JP2007036080A - レーザアニール装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明のレーザアニール装置は、半導体膜が形成された基板を載置するステージと、直線偏光のレーザビームを出力するレーザビーム出力系と、対向する1対の反射面を有し、この反射面が、上記直線偏光の偏光方向に平行又は垂直に配置された導波路を備え、入射される前記レーザビームの光軸に直交する一方向のレーザビーム強度を強度均一の台形分布に変換するビーム均一光学系と、均一化したレーザビームを転写する転写光学系と、転写したレーザビームを上記ステージに載置された基板の半導体膜に線状に集光する集光光学系と、上記導波路と上記基板との間に配置され、レーザビームの偏光方向を制御する第1の偏光素子とを備えている。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1のレーザアニ−ル装置の構成の概略を示す図である。図1において、基板9上には、レーザアニ−ル装置100でアニ−リング処理を施す被処理物として、半導体膜が形成されている。レーザアニ−ル装置100は、線形のレーザビームを成形して半導体膜に照射し、アニ−リング処理を施す。以下の説明においては、半導体膜が非晶質シリコン膜若しくは多結晶シリコン膜である場合について説明する。
強度均一化光学系5は、導波路55を備えており、さらに、導波路55の後方(入射側)には、拡大レンズ51と、Y軸方向用のY軸コリメートレンズ52及びX軸方向用のX軸コリメートレンズ53と、Y軸集光レンズ54と、を備えている。拡大レンズ51は、レーザ発振器2からのレーザビーム1を発散して拡大する。Y軸コリメートレンズ52及びX軸コリメートレンズ53は、拡大レンズ51で発散したビームを平行光にする。Y軸集光レンズ54は、Y軸及びX軸コリメートレンズ52、53からの平行ビームをビームのY軸方向の幅を集光して、導波路に入射できるようにする。
さらに、レーザアニール装置100は、強度均一化光学系5と転写光学系7の間には、光の偏光方向を変える第1偏光素子6を含んでいる。
また、多結晶化シリコン膜にレーザビームを照射することによりシリコン結晶を大粒径化することができ、さらに微結晶領域のシリコン結晶を再溶融することによりサイズのそろった均一な多結晶化シリコン膜を得ることができる。
また、広い面積の非晶質シリコン膜を複数回のレーザビームの掃引により多結晶シリコン膜に変換する手法では、2回目以降のレーザ照射は、照射済みの多結晶シリコン領域に隣接する未照射の非晶質領域の照射が行われるが、このとき、シリコン膜のビーム端領域(多結晶領域と非晶質領域との境界)では、非晶質領域が残存しないように、レーザビームの端部が多結晶領域の縁部に多少重なるように照射する方法、いわゆるつなぎ照射をすることが一般的である。上記のような波長域のレーザビームを使用した本発明の装置では、つなぎ照射においても、既に多結晶化したシリコン領域には実質的な変化を誘起することなく、非結晶シリコン領域のみをアニールして、良好な多結晶シリコンを得ることができる。
本発明の装置で製造した多結晶半導体膜は、結晶粒の寸法が等方的であるので、いずれの方向においても電子移動度が等しく、その結果、この半導体膜をトランジスタに使用することにより、チャネルの方向によるトランジスタ特性の差が生じることがなく、自由な回路設計を行うことができる。
図4及び図5に、レーザアニール装置100の光学系を示す。光学系は、主に強度均一化光学系5と転写光学系7と集光光学系8とから構成されている。
強度均一化光学系5は、導波路55を備えており、さらに、導波路55の後方(入射側)には、Y軸ビーム拡大レンズ51aと、Y軸方向用のY軸コリメートレンズ52と、Y軸集光レンズ54と、を備えている。Y軸ビーム拡大レンズ51aは、レーザ発振器2からのレーザビーム1をY軸方向に発散して拡大する。Y軸コリメートレンズ52は、Y軸ビーム拡大レンズ51aで発散したビームを平行にする。Y軸集光レンズ54は、Y軸及びX軸コリメートレンズ52、53からの平行ビームをビームのY軸方向の幅を集光して、導波路に入射できるようにする。
さらに、レーザアニール装置100は、強度均一化光学系5と転写光学系7との間には、光の偏光方向を変える第1偏光素子6を含んでいる。
X軸コリメートレンズ53で平行光化されたレーザビーム1は、X軸集光レンズ57によりX軸方向の幅が集束されて、ステージ10に集光する。集光したレーザビーム1のX軸方向の強度分布は、ガウス分布に近い形状を維持している。
第1偏光素子6の配置位置は、図5に示す位置以外にも、導波路と上記基板との間で且つビームサイズが小さい位置という条件を満たすことが好ましい。すなわち、第1偏光素子6の配置位置は、図6に示すY軸方向からのビームプロファイルにおいて、転写光学系7の第1レンズに入射する転写方向のビームサイズWyと転写光学系7から出射する転写方向のビームサイズWy’とが同等の大きさになる範囲R内に設定することが望ましい。これにより、第1偏光素子6に、規格品で購入可能な偏光素子(例えば偏光素子サイズφ50.8以下)を用いることができる。
図7に示したレーザアニーリング装置は、実施形態1又は2と同様に配置された強度均一化光学系5、転写光学系7、集光光学系8、及び第1偏光素子6に加えて、別の第2偏光素子13を備えている。第2偏光素子13は、レーザ発振器2とビーム形成光学系5との間に配置されており、円偏光(楕円偏光も含む)のレーザビーム1を、平行又は垂直方向の直線偏光に変換するものである。このとき、第2偏光素子としては、λ/4波長板が適している。これにより、レーザ発振器2と第2偏光素子とから構成されるビーム出力系は、実施形態1と同様のレーザビームを形成することができる。偏光方向を調整する第2偏光素子13によって、レーザビーム1の偏光方向を、導波路55内の反射面551に対して平行又は垂直に調節できる。第2偏光素子13を備えることにより、導波路55での偏光方向の位相シフトを抑制することができる。
図8に示したレーザアニーリング装置は、実施形態3と同様に配置された強度均一化光学系5、転写光学系7、集光光学系8、第1偏光素子6、第2偏光素子13、及び第3偏光素子14を備えている。第2及び第3偏光素子13、14は、レーザ発振器2とビーム形成光学系5との間に配置されており、円偏光(楕円偏光も含む)のレーザビーム1を、平行又は垂直方向の直線偏光に変換し、且つその偏光方向を変更するものである。本実施形態のように、レーザビーム出力系を、円偏光のレーザビームを出力するレーザ発振器2と、該円偏光を直線偏光に変換する第2の偏光素子13とを組み合わせて構成することにより、直線偏光のレーザビームを発振するレーザ出力系にすることもでき、レーザ発振器の選択肢を広げることができるので好ましい。
1 レーザビーム
2 レーザ発振器
3 入射光の偏光状態
4 出射光の偏光状態
5 ビーム均一化光学系
6 第1偏光素子
7 転写光学系
8 集光光学系
9 基板
10 掃引ステージ
11 Y方向のビーム強度形状
12 X方向のビーム強度形状
13 第2偏光素子
14 第3偏光素子。
55 導波路
551 導波路反射面
Claims (7)
- 半導体膜が形成された基板を載置するステージと、
直線偏光のレーザビームを出力するレーザビーム出力系と、
対向する1対の反射面を有し、この反射面が、上記直線偏光の偏光方向に平行又は垂直に配置された導波路を備え、入射される前記レーザビームの光軸に直交する一方向のレーザビーム強度を強度均一の台形分布に変換するビーム均一光学系と、
均一化したレーザビームを転写する転写光学系と、
転写したレーザビームを上記ステージに載置された基板の半導体膜に線状に集光する集光光学系と、
上記導波路と上記基板との間に配置され、レーザビームの偏光方向を制御する第1の偏光素子と、
を備えるレーザアニ−ル装置。 - 上記レーザビーム出力系が、直線偏光のレーザビームを出力するレーザ発振器である請求項1に記載のレーザアニール装置。
- 上記レーザビーム出力系が、円偏光のレーザビームを出力するレーザ発振器と、該円偏光を直線偏光に変換する第2の偏光素子とを備える請求項1に記載のレーザアニール装置。
- 上記直線偏光の偏光方向を調整する第3の偏光素子を備える請求項2又は3に記載のレーザアニ−ル装置。
- 第1乃至第3の偏光素子が、λ/4波長板又はλ/2波長板である請求項1乃至4のいずれかに記載のレーザアニール装置。
- 上記半導体膜が非晶質若しくは多結晶シリコン膜であり、レーザビームの波長が390〜640nmである請求項1乃至5のいずれかに記載のレーザアニール装置。
- 上記第1偏光素子が、転写光学系に入射する転写方向のビームサイズと転写光学系から出射する転写方向のビームサイズとが同等の大きさになる範囲に配置される請求項1乃至6のいずれかに記載のレーザアニ−ル装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007036080A true JP2007036080A (ja) | 2007-02-08 |
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JP2005220075A Pending JP2007036080A (ja) | 2005-07-29 | 2005-07-29 | レーザアニール装置 |
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