are arranged in a matrix. The TFT array substrate configured as described above is bonded to a counter substrate through a sealing material serving as an adhesion means, and an electro-optical material such as liquid crystal is sealed in a gap between these substrates.

このようなTFTアレイ基板上の領域のうち、画像表示領域の周辺に位置する周辺領域には、走査信号を供給する走査線駆動回路、画像信号を供給するデータ線駆動回路等の駆動回路部が設けられており、更に、複数の外部回路接続端子及びこれらから駆動回路部へ引き回された画像信号線や電源線などを含む複数の引回配線等が設けられている。   Among such regions on the TFT array substrate, in peripheral regions located around the image display region, there are drive circuit units such as a scanning line driving circuit for supplying scanning signals and a data line driving circuit for supplying image signals. In addition, a plurality of external circuit connection terminals and a plurality of lead wirings including image signal lines and power supply lines routed from these to the drive circuit unit are provided.

ここで、駆動回路部に含まれる半導体素子に供給される駆動電源は、駆動回路部へ引回配線等の配線抵抗により電位が変動することがある。より具体的には、例えばデータ線駆動回路部(X−ドライバ回路部)に含まれるシフトレジスタに含まれるバッファにおいて、電源電位にふらつきが生じ、安定した電位を有する駆動電源によって画像表示を行うことが困難となる問題点がある。このような問題点を解決すべく、例えば、電源線にコンデンサ等の容量を後付けする技術(例えば、特許文献1参照。)や、液晶の充放電電力に起因する消費電力を低減する目的で電源端子及び接地間に安定化コンデンサを接続する技術(例えば、特許文献2参照。)を応用することも考えられる。   Here, the drive power supplied to the semiconductor elements included in the drive circuit unit may change in potential due to wiring resistance such as a lead wiring to the drive circuit unit. More specifically, for example, in a buffer included in a shift register included in the data line driving circuit unit (X-driver circuit unit), the power supply potential fluctuates and image display is performed by a driving power supply having a stable potential. There is a problem that becomes difficult. In order to solve such problems, for example, a technique for retrofitting a capacitor or the like to a power supply line (see, for example, Patent Document 1), or a power supply for the purpose of reducing power consumption due to charge / discharge power of liquid crystal It is also conceivable to apply a technique for connecting a stabilizing capacitor between the terminal and the ground (see, for example, Patent Document 2).

特開平11−142813号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-142913 特開2002−287706号公報JP 2002-287706 A

しかしながら、液晶装置等の電気光学装置は、大画面化の要請に伴って画像表示領域は大型化している。したがって、液晶装置全体のサイズを一定に維持しながら液晶装置の画像表示領域の周辺に位置する他の領域にコンデンサ等の容量を設けるためのスペースを確保することが難しく、電源電位を安定化させるための十分な容量を設けることが困難である設計上の問題点がある。加えて、引回配線が形成された後に別途コンデンサ等の容量を形成する場合には、液晶装置の製造工程が増えることなり、製造コストを増加させてしまうという製造工程上の問題点もある。   However, an electro-optical device such as a liquid crystal device has a larger image display area in response to a demand for a larger screen. Therefore, it is difficult to secure a space for providing a capacitor or the like in another area located around the image display area of the liquid crystal device while keeping the size of the entire liquid crystal device constant, and stabilize the power supply potential. Therefore, there is a design problem that it is difficult to provide a sufficient capacity. In addition, when a capacitance such as a capacitor is separately formed after the lead wiring is formed, the manufacturing process of the liquid crystal device is increased, and there is a problem in the manufacturing process that the manufacturing cost is increased.

よって、本発明は上記問題点等に鑑みてなされたものであり、例えば、製造工程の増大及び液晶装置の設計の変更を殆ど生じさせることなく、その動作時に駆動回路に供給される電源の電位が変動することを抑制し、高品位で画像を表示できる電気光学装置及びこれを具備した電子機器を提供することを課題とする。   Therefore, the present invention has been made in view of the above-described problems and the like. For example, the potential of the power supplied to the drive circuit during the operation thereof hardly increases the manufacturing process and changes the design of the liquid crystal device. It is an object of the present invention to provide an electro-optical device and an electronic apparatus including the electro-optical device that can suppress fluctuations in image quality and display an image with high quality.

本発明の第1の発明に係る電気光学装置は上記課題を解決するために、第1基板と、該第1基板の基板面に対向するように配置された第2基板と、前記第1基板上の画像表示領域に配列されており、画素電極を夫々有する複数の画素部と、前記画素電極に対向する対向電極と、前記第1基板及び前記第2基板を相互に接着しており、前記画像表示領域の周辺に位置する前記第1基板上の周辺領域のうち前記画像表示領域の周囲に沿って延びるシール領域に設けられたシール部と、前記周辺領域に設けられており、前記画素部を制御するための各種信号を前記画素部に供給する駆動回路部と、前記シール領域に重なるように延びる延在部を含んでおり、電源電位を前記駆動回路部に供給する駆動電源線と、前記延在部と重なる配線部を含んでおり、前記対向電極に所定電位を供給する対向電極電位線と、前記駆動電源線の前記延在部及び前記対向電極電位線の配線部間を電気的に絶縁するように当該延在部及び前記配線部間に延在されている層間絶縁膜とを備える。   In order to solve the above problem, an electro-optical device according to a first aspect of the present invention includes a first substrate, a second substrate disposed so as to face the substrate surface of the first substrate, and the first substrate. A plurality of pixel portions each having a pixel electrode, a counter electrode facing the pixel electrode, and the first substrate and the second substrate are bonded to each other; A seal portion provided in a seal region extending along the periphery of the image display region in a peripheral region on the first substrate located around the image display region; and the pixel portion provided in the peripheral region, A drive circuit portion that supplies various signals for controlling the pixel portion to the pixel portion, an extension portion that extends to overlap the seal region, and a drive power supply line that supplies a power supply potential to the drive circuit portion, Including a wiring part that overlaps the extension part. , The counter electrode potential line for supplying a predetermined potential to the counter electrode, and the extension portion and the wiring so as to electrically insulate the extension portion of the drive power supply line and the wiring portion of the counter electrode potential line. And an interlayer insulating film extending between the portions.

本発明の第1の発明に係る電気光学装置によれば、その動作時に駆動電源線に含まれる延在部、対向電極電位線に含まれる配線部、及び層間絶縁膜容量によって電源電位の変動を抑制でき、画素部を駆動するための各種信号を画素部に供給する駆動回路部を安定して駆動できる。   According to the electro-optical device according to the first aspect of the present invention, the power supply potential is varied by the extension portion included in the drive power supply line, the wiring portion included in the counter electrode potential line, and the interlayer insulating film capacitance during the operation. The drive circuit unit that supplies various signals for driving the pixel unit to the pixel unit can be stably driven.

ここで、対向電極電位線は、複数の対向電極に共通電位を供給し、例えば画像信号が供給された画素電極及び共通電位が供給された対向電極間の電位差に応じてこれら電極間に介在する液晶分子の配向が制御され、ちらつき等の表示不良のない高品位の画像が液晶分子の配向に応じて画像表示領域に表示される。   Here, the counter electrode potential line supplies a common potential to a plurality of counter electrodes, and is interposed between these electrodes, for example, according to a potential difference between the pixel electrode supplied with the image signal and the counter electrode supplied with the common potential. The orientation of the liquid crystal molecules is controlled, and a high-quality image free from display defects such as flickering is displayed in the image display area according to the orientation of the liquid crystal molecules.

駆動電源線及び対向電極電位線の夫々は、これらの本来の目的である駆動回路部への駆動電位の供給及び対向電極への共通電位の供給を可能とするために、第1基板上における駆動電源線及び対向電極電位線の夫々のレイアウトの制約下で、部分的にシール領域に延びるように形成されている。したがって、駆動電源線のうちシール領域に沿ってこのシール領域に重なるように延びる延在部と、対向電極電位線のうち前記延在部と重なるように前記シール領域に沿って延びる配線部とを例えば一対の容量電極とし、これら延在部及び配線部間に延在する層間絶縁膜を誘電体膜として兼用することによって、別途駆動電源線にコンデンサ等の容量を後付けすることなく、駆動回路部における電源電位を安定化させることが可能である。これにより、電気光学装置を製造するための既存の製造プロセスを増やすことなく、第1基板及び第2基板を接着するために設けられるシール領域に容量を設けることができ、高品位の画像を安定して表示することが可能である。また、コンデンサを後付することなく、容量駆動電源線の耐電圧特性も向上させることが可能である。   Each of the drive power supply line and the counter electrode potential line is driven on the first substrate in order to enable the supply of the drive potential to the drive circuit unit which is their original purpose and the supply of the common potential to the counter electrode. The power supply line and the counter electrode potential line are formed so as to partially extend to the seal region under the constraints of the layout of each. Therefore, an extension portion extending so as to overlap the seal region along the seal region of the drive power supply line, and a wiring portion extending along the seal region so as to overlap the extension portion of the counter electrode potential line. For example, as a pair of capacitor electrodes, the drive circuit unit without separately adding a capacitor such as a capacitor to the drive power supply line by using the interlayer insulating film extending between the extension part and the wiring part as a dielectric film. It is possible to stabilize the power supply potential at. As a result, it is possible to provide a capacity in the seal region provided for bonding the first substrate and the second substrate without increasing the existing manufacturing process for manufacturing the electro-optical device, and to stabilize a high-quality image. Can be displayed. In addition, the withstand voltage characteristics of the capacitive drive power supply line can be improved without retrofitting a capacitor.

尚、駆動回路部において電源電位を安定させるためには、容量の容量値は大きいほど好ましい。したがって、延在部及び配線部は、容量を大きくするために平面的に見てシール領域内で可能な限り互いに重なる面積が大きくなるように形成される。   In order to stabilize the power supply potential in the drive circuit portion, it is preferable that the capacitance value is larger. Therefore, the extension portion and the wiring portion are formed so that the areas that overlap each other as much as possible in the seal region as viewed in plan are increased in order to increase the capacitance.

本発明の第1の発明に係る電気光学装置の一の態様では、前記シール部は、前記シール領域に設けられた光硬化性樹脂によって形成されており、前記延在部及び前記配線部の夫々は、前記第1基板側から前記光硬化性樹脂に光を照射するための隙間を有していてもよい。   In one aspect of the electro-optical device according to the first aspect of the present invention, the seal portion is formed of a photocurable resin provided in the seal region, and each of the extension portion and the wiring portion. May have a gap for irradiating the photocurable resin with light from the first substrate side.

この態様によれば、例えば紫外線(UV光)等の光が、延在部及び配線部の夫々が有する隙間を介して第1基板側からシール領域に塗布された光硬化性樹脂に照射され、第1基板及び第2基板がシール部を介して互いに接着される。これにより、例えば、アルミ配線等の光透過性を有しない駆動電源線及び対向電極電位線をシール領域に延在させた場合でも、十分な容量値を有する容量をシール領域に確保しつつ、光硬化性樹脂を硬化させることが可能である。延在部及び配線部が有する隙間は、シール領域に塗布された光硬化性樹脂に第1基板側から光を照射可能な形状であれば如何なる形状であってもよく、延在部及び配線部の夫々に、例えば複数の矩形状、又は円形状に開口していればよい。尚、延在部及び配線部の夫々が有する隙間は、これら隙間を介して光が透過するように平面的に見て互いに重なるように延在部及び配線部に設けられている。   According to this aspect, for example, light such as ultraviolet rays (UV light) is applied to the photocurable resin applied to the seal region from the first substrate through the gaps of the extension part and the wiring part, The first substrate and the second substrate are bonded to each other through the seal portion. As a result, for example, even when a drive power supply line and a counter electrode potential line that do not have optical transparency such as an aluminum wiring are extended to the seal region, a sufficient capacitance value is secured in the seal region, It is possible to cure the curable resin. The gap between the extending portion and the wiring portion may be any shape as long as the photocurable resin applied to the seal region can be irradiated with light from the first substrate side. For example, a plurality of rectangular shapes or circular shapes may be opened. The gaps of the extension part and the wiring part are provided in the extension part and the wiring part so as to overlap each other in plan view so that light is transmitted through these gaps.

本発明の第1の発明に係る電気光学装置の他の態様では、前記延在部及び前記配線部の夫々の形状は、平面的に見て前記シール領域に沿って延びる梯子形状であってもよい。   In another aspect of the electro-optical device according to the first aspect of the present invention, each of the extending portion and the wiring portion may have a ladder shape extending along the seal region when seen in a plan view. Good.

この態様によれば、延在部及び配線部の夫々が平面的に連続した平板形状、或いはこれに順ずる平面形状を有するように形成されている場合に比べて、延在部及び配線部自体が機械的な応力に対して高い弾性を有していることになる。このような延在部及び配線部によれば、シール領域において応力緩和作用が働き、例えば、アルミニウ材料を用いて形成された延在部及び配線部と層間絶縁膜との間に生じる応力を緩和でき、この応力によって生じる延在部、配線部及び層間絶縁膜間の界面領域で生じるはがれ等の物理的損傷を低減することが可能である。これにより、この態様に係る電気光学装置によれば、装置全体の信頼性を高めることができ、長期間に亘って高品位の画像を表示できる。   According to this aspect, the extension part and the wiring part itself are compared with the case where each of the extension part and the wiring part is formed so as to have a flat plate shape that is planarly continuous or a planar shape that conforms to the flat plate shape. Has high elasticity against mechanical stress. According to such an extension part and a wiring part, the stress relaxation action works in the seal region, and, for example, the stress generated between the extension part and the wiring part formed using an aluminum material and the interlayer insulating film is reduced. In addition, it is possible to reduce physical damage such as peeling that occurs in the interface region between the extended portion, the wiring portion, and the interlayer insulating film caused by this stress. Thus, according to the electro-optical device according to this aspect, the reliability of the entire device can be improved, and a high-quality image can be displayed over a long period of time.

本発明の第1の発明に係る電気光学装置の他の態様では、前記対向電極電位線に電気的に接続された導電部を更に備えており、該導電部は、前記対向電極電位線及び前記対向電極を電気的に接続していてもよい。   In another aspect of the electro-optical device according to the first aspect of the present invention, the electro-optical device further includes a conductive portion electrically connected to the counter electrode potential line, and the conductive portion includes the counter electrode potential line and the counter electrode potential line. The counter electrode may be electrically connected.

この態様によれば、第1基板側に設けられた対向電極電位線から第2基板側に設けられた対向電極に共通電位を供給でき、例えば画素電極及び対向電極間に介在する液晶分子の配向を制御できる。ここで、導電部は、例えばシール領域を避けるように第1基板の周辺領域の設けられており、より具体的には駆動電源線及び第1基板の周辺領域に設けたれた複数の外部回路接続端子から引回された各種配線のレイアウトに制約を設けないように、第1基板の隅に設けられる。導電部は、例えば第2基板に設けられた配線を介して間接的に対向電極と電気的に接続されている。   According to this aspect, a common potential can be supplied from the counter electrode potential line provided on the first substrate side to the counter electrode provided on the second substrate side. For example, the alignment of the liquid crystal molecules interposed between the pixel electrode and the counter electrode Can be controlled. Here, the conductive portion is provided in the peripheral region of the first substrate so as to avoid, for example, the seal region, and more specifically, the drive power supply line and a plurality of external circuit connections provided in the peripheral region of the first substrate. It is provided at the corner of the first substrate so as not to limit the layout of various wirings routed from the terminal. The conductive part is electrically connected to the counter electrode indirectly through, for example, a wiring provided on the second substrate.

本発明の第1の発明に係る電気光学装置の他の態様では、前記駆動回路部は、データ線を介して前記画素部を駆動するためのデータ信号を供給するデータ線駆動回路部と、走査線を介して前記画素部を駆動するための走査信号を供給する走査線駆動回路部とを有しており、前記データ線駆動回路部は、前記周辺領域のうち前記第1辺に沿って延びる領域に配置されており、前記走査線駆動回路部は、前記周辺領域のうち前記第1基板の第1辺に隣接する第2辺に沿って延びる領域に配置されており、前記延在部は、前記シール領域のうち前記第2辺に沿って延びる領域及び前記第1辺に沿って延びる領域のうち少なくとも一方の領域に重なるように延びており、前記駆動電源線は、前記延在部を介して前記データ線駆動回路部及び前記走査線駆動回路部のうち少なくとも一方の回路部に前記電源電位を供給してもよい。   In another aspect of the electro-optical device according to the first aspect of the present invention, the driving circuit unit includes a data line driving circuit unit that supplies a data signal for driving the pixel unit via a data line, and scanning. A scanning line driving circuit unit that supplies a scanning signal for driving the pixel unit via a line, and the data line driving circuit unit extends along the first side in the peripheral region. The scanning line driving circuit unit is disposed in a region extending along a second side adjacent to the first side of the first substrate in the peripheral region, and the extending portion is , Extending in the seal region so as to overlap at least one of the region extending along the second side and the region extending along the first side, and the drive power line includes the extension portion. The data line driving circuit unit and the scanning line It may be supplied to the power supply potential to at least one circuit part of the dynamic circuit.

この態様によれば、データ線駆動回路部及び走査線駆動回路部の少なくとも一方の回路部に含まれる、例えばシフトレジスタ等の回路に安定した電位を有する駆動電源を供給でき、高品位の画像表示が可能である。   According to this aspect, a drive power source having a stable potential can be supplied to a circuit such as a shift register included in at least one of the data line driving circuit unit and the scanning line driving circuit unit, and high-quality image display can be performed. Is possible.

ここで、駆動電源線は、第1辺に沿って延びる領域及び第2辺に沿って延びる領域に夫々別々の外部回路接続端子から引回され、互いに異なる駆動電源をデータ線駆動回路部及び走査線駆動回路部の夫々に供給してもよい。これら互いに異なる駆動電源を各駆動回路部に供給する場合でもシール領域に容量を設けることができるため、データ線駆動回路部及び走査線駆動回路部の夫々を安定して駆動させることが可能である。   Here, the drive power supply lines are routed from different external circuit connection terminals to a region extending along the first side and a region extending along the second side, respectively, and different drive power supplies are supplied to the data line drive circuit unit and the scan. You may supply to each of a line drive circuit part. Even when these different driving power supplies are supplied to each driving circuit unit, a capacity can be provided in the seal region, so that each of the data line driving circuit unit and the scanning line driving circuit unit can be driven stably. .

本発明の第2の発明に係る電気光学装置は上記課題を解決するために、第1基板と、該第1基板の基板面に対向するように配置された第2基板と、前記第1基板上の画像表示領域に配列されており、画素電極を夫々有する複数の画素部と、前記画素電極に対向する対向電極と、前記第1基板及び前記第2基板を相互に接着しており、前記画像表示領域の周辺に位置する前記第1基板上の周辺領域のうち前記画像表示領域の周囲に沿って延びるシール領域に設けられたシール部と、前記周辺領域に設けられており、前記画素部を駆動するための各種信号を前記画素部に供給する駆動回路部と、前記シール領域に重なるように互いに異なる層に延在する第1延在部及び第2延在部を含んでおり、前記駆動回路部を駆動するための駆動電源を前記駆動回路部に供給する駆動電源線と、前記第1延在部及び前記第2延在部に重なるとともに前記シール領域に沿って前記第1延在部及び前記第2延在部間に延びる配線部を含んでおり、前記対向電極に所定電位を供給する対向電極電位線と、前記第1延在部と前記配線部との間に延在されており、前記第1延在部と前記配線部とを電気的に絶縁する第1層間絶縁膜と、前記第2延在部と前記配線部との間に延在されており、前記第2延在部と前記配線部とを電気的に絶縁する第2層間絶縁膜とを備える。   In order to solve the above-described problems, an electro-optical device according to a second aspect of the present invention includes a first substrate, a second substrate disposed so as to face the substrate surface of the first substrate, and the first substrate. A plurality of pixel portions each having a pixel electrode, a counter electrode facing the pixel electrode, and the first substrate and the second substrate are bonded to each other; A seal portion provided in a seal region extending along the periphery of the image display region in a peripheral region on the first substrate located around the image display region; and the pixel portion provided in the peripheral region, A drive circuit unit that supplies various signals for driving the pixel unit to the pixel unit, and a first extension unit and a second extension unit that extend to different layers so as to overlap the seal region, A drive power supply for driving the drive circuit unit is provided. A drive power supply line to be supplied to the circuit portion, and a wiring portion that overlaps the first extension portion and the second extension portion and extends between the first extension portion and the second extension portion along the seal region A counter electrode potential line that supplies a predetermined potential to the counter electrode, and extends between the first extension portion and the wiring portion, and the first extension portion and the wiring portion A first interlayer insulating film that electrically insulates from each other, and extends between the second extension portion and the wiring portion, and electrically insulates the second extension portion from the wiring portion. And a second interlayer insulating film.

本発明の第2の発明に係る電気光学装置によれば、本発明の第1の発明に係る電気光学装置と同様に、十分な容量値を有する容量をシール領域に設けることができ、別途容量を設けるために既存の製造プロセスを大きく変更することなく、高品位の画像を表示できる。特に、本発明の第2の発明に係る電気光学装置によれば、第1延在部、配線部及び第1層間絶縁膜によって構成される容量と、第2延在部、配線部及び第2層間絶縁膜によって構成される容量とをシール領域に設けることができるため、シール領域という限定された領域内で2つの容量を設けることが可能である。より具体的には、対向電極電位線を共通の容量電極として電気的に互いに並列に接続された2つの容量が製造プロセスを増大させることなくシール領域に設けられていることになる。よって、本発明の2の発明に係る電気光学装置によれば、本発明の第1の発明に係る電気光学装置に比べてシール領域という限られた一定の領域内に大きな容量を設けることができ、より安定した電源電位を各駆動回路部に供給できる。   According to the electro-optical device according to the second aspect of the present invention, similarly to the electro-optical device according to the first aspect of the present invention, a capacitor having a sufficient capacitance value can be provided in the seal region, and a separate capacitance Therefore, it is possible to display a high-quality image without greatly changing the existing manufacturing process. In particular, according to the electro-optical device according to the second aspect of the present invention, the capacitance formed by the first extending portion, the wiring portion, and the first interlayer insulating film, the second extending portion, the wiring portion, and the second Since the capacitor formed by the interlayer insulating film can be provided in the seal region, two capacitors can be provided in a limited region called the seal region. More specifically, two capacitors electrically connected in parallel with each other using the counter electrode potential line as a common capacitor electrode are provided in the seal region without increasing the manufacturing process. Therefore, according to the electro-optical device according to the second aspect of the present invention, it is possible to provide a large capacity in a limited fixed region called the seal region, compared with the electro-optical device according to the first aspect of the present invention. Thus, a more stable power supply potential can be supplied to each drive circuit unit.

本発明の第2の発明に係る電気光学装置の一の態様では、前記駆動電源線は、前記第1延在部及び前記第2延在部を電気的に接続するように前記第1層間絶縁膜及び前記第2層間絶縁膜を貫通する接続部を有していてもよい。   In one aspect of the electro-optical device according to the second aspect of the present invention, the drive power supply line includes the first interlayer insulation so as to electrically connect the first extension portion and the second extension portion. A connecting portion that penetrates the film and the second interlayer insulating film may be provided.

この態様によれば、互いに異なる層に延びる第1延在部及び第2延在部が、接続部を介して互いに電気的に接続され、第1延在部及び第2延在部の夫々から電源電位を駆動回路部に供給することが可能である。このような接続部は、例えば第1層間絶縁膜及び第2層間絶縁膜を貫通するコンタクトホールに導電材料を充填、或いはこのコンタクトホールの側壁に沿って導電膜を形成することによって形成できる。   According to this aspect, the first extension portion and the second extension portion extending in different layers are electrically connected to each other via the connection portion, and the first extension portion and the second extension portion are respectively connected. A power supply potential can be supplied to the driver circuit portion. Such a connection portion can be formed, for example, by filling a contact hole penetrating the first interlayer insulating film and the second interlayer insulating film with a conductive material or forming a conductive film along the side wall of the contact hole.

本発明に係る電子機器は上記課題を解決するために、上述した本発明の第1又は第2の発明に係る電気光学装置を具備してなる。   In order to solve the above problems, an electronic apparatus according to the present invention includes the above-described electro-optical device according to the first or second aspect of the present invention.

本発明に係る電子機器によれば、上述した本発明の第1又は第2の発明に係る電気光学装置を具備してなるので、高品位の表示が可能な、投射型表示装置、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現できる。また、本発明に係る電子機器として、例えば電子ペーパなどの電気泳動装置等も実現することが可能である。   According to the electronic apparatus of the present invention, since the electro-optical device according to the first or second invention of the present invention described above is provided, a projection display device, a mobile phone, Various electronic devices such as an electronic notebook, a word processor, a viewfinder type or a monitor direct-view type video tape recorder, a workstation, a videophone, a POS terminal, and a touch panel can be realized. In addition, as an electronic apparatus according to the present invention, for example, an electrophoretic device such as electronic paper can be realized.

本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施形態から明らかにされる。   Such an operation and other advantages of the present invention will become apparent from the embodiments described below.

以下図面を参照しながら、本発明の第1の発明及び第2の発明に係る電気光学装置、及びこれら具備してなる電子機器の各実施形態を説明する。本実施形態では、本発明の電気光学装置の一例である駆動回路内蔵型のTFTアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を例に挙げる。   Hereinafter, embodiments of the electro-optical device according to the first and second inventions of the present invention and the electronic apparatus including these will be described with reference to the drawings. In this embodiment, a TFT active matrix driving type liquid crystal device with a built-in driving circuit, which is an example of the electro-optical device of the present invention, will be described as an example.

(第1実施形態)
図1から図6を参照しながら、本発明の第1の発明に係る電気光学装置の一実施形態である液晶装置1を説明する。
(First embodiment)
A liquid crystal device 1 which is an embodiment of an electro-optical device according to the first invention of the present invention will be described with reference to FIGS.

先ず図1及び図2を参照しながら、液晶装置1の全体構成を説明する。図1は、対向基板20側から見た液晶装置1の平面図であり、図2は、図1のH−H´断面図である。   First, the overall configuration of the liquid crystal device 1 will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a plan view of the liquid crystal device 1 viewed from the counter substrate 20 side, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line HH ′ of FIG.

図1及び図2において、液晶装置1は、本発明の「第1基板」の一例であるTFTアレイ基板10、本発明の「第2基板」の一例である対向基板20、シール部52、データ線駆動回路部101、走査線駆動回路部104、及び配線部90を備えている。   1 and 2, the liquid crystal device 1 includes a TFT array substrate 10 which is an example of the “first substrate” of the present invention, a counter substrate 20 which is an example of the “second substrate” of the present invention, a seal portion 52, data. A line driving circuit unit 101, a scanning line driving circuit unit 104, and a wiring unit 90 are provided.

対向基板20は、TFTアレイ基板10に対向する対向面側がTFTアレイ基板10の基板面に対向するようにTFTアレイ基板10に配置されている。TFTアレイ基板10と対向基板20との間には液晶層50が封入されており、TFTアレイ基板10と対向基板20とは、画像表示領域10aの周囲に位置するシール領域95に設けられたシール部52により相互に接着されている。シール部52は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてTFTアレイ基板10上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。また、シール部52中には、TFTアレイ基板10と対向基板20との間隔(基板間ギャップ)を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。シール部52が配置されたシール領域95の内側に並行して、画像表示領域10aの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜53が、対向基板20側に設けられている。但し、このような額縁遮光膜53の一部又は全部は、TFTアレイ基板10側に内蔵遮光膜として設けられてもよい。   The counter substrate 20 is disposed on the TFT array substrate 10 so that the side of the counter surface facing the TFT array substrate 10 faces the substrate surface of the TFT array substrate 10. A liquid crystal layer 50 is sealed between the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20, and the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20 are sealed in a seal region 95 positioned around the image display region 10a. The portions 52 are bonded to each other. The seal portion 52 is made of, for example, an ultraviolet curable resin, a thermosetting resin, or the like for bonding the two substrates, and is applied on the TFT array substrate 10 in the manufacturing process and then cured by ultraviolet irradiation, heating, or the like. It is. Further, in the seal portion 52, a gap material such as glass fiber or glass beads for dispersing the distance between the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20 (inter-substrate gap) to a predetermined value is dispersed. A light-shielding frame light-shielding film 53 that defines the frame area of the image display region 10a is provided on the counter substrate 20 side in parallel with the inside of the seal region 95 where the seal portion 52 is disposed. However, part or all of the frame light shielding film 53 may be provided as a built-in light shielding film on the TFT array substrate 10 side.

本発明の「駆動回路部」の夫々一例であるデータ線駆動回路部101及び走査線駆動回路部104は、TFTアレイ基板10上における、画像表示領域10aの周辺に位置する周辺領域に設けられている。   The data line driving circuit unit 101 and the scanning line driving circuit unit 104, which are examples of the “driving circuit unit” of the present invention, are provided in a peripheral region located around the image display region 10 a on the TFT array substrate 10. Yes.

データ線駆動回路101は、TFTアレイ基板10の1辺に沿って設けられた複数の外部回路接続端子102に電気的に接続されている。走査線駆動回路104は、この一辺に隣接する2辺に沿い、且つ、額縁遮光膜53に覆われるようにして設けられている。更に、画像表示領域10aの図中両側に設けられた二つの走査線駆動回路104間を電気的に接続するために、TFTアレイ基板10の残る一辺に沿い、且つ額縁遮光膜53に覆われるようにして複数の配線105が設けられている。TFTアレイ基板10及び対向基板20の間には、両基板間の電気的導通を確保するための上下導通端子106が配置されている。   The data line driving circuit 101 is electrically connected to a plurality of external circuit connection terminals 102 provided along one side of the TFT array substrate 10. The scanning line driving circuit 104 is provided along two sides adjacent to the one side so as to be covered with the frame light shielding film 53. Further, in order to electrically connect the two scanning line drive circuits 104 provided on both sides of the image display region 10a in the drawing, the image display region 10a is covered with the frame light shielding film 53 along the remaining side of the TFT array substrate 10. A plurality of wirings 105 are provided. Between the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20, a vertical conduction terminal 106 is provided for ensuring electrical conduction between the two substrates.

図2において、TFTアレイ基板10上には、画素スイッチング用TFTや各種配線等の上に画素電極9aが、更にその上から配向膜が形成されている。他方、対向基板20上の画像表示領域10aには、液晶層50を介して複数の画素電極9aと対向する対向電極21が形成されている。即ち、夫々に電圧が印加されることで、画素電極9aと対向電極21との間には液晶保持容量が形成される。この対向電極21上には、格子状又はストライプ状の遮光膜23が形成され、更にその上を配向膜が覆っている。液晶層50は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。   In FIG. 2, on the TFT array substrate 10, a pixel electrode 9a is formed on a pixel switching TFT and various wirings, and an alignment film is formed thereon. On the other hand, in the image display region 10 a on the counter substrate 20, a counter electrode 21 that faces the plurality of pixel electrodes 9 a through the liquid crystal layer 50 is formed. In other words, a liquid crystal holding capacitor is formed between the pixel electrode 9 a and the counter electrode 21 by applying a voltage to each. On the counter electrode 21, a lattice-shaped or striped light-shielding film 23 is formed, and the alignment film covers the light-shielding film 23. The liquid crystal layer 50 is made of, for example, a liquid crystal in which one or several types of nematic liquid crystals are mixed, and takes a predetermined alignment state between the pair of alignment films.

データ線駆動回路101は、後に詳述するようにシフトレジスタ、論理回路及びサンプリング回路を含んで構成されているが、このうち例えばサンプリング回路については、図1中で額縁領域53に覆われる額縁領域内に配置されていてもよい。   The data line driving circuit 101 includes a shift register, a logic circuit, and a sampling circuit as will be described in detail later. Of these, for example, the sampling circuit is a frame region covered by the frame region 53 in FIG. It may be arranged inside.

尚、ここでは図示しないが、TFTアレイ基板10上には、データ線駆動回路101、走査線駆動回路104の他に、位相差補正回路等の各種回路が形成されていてもよい。これに加えて、製造途中や出荷時の当該液晶装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路、検査用パターン等が形成されていてもよい。また、対向基板20の投射光が入射する側及びTFTアレイ基板10の出射光が出射する側には各々、例えば、TN(ツイステッドネマティック)モード、STN(スーパーTN)モード、D−STN(ダブル−STN)モード等の動作モードや、ノーマリーホワイトモード/ノーマリーブラックモードの別に応じて、偏光フィルム、位相差フィルム、偏光板などが所定の方向で配置される。   Although not shown here, in addition to the data line driving circuit 101 and the scanning line driving circuit 104, various circuits such as a phase difference correction circuit may be formed on the TFT array substrate 10. In addition to this, an inspection circuit, an inspection pattern, or the like for inspecting the quality, defects, etc. of the liquid crystal device during manufacture or at the time of shipment may be formed. Further, for example, the TN (twisted nematic) mode, the STN (super TN) mode, and the D-STN (double- A polarizing film, a retardation film, a polarizing plate, and the like are arranged in a predetermined direction according to an operation mode such as an STN mode or a normally white mode / normally black mode.

配線部90は、後に詳細に説明するように、データ線駆動回路部101、走査線駆動回路部104及び画素部70に各種信号を供給するためにTFTアレイ基板10に設けられた複数の配線を含んでいる。   The wiring unit 90 includes a plurality of wirings provided on the TFT array substrate 10 for supplying various signals to the data line driving circuit unit 101, the scanning line driving circuit unit 104, and the pixel unit 70, as will be described in detail later. Contains.

次に図3乃至図6を参照しながら、液晶装置1の主要な構成を説明する。図3は、液晶装置1の電気的な接続構成を示すブロック図である。図4は、図3に示した領域A1内における各種配線の具体的な構成を示す平面図であり、図5及び図6の夫々は、図4のV−V´線断面図、及びVI−VI´線断面図である。尚、図3に加えて図1にも領域A1を示している。   Next, the main configuration of the liquid crystal device 1 will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a block diagram showing an electrical connection configuration of the liquid crystal device 1. 4 is a plan view showing a specific configuration of various wirings in the area A1 shown in FIG. 3. Each of FIGS. 5 and 6 is a cross-sectional view taken along line VV ′ of FIG. It is a VI 'line sectional view. In addition to FIG. 3, FIG. 1 also shows the area A1.

図3において、液晶装置1は、例えば石英基板、ガラス基板或いはシリコン基板等からなるTFTアレイ基板10と対向基板20(ここでは図示せず)とが液晶層を介して対向配置され、画像表示領域10aにおいて区画配列された画素電極9aを含む画素部70の夫々に印加する電圧を制御し、液晶層にかかる電界を画素毎に変調する構成となっている。これにより、両基板間の透過光量が制御され、画像が階調表示される。液晶装置1はTFTアクティブマトリクス駆動方式を採り、TFTアレイ基板10における画素表示領域10aには、マトリクス状に配置された複数の画素電極9aと、互いに交差して配列された複数の走査線2及びデータ線3とが形成され、画素に対応する画素部70が構築されている。尚、ここでは図示しないが、各画素電極9aとデータ線3との間には、走査線2を介して夫々供給される走査信号に応じて導通、非導通が制御されるTFTや、画素電極9aに印加した電圧を維持するための蓄積容量が形成されている。また、画像表示領域10aの周辺領域には、データ線駆動回路部101、走査線駆動回路部104、及び外部回路接続端子102が形成されている。   In FIG. 3, a liquid crystal device 1 includes a TFT array substrate 10 made of, for example, a quartz substrate, a glass substrate, or a silicon substrate, and a counter substrate 20 (not shown here) facing each other with a liquid crystal layer interposed therebetween. The voltage applied to each of the pixel portions 70 including the pixel electrodes 9a partitioned and arranged in 10a is controlled to modulate the electric field applied to the liquid crystal layer for each pixel. Thereby, the amount of transmitted light between the two substrates is controlled, and the image is displayed in gradation. The liquid crystal device 1 employs a TFT active matrix driving method, and a pixel display region 10a in the TFT array substrate 10 includes a plurality of pixel electrodes 9a arranged in a matrix, a plurality of scanning lines 2 arranged in an intersecting manner, and The data line 3 is formed, and the pixel portion 70 corresponding to the pixel is constructed. Although not shown here, between each pixel electrode 9a and the data line 3, a TFT or a pixel electrode whose conduction or non-conduction is controlled according to a scanning signal supplied via the scanning line 2 respectively. A storage capacitor for maintaining the voltage applied to 9a is formed. Further, a data line driving circuit unit 101, a scanning line driving circuit unit 104, and an external circuit connection terminal 102 are formed in the peripheral region of the image display region 10a.

データ線駆動回路101は、シフトレジスタ51、論理回路55及びサンプリング回路7からなる。シフトレジスタ51は、データ線駆動回路101内に入力される所定周期のX側クロック信号CLX(及びその反転信号CLXB)及びシフトレジスタスタート信号DXに基づいて、各段から転送信号Pi(i=1、・・・、n)を順次出力するように構成されている。   The data line driving circuit 101 includes a shift register 51, a logic circuit 55, and a sampling circuit 7. The shift register 51 receives a transfer signal Pi (i = 1) from each stage based on an X-side clock signal CLX (and its inverted signal CLXB) and a shift register start signal DX having a predetermined period input into the data line driving circuit 101. ,..., N) are sequentially output.

論理回路55は、転送信号Pi(i=1、・・・、n)をイネーブル信号ENB1〜4に基づいて整形し、それを基にして最終的にサンプリング回路駆動信号Si(i=1、・・・、n)を出力する。   The logic circuit 55 shapes the transfer signal Pi (i = 1,..., N) based on the enable signals ENB1 to ENB1 to ENB1-4, and finally, based on that, the sampling circuit drive signal Si (i = 1,. .., n) is output.

本発明の「駆動電源線」の一例を夫々構成する電源線92、93及び本発明の「対向電極電位線」の一例である共通電位線91は、TFTアレイ基板10に形成された配線部90に含まれており、例えばアルミニウム等の低抵抗の導電材料、或いは複数の導電材料からなる多層構造を有している。電源線92、93及び共通電位線91は、これら配線の夫々に対応する外部回路接続端子102に電気的に接続されており、駆動回路部への駆動電源からの電位供給及び対向電極21への所定の共通電位の供給を行う。   The power supply lines 92 and 93 constituting an example of the “drive power supply line” of the present invention and the common potential line 91 which is an example of the “counter electrode potential line” of the present invention are connected to the wiring section 90 formed on the TFT array substrate 10. For example, a low-resistance conductive material such as aluminum or a multilayer structure made of a plurality of conductive materials. The power supply lines 92 and 93 and the common potential line 91 are electrically connected to the external circuit connection terminal 102 corresponding to each of these wirings, and supply the potential from the drive power supply to the drive circuit unit and supply to the counter electrode 21. A predetermined common potential is supplied.

なお、対向電極21に供給される電位は一定値であっても良いし、所定の周期で変動する値であってもよく、電気光学装置の駆動方式によって適宜選択することが可能である。   The potential supplied to the counter electrode 21 may be a constant value or a value that fluctuates in a predetermined cycle, and can be appropriately selected depending on the driving method of the electro-optical device.

共通電位線91は、対向電極21に供給される共通電位LCCOMを外部回路から受け取る外部接続端子102に電気的に接続されていると共に、後述する容量を構成するように、TFTアレイ基板10上のレイアウトの制約下で部分的にシール領域95に延びるように形成されている。より具体的には、共通電位線91は、本発明の「配線部」の夫々一例を構成する分岐配線91x及び91yを含んでいる。   The common potential line 91 is electrically connected to an external connection terminal 102 that receives a common potential LCCOM supplied to the counter electrode 21 from an external circuit, and on the TFT array substrate 10 so as to constitute a capacitor described later. It is formed so as to partially extend to the seal region 95 under layout restrictions. More specifically, the common potential line 91 includes branch wirings 91x and 91y that constitute an example of the “wiring unit” of the present invention.

共通電位線91は、本発明の「導電部」の一例である上下導通端子106に電気的に接続されている。   The common potential line 91 is electrically connected to the vertical conduction terminal 106 which is an example of the “conductive portion” in the present invention.

上下導通端子106は、TFTアレイ基板10の基板面に対して交わる方向に延びており、且つ共通電位線91に電気的に接続されている。上下導通端子106は、TFTアレイ基板10に設けられた共通電位線(対向電極電位線)91から対向基板20側に設けられた対向電極21に共通電位を供給し、画素電極9a及び対向電極21間に介在する液晶分子の配向を制御する。上下導通端子106は、シール領域95を避けるようにTFTアレイ基板10の周辺領域に設けられている。より具体的には駆動電源線92及び93、並びにTFTアレイ基板10の周辺領域に設けられた複数の外部回路接続端子102から引回された各種配線のレイアウトに制約を設けないように、TFTアレイ基板10の隅に設けられる。上下導通端子106は、対向基板20に設けられた配線を介して共通電位線91から間接的に対向電極21に共通電位を供給する。   The vertical conduction terminal 106 extends in a direction intersecting the substrate surface of the TFT array substrate 10 and is electrically connected to the common potential line 91. The vertical conduction terminal 106 supplies a common potential from the common potential line (counter electrode potential line) 91 provided on the TFT array substrate 10 to the counter electrode 21 provided on the counter substrate 20 side, and the pixel electrode 9a and the counter electrode 21 are supplied. Controls the alignment of liquid crystal molecules interposed therebetween. The vertical conduction terminals 106 are provided in the peripheral region of the TFT array substrate 10 so as to avoid the seal region 95. More specifically, the TFT array is arranged so as not to restrict the layout of various wirings routed from the drive power supply lines 92 and 93 and the plurality of external circuit connection terminals 102 provided in the peripheral region of the TFT array substrate 10. Provided at the corner of the substrate 10. The vertical conduction terminal 106 indirectly supplies a common potential to the counter electrode 21 from the common potential line 91 through a wiring provided on the counter substrate 20.

分岐配線91xは、シール領域95のうちTFTアレイ基板10の第1辺に沿って延びる領域に延在されている。分岐配線91yは、シール領域95のうちTFTアレイ基板10の第2辺に沿って延びる領域に延在されている。即ち、共通電位線91は、分岐配線91x及び91yによって画像表示領域10aを囲むように延びており、シール領域95のサイズに応じた面積を有していることになる。   The branch wiring 91 x extends in a region extending along the first side of the TFT array substrate 10 in the seal region 95. The branch wiring 91 y extends in a region extending along the second side of the TFT array substrate 10 in the seal region 95. That is, the common potential line 91 extends so as to surround the image display region 10a by the branch wirings 91x and 91y, and has an area corresponding to the size of the seal region 95.

駆動電源線92及び93は、データ線駆動回路101及び走査線駆動回路104の夫々に供給される駆動電源VSSX及びVSSYを外部回路から受け取る外部接続端子102に電気的に接続されている。加えて、後述する容量を分岐配線91x及び91yの夫々と共に構成するように、TFTアレイ基板10上のレイアウトの制約下で部分的にシール領域95に延びるように形成されている。   The drive power supply lines 92 and 93 are electrically connected to an external connection terminal 102 that receives drive power supply VSSX and VSSY supplied to the data line drive circuit 101 and the scanning line drive circuit 104 from an external circuit. In addition, it is formed so as to partially extend to the seal region 95 under the constraints of the layout on the TFT array substrate 10 so as to constitute a later-described capacitor together with the branch wirings 91x and 91y.

より具体的には、駆動電源線93は、データ線駆動回路部101に駆動電源VSSXを供給する分岐配線93xと、走査線駆動回路部104に駆動電源VSSYを供給する93yを含んでいる。分岐配線93x及び93yの夫々は、本発明の「延在部」の一例である。   More specifically, the drive power supply line 93 includes a branch wiring 93 x that supplies the drive power supply VSSX to the data line drive circuit unit 101, and 93 y that supplies the drive power supply VSSY to the scanning line drive circuit unit 104. Each of the branch wirings 93x and 93y is an example of the “extending portion” in the present invention.

分岐配線93x及び93yと、分岐配線91x及び91yとの間には、後述するようにこれら分岐配線間を電気的に絶縁するように層間絶縁膜が設けられている。分岐配線93x及び93yの夫々と、分岐配線91x及び91yの夫々とは、誘電体膜として兼用される層間絶縁膜を挟んだ一対の容量電極として機能し、この層間絶縁膜と共に容量を構成する。このように構成された容量は、分岐配線91x、91y、93x、及び93yがシール領域95のサイズに応じた面積を有していることから、この面積に応じた非常に大きな容量値を得ることが可能である。また、分岐配線93x及びデータ線3の夫々を一対の容量電極として容量を構成することも可能である。駆動回路部における駆動電源の電位を安定させるためには、容量の容量値は大きいほど好ましいことから、容量の容量値を大きくするために平面的に見てシール領域95内で可能な限り互いに重なる面積が大きくなるように分岐配線91x、91y、93x、及び93yを形成し、表示性能を高めることができる。より具体的には、例えばシフトレジスタ51における電源電位のふらつきを抑制し、シフトレジスタ51からその後段に配置された論理回路55に所定のタイミングで、且つ所定の波形を有する転送信号Pnを供給でき、転送信号Pnの乱れに起因する画像の乱れを低減できる。   An interlayer insulating film is provided between the branch wirings 93x and 93y and the branch wirings 91x and 91y so as to electrically insulate these branch wirings as will be described later. Each of the branch wirings 93x and 93y and each of the branch wirings 91x and 91y function as a pair of capacitance electrodes sandwiching an interlayer insulating film also used as a dielectric film, and constitute a capacitor together with the interlayer insulating film. The capacitance configured in this manner can obtain a very large capacitance value corresponding to this area since the branch wirings 91x, 91y, 93x, and 93y have an area corresponding to the size of the seal region 95. Is possible. In addition, it is possible to configure a capacitor by using each of the branch wiring 93x and the data line 3 as a pair of capacitor electrodes. In order to stabilize the potential of the drive power supply in the drive circuit unit, it is preferable that the capacity value of the capacitor is large. Therefore, in order to increase the capacity value of the capacitor, they overlap each other as much as possible in the seal region 95 in plan view The branch wirings 91x, 91y, 93x, and 93y can be formed to increase the area, and display performance can be improved. More specifically, for example, fluctuation of the power supply potential in the shift register 51 can be suppressed, and the transfer signal Pn having a predetermined waveform can be supplied from the shift register 51 to the logic circuit 55 arranged in the subsequent stage at a predetermined timing. Therefore, it is possible to reduce image disturbance due to the disturbance of the transfer signal Pn.

加えて、シール領域95は、TFTアレイ基板10及び対向基板20を相互に接着するシール部52形成するために設けられる領域であるため、画像表示領域10aの周辺領域に別途コンデンサ等の容量を設けるスペースを確保することなく、電源電位の安定化を図ることが可能である。また、共通電位線91、駆動電源線92及び93、並びにこれら配線間に介在する層間絶縁膜は、液晶装置1を構成するための既存の製造プロセスを大きく変更することなく形成できるため、別途コンデンサ等の容量を液晶装置1に後付けする工程を増やすことなく、電源電位を安定化させることが可能である。また、容量が設けることによって、駆動電源線93に電気的に接続されたデータ線駆動回路部101の耐電圧特性も向上させることが可能である。   In addition, since the seal region 95 is a region provided for forming the seal portion 52 that adheres the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20 to each other, a capacitor such as a capacitor is additionally provided in the peripheral region of the image display region 10a. It is possible to stabilize the power supply potential without securing a space. Further, since the common potential line 91, the drive power supply lines 92 and 93, and the interlayer insulating film interposed between these wirings can be formed without greatly changing the existing manufacturing process for configuring the liquid crystal device 1, a separate capacitor is provided. The power supply potential can be stabilized without increasing the number of steps of retrofitting the liquid crystal device 1 to the liquid crystal device 1. In addition, with the provision of the capacitor, it is possible to improve the withstand voltage characteristics of the data line driving circuit unit 101 electrically connected to the driving power supply line 93.

駆動電源線92は、走査線駆動回路部104に駆動電源VSSYを供給すると共に、本発明の「延在部」の夫々一例である分岐配線92x及び92yを含んでいる。分岐配線92xは、シール領域のうち第1辺に沿って延びる領域に重なるように延びており、分岐配線92yは、シール領域95のうち第2辺に沿って延びる領域に重なるように延びている。   The drive power supply line 92 supplies the drive power supply VSSY to the scanning line drive circuit unit 104 and includes branch wirings 92x and 92y, which are examples of the “extension part” of the present invention. The branch wiring 92x extends so as to overlap a region extending along the first side in the seal region, and the branch wiring 92y extends so as to overlap a region extending along the second side in the seal region 95. .

分岐配線93x及び93yと同様に、分岐配線92x及び92yも分岐配線91x及び91y、並びにこれら分岐配線間に介在する層間絶縁膜と共に容量を構成することが可能である。このような容量によれば、走査線駆動回路部104における電源電位のふらつきを低減でき、電源電位を安定化させることが可能である。   Similar to the branch wirings 93x and 93y, the branch wirings 92x and 92y can form a capacitor together with the branch wirings 91x and 91y and an interlayer insulating film interposed between the branch wirings. With such a capacitor, the fluctuation of the power supply potential in the scan line driver circuit portion 104 can be reduced, and the power supply potential can be stabilized.

尚、本実施形態では、主に分岐配線93及び共通電位線91、並びにこれら配線間に介在する層間絶縁膜により容量が構成される場合を説明するが、共通電位線91と、データ線駆動回路部101及び走査線駆動回路部104の少なくとも一方の回路部に駆動電源を供給する駆動電源線と、これら配線間に介在する層間絶縁膜とにより容量を構成していれば、データ線駆動回路部101及び走査線駆動回路部104の少なくとも一方に安定した電位を有する駆動電源を供給でき、画像の品位を相応に高めることが可能である。特に、駆動回路部に含まれるシフトレジスタ等の回路に安定した電位を有することによって、高品位の画像表示が可能である。また、共通電位線91、駆動電源線92及び93は、画像表示領域を囲むようにシール領域95の全体に渡って延在されている場合に限定されない。即ち、容量を構成するように共通電位線91、駆動電源線92及び93がTFTアレイ基板10上に引き回されていればよく、例えばTFTアレイ基板10の第1辺に沿って延びる領域及び第2辺に沿って延びる領域のうち少なくとも一方の領域にのみ延在されていてもよい。   In the present embodiment, a case where a capacitor is mainly configured by the branch wiring 93 and the common potential line 91 and an interlayer insulating film interposed between these wirings will be described. However, the common potential line 91 and the data line driving circuit are described. If a capacitor is constituted by a drive power supply line that supplies drive power to at least one of the circuit portion 101 and the scanning line drive circuit portion 104 and an interlayer insulating film interposed between these wires, the data line drive circuit portion A driving power source having a stable potential can be supplied to at least one of 101 and the scanning line driving circuit portion 104, and the image quality can be improved accordingly. In particular, high-quality image display is possible by having a stable potential in a circuit such as a shift register included in the driver circuit portion. Further, the common potential line 91 and the drive power supply lines 92 and 93 are not limited to the case where they extend over the entire seal area 95 so as to surround the image display area. That is, it is only necessary that the common potential line 91 and the drive power supply lines 92 and 93 are routed on the TFT array substrate 10 so as to constitute a capacitor. For example, the region extending along the first side of the TFT array substrate 10 and the first It may extend only to at least one of the regions extending along the two sides.

次に、図4乃至図6を参照しながら、領域A1における配線の詳細な配置状態を説明する。尚、本実施形態では、共通電位線91に含まれる分岐配線91y及び駆動電源線93yに含まれる分岐配線93y、並びにこれら分岐配線間に介在する層間絶縁膜43によって容量C1を構成する場合を例に挙げるが、分岐配線91x及び91yの少なくとも一方の分岐配線と、駆動電源線92に含まれる分岐配線92x及び92yの少なくとも一方の分岐配線と、これら分岐配線間に介在する層間絶縁膜とから容量を構成することも可能である。共通電位線91は、駆動電源線92及び93の両方及びこれら駆動電源線間に介在する層間絶縁膜と共に容量を構成してもよい。   Next, a detailed arrangement state of the wirings in the region A1 will be described with reference to FIGS. In the present embodiment, the capacitor C1 is configured by the branch wiring 91y included in the common potential line 91, the branch wiring 93y included in the drive power supply line 93y, and the interlayer insulating film 43 interposed between the branch wirings. The capacitance is obtained from at least one branch wiring of the branch wirings 91x and 91y, at least one branch wiring of the branch wirings 92x and 92y included in the drive power supply line 92, and an interlayer insulating film interposed between these branch wirings. It is also possible to configure. The common potential line 91 may constitute a capacitor together with both the drive power supply lines 92 and 93 and an interlayer insulating film interposed between the drive power supply lines.

図4は、図1及び図3に示した領域A1の平面図である。尚、図4では、シール領域52に形成されたシール部52を省略している。図4において、分岐配線93y及びその下層側に設けられた分岐配線91yは、平面的に見て互いに重なるように形成されているため、これら分岐配線間に介在する層間絶縁膜43と共に容量C1を構成する。   FIG. 4 is a plan view of the region A1 shown in FIGS. In FIG. 4, the seal portion 52 formed in the seal region 52 is omitted. In FIG. 4, since the branch wiring 93y and the branch wiring 91y provided on the lower layer side are formed so as to overlap each other in plan view, the capacitor C1 is provided together with the interlayer insulating film 43 interposed between these branch wirings. Constitute.

図5及び図6において、TFTアレイ基板10上に層間絶縁膜12、41、42が形成されており、その上に分岐配線91y、層間絶縁膜43分岐配線93y及び層間絶縁膜44がこの順で形成されている。層間絶縁膜43は、分岐配線93yを含む駆動電源線93及び分岐配線91yを含む共通電位線91間を電気的に絶縁すると共に容量C1の誘電体膜として兼用されている。したがって、TFTアレイ基板10上に駆動電源線93及び共通電位線91と、これら配線間に層間絶縁膜43を形成することによって、容量とされるコンデンサ素子を設けることなく、TFTアレイ基板10上に形成された多層構造をそのまま利用して容量C1を構成できる。   5 and 6, interlayer insulating films 12, 41, and 42 are formed on the TFT array substrate 10, and a branch wiring 91y, an interlayer insulating film 43 branch wiring 93y, and an interlayer insulating film 44 are formed in this order. Is formed. The interlayer insulating film 43 electrically insulates between the drive power supply line 93 including the branch wiring 93y and the common potential line 91 including the branch wiring 91y, and also serves as a dielectric film of the capacitor C1. Therefore, by forming the drive power supply line 93 and the common potential line 91 on the TFT array substrate 10 and the interlayer insulating film 43 between these wirings, the capacitor element as a capacitor is not provided on the TFT array substrate 10. The capacitor C1 can be configured by using the formed multilayer structure as it is.

図4において、分岐配線93y及び91yの平面形状は、平面的に見てシール領域95に沿って延びる梯子形状であり、TFTアレイ基板10の下側から光を照射した際に、この光がTFTアレイ基板10の上側に透過されるように隙間93s及び91sを有している。   In FIG. 4, the planar shape of the branch wirings 93 y and 91 y is a ladder shape extending along the seal region 95 when seen in a plan view, and when the light is irradiated from the lower side of the TFT array substrate 10, this light is converted into the TFT. Gaps 93 s and 91 s are provided so as to be transmitted to the upper side of the array substrate 10.

このような平面形状を備えた分岐配線93y及び91yによれば、TFTアレイ基板10及び対向基板20をシール領域95に塗布された光硬化性樹脂を硬化させることによって相互に接着する際に、紫外線等の光が隙間93s及び91sを介してTFTアレイ基板10の上側に透過する。したがって、光を透過させないアルミニウム等の導電材料からなる駆動電源線93及び共通電位線91を形成した場合でも、液晶装置1の製造時にTFTアレイ基板10及び対向基板20を相互に接着できる。   According to the branch wirings 93y and 91y having such a planar shape, when the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20 are bonded to each other by curing the photocurable resin applied to the seal region 95, ultraviolet rays are used. Or the like is transmitted to the upper side of the TFT array substrate 10 through the gaps 93s and 91s. Therefore, even when the drive power supply line 93 and the common potential line 91 made of a conductive material such as aluminum that does not transmit light are formed, the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20 can be bonded to each other when the liquid crystal device 1 is manufactured.

加えて、分岐配線93y及び91yの夫々は、シール領域95で平面的に連続した一枚の導電層を形成する場合に比べて機械的な応力に対して高い応力緩和作用を奏する。より具体的には、例えば分岐配線93y及び分岐配線91yと、これら配線の下地である層間絶縁膜42及び43との間に生じる応力を緩和できる。したがって、この応力によって生じる駆動電源線93、共通電位線91、層間絶縁膜間42及び43の夫々の界面で生じるはがれ等の物理的損傷を低減することが可能である。これにより、液晶装置1の製造時に生じる不具合を低減でき、歩留まりを高めることが可能である。加えて装置全体の信頼性を高めることが可能であり、長期間に亘って高品位の画像を表示できる。   In addition, each of the branch wirings 93 y and 91 y exhibits a high stress relaxation effect with respect to mechanical stress as compared with the case where a single conductive layer continuous in a plane is formed in the seal region 95. More specifically, for example, stress generated between the branch wiring 93y and the branch wiring 91y and the interlayer insulating films 42 and 43 which are the bases of these wirings can be relieved. Therefore, it is possible to reduce physical damage such as peeling that occurs at the interfaces of the drive power supply line 93, the common potential line 91, and the interlayer insulating films 42 and 43 caused by this stress. As a result, it is possible to reduce problems that occur during the manufacture of the liquid crystal device 1 and to increase the yield. In addition, the reliability of the entire apparatus can be improved, and high-quality images can be displayed over a long period of time.

分岐配線93x及び91xも分岐配線93y及び91yと同様に平面的に見て梯子形状に形成されており、光透過性及び応力緩和作用を有している。尚、駆動電源線93及び共通電位線91が有する分岐配線の平面形状は梯子形状に限定されるものではなく、隙間の形状及び分岐配線内の隙間の配置は、シール領域95において各分岐配線が光透過性及び応力緩和作用を奏するように設定されていればよく、例えば、分岐配線に複数の矩形状、又は円形状に開口する隙間が形成されていてもよい。但し、隙間93s及び91sは、これら隙間を介して光が透過するように平面的に見て互いに重なるように各分岐配線に形成される。尚、図4に示すように、クロック信号供給用の配線96及び外部回路接続端子102から走査線駆動回路部104に各種信号供給するための配線97が配設されていてもよい。このような配線は、シール領域95から外れた領域に形成されている。   The branch wirings 93x and 91x are also formed in a ladder shape in plan view like the branch wirings 93y and 91y, and have light transmittance and stress relaxation action. Note that the planar shape of the branch wirings included in the drive power supply line 93 and the common potential line 91 is not limited to the ladder shape, and the shape of the gap and the arrangement of the gaps in the branch wiring are not limited to each branch wiring in the seal region 95. For example, a plurality of rectangular or circular gaps may be formed in the branch wiring, as long as the light transmission and the stress relaxation action are set. However, the gaps 93s and 91s are formed in each branch wiring so as to overlap each other in plan view so that light is transmitted through these gaps. As shown in FIG. 4, a wiring 96 for supplying various signals from the clock signal supply wiring 96 and the external circuit connection terminal 102 to the scanning line driving circuit unit 104 may be provided. Such wiring is formed in a region outside the seal region 95.

以上説明したように、液晶装置1によれば、駆動電源線93及び共通電位線91に電気的に接続された容量C1によって駆動電源の電位の変動を抑制でき、画素部70に各種信号を供給するデータ線駆動回路101及び走査線駆動回路04を安定して駆動できる。これにより、液晶装置1は、電源電位のふらつきに起因する表示不良を低減でき、高品位の画像を表示できる。   As described above, according to the liquid crystal device 1, fluctuations in the potential of the driving power supply can be suppressed by the capacitor C <b> 1 electrically connected to the driving power supply line 93 and the common potential line 91, and various signals are supplied to the pixel unit 70. The data line driving circuit 101 and the scanning line driving circuit 04 to be driven can be driven stably. Thereby, the liquid crystal device 1 can reduce display defects due to fluctuations in the power supply potential, and can display a high-quality image.

(第2実施形態)
次に図7乃至図12を参照しながら、本発明の第2の発明に係る電気光学装置の一実施形態である液晶装置100を説明する。尚、以下では第1実施形態で説明した液晶装置1と共通する部分に共通の参照符号を付し、これら共通する部分の詳細な説明は省略する。本実施形態の液晶装置100は、駆動電源線、共通電位線及びこれら配線間に介在する層間絶縁膜からなる複数の容量が設けられている点に特徴を有している。
(Second Embodiment)
Next, a liquid crystal device 100 as an embodiment of the electro-optical device according to the second invention of the present invention will be described with reference to FIGS. In the following, parts common to the liquid crystal device 1 described in the first embodiment are denoted by common reference numerals, and detailed description of these common parts is omitted. The liquid crystal device 100 according to this embodiment is characterized in that a plurality of capacitors each including a drive power supply line, a common potential line, and an interlayer insulating film interposed between these wirings are provided.

図7及び図8を参照しながら液晶装置100の全体構成を説明する。図7は、液晶装置100をその対向基板側から見た全体構成を示す図であり、図1に対応する平面図である。図8は、液晶装置の電気的に接続状態を示すブロック図である。   The overall configuration of the liquid crystal device 100 will be described with reference to FIGS. FIG. 7 is a diagram showing an overall configuration of the liquid crystal device 100 as viewed from the counter substrate side, and is a plan view corresponding to FIG. FIG. 8 is a block diagram showing an electrically connected state of the liquid crystal device.

図7において、本発明の「接続部」の一例であるコンタクトホール80が、シール領域95に形成されている。コンタクトホール80は、画像表示領域10aを囲むように延びるシール領域95の隅に設けられている。より具体的には、コンタクトホール80は、図7及び図8においてシール領域95の隅のうち外部回路接続端子102に近い側の領域A2に設けられている。後述するように、駆動電源線93は、外部回路接続端子102に近い領域で複数のTFTアレイ基板10の互いに異なる層に延在された複数の分岐配線を有している。   In FIG. 7, a contact hole 80, which is an example of the “connecting portion” of the present invention, is formed in the seal region 95. The contact hole 80 is provided at the corner of the seal region 95 extending so as to surround the image display region 10a. More specifically, the contact hole 80 is provided in a region A2 on the side close to the external circuit connection terminal 102 in the corner of the seal region 95 in FIGS. As will be described later, the drive power supply line 93 has a plurality of branch lines extending to different layers of the plurality of TFT array substrates 10 in a region close to the external circuit connection terminal 102.

次に図9乃至図12を参照しながら、液晶装置100に設けられた容量の詳細な構成を説明する。   Next, a detailed configuration of the capacitor provided in the liquid crystal device 100 will be described with reference to FIGS.

図9は、図8に示した領域A2の平面図であり、図10乃至図12の夫々は、図9中のX−X´線断面図、XI−XI´線断面図、及びXII−XII´線断面図である。   9 is a plan view of the area A2 shown in FIG. 8, and FIGS. 10 to 12 are respectively a cross-sectional view taken along line XX ′, a cross-sectional view taken along line XI-XI ′, and a cross-sectional view taken along line XII-XII in FIG. FIG.

図9において、駆動電源線93の分岐配線93ybは、シール領域95においてTFTアレイ基板10の第2辺に沿って延びており、その平面形状は梯子形状である。ここで、分岐配線93ybは、本発明の「第1延在部」の一例であり、後述する分岐配線93yaが本発明の「第2延在部」の一例である。分岐配線91yは、平面的に見て分岐配線93yb及び93yaと重なるようにシール領域95に延在されている。これら3つの分岐配線は、後述するようにTFTアレイ基板10上において互いに異なる層に形成されており、層間絶縁膜と共に複数の容量を構成する。   In FIG. 9, the branch wiring 93yb of the drive power supply line 93 extends along the second side of the TFT array substrate 10 in the seal region 95, and the planar shape thereof is a ladder shape. Here, the branch wiring 93yb is an example of the “first extending portion” in the present invention, and a branch wiring 93ya described later is an example of the “second extending portion” in the present invention. The branch wiring 91y extends to the seal region 95 so as to overlap the branch wirings 93yb and 93ya when seen in a plan view. As will be described later, these three branch wirings are formed in different layers on the TFT array substrate 10 and constitute a plurality of capacitors together with the interlayer insulating film.

分岐配線93ya及び93ybは、領域A2から外部回路接続端子102に向かう領域で分岐配線91yに重ならないように延在されている。分岐配線93ya及び93ybは、コンタクトホール80を介して電気的に接続されている。より具体的には、図10に示すように、分岐配線93a及び93ybは、これら分岐配線間に介在する層間絶縁膜43及び42を貫通するコンタクトホール80を介して電気的に接続されている。コンタクトホール80は、層間絶縁膜42及ぶ43を貫通する孔に導電材料を充填、或いはこの孔の側壁に沿って導電膜を形成することによって形成できる。   The branch wirings 93ya and 93yb are extended so as not to overlap the branch wiring 91y in the region from the region A2 toward the external circuit connection terminal 102. The branch wirings 93ya and 93yb are electrically connected through the contact hole 80. More specifically, as shown in FIG. 10, the branch wirings 93a and 93yb are electrically connected through a contact hole 80 penetrating the interlayer insulating films 43 and 42 interposed between the branch wirings. The contact hole 80 can be formed by filling a hole penetrating the interlayer insulating films 42 and 43 with a conductive material or by forming a conductive film along the side wall of the hole.

図11において、TFTアレイ基板10上には、層間絶縁膜12、41、分岐配線93ya、層間絶縁膜42、分岐配線91y、層間絶縁膜43、分岐配線93yb及び層間絶縁膜44がTFTアレイ基板から上側に向かってこの順で積層されている。したがって、分岐配線93ya及び91y間には、これら分岐配線を電気的に絶縁するように層間絶縁膜42が延在されている。分岐配線93ya及び91yは一対の容量電極として機能し、層間絶縁膜42を誘電体膜として兼用することによって容量C2bを構成する。同様に、分岐配線93yb及び91yも一対の容量電極として機能し、層間絶縁膜43を誘電体膜として兼用し、容量C2aを構成する。このように、駆動電源線93の複数の分岐配線の夫々をシール領域95において互いに異なる層に形成することによって、TFTアレイ基板10の厚み方向に沿って複数の容量を形成でき、第1実施形態で説明した容量に比べてより大きな容量値を有する容量をシール領域95に形成できる。シール領域95は、画像表示領域10aの周囲を囲むように延びているため、シール領域95の面積に応じた大きな容量がシール領域95という制限された領域に形成される。加えて、各分岐配線をシール領域95の幅に応じて広げておけば、分岐配線の面積を広げた分、より大きな容量値を有する容量がシール領域に形成される。   In FIG. 11, on the TFT array substrate 10, interlayer insulating films 12, 41, branch wiring 93ya, interlayer insulating film 42, branch wiring 91y, interlayer insulating film 43, branch wiring 93yb, and interlayer insulating film 44 are provided from the TFT array substrate. They are stacked in this order toward the upper side. Therefore, the interlayer insulating film 42 is extended between the branch wirings 93ya and 91y so as to electrically insulate these branch wirings. The branch wirings 93ya and 91y function as a pair of capacitor electrodes, and the capacitor C2b is configured by using the interlayer insulating film 42 as a dielectric film. Similarly, the branch wirings 93yb and 91y also function as a pair of capacitor electrodes, and the interlayer insulating film 43 is also used as a dielectric film to constitute a capacitor C2a. In this way, by forming each of the plurality of branch wirings of the drive power supply line 93 in different layers in the seal region 95, a plurality of capacitors can be formed along the thickness direction of the TFT array substrate 10, and the first embodiment. A capacity having a larger capacity value than the capacity described in the above can be formed in the seal region 95. Since the seal region 95 extends so as to surround the periphery of the image display region 10 a, a large capacity corresponding to the area of the seal region 95 is formed in a limited region called the seal region 95. In addition, if each branch wiring is widened according to the width of the seal region 95, a capacity having a larger capacitance value is formed in the seal region as the area of the branch wiring is widened.

容量C2a及びC2bは、分岐配線91yを介して電気的に並列に接続されている。特に、容量C2a及びC2bは、第1実施形態の容量に比べてシール領域に大きな容量を設けることができるため、駆動電源が供給されるデータ線駆動回路部101及び走査線駆動回路部104の電源電位をより安定化させることができる。   The capacitors C2a and C2b are electrically connected in parallel via the branch wiring 91y. In particular, since the capacitors C2a and C2b can be provided with a larger capacity in the seal region than the capacitor of the first embodiment, the power supply for the data line drive circuit unit 101 and the scan line drive circuit unit 104 to which drive power is supplied. The potential can be further stabilized.

更に、容量C2a及びC2bによれば、TFTアレイ基板10上に形成された分岐配線及び層間絶縁膜からなる多層構造をそのまま利用して容量を構成できるため、既存の製造プロセスを変更することによって別途容量を設けることなく、十分な容量を形成することができ、高品位の画像を表示できる。尚、液晶装置100に設けられる容量は、本実施形態のように2つに限定されるものではなく、例えば、共通電位線91から複数の分岐配線をシール領域の互いに異なる層に形成し、且つこれら複数の分岐配線との間で並列に接続された容量を構成するように駆動電源線93から互いに異なる層に延びる複数の分岐配線を形成することによって、TFTアレイ基板10の厚み方向に沿って3つ以上の容量を形成できる。   Further, according to the capacitors C2a and C2b, the capacitor can be configured by using the multilayer structure formed of the branch wiring and the interlayer insulating film formed on the TFT array substrate 10 as it is. A sufficient capacity can be formed without providing a capacity, and a high-quality image can be displayed. The capacity provided in the liquid crystal device 100 is not limited to two as in the present embodiment. For example, a plurality of branch wirings are formed in different layers of the seal region from the common potential line 91, and By forming a plurality of branch wirings extending from the drive power supply line 93 to different layers so as to constitute a capacitor connected in parallel with the plurality of branch wirings, the TFT array substrate 10 is formed along the thickness direction. Three or more capacitors can be formed.

図9及び図12において、分岐配線91y、93ya及び93ybの夫々は、隙間91s、93sa及び93sbを有している。隙間91s、93sa及び93sbは、平面的に見て互いに重なるように形成されており、TFTアレイ基板10及び対向基板20をシール領域に塗布された光硬化性樹脂によって相互に接着する際に、TFTアレイ基板10の下側から照射される光を上側に透過させる。したがって、TFTアレイ基板10の下側から光が照射された光硬化性樹脂は、シール部52としてTFTアレイ基板10及び対向基板20を相互に接着できる。   9 and 12, the branch wirings 91y, 93ya, and 93yb have gaps 91s, 93sa, and 93sb, respectively. The gaps 91 s, 93 sa, and 93 sb are formed so as to overlap each other when seen in a plan view, and when the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20 are bonded to each other by the photocurable resin applied to the seal region, the TFTs The light irradiated from the lower side of the array substrate 10 is transmitted upward. Therefore, the photocurable resin irradiated with light from the lower side of the TFT array substrate 10 can adhere the TFT array substrate 10 and the counter substrate 20 to each other as the seal portion 52.

以上説明した液晶装置100によれば、駆動電源線93及び共通電位線91に電気的に並列に接続された複数の容量によって駆動電源の電位の変動を抑制でき、画素部70に各種信号を供給するデータ線駆動回路101及び走査線駆動回路104を安定して駆動できる。これにより、液晶装置100は、電源電位のふらつきに起因する表示不良を低減でき、高品位の画像を表示できる。   According to the liquid crystal device 100 described above, fluctuations in the potential of the drive power supply can be suppressed by a plurality of capacitors electrically connected in parallel to the drive power supply line 93 and the common potential line 91, and various signals are supplied to the pixel unit 70. The data line driving circuit 101 and the scanning line driving circuit 104 to be driven can be stably driven. As a result, the liquid crystal device 100 can reduce display defects due to fluctuations in the power supply potential, and can display a high-quality image.

(電子機器)
次に図13乃至図15を参照しながら、上述した液晶装置を各種の電子機器に適用する場合について説明する。
(Electronics)
Next, a case where the above-described liquid crystal device is applied to various electronic devices will be described with reference to FIGS.

まず、この液晶装置をライトバルブとして用いたプロジェクタについて説明する。図13は、プロジェクタの構成例を示す平面図である。図13に示されるように、プロジェクタ1100内部には、ハロゲンランプ等の白色光源からなるランプユニット1102が設けられている。このランプユニット1102から射出された投射光は、ライトガイド1104内に配置された4枚のミラー1106および2枚のダイクロイックミラー1108によってRGBの3原色に分離され、各原色に対応するライトバルブとしての液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gに入射される。   First, a projector using this liquid crystal device as a light valve will be described. FIG. 13 is a plan view showing a configuration example of the projector. As shown in FIG. 13, a projector 1100 includes a lamp unit 1102 made of a white light source such as a halogen lamp. The projection light emitted from the lamp unit 1102 is separated into three primary colors of RGB by four mirrors 1106 and two dichroic mirrors 1108 arranged in the light guide 1104, and serves as a light valve corresponding to each primary color. The light enters the liquid crystal panels 1110R, 1110B, and 1110G.

液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gの構成は、上述した液晶装置と同等であり、画像信号処理回路から供給されるR、G、Bの原色信号でそれぞれ駆動されるものである。そして、これらの液晶パネルによって変調された光は、ダイクロイックプリズム1112に3方向から入射される。このダイクロイックプリズム1112においては、RおよびBの光が90度に屈折する一方、Gの光が直進する。したがって、各色の画像が合成される結果、投射レンズ1114を介して、スクリーン等にカラー画像が投写されることとなる。   The configurations of the liquid crystal panels 1110R, 1110B, and 1110G are the same as those of the liquid crystal device described above, and are driven by R, G, and B primary color signals supplied from the image signal processing circuit. The light modulated by these liquid crystal panels enters the dichroic prism 1112 from three directions. In this dichroic prism 1112, R and B light is refracted at 90 degrees, while G light travels straight. Accordingly, as a result of the synthesis of the images of the respective colors, a color image is projected onto the screen or the like via the projection lens 1114.

ここで、各液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gによる表示像について着目すると、液晶パネル1110Gによる表示像は、液晶パネル1110R、1110Bによる表示像に対して左右反転することが必要となる。   Here, paying attention to the display images by the liquid crystal panels 1110R, 1110B, and 1110G, the display image by the liquid crystal panel 1110G needs to be horizontally reversed with respect to the display images by the liquid crystal panels 1110R, 1110B.

なお、液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gには、ダイクロイックミラー1108によって、R、G、Bの各原色に対応する光が入射するので、カラーフィルタを設ける必要はない。   Note that since light corresponding to the primary colors R, G, and B is incident on the liquid crystal panels 1110R, 1110B, and 1110G by the dichroic mirror 1108, it is not necessary to provide a color filter.

次に、液晶装置を、モバイル型のパーソナルコンピュータに適用した例について説明する。図14は、このパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。図14において、コンピュータ1200は、キーボード1202を備えた本体部1204と、液晶表示ユニット1206とから構成されている。この液晶表示ユニット1206は、先に述べた液晶装置1005の背面にバックライトを付加することにより構成されている。   Next, an example in which the liquid crystal device is applied to a mobile personal computer will be described. FIG. 14 is a perspective view showing the configuration of this personal computer. In FIG. 14, the computer 1200 includes a main body 1204 provided with a keyboard 1202 and a liquid crystal display unit 1206. The liquid crystal display unit 1206 is configured by adding a backlight to the back surface of the liquid crystal device 1005 described above.

さらに、液晶装置を、携帯電話に適用した例について説明する。図15は、この携帯電話の構成を示す斜視図である。図15において、携帯電話1300は、複数の操作ボタン1302とともに、反射型の液晶装置1005を備えるものである。この反射型の液晶装置1005にあっては、必要に応じてその前面にフロントライトが設けられる。   Further, an example in which the liquid crystal device is applied to a mobile phone will be described. FIG. 15 is a perspective view showing the configuration of this mobile phone. In FIG. 15, a cellular phone 1300 includes a reflective liquid crystal device 1005 together with a plurality of operation buttons 1302. In the reflective liquid crystal device 1005, a front light is provided on the front surface thereof as necessary.

尚、図13から図15を参照して説明した電子機器の他にも、液晶テレビや、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた装置等などが挙げられる。そして、これらの各種電子機器に適用可能なのは言うまでもない。   In addition to the electronic devices described with reference to FIGS. 13 to 15, a liquid crystal television, a viewfinder type, a monitor direct-view type video tape recorder, a car navigation device, a pager, an electronic notebook, a calculator, a word processor, a work Examples include a station, a videophone, a POS terminal, a device equipped with a touch panel, and the like. Needless to say, the present invention can be applied to these various electronic devices.

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置及び該電気光学装置を備えてなる電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be appropriately changed without departing from the spirit or concept of the invention that can be read from the claims and the entire specification. An electronic apparatus including the electro-optical device is also included in the technical scope of the present invention.

本発明の第1実施形態に係る電気光学装置の全体構成を示す平面図である。1 is a plan view showing an overall configuration of an electro-optical device according to a first embodiment of the invention. 図1のH−H´の断面図である。It is sectional drawing of HH 'of FIG. 第1実施形態に係る電気光学装置の電気的な接続状態を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram illustrating an electrical connection state of the electro-optical device according to the first embodiment. 図3における領域A1に形成された分岐配線の平面図である。It is a top view of the branch wiring formed in area | region A1 in FIG. 図3のV−V´線断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line VV ′ of FIG. 3. 図3のVI−VI´線断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line VI-VI ′ in FIG. 3. 本発明の第2実施形態に係る電気光学装置の全体構成を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view illustrating an overall configuration of an electro-optical device according to a second embodiment of the invention. 第2実施形態に係る電気光学装置の電気的な接続状態を示すブロック図である。FIG. 6 is a block diagram illustrating an electrical connection state of an electro-optical device according to a second embodiment. 図8における領域A2に形成された分岐配線の平面図である。It is a top view of the branch wiring formed in area | region A2 in FIG. 図9のX−X´線断面図である。FIG. 10 is a sectional view taken along line XX ′ in FIG. 9. 図9のXI−XI´線断面図である。It is the XI-XI 'sectional view taken on the line of FIG. 図9のXII−XII´線断面図である。It is the XII-XII 'sectional view taken on the line of FIG. 電気光学装置を適用した電子機器の一例たるプロジェクタの構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the projector which is an example of the electronic device to which the electro-optical apparatus is applied. 電気光学装置を適用した電子機器の一例たるパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。1 is a perspective view showing a configuration of a personal computer as an example of an electronic apparatus to which an electro-optical device is applied. 電気光学装置を適用した電子機器の一例たる携帯電話の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the mobile telephone which is an example of the electronic device to which the electro-optical apparatus is applied.

符号の説明Explanation of symbols

1、100・・・液晶装置、10・・・TFTアレイ基板、20・・・対向基板、12、41、42、43、44・・・層間絶縁膜、52・・・シール部、91・・・共通電位線、93・・・駆動電源線、101・・・データ線駆動回路部、104・・・走査線駆動回路部   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,100 ... Liquid crystal device, 10 ... TFT array substrate, 20 ... Counter substrate, 12, 41, 42, 43, 44 ... Interlayer insulation film, 52 ... Seal part, 91 ... Common potential line, 93... Drive power supply line, 101... Data line drive circuit unit, 104.

Claims (8)

第1基板と、
該第1基板の基板面に対向するように配置された第2基板と、
前記第1基板上の画像表示領域に配列されており、画素電極を夫々有する複数の画素部と、
前記画素電極に対向する対向電極と、
前記第1基板及び前記第2基板を相互に接着しており、前記画像表示領域の周辺に位置する前記第1基板上の周辺領域のうち前記画像表示領域の周囲に沿って延びるシール領域に設けられたシール部と、
前記周辺領域に設けられており、前記画素部を制御するための各種信号を前記画素部に供給する駆動回路部と、
前記シール領域に重なるように延びる延在部を含んでおり、電源電位を前記駆動回路部に供給する駆動電源線と、
前記延在部と重なる配線部を含んでおり、前記対向電極に所定電位を供給する対向電極電位線と、
前記駆動電源線の前記延在部及び前記対向電極電位線の配線部間を電気的に絶縁するように当該延在部及び前記配線部間に延在されている層間絶縁膜とを備えたこと
を特徴とする電気光学装置。
A first substrate;
A second substrate disposed to face the substrate surface of the first substrate;
A plurality of pixel portions arranged in an image display area on the first substrate, each having a pixel electrode;
A counter electrode facing the pixel electrode;
The first substrate and the second substrate are bonded to each other, and provided in a seal region extending along the periphery of the image display region in a peripheral region on the first substrate located around the image display region. A sealed portion,
A drive circuit unit that is provided in the peripheral region and supplies various signals for controlling the pixel unit to the pixel unit;
A driving power supply line including an extending portion extending so as to overlap the seal region, and supplying a power supply potential to the driving circuit portion;
A counter electrode potential line that includes a wiring portion that overlaps the extension portion, and that supplies a predetermined potential to the counter electrode;
An interlayer insulating film extending between the extension part and the wiring part so as to electrically insulate the extension part of the drive power supply line and the wiring part of the counter electrode potential line; An electro-optical device.
前記シール部は、前記シール領域に設けられた光硬化性樹脂によって形成されており、
前記延在部及び前記配線部の夫々は、前記第1基板側から前記光硬化性樹脂に光を照射するための隙間を有していること
を特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。
The seal portion is formed of a photocurable resin provided in the seal region,
2. The electro-optical device according to claim 1, wherein each of the extending portion and the wiring portion has a gap for irradiating light to the photocurable resin from the first substrate side. .
前記延在部及び前記配線部の夫々の形状は、平面的に見て前記シール領域に沿って延びる梯子形状であること
を特徴とする請求項1又は2に記載の電気光学装置。
3. The electro-optical device according to claim 1, wherein each of the extending portion and the wiring portion has a ladder shape extending along the seal region in a plan view.
前記対向電極電位線に電気的に接続された導電部を更に備えており、
該導電部は、前記対向電極電位線及び前記対向電極を電気的に接続していること
を特徴とする請求項1から3の何れか一項に記載の電気光学装置。
A conductive portion electrically connected to the counter electrode potential line;
The electro-optical device according to claim 1, wherein the conductive portion electrically connects the counter electrode potential line and the counter electrode.
前記駆動回路部は、データ線を介して前記画素部を駆動するためのデータ信号を供給するデータ線駆動回路部と、走査線を介して前記画素部を駆動するための走査信号を供給する走査線駆動回路部とを有しており、
前記データ線駆動回路部は、前記周辺領域のうち前記第1辺に沿って延びる領域に配置されており、
前記走査線駆動回路部は、前記周辺領域のうち前記第1基板の第1辺に隣接する第2辺に沿って延びる領域に配置されており、
前記延在部は、前記シール領域のうち前記第2辺に沿って延びる領域及び前記第1辺に沿って延びる領域のうち少なくとも一方の領域に重なるように延びており、
前記駆動電源線は、前記延在部を介して前記データ線駆動回路部及び前記走査線駆動回路部のうち少なくとも一方の回路部に前記電源電位を供給すること
を特徴とする請求項1から4の何れか一項に記載の電気光学装置。
The driving circuit unit supplies a data signal for driving the pixel unit via a data line, and a scan for supplying a scanning signal for driving the pixel unit via a scanning line. Line drive circuit section,
The data line driving circuit unit is disposed in a region extending along the first side in the peripheral region,
The scanning line driving circuit unit is arranged in a region extending along a second side adjacent to the first side of the first substrate in the peripheral region,
The extending portion extends so as to overlap at least one of a region extending along the second side and a region extending along the first side of the seal region,
5. The drive power supply line supplies the power supply potential to at least one of the data line drive circuit unit and the scan line drive circuit unit through the extension part. 6. The electro-optical device according to any one of the above.
第1基板と、
該第1基板の基板面に対向するように配置された第2基板と、
前記第1基板上の画像表示領域に配列されており、画素電極を夫々有する複数の画素部と、
前記画素電極に対向する対向電極と、
前記第1基板及び前記第2基板を相互に接着しており、前記画像表示領域の周辺に位置する前記第1基板上の周辺領域のうち前記画像表示領域の周囲に沿って延びるシール領域に設けられたシール部と、
前記周辺領域に設けられており、前記画素部を駆動するための各種信号を前記画素部に供給する駆動回路部と、
前記シール領域に重なるように互いに異なる層に延在する第1延在部及び第2延在部を含んでおり、前記駆動回路部を駆動するための駆動電源を前記駆動回路部に供給する駆動電源線と、
前記第1延在部及び前記第2延在部に重なるとともに前記シール領域に沿って前記第1延在部及び前記第2延在部間に延びる配線部を含んでおり、前記対向電極に所定電位を供給する対向電極電位線と、
前記第1延在部と前記配線部との間に延在されており、前記第1延在部と前記配線部とを電気的に絶縁する第1層間絶縁膜と、
前記第2延在部と前記配線部との間に延在されており、前記第2延在部と前記配線部とを電気的に絶縁する第2層間絶縁膜とを備えたこと
を特徴とする電気光学装置。
A first substrate;
A second substrate disposed to face the substrate surface of the first substrate;
A plurality of pixel portions arranged in an image display area on the first substrate, each having a pixel electrode;
A counter electrode facing the pixel electrode;
The first substrate and the second substrate are bonded to each other, and provided in a seal region extending along the periphery of the image display region in a peripheral region on the first substrate located around the image display region. A sealed portion,
A drive circuit unit that is provided in the peripheral region and supplies various signals for driving the pixel unit to the pixel unit;
A drive that includes a first extension part and a second extension part that extend in different layers so as to overlap the seal region, and that supplies drive power to the drive circuit part for driving the drive circuit part A power line;
A wiring portion overlapping the first extension portion and the second extension portion and extending between the first extension portion and the second extension portion along the seal region; A counter electrode potential line for supplying a potential;
A first interlayer insulating film that extends between the first extension portion and the wiring portion and electrically insulates the first extension portion and the wiring portion;
And a second interlayer insulating film that extends between the second extending portion and the wiring portion and electrically insulates the second extending portion from the wiring portion. An electro-optical device.
前記駆動電源線は、前記第1延在部及び前記第2延在部を電気的に接続するように前記第1層間絶縁膜及び前記第2層間絶縁膜を貫通する接続部を有していること
を特徴とする請求項6に記載の電気光学装置。
The drive power supply line has a connection portion that penetrates the first interlayer insulating film and the second interlayer insulating film so as to electrically connect the first extending portion and the second extending portion. The electro-optical device according to claim 6.
請求項1から7の何れか一項に記載の電気光学装置を具備したこと
を特徴とする電子機器。
An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 1.
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