JP5653669B2 - Display device - Google Patents

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Description

本発明は、表示装置に係わり、特に、画素毎に配置される薄膜トランジスタのゲート−ソース間容量のばらつきを抑制する技術に関する。   The present invention relates to a display device, and more particularly to a technique for suppressing variation in gate-source capacitance of a thin film transistor disposed for each pixel.

従来の液晶表示装置では、画素毎に薄膜トランジスタと画素電極と並列接続される保持容量(蓄積容量)とを形成し、該薄膜トランジスタをスイッチング素子として用い、薄膜トランジスタのオン期間から次のオン期間までのオフ期間(1フレーム期間)の電荷を保持容量で保持することによって、所望の階調電圧を画素電極に印加する構成となっている。   In a conventional liquid crystal display device, a thin film transistor and a storage capacitor (storage capacitor) connected in parallel to a pixel electrode are formed for each pixel, the thin film transistor is used as a switching element, and the thin film transistor is turned off from the on period to the next on period. A structure in which a desired grayscale voltage is applied to the pixel electrode by holding the charge in the period (one frame period) in the storage capacitor.

このような構成の液晶表示装置として、画素毎に2つの薄膜トランジスタを形成し、その形成位置が画素電極の角部を挟んで直交するように形成する技術が特許文献1に開示されている。この特許文献1に記載の技術では、従来の薄膜トランジスタの形成領域と同等の面積で2つの薄膜トランジスタを形成することを可能としている。   As a liquid crystal display device having such a configuration, Patent Document 1 discloses a technique in which two thin film transistors are formed for each pixel and the formation positions thereof are orthogonal to each other across the corners of the pixel electrodes. The technique described in Patent Document 1 makes it possible to form two thin film transistors with an area equivalent to that of a conventional thin film transistor formation region.

特開平5−241197号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-241197

携帯電話等の携帯情報端末に搭載される液晶表示装置では、高精細化と高画質化の要望により、画素数の増大と表示輝度の向上がなされている。特に、携帯情報端末等では、筐体の大きさが限られているので、画素数の増大に伴って、1つの画素の占める面積が小さくなっており、各画素の開口率及び透過率の向上が要望されている。このために、従来の液晶表示装置では、ドレイン線やゲート線等の細線化等で表示に寄与しない領域の面積を減少させることにより画素面積の減少を抑制しつつ、特許文献1に示すように、各画素領域に占める薄膜トランジスタ面積も縮小すると共に、各画素の透過領域における透過率を向上させている。透過率を向上させる技術として、画素電極が形成される領域の絶縁膜を薄膜化することが行われている。   In a liquid crystal display device mounted on a portable information terminal such as a cellular phone, an increase in the number of pixels and an improvement in display luminance are made due to a demand for higher definition and higher image quality. In particular, in portable information terminals and the like, the size of the housing is limited, so as the number of pixels increases, the area occupied by one pixel decreases, and the aperture ratio and transmittance of each pixel improve. Is desired. For this reason, in the conventional liquid crystal display device, as shown in Patent Document 1, a reduction in the pixel area is suppressed by reducing the area of a region that does not contribute to display by thinning the drain line or the gate line. In addition, the area of the thin film transistor in each pixel region is reduced, and the transmittance in the transmission region of each pixel is improved. As a technique for improving the transmittance, an insulating film in a region where a pixel electrode is formed is thinned.

IPS方式等の従来の液晶表示装置では、絶縁膜を介して重畳配置される画素電極と共通電極とにより保持容量を形成する構成となっている。このため、画素電極と共通電極との層間に形成される絶縁膜の薄膜化と画素面積の縮小により、保持容量の容量値が低下している。特に、飛び込み電圧(フィードスルー電圧)と保持容量との関係では、保持容量が小さくなる程、薄膜トランジスタのゲート・ソース間容量が相対的に大きくなり、飛び込み電圧に対する保持電圧の余裕度(マージン)が小さくなっており、透過率の向上のために絶縁膜をさらに薄膜化した場合には、飛び込み電圧に起因するフリッカが生じてしまい、表示品質が低下してしまうことが懸念されている。   A conventional liquid crystal display device such as an IPS system has a configuration in which a storage capacitor is formed by a pixel electrode and a common electrode that are arranged so as to overlap with an insulating film interposed therebetween. For this reason, the capacitance value of the storage capacitor is reduced by reducing the thickness of the insulating film formed between the pixel electrode and the common electrode and reducing the pixel area. In particular, regarding the relationship between the jump voltage (feedthrough voltage) and the holding capacitor, the smaller the holding capacitor, the relatively larger the gate-source capacitance of the thin film transistor, and the holding voltage margin (margin) with respect to the jump voltage is increased. There is a concern that when the insulating film is further thinned to improve the transmittance, flicker due to the jump voltage occurs and display quality is deteriorated.

薄膜トランジスタのゲート・ソース間容量は、半導体層とソース電極との重畳面積に比例するため、半導体層とソース電極との重畳面積を減少させることが考えられるが、薄膜トランジスタの駆動能力が低下してしまうと問題がある。また、半導体層とソース電極を形成する際の位置合わせ精度に起因する層間ずれにより、ゲート・ソース間容量にばらつきが生じることが知られている。このため、従来の液晶表示装置では、この層間ずれに伴うゲート・ソース間容量のばらつきを考慮して絶縁膜の薄膜化を行う必要があり、絶縁膜をさらに薄膜化し透過率を向上させるために、層間ずれに伴うゲート・ソース間容量のばらつきを抑えることが可能な技術が切望されている。   Since the gate-source capacitance of the thin film transistor is proportional to the overlapping area of the semiconductor layer and the source electrode, it may be possible to reduce the overlapping area of the semiconductor layer and the source electrode, but the driving capability of the thin film transistor is reduced. There is a problem. Further, it is known that the gate-source capacitance varies due to the interlayer shift caused by the alignment accuracy when forming the semiconductor layer and the source electrode. For this reason, in the conventional liquid crystal display device, it is necessary to reduce the thickness of the insulating film in consideration of the variation in gate-source capacitance due to the interlayer shift. In order to further reduce the thickness of the insulating film and improve the transmittance, Therefore, there is a strong demand for a technique that can suppress variations in gate-source capacitance due to interlayer displacement.

特許文献1に記載の液晶表示パネルでは、薄膜トランジスタの製造不良に伴う画素不良を改善することを目的としており、層間ずれに伴うゲート・ソース間容量と保持容量との関係や飛び込み電圧の影響は何ら考慮されておらず、その記載もない。   The liquid crystal display panel described in Patent Document 1 aims to improve pixel defects due to manufacturing defects of thin film transistors. What is the relationship between the gate-source capacitance and the storage capacitance due to interlayer displacement and the influence of the jump voltage? It has not been taken into account, nor is it described.

本発明はこれらの問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、製造工程における薄膜トランジスタのゲート・ソース間容量のばらつきを抑制することが可能な技術を提供することにある。   The present invention has been made in view of these problems, and an object of the present invention is to provide a technique capable of suppressing variations in gate-source capacitance of a thin film transistor in a manufacturing process.

前記課題を解決すべく、X方向に延在しY方向に並設されるドレイン線と、Y方向に延在しX方向に並設されるゲート線と、前記ドレイン線と前記ゲート線とに囲まれる画素の領域毎に形成される画素電極と、前記画素の領域毎に形成され、前記ゲート線からの走査信号に応じて前記ドレイン線からの映像信号を前記画素電極に供給する薄膜トランジスタとを備える表示装置であって、前記薄膜トランジスタは、対角位置に形成される第1の角部及び第2の角部と、前記第1の角部が形成される第1の辺と前記第2の角部が形成される第2の辺とを共有する第3の角部とを有し、ゲート絶縁膜を介して前記ゲート線に接続されるゲート電極と重畳して形成される半導体層と、前記ドレイン線からその一部が延在して形成され、前記半導体層の前記第3の角部と重畳されるドレイン電極と、一端が前記半導体層の前記第1の角部に重畳して形成され、他端が前記画素電極と接続される第1のソース電極と、一端が前記半導体層の前記第2の角部と重畳して形成され、他端が前記画素電極と接続される第2のソース電極と、を備え、前記第1及び第2のソース電極は一端側に2つ以上の角部を有し、前記第1及び第2のソース電極のそれぞれの1つの角部のみが前記半導体層の第1及び第2の角部と重畳される表示装置である。 In order to solve the above problem, a drain line extending in the X direction and juxtaposed in the Y direction, a gate line extending in the Y direction and juxtaposed in the X direction, the drain line and the gate line A pixel electrode formed for each of the enclosed pixel regions; and a thin film transistor formed for each of the pixel regions and supplying a video signal from the drain line to the pixel electrode in response to a scanning signal from the gate line. The thin film transistor includes a first corner and a second corner formed at diagonal positions, a first side on which the first corner is formed, and the second side. A semiconductor layer formed to overlap with a gate electrode connected to the gate line through a gate insulating film, and a third corner sharing a second side where the corner is formed; A portion of the drain line is formed to extend from the drain line. A drain electrode that overlaps with the third corner, a first source electrode that has one end overlapped with the first corner of the semiconductor layer, and the other end connected to the pixel electrode; A second source electrode having one end overlapped with the second corner of the semiconductor layer and the other end connected to the pixel electrode , the first and second source electrodes having one end have two or more corners on the side, is a display device in which only each of the one corner of the first and second source electrodes Ru is overlapped with the first and second corners of said semiconductor layer .

本発明によれば、製造工程における薄膜トランジスタのゲート・ソース間容量のばらつきを抑制することができる。   According to the present invention, variation in gate-source capacitance of a thin film transistor in a manufacturing process can be suppressed.

本発明のその他の効果については、明細書全体の記載から明らかにされる。   Other effects of the present invention will become apparent from the description of the entire specification.

本発明の実施形態1の表示装置である液晶表示装置の全体構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the whole structure of the liquid crystal display device which is a display apparatus of Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態1の液晶表示装置における1画素分の概略構成を説明するための上面図である。It is a top view for demonstrating schematic structure for 1 pixel in the liquid crystal display device of Embodiment 1 of this invention. 図2に示すa−a’線での断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line a-a ′ illustrated in FIG. 2. 従来の実施形態1の液晶表示装置における薄膜トランジスタの詳細構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the detailed structure of the thin-film transistor in the liquid crystal display device of the conventional Embodiment 1. FIG. 本発明の実施形態1の液晶表示装置における薄膜トランジスタの詳細構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the detailed structure of the thin-film transistor in the liquid crystal display device of Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態2の表示装置である液晶表示装置の概略構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating schematic structure of the liquid crystal display device which is a display apparatus of Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施形態3の表示装置である液晶表示装置の概略構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating schematic structure of the liquid crystal display device which is a display apparatus of Embodiment 3 of this invention. 本発明の実施形態4の表示装置である液晶表示装置の概略構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating schematic structure of the liquid crystal display device which is a display apparatus of Embodiment 4 of this invention. 本発明の実施形態5の表示装置である液晶表示装置における薄膜トランジスタの概略構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating schematic structure of the thin-film transistor in the liquid crystal display device which is a display apparatus of Embodiment 5 of this invention.

以下、本発明が適用された実施形態について、図面を用いて説明する。ただし、以下の説明において、同一構成要素には同一符号を付し繰り返しの説明は省略する。また、図中に示すX、Y、ZはそれぞれX軸、Y軸及びZ軸を示す。   Embodiments to which the present invention is applied will be described below with reference to the drawings. However, in the following description, the same components are denoted by the same reference numerals, and repeated description is omitted. Further, X, Y, and Z shown in the figure indicate an X axis, a Y axis, and a Z axis, respectively.

〈実施形態1〉
〈全体構成〉
図1は本発明の実施形態1の表示装置である液晶表示装置の全体構成を説明するための図であり、以下、図1に基づいて、実施形態1の表示装置の全体構成を説明する。ただし、以下の説明では、IPS(IPS−Lite)方式あるいは横電界方式と称される液晶表示装置に本願発明を適用した場合について説明するが、IPS−Pro方式の液晶表示装置やVA方式等を含むTN方式の液晶表示装置にも適用可能である。
<Embodiment 1>
<overall structure>
FIG. 1 is a diagram for explaining the overall configuration of a liquid crystal display device that is a display device according to a first embodiment of the present invention. Hereinafter, the overall configuration of the display device according to the first embodiment will be described with reference to FIG. However, in the following description, a case where the present invention is applied to a liquid crystal display device called an IPS (IPS-Lite) method or a horizontal electric field method will be described. However, an IPS-Pro liquid crystal display device, a VA method, etc. The present invention can also be applied to a TN liquid crystal display device.

図1に示すように、実施形態1の液晶表示装置は、画素電極等が形成される第1基板SUB1と、図示しないカラーフィルタやブラックマトリクスが形成され、第1基板SUB1に対向して配置される第2基板SUB2と、第1基板SUB1と第2基板SUB2とで挟持される図示しない液晶層とで構成される液晶表示パネルPNLを有し、該液晶表示パネルPNLの光源となる図示しないバックライトユニット(バックライト装置)とを組み合わせることにより、液晶表示装置が構成されている。第1基板SUB1と第2基板SUB2との固定及び液晶の封止は、第2基板の周辺部に環状に塗布されたシール材SLで固定され、液晶も封止される構成となっている。また、第2基板SUB2は、第1基板SUB1よりも小さな面積となっており、第1基板SUB1の図中下側の辺部を露出させるようになっている。この第1基板SUB1の辺部には、半導体チップで構成される駆動回路DRが搭載されている。この駆動回路DRは、後に詳述する表示領域ARにおける各画素を駆動する。なお、以下の説明では、液晶表示パネルPNLの説明においても、液晶表示装置と記す。   As shown in FIG. 1, in the liquid crystal display device of Embodiment 1, a first substrate SUB1 on which pixel electrodes and the like are formed, a color filter and a black matrix (not shown) are formed, and are arranged to face the first substrate SUB1. A liquid crystal display panel PNL composed of a second substrate SUB2 and a liquid crystal layer (not shown) sandwiched between the first substrate SUB1 and the second substrate SUB2, and a back (not shown) serving as a light source of the liquid crystal display panel PNL A liquid crystal display device is configured by combining with a light unit (backlight device). The first substrate SUB1 and the second substrate SUB2 are fixed and the liquid crystal is sealed with a sealing material SL applied to the periphery of the second substrate in an annular shape, and the liquid crystal is also sealed. Further, the second substrate SUB2 has a smaller area than the first substrate SUB1, and the lower side of the first substrate SUB1 in the drawing is exposed. A drive circuit DR composed of a semiconductor chip is mounted on the side of the first substrate SUB1. This drive circuit DR drives each pixel in the display area AR described in detail later. In the following description, the liquid crystal display panel PNL is also referred to as a liquid crystal display device.

また、第1基板SUB1及び第2基板SUB2としては、例えば周知のガラス基板が基材として用いられるのが一般的であるが、ガラス基板に限定されることはなく、石英ガラスやプラスチック(樹脂)のような他の絶縁性基板であってもよい。例えば、石英ガラスを用いれば、プロセス温度を高くできるため、後述する薄膜トランジスタTFTのゲート絶縁膜を緻密化できるので、信頼性を向上することができる。一方、プラスチック(樹脂)基板を用いる場合には、軽量で、耐衝撃性に優れた液晶表示装置を提供できる。   In addition, as the first substrate SUB1 and the second substrate SUB2, for example, a well-known glass substrate is generally used as a base material. However, the substrate is not limited to the glass substrate, and is not limited to quartz glass or plastic (resin). Other insulating substrates such as For example, when quartz glass is used, since the process temperature can be increased, a gate insulating film of a thin film transistor TFT described later can be densified, so that reliability can be improved. On the other hand, when a plastic (resin) substrate is used, a liquid crystal display device that is lightweight and excellent in impact resistance can be provided.

また、実施形態1の液晶表示装置では、液晶が封入された領域の内で表示画素(以下、画素と略記する)の形成される領域が表示領域ARとなる。従って、液晶が封入されている領域内であっても、画素が形成されておらず表示に係わらない領域は表示領域ARとはならない。   In the liquid crystal display device according to the first embodiment, a region where display pixels (hereinafter abbreviated as pixels) are formed in a region in which liquid crystal is sealed becomes a display region AR. Therefore, even in the region where the liquid crystal is sealed, a region where pixels are not formed and which is not involved in display is not the display region AR.

実施形態1の液晶表示装置では第1基板SUB1の液晶側の面であって表示領域AR内には、図1中X方向に延在しY方向に並設される走査信号線(ゲート線)GLが形成されている。また、図1中Y方向に延在しX方向に並設される映像信号線(ドレイン線)DLが形成されている。ドレイン線DLとゲート線GLとで囲まれる矩形状の領域は画素が形成される領域を構成し、これにより、各画素は表示領域AR内においてマトリックス状に配置されている。各画素は、例えば図1中丸印Aの等価回路図A’に示すように、ゲート線GLからの走査信号によってオン/オフ駆動される2つの薄膜トランジスタTFT1、TFT2と、このオンされた薄膜トランジスタTFT1、TFT2を介してドレイン線DLからの映像信号が供給される画素電極PXと、少なくとも表示領域の全面に形成され、X方向の左右(第1基板SUB1の端部)の一端から、又は両側からコモン線CLを介して、映像信号の電位に対して基準となる電位を有する共通信号が供給される共通電極CTとを備えている。   In the liquid crystal display device according to the first embodiment, a scanning signal line (gate line) that extends in the X direction in FIG. 1 and is arranged in parallel in the Y direction in the display area AR on the liquid crystal side surface of the first substrate SUB1. GL is formed. Further, a video signal line (drain line) DL extending in the Y direction in FIG. 1 and arranged in parallel in the X direction is formed. A rectangular region surrounded by the drain line DL and the gate line GL constitutes a region in which pixels are formed, whereby each pixel is arranged in a matrix in the display region AR. Each pixel includes, for example, two thin film transistors TFT1 and TFT2 that are turned on / off by a scanning signal from the gate line GL, as shown in an equivalent circuit diagram A ′ of a circle A in FIG. The pixel electrode PX to which the video signal from the drain line DL is supplied via the TFT 2 is formed at least on the entire surface of the display region, and is common from one end of the left and right (end portion of the first substrate SUB1) in the X direction or from both sides. A common electrode CT to which a common signal having a reference potential with respect to the potential of the video signal is supplied via a line CL.

画素電極PXと共通電極CTとの間には、第1基板SUB1の主面に平行な成分を有する電界が生じ、この電界によって液晶の分子を駆動させるようになっている。このような液晶表示装置は、いわゆる広視野角表示ができるものとして知られ、液晶への電界の印加の特異性から、IPS方式あるいは横電界方式と称される。また、このような構成の液晶表示装置において、液晶に電界が印加されていない場合に光透過率を最小(黒表示)とし、電界を印加することにより光透過率を向上させていくノーマリブラック表示形態で表示を行うようになっている。   An electric field having a component parallel to the main surface of the first substrate SUB1 is generated between the pixel electrode PX and the common electrode CT, and liquid crystal molecules are driven by this electric field. Such a liquid crystal display device is known to be capable of so-called wide viewing angle display, and is called an IPS system or a lateral electric field system because of the peculiarity of applying an electric field to liquid crystal. Further, in the liquid crystal display device having such a configuration, normally black which minimizes the light transmittance when no electric field is applied to the liquid crystal (black display) and improves the light transmittance by applying the electric field. The display is performed in the display form.

各ドレイン線DL及び各ゲート線GLはその端部においてシール材SLを越えてそれぞれ延在され、外部システムからの映像信号に基づいて映像信号や走査信号等の駆動信号を生成する駆動回路DRに接続される。ただし、実施形態1の液晶表示装置では、駆動回路DRを半導体チップで形成し第1基板SUB1に搭載する構成としているが、映像信号を出力する映像信号駆動回路と走査信号を出力する走査信号駆動回路との何れか一方又はその両方の駆動回路をフレキシブルプリント基板FPCにテープキャリア方式やCOF(Chip On Film)方式で搭載し、第1基板SUB1に接続させる構成であってもよい。   Each drain line DL and each gate line GL extend over the seal material SL at the ends thereof, and are supplied to a drive circuit DR that generates a drive signal such as a video signal or a scanning signal based on a video signal from an external system. Connected. However, in the liquid crystal display device of the first embodiment, the drive circuit DR is formed of a semiconductor chip and mounted on the first substrate SUB1, but the video signal drive circuit that outputs the video signal and the scan signal drive that outputs the scan signal are used. One or both of the drive circuits may be mounted on the flexible printed circuit board FPC by a tape carrier method or a COF (Chip On Film) method and connected to the first substrate SUB1.

なお、実施形態1の液晶表示装置では、少なくとも表示領域の全面に共通電極CTを形成する構成としたが、これに限定されることはなく、例えば、等価回路図A’に示すように、画素毎に独立して形成される共通電極CTにコモン線CLを介して共通信号を入力する構成であってもよい。   In the liquid crystal display device according to the first embodiment, the common electrode CT is formed at least over the entire display region. However, the present invention is not limited to this. For example, as shown in an equivalent circuit diagram A ′, A configuration may be adopted in which a common signal is input via a common line CL to a common electrode CT formed independently for each time.

〈画素構成〉
図2は本発明の実施形態1の液晶表示装置における1画素分の概略構成を説明するための上面図であり、図3は図2に示すa−a’線での断面図である。以下、図2及び図3に基づいて、実施形態1の液晶表示装置における画素構造を説明する。ただし、説明を簡単にするために、図2及び図3には第1基板のみを示し、周知の配向膜等は省略する。また、各薄膜の形成は公知のフォトリソグラフィ技術により可能となるので、その形成方法の詳細な説明は省略する。また、薄膜トランジスタTFT1、TFT2は、いわゆる逆スタガ構造の薄膜トランジスタであり、そのバイアスの印加によってドレイン電極とソース電極が入れ替わるように駆動するが、本明細書中においては、便宜上、ドレイン線DLと接続される側をドレイン電極DT、画素電極PXと接続される側をソース電極ST1、ST2と記す。
<Pixel configuration>
FIG. 2 is a top view for explaining a schematic configuration of one pixel in the liquid crystal display device of Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line aa ′ shown in FIG. Hereinafter, the pixel structure in the liquid crystal display device of Embodiment 1 will be described with reference to FIGS. However, in order to simplify the description, only the first substrate is shown in FIGS. 2 and 3, and a well-known alignment film or the like is omitted. Further, since each thin film can be formed by a known photolithography technique, a detailed description of the forming method is omitted. The thin film transistors TFT1 and TFT2 are thin film transistors having a so-called inverted stagger structure, and are driven so that the drain electrode and the source electrode are interchanged by application of a bias. The side connected to the drain electrode DT and the side connected to the pixel electrode PX are referred to as source electrodes ST1 and ST2.

図2に示すように、実施形態1の液晶表示装置では、X方向に延在しY方向に並設されるゲート線GLと、Y方向に延在しX方向に並設されるドレイン線DLとで囲まれる領域が画素領域となっている。この画素領域毎に、例えばITO(Indium-Tin-Oxide)等の透明導電材料からなる平板状の画素電極PXと、薄膜トランジスタTFT1、TFT2とが形成されている。また、実施形態1の液晶表示装置では、第1基板SUB1の液晶側の面(対向面)に、例えば、ITO等の透明導電材料からなる平面状の共通電極CTが形成されている。この共通電極CTは、後に詳述するように、表示領域AR内に面状に形成されており、各画素領域に対応した領域内には、Y方向に延在する開口部である複数のスリット(後述する図5のスリットSLT)が形成されている。この構成により、画素領域内において、画素電極PXと重畳する線状(櫛歯状)の電極を形成している。また、共通電極CTは、第1基板SUB1の辺部においてコモン線CLに重畳されて形成され、これによりコモン線CLと電気的に接続されている。また、ドレイン線DL(ドレイン電極DTを含む)及びゲート線GL(ゲート電極GTを含む)並びにソース電極ST1、ST2は、AL(アルミニウム)等の金属薄膜で形成されている。   As shown in FIG. 2, in the liquid crystal display device according to the first embodiment, gate lines GL extending in the X direction and juxtaposed in the Y direction, and drain lines DL extending in the Y direction and juxtaposed in the X direction. A region surrounded by is a pixel region. For each pixel region, a flat pixel electrode PX made of a transparent conductive material such as ITO (Indium-Tin-Oxide), and thin film transistors TFT1 and TFT2 are formed. In the liquid crystal display device of Embodiment 1, a planar common electrode CT made of a transparent conductive material such as ITO is formed on the liquid crystal side surface (opposing surface) of the first substrate SUB1. As will be described in detail later, the common electrode CT is formed in a planar shape in the display area AR, and a plurality of slits that are openings extending in the Y direction are formed in areas corresponding to the pixel areas. (Slit SLT in FIG. 5 described later) is formed. With this configuration, a linear (comb-like) electrode overlapping the pixel electrode PX is formed in the pixel region. The common electrode CT is formed so as to overlap the common line CL at the side portion of the first substrate SUB1, and is thereby electrically connected to the common line CL. The drain line DL (including the drain electrode DT), the gate line GL (including the gate electrode GT), and the source electrodes ST1 and ST2 are formed of a metal thin film such as AL (aluminum).

また、実施形態1の薄膜トランジスタTFT1、TFT2は、当該画素に対応する駆動信号を供給するゲート線GLとドレイン線DLの近傍(図2中では画素領域の左下部)に形成される構成となっている。このとき、2つの薄膜トランジスタTFT1、TFT2は、ゲート電極GT及びドレイン電極DTが共通の構成となり、矩形状の半導体層ASの角部(第1の角部)に一方の薄膜トランジスタTFT1のソース電極ST1が形成されると共に、このソース電極ST1が形成される角部と対角に位置する角部(第2の角部)に他方の薄膜トランジスタTFT2のソース電極ST2が形成される構成となっている。このとき、残りの角部の内の一方の角部(第3の角部)に、薄膜トランジスタTFT1、TFT2のドレイン電極DTが形成されている。すなわち、実施形態1では、矩形状の半導体層ASの角部の内で、ドレイン電極DTが形成される角部に隣接する角部の一方の角部にはソース電極ST1が形成され、他方の角部にはソース電極ST2が形成されている。   In addition, the thin film transistors TFT1 and TFT2 of the first embodiment are configured to be formed in the vicinity of the gate line GL and the drain line DL (the lower left portion of the pixel area in FIG. 2) for supplying a driving signal corresponding to the pixel. Yes. At this time, the two thin film transistors TFT1 and TFT2 have a common configuration of the gate electrode GT and the drain electrode DT, and the source electrode ST1 of one thin film transistor TFT1 is formed at the corner (first corner) of the rectangular semiconductor layer AS. The source electrode ST2 of the other thin film transistor TFT2 is formed at a corner portion (second corner portion) opposite to the corner portion where the source electrode ST1 is formed. At this time, the drain electrodes DT of the thin film transistors TFT1 and TFT2 are formed at one of the remaining corners (third corner). That is, in the first embodiment, among the corners of the rectangular semiconductor layer AS, the source electrode ST1 is formed at one corner of the corner adjacent to the corner where the drain electrode DT is formed, and the other A source electrode ST2 is formed at the corner.

このとき、実施形態1の液晶表示装置では、後に詳述するように、各薄膜トランジスタTFT1、TFT2のソース電極ST1、ST2の一部領域と、半導体層ASの一部領域とが重畳する構成とすることによって、半導体層ASとソース電極ST1、ST2との層間位置合わせで生じる位置合わせ誤差に伴う薄膜トランジスタTFT1、TFT2のゲート・ソース間容量のばらつきを抑制することを可能としている。   At this time, in the liquid crystal display device of Embodiment 1, as described in detail later, a partial region of the source electrodes ST1 and ST2 of each thin film transistor TFT1 and TFT2 and a partial region of the semiconductor layer AS are overlapped. As a result, it is possible to suppress variations in the gate-source capacitances of the thin film transistors TFT1 and TFT2 due to alignment errors caused by interlayer alignment between the semiconductor layer AS and the source electrodes ST1 and ST2.

また、実施形態1の液晶表示装置では、薄膜トランジスタTFT1、TFT2の形成領域を除く画素領域に画素電極PXが形成されており、該薄膜トランジスタTFT1、TFT2の形成領域に隣接する画素電極PXの辺部に沿って接続部CNNが形成されている。この接続部CNNは、ソース電極ST1、ST2から延在する導電性の金属薄膜と画素電極PXの辺部とが重畳する領域である。すなわち、実施形態1の接続部CNNは、ソース電極ST1、ST2と同じ工程で形成される導電性の金属薄膜と、当該接続部CNNとされる領域にまで伸延される画素電極PXとの重畳領域からなり、ソース電極ST1、ST2と画素電極PXとを電気的に直接接続する構成となっている。このような構成とすることにより、薄膜トランジスタTFT1と薄膜トランジスタTFT2とを並列接続させ、2つの薄膜トランジスタTFT1、TFT2を介して入力される映像信号を効率よく画素電極PXに出力する構成としている。   In the liquid crystal display device according to the first embodiment, the pixel electrode PX is formed in the pixel region excluding the formation region of the thin film transistors TFT1 and TFT2, and the pixel electrode PX adjacent to the formation region of the thin film transistors TFT1 and TFT2 is formed on the side portion. A connecting portion CNN is formed along the line. The connection portion CNN is a region where a conductive metal thin film extending from the source electrodes ST1 and ST2 overlaps with a side portion of the pixel electrode PX. That is, the connection portion CNN of Embodiment 1 is an overlapping region of the conductive metal thin film formed in the same process as the source electrodes ST1 and ST2 and the pixel electrode PX extended to the region to be the connection portion CNN. Thus, the source electrodes ST1, ST2 and the pixel electrode PX are electrically connected directly. By adopting such a configuration, the thin film transistor TFT1 and the thin film transistor TFT2 are connected in parallel, and a video signal input via the two thin film transistors TFT1 and TFT2 is efficiently output to the pixel electrode PX.

また、実施形態1の液晶表示装置では、後に詳述するように、ソース電極ST1の延在部分とソース電極ST2の延在部分とがX方向に延在し、半導体層ASに重畳する方向が対向する方向となるように、ソース電極ST1とソース電極ST2とが形成されている。特に、Y方向に伸張されるドレイン線DLの一部が薄膜トランジスタTFT1、TFT2側に伸延してドレイン電極DTを形成しており、その伸延方向はソース電極ST1、ST2の延在方向と同様にX方向に伸延している。このような構成とすることにより、実施形態1の液晶表示装置では、薄膜トランジスタTFT1を構成するドレイン電極DTとソース電極ST1とが半導体層ASの上層で対向して配置されると共に、薄膜トランジスタTFT2を構成するドレイン電極DTとソース電極ST2とが半導体層ASの上層で対向して配置される構成としている。   In the liquid crystal display device of Embodiment 1, as will be described in detail later, the extending portion of the source electrode ST1 and the extending portion of the source electrode ST2 extend in the X direction, and the direction overlapping the semiconductor layer AS is the same. A source electrode ST1 and a source electrode ST2 are formed so as to face each other. In particular, a part of the drain line DL extending in the Y direction extends toward the thin film transistors TFT1 and TFT2 to form the drain electrode DT, and the extending direction is X as in the extending direction of the source electrodes ST1 and ST2. Stretching in the direction. With such a configuration, in the liquid crystal display device according to the first embodiment, the drain electrode DT and the source electrode ST1 constituting the thin film transistor TFT1 are disposed to face each other on the upper layer of the semiconductor layer AS, and the thin film transistor TFT2 is configured. The drain electrode DT and the source electrode ST2 to be arranged are arranged to face each other on the upper layer of the semiconductor layer AS.

さらには、実施形態1の液晶表示装置では、ゲート線GLから薄膜トランジスタTFT1、TFT2側に延在し、該延在部分がゲート電極GTとして半導体層ASと重畳されている。このとき、実施形態1の液晶表示装置では、半導体層ASよりもゲート電極GTが大きい構成となっており、ゲート電極GTの形成領域の上層側に該ゲート電極GTの領域よりも小さい領域を占める半導体層ASが形成されている。   Furthermore, in the liquid crystal display device according to the first embodiment, the gate line GL extends to the thin film transistors TFT1 and TFT2, and the extended portion overlaps the semiconductor layer AS as the gate electrode GT. At this time, in the liquid crystal display device of Embodiment 1, the gate electrode GT is larger than the semiconductor layer AS, and occupies a region smaller than the region of the gate electrode GT on the upper layer side of the region where the gate electrode GT is formed. A semiconductor layer AS is formed.

このような構成となる実施形態1の液晶表示装置は、図3に示すように、第1基板SUB1の表面に薄膜トランジスタTFT1、TFT2を保護するための下地膜INが形成され、該下地膜INの上層にゲート線GL(ゲート電極GTを含む)が形成されている。なお、実施形態1の液晶表示装置では、後に詳述するように、共通電極CTが表示領域を覆うように形成されているが、駆動回路DRと共通電極CTを接続する配線(コモン線CL)は、例えばゲート線GLと同層に形成されている。   In the liquid crystal display device according to the first embodiment having such a configuration, as shown in FIG. 3, a base film IN for protecting the thin film transistors TFT1 and TFT2 is formed on the surface of the first substrate SUB1, and the base film IN A gate line GL (including the gate electrode GT) is formed in the upper layer. In the liquid crystal display device according to the first embodiment, as will be described in detail later, the common electrode CT is formed so as to cover the display region. However, the wiring (common line CL) that connects the drive circuit DR and the common electrode CT. Is formed in the same layer as the gate line GL, for example.

その上層には、ゲート線GLやコモン線CL等を被うようにして絶縁膜(ゲート絶縁膜)GIが形成されている。この絶縁膜GIは、薄膜トランジスタTFT1、TFT2の形成領域においては、該薄膜トランジスタTFT1、TFT2のゲート絶縁膜として機能するものであり、それに応じて膜厚等が設定されるようになっている。   An insulating film (gate insulating film) GI is formed on the upper layer so as to cover the gate line GL and the common line CL. This insulating film GI functions as a gate insulating film of the thin film transistors TFT1 and TFT2 in the formation region of the thin film transistors TFT1 and TFT2, and the film thickness and the like are set accordingly.

絶縁膜GIの上面であって、ゲート線GLの一部と重畳する個所においては、例えばアモルファスシリコンからなる半導体層ASが形成されている。この半導体層ASは薄膜トランジスタTFT1、TFT2の半導体層である。また、この半導体層ASの形成時において、例えば、ドレイン信号線DLとゲート線GLとが交差する領域に、アモルファスシリコン層AS’を形成し、段差が少なく構成できるようにしている。なお、半導体層ASはアモルファスシリコンに限定されることはなく、低温ポリシリコンや微結晶シリコン等であってもよい。   A semiconductor layer AS made of, for example, amorphous silicon is formed on the upper surface of the insulating film GI and overlaps with a part of the gate line GL. This semiconductor layer AS is a semiconductor layer of the thin film transistors TFT1 and TFT2. Further, when the semiconductor layer AS is formed, for example, an amorphous silicon layer AS 'is formed in a region where the drain signal line DL and the gate line GL intersect so that the step can be formed with a small level difference. The semiconductor layer AS is not limited to amorphous silicon, and may be low-temperature polysilicon, microcrystalline silicon, or the like.

また、実施形態1の液晶表示装置では、ドレイン線DLの一部がドレイン電極DTとして半導体層ASの上層にまで延在され、その一部領域が半導体層ASの角部と重畳されている。また、ドレイン線DL及びドレイン電極DTの形成の際に同時に形成されるソース電極ST1、ST2は、半導体層ASの隣接する角部にその一部領域が重畳されて形成され、その結果、図3に示すように、ソース電極ST2は半導体層AS上にてドレイン電極DTと対向して配置され、薄膜トランジスタTFT2を形成することとなる。同様にして、薄膜トランジスタTFT1においても、ソース電極ST1は半導体層AS上にてドレイン電極DTと対向して配置され、薄膜トランジスタTFT1を形成する。また、図3から明らかなように、半導体層ASの上層から延在するソース電極ST2は、その端部が画素電極PXと重畳される領域(接続部CNNの領域)にまで延在され、画素電極PXと重畳されて電気的に接続される。同様にして、半導体層ASの上層から延在するソース電極ST1の端部も画素電極PXと重畳され、電気的に接続される。このような構成とすることにより、並列接続される2つの薄膜トランジスタTFT1、TFT2を介してドレイン線DLを介して入力される映像信号を画素電極PXに供給する構成としている。   In the liquid crystal display device according to the first embodiment, a part of the drain line DL extends as a drain electrode DT to the upper layer of the semiconductor layer AS, and a part of the drain line DL overlaps with a corner of the semiconductor layer AS. In addition, the source electrodes ST1 and ST2 that are simultaneously formed when the drain line DL and the drain electrode DT are formed are formed so that a partial region thereof is overlapped with an adjacent corner portion of the semiconductor layer AS. As a result, FIG. As shown, the source electrode ST2 is disposed on the semiconductor layer AS so as to face the drain electrode DT, thereby forming a thin film transistor TFT2. Similarly, in the thin film transistor TFT1, the source electrode ST1 is disposed on the semiconductor layer AS so as to face the drain electrode DT, thereby forming the thin film transistor TFT1. As is clear from FIG. 3, the source electrode ST2 extending from the upper layer of the semiconductor layer AS is extended to a region where the end portion overlaps the pixel electrode PX (region of the connection portion CNN), and the pixel The electrode PX is overlapped and electrically connected. Similarly, the end portion of the source electrode ST1 extending from the upper layer of the semiconductor layer AS is also overlapped with and electrically connected to the pixel electrode PX. With such a configuration, a video signal input via the drain line DL via the two thin film transistors TFT1 and TFT2 connected in parallel is supplied to the pixel electrode PX.

また、第1基板SUB1の表面すなわちドレイン線DL及びソース線SL及び画素電極PX等の上層には、薄膜トランジスタTFT1、TFT2及び画素電極PX等を被う絶縁膜からなる保護膜PASが形成されている。この保護膜PASは、薄膜トランジスタTFT1、TFT2及び画素電極PXと共通電極CTとの接触を防止している。また、実施形態1の液晶表示装置では、保護膜PASは容量素子の誘電体膜として機能しており、該保護膜PASを介してその上層に共通電極CTが形成されている。従って、保護膜PASは第1基板SUB1の液晶側の面の全面すなわち辺縁部に至る領域にまで延在して形成されている。この保護膜PASの上層に平面状の共通電極CTが形成されている。   Further, a protective film PAS made of an insulating film covering the thin film transistors TFT1, TFT2, and the pixel electrode PX is formed on the surface of the first substrate SUB1, that is, the upper layer of the drain line DL, the source line SL, the pixel electrode PX, and the like. . This protective film PAS prevents the thin film transistors TFT1, TFT2 and the pixel electrode PX from contacting the common electrode CT. In the liquid crystal display device of Embodiment 1, the protective film PAS functions as a dielectric film of the capacitive element, and the common electrode CT is formed on the upper layer via the protective film PAS. Accordingly, the protective film PAS is formed to extend to the entire surface of the liquid crystal side surface of the first substrate SUB1, that is, the region reaching the edge. A planar common electrode CT is formed on the protective film PAS.

〈薄膜トランジスタの詳細構成〉
次に、図4に従来の液晶表示装置における薄膜トランジスタ詳細構成を説明するための図、図5に本発明の実施形態1の液晶表示装置における薄膜トランジスタの詳細構成を説明するための図を示し、以下、図4及び図5に基づいて、実施形態1の薄膜トランジスタの詳細構成及びゲート・ソース間容量のばらつきを抑制する効果について詳細に説明する。
<Detailed configuration of thin film transistor>
Next, FIG. 4 is a diagram for explaining the detailed configuration of the thin film transistor in the conventional liquid crystal display device, and FIG. 5 is a diagram for explaining the detailed configuration of the thin film transistor in the liquid crystal display device of Embodiment 1 of the present invention. Based on FIGS. 4 and 5, the detailed configuration of the thin film transistor according to the first embodiment and the effect of suppressing variations in gate-source capacitance will be described in detail.

まず、図4に示すように、従来のIPS方式の液晶表示装置では、図4に示すように、ドレイン線DLとゲート線GLとに囲まれた領域が画素領域となり、この画素領域内にゲート線GLから伸延されたゲート電極GTと重畳するように、矩形状の半導体層ASが形成されている。該半導体層ASのゲート線GLに近い側の端部には、ドレイン線DLの一部が伸延して形成されるドレイン電極DTが重畳して形成されると共に、半導体層ASのゲート線GLから遠い側の端部には、ソース電極STの一端が形成され、当該ソース電極STの他端が接続部CNNを形成し画素電極と電気的に接続される構成となっている。この従来の薄膜トランジスタでは、点線枠Kで示すソース電極STと半導体層ASとの重畳面積が当該薄膜トランジスタのゲート・ソース間容量に比例する構成となっている。このため、層間ずれに伴う半導体層ASとソース電極STとの相対的な位置がY方向に変動してしまった場合、その重畳面積の変動に伴い薄膜トランジスタのゲート・ソース間容量が変動してしまう。   First, as shown in FIG. 4, in the conventional IPS liquid crystal display device, as shown in FIG. 4, a region surrounded by the drain line DL and the gate line GL becomes a pixel region, and a gate is formed in this pixel region. A rectangular semiconductor layer AS is formed so as to overlap with the gate electrode GT extended from the line GL. A drain electrode DT formed by extending a part of the drain line DL is formed to overlap with an end portion of the semiconductor layer AS near the gate line GL, and from the gate line GL of the semiconductor layer AS. One end of the source electrode ST is formed at the far end, and the other end of the source electrode ST forms a connection portion CNN and is electrically connected to the pixel electrode. In this conventional thin film transistor, the overlapping area of the source electrode ST and the semiconductor layer AS indicated by the dotted line frame K is proportional to the gate-source capacitance of the thin film transistor. For this reason, when the relative position of the semiconductor layer AS and the source electrode ST due to the interlayer shift varies in the Y direction, the gate-source capacitance of the thin film transistor varies with the variation of the overlapping area. .

一方、図5に示すように、実施形態1の薄膜トランジスタTFT1、TFT2は、矩形状の半導体層ASの角部を含む領域にソース電極ST1、ST2とドレイン電極DTとが形成される構成となっている。特に、実施形態1の薄膜トランジスタTFT1、TFT2では、ソース電極ST1、ST2及びドレイン電極DTの半導体層AS側の形状も矩形状に形成されており、その先端部の一部領域が半導体層ASと重畳される構成となっている。すなわち、実施形態1の画素では、Y方向に伸延されるドレイン線DLとX方向に伸延されるゲート線GLとの交点近傍に薄膜トランジスタTFT1、TFT2が形成されている。このとき、Y方向に伸延されるドレイン線DLの一部が薄膜トランジスタTFT1、TFT2の形成方向すなわちX方向に延在してドレイン電極DTが形成されると共に、X方向に伸延されるゲート線GLの一部が薄膜トランジスタTFT1、TFT2の形成方向すなわちY方向に延在してゲート電極GTが形成される。   On the other hand, as shown in FIG. 5, the thin film transistors TFT1 and TFT2 of the first embodiment are configured such that the source electrodes ST1 and ST2 and the drain electrode DT are formed in a region including the corners of the rectangular semiconductor layer AS. Yes. In particular, in the thin film transistors TFT1 and TFT2 of the first embodiment, the shape of the source electrodes ST1 and ST2 and the drain electrode DT on the semiconductor layer AS side is also formed in a rectangular shape, and a partial region of the tip thereof overlaps with the semiconductor layer AS. It becomes the composition which is done. That is, in the pixel of Embodiment 1, the thin film transistors TFT1 and TFT2 are formed in the vicinity of the intersection of the drain line DL extending in the Y direction and the gate line GL extending in the X direction. At this time, a part of the drain line DL extending in the Y direction extends in the formation direction of the thin film transistors TFT1 and TFT2, that is, the X direction to form the drain electrode DT, and the gate line GL extending in the X direction. A part of the gate electrode GT extends in the formation direction of the thin film transistors TFT1 and TFT2, that is, the Y direction, to form the gate electrode GT.

また、実施形態1の薄膜トランジスタTFT1、TFT2では、ゲート電極GTのX方向及びY方向の長さよりも小さい長さの辺部を有する半導体層ASが、絶縁膜(ゲート絶縁膜)GIを介して当該ゲート電極GTの上層に形成されている。このとき、ドレイン線DLから延在する矩形状のドレイン電極DTはその先端側に直角をなす2つの角部を有し、その端部の内で、一方の角部が半導体層ASの角部を含む領域で重畳され、他方の角部は半導体層ASと重畳されない構成となっている。一方、ドレイン電極DTの先端側の2つの角部はゲート電極GTと重畳される構成となっている。このような構成とすることによって、実施形態1の薄膜トランジスタTFT1、TFT2ではドレイン電極DTと異なる層に形成される半導体層ASを形成する際の位置合わせに伴う形成位置のずれにより、薄膜トランジスタTFT1、TFT2のドレイン領域として作用するドレイン電極DTと半導体層ASとの重畳領域の面積を可変させる構成としている。   Further, in the thin film transistors TFT1 and TFT2 of the first embodiment, the semiconductor layer AS having sides smaller than the lengths in the X direction and the Y direction of the gate electrode GT is formed via the insulating film (gate insulating film) GI. It is formed in the upper layer of the gate electrode GT. At this time, the rectangular drain electrode DT extending from the drain line DL has two corners perpendicular to the tip side, and one of the corners is the corner of the semiconductor layer AS. The other corner is not overlapped with the semiconductor layer AS. On the other hand, the two corners on the front end side of the drain electrode DT are configured to overlap the gate electrode GT. With such a configuration, in the thin film transistors TFT1 and TFT2 of the first embodiment, the thin film transistors TFT1 and TFT2 are caused by a shift in the formation position accompanying the alignment when forming the semiconductor layer AS formed in a layer different from the drain electrode DT. The area of the overlapping region of the drain electrode DT acting as the drain region of the semiconductor layer AS and the semiconductor layer AS is variable.

また、実施形態1の薄膜トランジスタTFT1、TFT2では、ドレイン線DL及びドレイン電極DTと同層に形成されるソース電極ST1、ST2は、ドレイン電極DTが形成される角部に隣接する角部にそれぞれ形成される構成となっている。また、半導体層ASの対角に位置する角部にソース電極ST1、ST2が形成される構成となっている。すなわち、実施形態1の薄膜トランジスタTFT1と薄膜トランジスタTFT2とは並列接続される2つの薄膜トランジスタにより、画素電極PXに映像信号を書き込む構成となっている。このような構成とするために、実施形態1の薄膜トランジスタTFT1、TFT2では、薄膜トランジスタTFT1のソース電極ST1と薄膜トランジスタTFT2のソース電極ST2とを、当該ソース電極ST1、ST2と同層の導電性薄膜すなわち当該ソース電極ST1、ST2と共に形成する導電性薄膜で接続する構成としている。すなわち、実施形態1では、薄膜トランジスタTFT1、TFT2の形成領域と重畳しないように形成される画素電極PXの辺部と重畳するようにしてソース電極ST1とソース電極ST2とを接続する接続部CNNを設ける構成としている。このような構成とすることによって、ソース電極ST1、ST2等の上層に形成される透明導電膜からなる画素電極PXとソース電極ST1、ST2との電気的な接続も接続部CNNによって行う構成としている。   In the thin film transistors TFT1 and TFT2 of the first embodiment, the source electrodes ST1 and ST2 formed in the same layer as the drain line DL and the drain electrode DT are formed at corners adjacent to the corner where the drain electrode DT is formed. It becomes the composition which is done. In addition, source electrodes ST1 and ST2 are formed at corners located diagonally of the semiconductor layer AS. That is, the thin film transistor TFT1 and the thin film transistor TFT2 of Embodiment 1 are configured to write a video signal to the pixel electrode PX by two thin film transistors connected in parallel. In order to achieve such a configuration, in the thin film transistors TFT1 and TFT2 of the first embodiment, the source electrode ST1 of the thin film transistor TFT1 and the source electrode ST2 of the thin film transistor TFT2 are formed in the same layer as the source electrodes ST1 and ST2, that is, The connection is made with a conductive thin film formed together with the source electrodes ST1 and ST2. That is, in the first embodiment, the connection portion CNN that connects the source electrode ST1 and the source electrode ST2 is provided so as to overlap with the side portion of the pixel electrode PX that is formed so as not to overlap with the formation region of the thin film transistors TFT1 and TFT2. It is configured. With such a configuration, the connection portion CNN also electrically connects the pixel electrode PX made of a transparent conductive film formed in the upper layer of the source electrodes ST1 and ST2 and the source electrodes ST1 and ST2. .

また、実施形態1の薄膜トランジスタTFT1、TFT2では、半導体層ASの対角に形成されるソース電極ST1、ST2の内で、ゲート線GLから遠い側の角部に形成される点線枠Bで示すソース電極ST1は、接続部CNNからY方向に伸延する第2の延在部となる矩形状の電極薄膜と、該第2の延在部からX方向に伸延する第1の延在部となる矩形状の電極薄膜とからなる、略L字状の電極形状となっている。このとき、ソース電極ST1においては、第2の延在部はゲート電極GT及び半導体層ASの何れにも重畳しない構成であり、第1の延在部のみがゲート電極GT及び半導体層ASと重畳されている。第1の延在部の先端側すなわち半導体層ASと重畳される側では、ドレイン電極DTに近い側の角部が半導体層ASの角部を含む領域と重畳して形成され、遠い側の角部は半導体層ASと重畳されず、ゲート電極GTのみに重畳される構成となっている。また、ソース電極ST2は接続部CNNからX方向に伸延する第3の延在部となる矩形状の電極薄膜からなり、その先端側すなわち半導体層ASと重畳される側では、ゲート線GLから遠い側の角部が半導体層ASの角部を含む領域と重畳して形成され、ゲート線GLに近い側の角部は半導体層ASと重畳されず、ゲート電極GTにのみ重畳される構成となっている。このとき、位置ずれがない場合における第1の延在部と第3の延在部とのY方向長さ(電極幅)は同じであり、さらには、ゲート電極GTとソース電極ST1、ST2との重畳長さ(重畳量)及び半導体層ASとの重畳量も同じ大きさとなるように形成されている。   Further, in the thin film transistors TFT1 and TFT2 of the first embodiment, the source indicated by the dotted line frame B formed at the corner on the side far from the gate line GL among the source electrodes ST1 and ST2 formed diagonally of the semiconductor layer AS. The electrode ST1 includes a rectangular electrode thin film serving as a second extending portion extending in the Y direction from the connection portion CNN and a rectangular serving as a first extending portion extending in the X direction from the second extending portion. It has a substantially L-shaped electrode shape made of an electrode thin film. At this time, in the source electrode ST1, the second extension portion does not overlap with either the gate electrode GT or the semiconductor layer AS, and only the first extension portion overlaps with the gate electrode GT and the semiconductor layer AS. Has been. On the distal end side of the first extending portion, that is, the side overlapping with the semiconductor layer AS, the corner near the drain electrode DT is formed so as to overlap with the region including the corner of the semiconductor layer AS, and the corner on the far side is formed. The portion is not superimposed on the semiconductor layer AS, but is superimposed only on the gate electrode GT. The source electrode ST2 is formed of a rectangular electrode thin film serving as a third extending portion extending in the X direction from the connection portion CNN, and is far from the gate line GL on the tip side, that is, the side overlapping with the semiconductor layer AS. The corner portion on the side is formed so as to overlap with the region including the corner portion of the semiconductor layer AS, and the corner portion on the side close to the gate line GL is not overlapped with the semiconductor layer AS, and is overlapped only on the gate electrode GT. ing. At this time, the first extending portion and the third extending portion have the same Y-direction length (electrode width) when there is no displacement, and further, the gate electrode GT and the source electrodes ST1, ST2 The superposition length (superposition amount) and the superposition amount with the semiconductor layer AS are also formed to have the same size.

このような構成とすることによって、実施形態1の薄膜トランジスタTFT1、TFT2では、後に詳述するように、半導体層ASとソース電極ST1、ST2との層間ずれに伴う位置ずれが発生した場合であっても、半導体層ASと重畳するソース電極ST1、ST2の面積が一定となる構成としている。すなわち、半導体層ASと重畳するソース電極ST1、ST2の面積の合計に影響される薄膜トランジスタTFT1、TFT2のゲート・ソース間容量を一定とする構成としている。さらには、ゲート電極GTと重畳するソース電極ST1とソース電極ST2との面積の合計を一定としている。これにより、合計面積の増減に伴うゲート・ソース間容量の変化を抑制する構成としている。   By adopting such a configuration, in the thin film transistors TFT1 and TFT2 of the first embodiment, as will be described in detail later, the misalignment caused by the interlayer misalignment between the semiconductor layer AS and the source electrodes ST1 and ST2 occurs. In addition, the area of the source electrodes ST1 and ST2 overlapping the semiconductor layer AS is constant. That is, the gate-source capacitances of the thin film transistors TFT1 and TFT2 that are affected by the total area of the source electrodes ST1 and ST2 overlapping the semiconductor layer AS are made constant. Furthermore, the total area of the source electrode ST1 and the source electrode ST2 overlapping the gate electrode GT is constant. As a result, a change in gate-source capacitance due to increase or decrease in the total area is suppressed.

次に、図5中の点線枠Bの拡大図B’、及び点線枠Cの拡大図C’に基づいて、半導体層ASとソース電極ST1、ST2との間に層間ずれが生じた場合について説明する。ただし、半導体層ASとソース電極ST1、ST2との間の層間ずれは、各層間における相対的な位置ずれとなるので、以下の説明では、ソース電極ST1、ST2の形成位置を基準として、見かけ上、半導体層ASにのみ層間の位置ずれが生じた場合について説明する。   Next, a case where an interlayer shift occurs between the semiconductor layer AS and the source electrodes ST1 and ST2 based on the enlarged view B ′ of the dotted line frame B and the enlarged view C ′ of the dotted line frame C in FIG. To do. However, since the interlayer displacement between the semiconductor layer AS and the source electrodes ST1 and ST2 is a relative displacement between the respective layers, in the following description, it is apparent that the formation positions of the source electrodes ST1 and ST2 are used as a reference. A case will be described in which misalignment between layers occurs only in the semiconductor layer AS.

まず、層間の位置ずれが発生していない場合のソース電極ST1と半導体層ASとが重畳する領域の面積S1は、S1=Y1・X1(ただし、「・」は乗算を示す)となり、ソース電極ST2と半導体層ASとが重畳する領域の面積S2は、S2=Y2・X2となる。従って、当該画素電極PXを駆動する薄膜トランジスタTFT1、TFT2の合計の面積Sは、S=S1+S2=Y1・X1+Y2・X2となる。   First, the area S1 of the region where the source electrode ST1 and the semiconductor layer AS overlap with each other when there is no misalignment between layers is S1 = Y1 · X1 (where “·” indicates multiplication). The area S2 of the region where ST2 and the semiconductor layer AS overlap is S2 = Y2 · X2. Therefore, the total area S of the thin film transistors TFT1 and TFT2 that drive the pixel electrode PX is S = S1 + S2 = Y1 · X1 + Y2 · X2.

次に、拡大図B’及び拡大図C’に示すように、ドレイン電極DT及びソース電極ST1、ST2に対して、半導体層ASが矢印で示すX方向にのみX0だけ位置ずれした場合について説明する。このとき、ソース電極ST1とソース電極ST2とは同じ工程で形成される同層の導電性薄膜で形成されているので、半導体層ASに対するソース電極ST1とソース電極ST2との位置ずれ量は同じずれ量となる。   Next, the case where the semiconductor layer AS is displaced by X0 only in the X direction indicated by the arrow with respect to the drain electrode DT and the source electrodes ST1 and ST2 as shown in the enlarged views B ′ and C ′ will be described. . At this time, since the source electrode ST1 and the source electrode ST2 are formed of the same conductive film formed in the same process, the amount of positional deviation between the source electrode ST1 and the source electrode ST2 with respect to the semiconductor layer AS is the same. It becomes quantity.

従って、図5中に矢印で示す位置ずれ量X0のX方向への位置ずれのみが発生した場合は、ソース電極ST1と半導体層ASとが重畳する領域の面積S1’は、S1’=Y1・(X1−X0)となり、ソース電極ST2と半導体層ASとが重畳する領域の面積S2’は、S2’=Y2・(X2+X0)となる。従って、当該画素電極PXを駆動する薄膜トランジスタTFT1、TFT2の合計の面積S’は、S’=S1’+S2’=Y1・(X1−X0)+Y2・(X2+X0)=S−Y1・X0+Y2・X0となる。このとき、実施形態1の液晶表示装置では、Y1=Y2すなわちY方向の重畳長さは同じ値となるので、S’=Sとなり、X方向への位置ずれに伴うソース電極ST1、ST2と半導体層ASとの重畳領域の面積は位置ずれが生じた場合であっても同じ面積となる。その結果、薄膜トランジスタTFT1と薄膜トランジスタTFT2とのゲート・ソース間容量の合計は、X方向のみへの位置ずれが発生した場合であっても同じ容量となる。   Therefore, when only a positional shift in the X direction of the positional shift amount X0 indicated by the arrow in FIG. 5 occurs, the area S1 ′ of the region where the source electrode ST1 and the semiconductor layer AS overlap is S1 ′ = Y1 · (X1−X0), and the area S2 ′ of the region where the source electrode ST2 and the semiconductor layer AS overlap is S2 ′ = Y2 · (X2 + X0). Therefore, the total area S ′ of the thin film transistors TFT1 and TFT2 that drive the pixel electrode PX is S ′ = S1 ′ + S2 ′ = Y1 · (X1−X0) + Y2 · (X2 + X0) = S−Y1 · X0 + Y2 · X0. Become. At this time, in the liquid crystal display device of Embodiment 1, Y1 = Y2, that is, the overlapping length in the Y direction has the same value, so S ′ = S, and the source electrodes ST1, ST2 and the semiconductor accompanying the positional deviation in the X direction. The area of the overlapping region with the layer AS is the same even when a positional shift occurs. As a result, the total gate-source capacitance of the thin film transistor TFT1 and the thin film transistor TFT2 is the same even if a positional shift occurs only in the X direction.

同様にして、図5中に矢印で示すY方向のみに位置ずれ量Y0の位置ずれが発生した場合は、ソース電極ST1と半導体層ASとが重畳する領域の面積S1’は、S1’=(Y1−Y0)・X1となり、ソース電極ST2と半導体層ASとが重畳する領域の面積S2’は、S2’=(Y2+Y0)・X2となる。従って、当該画素電極PXを駆動する薄膜トランジスタTFT1、TFT2における半導体層ASとソース電極ST1、ST2との重畳面積の合計面積S’は、S’=S1’+S2’=(Y1−Y0)・X1+(Y2+Y0)・X2=S−Y0・X1+Y0・X2となる。このとき、実施形態1の液晶表示装置では、X1=X2となるので、S’=Sとなり、Y方向への位置ずれに伴うソース電極ST1、ST2と半導体層ASとの重畳領域の面積は、層間ずれに伴う位置ずれが生じた場合であっても同じ面積となる。その結果、薄膜トランジスタTFT1と薄膜トランジスタTFT2とのゲート・ソース間容量の合計は、Y方向のみへの位置ずれが発生した場合であっても同じ容量となり、合計容量は一定となる。   Similarly, when a positional shift amount Y0 occurs only in the Y direction indicated by the arrow in FIG. 5, the area S1 ′ of the region where the source electrode ST1 and the semiconductor layer AS overlap is S1 ′ = ( Y1−Y0) · X1, and the area S2 ′ of the region where the source electrode ST2 and the semiconductor layer AS overlap is S2 ′ = (Y2 + Y0) · X2. Therefore, the total area S ′ of the overlapping areas of the semiconductor layer AS and the source electrodes ST1 and ST2 in the thin film transistors TFT1 and TFT2 that drive the pixel electrode PX is S ′ = S1 ′ + S2 ′ = (Y1−Y0) · X1 + ( Y2 + Y0) · X2 = S−Y0 · X1 + Y0 · X2. At this time, in the liquid crystal display device of Embodiment 1, since X1 = X2, S ′ = S, and the area of the overlapping region of the source electrodes ST1, ST2 and the semiconductor layer AS due to the displacement in the Y direction is Even when a positional shift caused by the interlayer shift occurs, the area is the same. As a result, the sum of the gate-source capacitances of the thin film transistors TFT1 and TFT2 is the same even when a positional shift occurs only in the Y direction, and the total capacitance is constant.

次に、図5中に矢印で示すように、ずれ量X0のX方向への位置ずれと、ずれ量Y0のY方向への位置ずれが共に発生した場合、すなわち図5中の斜め方向への位置ずれが発生した場合について説明する。この場合、ソース電極ST1と半導体層ASとが重畳する領域の面積S1’は、S1’=(Y1−Y0)・(X1−X0)となり、ソース電極ST2と半導体層ASとが重畳する領域の面積S2’は、S2’=(Y2+Y0)・(X2+X0)となる。従って、当該画素電極PXを駆動する薄膜トランジスタTFT1、TFT2の合計の面積S’は、S’=S1’+S2’=(Y1−Y0)・(X1−X0)+(Y2+Y0)・(X2−X0)=S+2・Y0・X0となる。このとき、Y0・X0<<Y1・X1及びY0・X0<<Y2・X2となるので、S’=Sとなり、Y方向及びX方向への位置ずれに伴うソース電極ST1、ST2と半導体層ASとの重畳領域の面積は位置ずれが生じた場合であっても同じ面積となる。その結果、薄膜トランジスタTFT1と薄膜トランジスタTFT2とのゲート・ソース間容量の合計は、Y方向及びX方向への位置ずれが発生した場合であっても同じ容量となり、その合計容量は一定となる。   Next, as shown by the arrows in FIG. 5, when both the positional deviation of the deviation amount X0 in the X direction and the positional deviation of the deviation amount Y0 in the Y direction occur, that is, in the oblique direction in FIG. A case where a displacement occurs will be described. In this case, the area S1 ′ of the region where the source electrode ST1 and the semiconductor layer AS overlap is S1 ′ = (Y1−Y0) · (X1−X0), and the source electrode ST2 and the semiconductor layer AS overlap each other. The area S2 ′ is S2 ′ = (Y2 + Y0) · (X2 + X0). Therefore, the total area S ′ of the thin film transistors TFT1 and TFT2 that drive the pixel electrode PX is S ′ = S1 ′ + S2 ′ = (Y1−Y0) · (X1−X0) + (Y2 + Y0) · (X2−X0). = S + 2 · Y0 · X0. At this time, since Y0 · X0 << Y1 · X1 and Y0 · X0 << Y2 · X2, S ′ = S, and the source electrodes ST1 and ST2 and the semiconductor layer AS due to displacement in the Y and X directions. The area of the overlap region with the same area is the same even when a positional shift occurs. As a result, the total gate-source capacitance of the thin film transistor TFT1 and the thin film transistor TFT2 is the same even when a positional shift occurs in the Y direction and the X direction, and the total capacitance is constant.

このとき、ソース電極ST1、ST2はゲート電極GTとも絶縁膜GIを介して重畳されることとなるが、実施形態1の薄膜トランジスタTFT1、TFT2においては、ソース電極ST1の第1の延在部とソース電極ST2の第3の延在部との半導体層AS側の領域がゲート電極GTと重畳され、ソース電極ST1の第1の延在部とソース電極ST2の第3の延在部とのY方向長さ(電極幅)が同じ大きさで形成されている。従って、X方向へのずれが生じた場合であっても、ゲート電極GTとソース電極ST1、ST2との間に、X方向への層間ずれが生じた場合であっても、絶縁膜GIを介してゲート電極GTとソース電極ST1、ST2とが重畳されることに伴う寄生容量の合計を一定の容量に保持できる。このとき、ゲート電極GTとソース電極ST1、ST2との間のY方向への層間ずれについては、ゲート電極GTとソース電極ST1、ST2とはY方向では重畳状態に変化が生じないので、寄生容量に変化は生じることはない。   At this time, the source electrodes ST1 and ST2 are also overlapped with the gate electrode GT via the insulating film GI. However, in the thin film transistor TFT1 and TFT2 of the first embodiment, the first extension portion of the source electrode ST1 and the source The region on the semiconductor layer AS side of the third extension portion of the electrode ST2 overlaps with the gate electrode GT, and the Y direction of the first extension portion of the source electrode ST1 and the third extension portion of the source electrode ST2 The length (electrode width) is formed with the same size. Therefore, even when a shift in the X direction occurs, even when an interlayer shift in the X direction occurs between the gate electrode GT and the source electrodes ST1 and ST2, the insulating film GI is interposed therebetween. Thus, the total parasitic capacitance associated with the overlapping of the gate electrode GT and the source electrodes ST1 and ST2 can be held at a constant capacitance. At this time, regarding the interlayer displacement in the Y direction between the gate electrode GT and the source electrodes ST1, ST2, the gate electrode GT and the source electrodes ST1, ST2 do not change in the overlapping state in the Y direction, so that the parasitic capacitance No change will occur.

以上説明したように、実施形態1の表示装置における薄膜トランジスタは、ゲート絶縁膜を介してゲート電極と重畳配置され半導体層を有し、該半導体層が対角位置に形成される第1の角部及び第2の角部と、前記第1の角部が形成される第1の辺と前記第2の角部が形成される第2の辺とを共有する第3の角部とを有すると共に、ドレイン線からその一部が延在して形成され、第3の角部と重畳されるドレイン電極と、一端が第1の角部に重畳して形成され、他端が画素電極と接続される第1のソース電極と、一端が第2の角部と重畳して形成され、他端が画素電極と接続される第2のソース電極と、を備える構成となっているので、層間ずれにより半導体層と第1及び第2のソース電極との間に相対的な位置ずれが生じた場合であっても、2つの薄膜トランジスタの半導体層と第1及び第2のソース電極との重畳面積の合計を一定に保つことができ、製造工程における薄膜トランジスタのゲート・ソース間容量のばらつきを抑制することができる。従って、2つの薄膜トランジスタを合わせた特性を一定に保つことができ、層間ずれに伴う薄膜トランジスタの特性の変動を抑制することができる。その結果、透過率の向上のために絶縁膜をさらに薄膜化した場合であっても、飛び込み電圧に対する保持電圧の余裕度(マージン)を大きくすることが可能となり、飛び込み電圧に起因するフリッカ等の発生を大幅に抑制することができ、表示画質及び表示品質を向上させることが可能となる。   As described above, the thin film transistor in the display device according to the first embodiment includes the semiconductor layer that is disposed so as to overlap the gate electrode with the gate insulating film interposed therebetween, and the first corner portion in which the semiconductor layer is formed at the diagonal position. And a second corner portion, and a third corner portion sharing a first side where the first corner portion is formed and a second side where the second corner portion is formed. The drain line is formed so as to partially extend from the drain line, overlapped with the third corner, formed with one end overlapped with the first corner, and connected with the pixel electrode at the other end. And a second source electrode having one end overlapped with the second corner and the other end connected to the pixel electrode. Even when a relative displacement occurs between the semiconductor layer and the first and second source electrodes. The semiconductor layer of the two thin film transistors and the sum of the overlapping area between the first and second source electrode can be kept constant, it is possible to suppress the variation of the gate-source capacitance of the thin film transistor in the manufacturing process. Therefore, the combined characteristics of the two thin film transistors can be kept constant, and fluctuations in the characteristics of the thin film transistor due to interlayer displacement can be suppressed. As a result, even when the insulating film is further thinned in order to improve the transmittance, it is possible to increase the margin of the holding voltage with respect to the jump voltage, such as flicker caused by the jump voltage. Occurrence can be significantly suppressed, and display image quality and display quality can be improved.

〈実施形態2〉
図6は本発明の実施形態2の表示装置である液晶表示装置の概略構成を説明するための図であり、特に、実施形態2の薄膜トランジスタの詳細構成を説明するための拡大図である。ただし、実施形態2の薄膜トランジスタを除く他の構成は、実施形態1の液晶表示装置と同様の構成である。従って、以下の説明では、薄膜トランジスタの構成について詳細に説明する。
<Embodiment 2>
FIG. 6 is a diagram for explaining a schematic configuration of a liquid crystal display device which is a display device according to the second embodiment of the present invention, and in particular, an enlarged view for explaining a detailed configuration of the thin film transistor of the second embodiment. However, the configuration other than the thin film transistor of the second embodiment is the same as that of the liquid crystal display device of the first embodiment. Therefore, in the following description, the structure of the thin film transistor will be described in detail.

図6から明らかなように、実施形態2の各画素においても、2つの薄膜トランジスタTFT1、TFT2を用いて画素電極PXに映像信号を供給する構成となっている。このとき、実施形態2の薄膜トランジスタTFT1と薄膜トランジスタTFT2は、実施形態1と同様に、ゲート線GLから画素電極PX方向に延在するゲート電極GTが形成され、該ゲート電極GTの上層に、図示しないゲート絶縁膜を介して矩形状の半導体ASが重畳して形成される構成となっている。このときの半導体層ASの形状も実施形態1と同様に、矩形状に形成されると共に、一方の対向する2辺がドレイン線DLの延在方向すなわちマトリクス状に配列される画素の第1の配列方向に一致する構成となっている。また、矩形状の半導体層ASの他方の対向する2辺はゲート線GLの延在方向すなわちマトリクス状に配列される画素の第2の配列方向に一致する構成となっている。   As is apparent from FIG. 6, each pixel of the second embodiment is also configured to supply a video signal to the pixel electrode PX using two thin film transistors TFT1 and TFT2. At this time, in the thin film transistor TFT1 and the thin film transistor TFT2 of the second embodiment, the gate electrode GT extending from the gate line GL in the direction of the pixel electrode PX is formed as in the first embodiment, and is not shown in the upper layer of the gate electrode GT. A rectangular semiconductor AS is formed so as to overlap with a gate insulating film interposed therebetween. The shape of the semiconductor layer AS at this time is also formed in a rectangular shape as in the first embodiment, and one of the two opposing sides is the first direction of the pixels arranged in the extending direction of the drain lines DL, that is, in a matrix. The configuration matches the arrangement direction. The other two opposite sides of the rectangular semiconductor layer AS are configured to coincide with the extending direction of the gate lines GL, that is, the second arrangement direction of the pixels arranged in a matrix.

また、ドレイン線DLの一部が延在されて形成されるドレイン電極DTは、半導体層ASの角部の内、ドレイン線DLとゲート線GLとの交差領域に最も近い角部を含む領域に形成されている。すなわち、実施形態2のドレイン電極DTも実施形態1のドレイン電極DTと同様に、X方向に延在するドレイン電極の半導体層AS側の端辺の両端に位置する角部の内、一方の角部が半導体層ASの角部を含む領域と重畳するように、当該半導体層ASの上面側に形成され、他方の角部は半導体層ASと重畳されない構成となっている。   Further, the drain electrode DT formed by extending a part of the drain line DL is formed in a region including a corner closest to the intersection region between the drain line DL and the gate line GL among the corners of the semiconductor layer AS. Is formed. That is, the drain electrode DT of the second embodiment is also one of the corners located at both ends of the edge on the semiconductor layer AS side of the drain electrode extending in the X direction, like the drain electrode DT of the first embodiment. A portion is formed on the upper surface side of the semiconductor layer AS so as to overlap with a region including the corner of the semiconductor layer AS, and the other corner is not overlapped with the semiconductor layer AS.

また、2つの薄膜トランジスタTFT1、TFT2のソース電極ST1、ST2も実施形態1と同様に、半導体層ASの対角に位置する角部にそれぞれ形成される構成となっている。このとき、2つの点線枠で示すように、実施形態2の薄膜トランジスタTFT1、TFT2では、薄膜トランジスタTFT1と薄膜トランジスタTFT2とはそれぞれ独立した構成すなわちソース電極ST1とソース電極ST2とを形成する導電性薄膜が同層の導電性薄膜で接続されない構成となっている。すなわち、薄膜トランジスタTFT1のソース電極ST1は、画素電極PXの下層側に形成される該画素電極PXと電気的に接続される接続部CNN1と、該接続部CNN1からドレイン線方向(Y方向)に伸張する第2の延在部と、該第2の延在部からゲート線GL方向(X方向)に伸張し半導体層ASの角部と重畳される第1の延在部からなっている。一方、薄膜トランジスタTFT2のソース電極ST2は、画素電極PXの下層側に形成される該画素電極PXと電気的に接続される接続部CNN2と、該接続部CNN2からゲート線GL方向(X方向)に伸張し半導体層ASの角部と重畳される第3の延在部からなっている。   Similarly to the first embodiment, the source electrodes ST1 and ST2 of the two thin film transistors TFT1 and TFT2 are also formed at the corners located at the opposite corners of the semiconductor layer AS. At this time, as shown by the two dotted frames, in the thin film transistors TFT1 and TFT2 of the second embodiment, the thin film transistors TFT1 and TFT2 are independent from each other, that is, the conductive thin films forming the source electrode ST1 and the source electrode ST2 are the same. The layers are not connected by the conductive thin film. That is, the source electrode ST1 of the thin film transistor TFT1 extends in the drain line direction (Y direction) from the connection portion CNN1 electrically connected to the pixel electrode PX formed on the lower layer side of the pixel electrode PX. And a first extension portion extending from the second extension portion in the gate line GL direction (X direction) and overlapping with the corner portion of the semiconductor layer AS. On the other hand, the source electrode ST2 of the thin film transistor TFT2 is connected to the pixel electrode PX formed on the lower layer side of the pixel electrode PX, and is connected to the pixel electrode PX in the gate line GL direction (X direction) from the connection portion CNN2. The third extending portion extends and overlaps with the corner portion of the semiconductor layer AS.

このように、実施形態2の液晶表示装置においても、半導体層ASとドレイン電極DTとを共通に形成すると共に、ドレイン電極DTが形成される半導体層ASの角部を除く他の角部の内で、対角をなす一対の角部の一方にソース電極ST1が形成され、他方の角部にソース電極ST2が形成される構成となっているので、実施形態1と同様の効果を得ることができる。   As described above, also in the liquid crystal display device of the second embodiment, the semiconductor layer AS and the drain electrode DT are formed in common, and other than the corners of the semiconductor layer AS where the drain electrode DT is formed, Thus, since the source electrode ST1 is formed at one of the pair of corners forming the diagonal and the source electrode ST2 is formed at the other corner, the same effect as in the first embodiment can be obtained. it can.

このとき、2つの薄膜トランジスタTFT1、TFT2のソース電極ST1、ST2は、画素電極PXを形成する光透過性を有する導電性薄膜であるITO薄膜を介して電気的に接続される。このとき、ソース電極ST1、ST2を形成する金属薄膜よりも画素電極PXは単位面積当たりの電気抵抗が大きくなるので、2つの薄膜トランジスタTFT1、TFT2がそれぞれ独立して画素電極PXに映像信号を供給する構成となる。   At this time, the source electrodes ST1 and ST2 of the two thin film transistors TFT1 and TFT2 are electrically connected via an ITO thin film which is a light-transmitting conductive thin film forming the pixel electrode PX. At this time, since the pixel electrode PX has an electric resistance per unit area larger than that of the metal thin film forming the source electrodes ST1 and ST2, the two thin film transistors TFT1 and TFT2 supply video signals to the pixel electrode PX independently. It becomes composition.

〈実施形態3〉
図7は本発明の実施形態3の表示装置である液晶表示装置の概略構成を説明するための図であり、特に、実施形態3の薄膜トランジスタ及び画素電極の詳細構成を説明するための拡大図である。ただし、実施形態3の液晶表示装置では、画素電極PX1、PX2を除く他の構成は、実施形態2の液晶表示装置と同様の構成である。従って、以下の説明では、画素電極PX1、PX2の構成について詳細に説明する。
<Embodiment 3>
FIG. 7 is a diagram for explaining a schematic configuration of a liquid crystal display device which is a display device according to the third embodiment of the present invention. In particular, FIG. 7 is an enlarged view for explaining detailed configurations of the thin film transistor and the pixel electrode according to the third embodiment. is there. However, in the liquid crystal display device of the third embodiment, the configuration other than the pixel electrodes PX1 and PX2 is the same as that of the liquid crystal display device of the second embodiment. Therefore, in the following description, the configuration of the pixel electrodes PX1 and PX2 will be described in detail.

図7から明らかなように、実施形態3の液晶表示装置では、ドレイン線DLとゲート線GLで囲まれる1つの画素領域が2つの領域D、Eに分割される構成となっており、領域Dには画素電極PX1が形成され、領域Eには画素電極PX2が形成されている。このとき、実施形態3では、薄膜トランジスタTFT1のソース電極ST1が画素電極PX1の下層側に形成される該画素電極PX1と電気的に接続される接続部CNN1と、該接続部CNN1からドレイン線方向(Y方向)に伸張する第2の延在部と、該第1の延在部からゲート線GL方向(X方向)に伸張し半導体層ASの角部と重畳される第1の延在部からなり、画素電極PX1に映像信号を供給する構成となっている。   As is apparent from FIG. 7, the liquid crystal display device according to the third embodiment has a configuration in which one pixel region surrounded by the drain line DL and the gate line GL is divided into two regions D and E. Is formed with a pixel electrode PX1, and in the region E, a pixel electrode PX2 is formed. At this time, in the third embodiment, the source electrode ST1 of the thin film transistor TFT1 is electrically connected to the pixel electrode PX1 formed on the lower layer side of the pixel electrode PX1, and the drain line direction (from the connection portion CNN1) A second extension portion extending in the Y direction), and a first extension portion extending in the gate line GL direction (X direction) extending from the first extension portion and overlapping the corner portion of the semiconductor layer AS. Thus, the video signal is supplied to the pixel electrode PX1.

一方、薄膜トランジスタTFT2のソース電極ST2は、画素電極PX2の下層側に形成される該画素電極PX2と電気的に接続される接続部CNN2と、該接続部CNN2からゲート線GL方向(X方向)に伸張し半導体層ASの角部と重畳される第3の延在部からなり、画素電極PX1に映像信号を供給する構成となっている。   On the other hand, the source electrode ST2 of the thin film transistor TFT2 is connected to the pixel electrode PX2 formed on the lower layer side of the pixel electrode PX2, and is connected to the pixel electrode PX2 and from the connection portion CNN2 to the gate line GL direction (X direction). The third extending portion that extends and overlaps with the corner portion of the semiconductor layer AS is configured to supply a video signal to the pixel electrode PX1.

このように、実施形態3の液晶表示装置においても、薄膜トランジスタTFT1と薄膜トランジスタTFT2は、実施形態1、2と同様に、ゲート線GLから画素電極PX方向に延在するゲート電極GTが形成され、該ゲート電極GTの上層に図示しないゲート絶縁膜を介して矩形状の半導体ASが形成される構成となっている。このときの半導体層ASの形状も実施形態1、2と同様に、矩形状に形成されると共に、その内の一方の対向する2辺がドレイン線DLの延在方向すなわちマトリクス状に配列される画素の第1の配列方向に一致する構成となっている。また、矩形状の半導体層ASの他方の対向する2辺はゲート線GLの延在方向すなわちマトリクス状に配列される画素の第2の配列方向に一致する構成となっているので、実施形態1、2と同様の効果を得ることができる。   Thus, also in the liquid crystal display device of the third embodiment, the thin film transistor TFT1 and the thin film transistor TFT2 are formed with the gate electrode GT extending from the gate line GL in the direction of the pixel electrode PX, as in the first and second embodiments. A rectangular semiconductor AS is formed above the gate electrode GT via a gate insulating film (not shown). The shape of the semiconductor layer AS at this time is also formed in a rectangular shape as in the first and second embodiments, and one of the two opposing sides thereof is arranged in the extending direction of the drain line DL, that is, in a matrix. The configuration coincides with the first arrangement direction of the pixels. Further, the other two opposite sides of the rectangular semiconductor layer AS are configured to coincide with the extending direction of the gate lines GL, that is, the second arrangement direction of the pixels arranged in a matrix, so that the first embodiment 2 can be obtained.

〈実施形態4〉
図8は本発明の実施形態4の表示装置である液晶表示装置の概略構成を説明するための図であり、特に、実施形態4の薄膜トランジスタの詳細構成を説明するための拡大図である。ただし、実施形態4の液晶表示装置は、薄膜トランジスタTFT1、TFT2の構成及び画素電極PXの構成を除く他の構成は、実施形態2の液晶表示装置と同様の構成である。従って、以下の説明では、薄膜トランジスタTFT1、TFT2の構成及び画素電極PXの構成について詳細に説明する。
<Embodiment 4>
FIG. 8 is a diagram for explaining a schematic configuration of a liquid crystal display device which is a display device according to a fourth embodiment of the present invention, and in particular, an enlarged view for explaining a detailed configuration of the thin film transistor of the fourth embodiment. However, the liquid crystal display device of the fourth embodiment has the same configuration as that of the liquid crystal display device of the second embodiment except for the configuration of the thin film transistors TFT1 and TFT2 and the configuration of the pixel electrode PX. Therefore, in the following description, the configuration of the thin film transistors TFT1 and TFT2 and the configuration of the pixel electrode PX will be described in detail.

図8から明らかなように、実施形態4の液晶表示装置における2つの薄膜トランジスタTFT1、TFT2においても、実施形態1〜3の薄膜トランジスタTFT1、TFT2と同様に、1つのゲート電極GTと、半導体層ASと、ドレイン電極DTと、2つのソース電極ST1、ST2とから構成されている。このとき、ドレイン電極DT及びソース電極ST1、ST2の何れもが形成(差入)されない半導体層ASの角部を取り除き、この取り除いた角部にゲート電極GTとソース電極ST1、ST2との層間ずれを補正するための導電性薄膜を形成する構成となっている。すなわち、実施形態4の薄膜トランジスタTFT1、TFT2では、直交する3つの角部が隣接配置される5角形の半導体層ASを有する構成となっており、特に、実施形態4の薄膜トランジスタTFT1、TFT2においては、3つの直交する角部の内で2つの角部がドレイン線DLの延在方向に沿って配置されると共に、2つの角部がゲート線GLの延在方向に沿って配置される構成となっている。特に、ドレイン線DLの延在方向に沿って配置される角部の内で、ドレイン線DLとゲート線GLとの交点近傍に配置される角部にはドレイン電極DTが重畳して形成される構成となっており、遠い側に配置される角部にはソース電極ST1が重畳して形成される構成となっている。また、ゲート線GLの延在方向に沿って配置される角部の内で、ドレイン線DLとゲート線GLとの交点近傍に配置される角部すなわちドレイン電極DTが重畳して形成される角部は薄膜トランジスタTFT2と共通の構成となっており、遠い側に配置される角部にはソース電極ST2が重畳して形成される構成となっている。このような構成とすることにより、実施形態4の薄膜トランジスタTFT1、TFT2においても実施形態1〜3と同様の効果を得ることを可能としている。   As is apparent from FIG. 8, in the two thin film transistors TFT1 and TFT2 in the liquid crystal display device according to the fourth embodiment, as in the thin film transistors TFT1 and TFT2 according to the first to third embodiments, one gate electrode GT, the semiconductor layer AS, and , A drain electrode DT and two source electrodes ST1 and ST2. At this time, a corner portion of the semiconductor layer AS where neither the drain electrode DT nor the source electrodes ST1 and ST2 are formed (inserted) is removed, and an interlayer shift between the gate electrode GT and the source electrodes ST1 and ST2 is removed at the removed corner portion. It is the structure which forms the electroconductive thin film for correct | amending. That is, the thin film transistors TFT1 and TFT2 of the fourth embodiment have a pentagonal semiconductor layer AS in which three orthogonal corners are adjacently arranged. In particular, in the thin film transistors TFT1 and TFT2 of the fourth embodiment, Of the three orthogonal corners, two corners are arranged along the extending direction of the drain line DL, and two corners are arranged along the extending direction of the gate line GL. ing. In particular, the drain electrode DT is formed so as to overlap the corner disposed near the intersection of the drain line DL and the gate line GL among the corners disposed along the extending direction of the drain line DL. The configuration is such that the source electrode ST1 is formed so as to overlap the corner portion disposed on the far side. Of the corners arranged along the extending direction of the gate line GL, the corner formed near the intersection of the drain line DL and the gate line GL, that is, the corner formed by overlapping the drain electrode DT. The portion has the same configuration as that of the thin film transistor TFT2, and the source electrode ST2 is formed so as to overlap the corner portion arranged on the far side. By adopting such a configuration, the thin film transistors TFT1 and TFT2 of the fourth embodiment can obtain the same effects as those of the first to third embodiments.

また、実施形態4の薄膜トランジスタTFT1、TFT2では、ドレイン電極DTがドレイン線DLとゲート線GLとの交点近傍に配置される角部からソース電極ST1とソース電極ST2との間に延在され、該角部と対向する辺部にまで至る構成となっている。このような構成とすることにより、ドレイン電極DTと半導体層ASとの重畳面積を大きくすることが可能となり、薄膜トランジスタTFT1、TFT2の駆動性能を向上することを可能としている。   In the thin film transistors TFT1 and TFT2 of the fourth embodiment, the drain electrode DT extends between the source electrode ST1 and the source electrode ST2 from a corner portion disposed near the intersection of the drain line DL and the gate line GL. It has a structure that extends to the side facing the corner. With such a configuration, the overlapping area between the drain electrode DT and the semiconductor layer AS can be increased, and the driving performance of the thin film transistors TFT1 and TFT2 can be improved.

さらには、実施形態4の薄膜トランジスタTFT1では、実施形態1と同様に、ソース電極ST1が画素電極PX1の下層側に形成される該画素電極PX1と電気的に接続される接続部CNN1と、該接続部CNN1からドレイン線方向(Y方向)に伸張する第2の延在部と、該第1の延在部からゲート線GL方向(X方向)に伸張し半導体層ASの角部と重畳される第1の延在部からなり、画素電極PX1に映像信号を供給する構成となっている。   Furthermore, in the thin film transistor TFT1 of the fourth embodiment, as in the first embodiment, the connection portion CNN1 in which the source electrode ST1 is electrically connected to the pixel electrode PX1 formed on the lower layer side of the pixel electrode PX1, and the connection A second extending portion extending from the portion CNN1 in the drain line direction (Y direction), and extending from the first extending portion in the gate line GL direction (X direction) to be overlapped with a corner portion of the semiconductor layer AS. The first extending portion is configured to supply a video signal to the pixel electrode PX1.

一方、薄膜トランジスタTFT2のソース電極ST2は、ドレイン線DLの延在方向(Y方向)に伸張する第4の延在部と、第4の延在部からゲート線GL方向(X方向)に伸張し半導体層ASの角部と重畳される第5の延在部とからなり、第4の延在部の一部領域において画素電極PXから延在される延在部が重畳されて電気的に接続される接続部CNN2が形成され、画素電極PXに映像信号を供給する構成となっている。このとき、実施形態4のゲート電極GTは、ソース電極ST1の第1の延在部の全ての領域が重畳されると共に、第2の延在部の一部領域も重畳される構成となっている。さらには、ゲート電極GTは、画素電極PXから延在されるソース電極ST2の接続部CNN2及び画素電極PXの形成領域を避ける構成となっている。すなわち、実施形態4のゲート電極GTにおいては、ゲート線GLの一部領域が画素電極PXの形成方向(Y軸方向)に突出されてゲート電極GTを形成すると共に、その突出領域内に当該ゲート電極GTが形成されない凹状の領域が形成される構成となっている。特に、実施形態4のゲート電極GTにおいては、凹状領域の開口部(開口側)がソース電極ST2の第4の延在部の延在方向と直交する方向となっており、該凹状領域すなわちゲート電極GTの形成されない領域に接続部CNN2が形成され、画素電極PXからの延在部とソース電極ST2の第4の延在部とを電気的に接続している。このとき、ソース電極ST2の第4の延在部の一端側はゲート電極GTの凹状領域を超えてY方向に伸延され、ゲート電極GTと再び重畳される構成である。また、ソース電極ST2の第4の延在部の他端側はゲート電極GTを超えてY方向に伸延され、その端部は当該ゲート電極GTと重畳されない構成となっている。さらには、実施形態4の薄膜トランジスタでは、ソース電極ST1の第2の延在部のX方向幅とソース電極ST2の第4の延在部のX方向幅とが同じ配線幅となるように形成されている。   On the other hand, the source electrode ST2 of the thin film transistor TFT2 extends in the fourth extending portion extending in the extending direction (Y direction) of the drain line DL and in the gate line GL direction (X direction) from the fourth extending portion. The semiconductor layer AS includes a fifth extension portion that overlaps the corner portion of the semiconductor layer AS, and the extension portion that extends from the pixel electrode PX is overlapped and electrically connected in a partial region of the fourth extension portion. The connection portion CNN2 is formed, and the video signal is supplied to the pixel electrode PX. At this time, the gate electrode GT of the fourth embodiment has a configuration in which the entire region of the first extension portion of the source electrode ST1 is overlapped and the partial region of the second extension portion is also overlapped. Yes. Furthermore, the gate electrode GT is configured to avoid the connection region CNN2 of the source electrode ST2 extending from the pixel electrode PX and the formation region of the pixel electrode PX. That is, in the gate electrode GT of the fourth embodiment, a partial region of the gate line GL protrudes in the formation direction (Y-axis direction) of the pixel electrode PX to form the gate electrode GT, and the gate in the protruding region. A concave region where the electrode GT is not formed is formed. In particular, in the gate electrode GT of the fourth embodiment, the opening (opening side) of the concave region is in a direction perpendicular to the extending direction of the fourth extending portion of the source electrode ST2, and the concave region, that is, the gate A connection portion CNN2 is formed in a region where the electrode GT is not formed, and the extension portion from the pixel electrode PX and the fourth extension portion of the source electrode ST2 are electrically connected. At this time, one end side of the fourth extending portion of the source electrode ST2 extends in the Y direction beyond the concave region of the gate electrode GT, and is overlapped with the gate electrode GT again. Further, the other end side of the fourth extension portion of the source electrode ST2 extends in the Y direction beyond the gate electrode GT, and the end portion is not overlapped with the gate electrode GT. Furthermore, the thin film transistor of Embodiment 4 is formed such that the X-direction width of the second extension portion of the source electrode ST1 and the X-direction width of the fourth extension portion of the source electrode ST2 have the same wiring width. ing.

このような構成とすることにより、ソース電極ST2の第4の延在部とゲート電極GTとが重畳する領域では、図8中に点線Hで示すように、矩形状の第2の延在部と矩形状のゲート配線GLとが直交する構成としている。この構成により、ゲート線GL(ゲート電極GTを含む)とソース電極ST2との間にX方向及びY方向の相対的な位置ずれ生じた場合であっても、ソース電極ST2の第4の延在部とゲート電極GTとの重畳面積を一定に保持する構成としている。その結果、ゲート線GL(ゲート電極GTを含む)とソース電極ST2との間にX方向及びY方向の相対的な位置ずれ生じた場合であっても、当該ゲート線GL(ゲート電極GTを含む)とソース電極ST2とが図示しない絶縁膜(ゲート絶縁膜)を介して重畳されることに伴う寄生容量を一定の容量値とすることができる。   With such a configuration, in the region where the fourth extension portion of the source electrode ST2 and the gate electrode GT overlap, as shown by a dotted line H in FIG. And the rectangular gate wiring GL are orthogonal to each other. With this configuration, the fourth extension of the source electrode ST2 occurs even when a relative displacement in the X direction and the Y direction occurs between the gate line GL (including the gate electrode GT) and the source electrode ST2. The overlapping area between the portion and the gate electrode GT is kept constant. As a result, even when a relative positional shift occurs in the X direction and the Y direction between the gate line GL (including the gate electrode GT) and the source electrode ST2, the gate line GL (including the gate electrode GT) is generated. ) And the source electrode ST2 can be made to have a constant capacitance value due to the superposition of the source electrode ST2 via an insulating film (gate insulating film) (not shown).

また、実施形態4の薄膜トランジスタTFT1、TFT2では、図8中に点線枠Gで示すように、ソース電極ST2の第4の延在部の一端側がゲート電極GTの一部と重畳する領域を設ける構成とすると共に、このソース電極ST2の第4の延在部の配線幅(X方向幅)がソース電極ST1の第1の延在部の配線幅(X方向幅)と同じ構成となっている。よって、ゲート電極GTとソース電極ST1、ST2との間にY方向の相対的な位置ずれとして、例えば、ゲート電極GTが図8中の下方にずれてしまった場合、図8中に点線枠Fで示すソース電極ST1の第2の延在部とゲート電極GTとが重畳する領域では、ソース電極ST1の第1の延在部とゲート電極GTとの重畳面積が減少することとなる。一方、図8中に点線枠Gで示すソース電極ST2の第4の延在部とゲート電極GTとが重畳する領域では、ソース電極ST2の第4の延在部とゲート電極GTとの重畳面積が増大することとなる。このとき、実施形態4では、ソース電極ST1の延在部とソース電極ST2の延在部との配線幅が一致する構成となっているので、ゲート電極GTの下方へのずれに伴うソース電極ST1の第1の延在部とゲート電極GTとの重畳面積の減少分と、ソース電極ST2の第4の延在部とゲート電極GTとの重畳面積の増加分とが一致することとなる。その結果、ソース電極ST1の第1の延在部とゲート電極GTとの重畳面積と、ソース電極ST2の第4の延在部とゲート電極GTとの重畳面積との合計の重畳面積は変化しないこととなる。従って、ソース電極ST1、ST2とゲート電極GTとが重畳配置されることによる薄膜トランジスタTFT1、TFT2のゲート・ソース間の寄生容量を一定に保持することが可能となり、ゲート電極GT(ゲート線を含む)とソース電極ST1、ST2との層間合わせばらつきに伴う表示品質の低下を大幅に抑制することができる。   Further, in the thin film transistors TFT1 and TFT2 of Embodiment 4, as shown by a dotted frame G in FIG. 8, a region in which one end side of the fourth extending portion of the source electrode ST2 overlaps with a part of the gate electrode GT is provided. In addition, the wiring width (X direction width) of the fourth extending portion of the source electrode ST2 is the same as the wiring width (X direction width) of the first extending portion of the source electrode ST1. Therefore, as a relative positional shift in the Y direction between the gate electrode GT and the source electrodes ST1 and ST2, for example, when the gate electrode GT is shifted downward in FIG. 8, a dotted frame F in FIG. In the region where the second extending portion of the source electrode ST1 and the gate electrode GT overlap each other, the overlapping area of the first extending portion of the source electrode ST1 and the gate electrode GT is reduced. On the other hand, in the region where the fourth extending portion of the source electrode ST2 and the gate electrode GT overlap each other as indicated by the dotted frame G in FIG. 8, the overlapping area of the fourth extending portion of the source electrode ST2 and the gate electrode GT. Will increase. At this time, in the fourth embodiment, since the wiring widths of the extending portion of the source electrode ST1 and the extending portion of the source electrode ST2 are the same, the source electrode ST1 accompanying the downward shift of the gate electrode GT is formed. The decrease in the overlap area between the first extension portion and the gate electrode GT coincides with the increase in the overlap area between the fourth extension portion of the source electrode ST2 and the gate electrode GT. As a result, the total overlapping area of the overlapping area of the first extending portion of the source electrode ST1 and the gate electrode GT and the overlapping area of the fourth extending portion of the source electrode ST2 and the gate electrode GT does not change. It will be. Therefore, the parasitic capacitance between the gate and the source of the thin film transistors TFT1 and TFT2 due to the source electrodes ST1 and ST2 and the gate electrode GT being overlapped can be kept constant, and the gate electrode GT (including the gate line) is maintained. And the source electrode ST1 and ST2 can greatly suppress the deterioration in display quality due to variations in interlayer alignment.

なお、実施形態4の液晶表示装置では、1つの画素領域に1つの画素電極を形成する構成としたが、例えば、実施形態3に示すように、薄膜トランジスタTFT1に対応する画素電極PX1と、薄膜トランジスタTFT2に対応する画素電極PX2とを形成する構成であってもよい。   In the liquid crystal display device according to the fourth embodiment, one pixel electrode is formed in one pixel region. For example, as shown in the third embodiment, the pixel electrode PX1 corresponding to the thin film transistor TFT1 and the thin film transistor TFT2 are provided. The pixel electrode PX2 corresponding to may be formed.

〈実施形態5〉
図9は本発明の実施形態5の表示装置である液晶表示装置における薄膜トランジスタの概略構成を説明するための拡大図であり、薄膜トランジスタTFT1のソース電極ST1の構成を除く他の構成は実施形態1の液晶表示装置と同様である。
<Embodiment 5>
FIG. 9 is an enlarged view for explaining a schematic configuration of a thin film transistor in a liquid crystal display device which is a display device according to the fifth embodiment of the present invention. The configuration other than the configuration of the source electrode ST1 of the thin film transistor TFT1 is the same as that of the first embodiment. The same as the liquid crystal display device.

図9から明らかなように、実施形態5の薄膜トランジスタTFT1のソース電極ST1は、薄膜トランジスタTFT2のソース電極ST2と同様に、画素電極PXの辺部に沿って形成される接続部CNNからドレイン線DLの延在方向(Y方向)に第1の延在部が伸張し、該第1の延在部の端部の一方の角部が、半導体層ASの角部と重畳されてソース領域を形成する構成となっている。   As is clear from FIG. 9, the source electrode ST1 of the thin film transistor TFT1 of the fifth embodiment is connected to the drain line DL from the connection portion CNN formed along the side portion of the pixel electrode PX, like the source electrode ST2 of the thin film transistor TFT2. The first extending portion extends in the extending direction (Y direction), and one corner portion of the end portion of the first extending portion is overlapped with the corner portion of the semiconductor layer AS to form a source region. It has a configuration.

このように、実施形態5の薄膜トランジスタTFT1、TFT2においても、ソース電極ST1を形成する第1の延在部とソース電極ST2を形成する第3の延在部とが、これらと同一の工程で形成される接続部CNNとなる同層の導電性薄膜で接続され、ソース電極ST1、ST2が形成される構成となっている。   As described above, also in the thin film transistors TFT1 and TFT2 of the fifth embodiment, the first extension part for forming the source electrode ST1 and the third extension part for forming the source electrode ST2 are formed in the same process. The connection electrodes CNN are connected by the same conductive thin film, and the source electrodes ST1 and ST2 are formed.

このような構成とすることにより、実施形態4の薄膜トランジスタTFT1、TFT2においても、半導体層ASとソース電極ST1、ST2とを形成する際の層間合わせずれが発生した場合であっても、実施形態1と同様の効果を得ることができる。また、実施形態5の薄膜トランジスタTFT1では、接続部CNNから第1の延在部が伸張する構成となっているので、薄膜トランジスタTFT1、TFT2の形成領域を小さくすることができるという格別の効果を得られる。   By adopting such a configuration, even in the thin film transistors TFT1 and TFT2 of the fourth embodiment, even when a misalignment occurs between the layers when forming the semiconductor layer AS and the source electrodes ST1 and ST2, the first embodiment. The same effect can be obtained. Further, in the thin film transistor TFT1 of the fifth embodiment, since the first extending portion extends from the connection portion CNN, it is possible to obtain a special effect that the formation region of the thin film transistors TFT1 and TFT2 can be reduced. .

なお、本実施形態5においては、接続部CNNを介して薄膜トランジスタTFT1と薄膜トランジスタTFT2とを並列接続させる構成としたが、実施形態2と同様に、薄膜トランジスタTFT1に対応する第1の接続部と、薄膜トランジスタTFT2に対応する第2の接続部とをそれぞれ形成する構成であってもよい。   In the fifth embodiment, the thin film transistor TFT1 and the thin film transistor TFT2 are connected in parallel through the connection portion CNN. However, as in the second embodiment, the first connection portion corresponding to the thin film transistor TFT1 and the thin film transistor The second connection portion corresponding to the TFT 2 may be formed.

以上、本発明者によってなされた発明を、前記発明の実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記発明の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。   As mentioned above, the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiment of the invention. However, the invention is not limited to the embodiment of the invention, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. It can be changed.

PNL……液晶表示パネル、SUB1……第1基板、SUB2……第2基板
SL……シール材、DR……駆動回路、FPC……フレキシブルプリント基板
AR……表示領域、DL……ドレイン線、GL……ゲート線、CT……共通電極
TFT1,2……薄膜トランジスタ、CL……コモン線、GT……ゲート電極
DT……ドレイン電極、AS……半導体層、ST1,2……ソース電極
AS’……アモルファスシリコン、IN……下地膜、SLT……スリット
GI……絶縁膜(ゲート絶縁膜)、PAS……保護膜
CNN,CNN1,CNN2……接続部、PX,PX1,PX2……画素電極
PNL: Liquid crystal display panel, SUB1: First substrate, SUB2: Second substrate SL: Seal material, DR: Drive circuit, FPC: Flexible printed circuit board AR: Display area, DL: Drain line, GL: Gate line, CT: Common electrode TFT1, 2: Thin film transistor, CL: Common line, GT ... Gate electrode DT ... Drain electrode, AS ... Semiconductor layer, ST1, 2 ... Source electrode AS ' ...... Amorphous silicon, IN ... Base film, SLT ... Slit GI ... Insulating film (gate insulating film), PAS ... Protective film CNN, CNN1, CNN2 ... Connection, PX, PX1, PX2 ... Pixel electrode

Claims (5)

X方向に延在しY方向に並設されるドレイン線と、Y方向に延在しX方向に並設されるゲート線と、前記ドレイン線と前記ゲート線とに囲まれる画素の領域毎に形成される画素電極と、前記画素の領域毎に形成され、前記ゲート線からの走査信号に応じて前記ドレイン線からの映像信号を前記画素電極に供給する薄膜トランジスタとを備える表示装置であって、
前記薄膜トランジスタは、対角位置に形成される第1の角部及び第2の角部と、前記第1の角部が形成される第1の辺と前記第2の角部が形成される第2の辺とを共有する第3の角部とを有し、ゲート絶縁膜を介して前記ゲート線に接続されるゲート電極と重畳して形成される半導体層と、
前記ドレイン線からその一部が延在して形成され、前記半導体層の前記第3の角部と重畳されるドレイン電極と、
一端が前記半導体層の前記第1の角部に重畳して形成され、他端が前記画素電極と接続される第1のソース電極と、
一端が前記半導体層の前記第2の角部と重畳して形成され、他端が前記画素電極と接続される第2のソース電極と、を備え
前記第1及び第2のソース電極は一端側に2つ以上の角部を有し、前記第1及び第2のソース電極のそれぞれの1つの角部のみが前記半導体層の第1及び第2の角部と重畳されることを特徴とする表示装置。
A drain line extending in the X direction and juxtaposed in the Y direction, a gate line extending in the Y direction and juxtaposed in the X direction, and a pixel region surrounded by the drain line and the gate line A display device comprising: a pixel electrode to be formed; and a thin film transistor that is formed for each pixel region and supplies a video signal from the drain line to the pixel electrode in response to a scanning signal from the gate line,
The thin film transistor includes a first corner and a second corner formed at diagonal positions, a first side where the first corner is formed, and a first corner formed with the second corner. A semiconductor layer having a third corner portion sharing the two sides, and overlapping with a gate electrode connected to the gate line through a gate insulating film;
A drain electrode formed partially extending from the drain line and overlapping the third corner of the semiconductor layer;
A first source electrode having one end overlapped with the first corner of the semiconductor layer and the other end connected to the pixel electrode;
A second source electrode having one end overlapped with the second corner of the semiconductor layer and the other end connected to the pixel electrode ;
The first and second source electrodes have two or more corners on one end side, and only one corner of each of the first and second source electrodes is the first and second corners of the semiconductor layer. display device is corner between superimposed characterized Rukoto.
前記第1及び第2のソース電極は、前記半導体層と重畳される一端側が前記ゲート電極と重畳されると共に、前記ゲート電極と重畳される領域における電極幅が同じ電極幅で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の表示装置。 The first and second source electrodes are formed so that one end side overlapping with the semiconductor layer overlaps with the gate electrode, and the electrode width in the region overlapping with the gate electrode is the same electrode width . The display device according to claim 1. 前記第1のソース電極の他端と前記第2のソース電極の他端は、当該第1及び第2のソース電極と同層に形成される導電性薄膜で電気的に接続されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の表示装置。 The other end of the first source electrode and the other end of the second source electrode are electrically connected by a conductive thin film formed in the same layer as the first and second source electrodes. The display device according to claim 1, wherein the display device is a display device. 前記画素電極は、前記第1のソース電極と電気的に接続される第1の画素電極と、前記第2のソース電極と電気的に接続される第2の画素電極とからなることを特徴とする請求項1又は2に記載の表示装置。 The pixel electrode, wherein a first pixel electrode connected the first source electrode and electrically, the Rukoto such from said second source electrode electrically connected to the Ru second pixel electrode The display device according to claim 1 or 2 . 前記第1のソース電極は、一端側が前記半導体層と重畳され、前記ゲート線方向に伸延する第1の延在部と、前記第1の延在部の他端側から前記ドレイン線方向に伸延し、他端側が前記画素電極に接続される第2の延在部からなり
前記第2のソース電極は、一端側が前記半導体層と重畳され、前記ゲート線方向に延在し他端側が前記画素電極に接続されることを特徴とする請求項1乃至の内の何れかに記載の表示装置。
One end of the first source electrode is overlapped with the semiconductor layer, extends in the gate line direction, and extends in the drain line direction from the other end of the first extension part. And the other end side comprises a second extending portion connected to the pixel electrode ,
The second source electrode, one end of which overlaps the semiconductor layer, any of the other end extending to the gate line direction of claims 1 to 4, characterized in Rukoto connected to the pixel electrode The display device described in 1.
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