JP2007035784A - 分布帰還型半導体レーザ - Google Patents
分布帰還型半導体レーザ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007035784A JP2007035784A JP2005214469A JP2005214469A JP2007035784A JP 2007035784 A JP2007035784 A JP 2007035784A JP 2005214469 A JP2005214469 A JP 2005214469A JP 2005214469 A JP2005214469 A JP 2005214469A JP 2007035784 A JP2007035784 A JP 2007035784A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- semiconductor
- inp
- diffraction grating
- cladding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/12—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S2304/00—Special growth methods for semiconductor lasers
- H01S2304/04—MOCVD or MOVPE
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/12—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers
- H01S5/1231—Grating growth or overgrowth details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/2004—Confining in the direction perpendicular to the layer structure
- H01S5/2009—Confining in the direction perpendicular to the layer structure by using electron barrier layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/22—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure
- H01S5/227—Buried mesa structure ; Striped active layer
- H01S5/2275—Buried mesa structure ; Striped active layer mesa created by etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/32—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures
- H01S5/323—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser
- H01S5/3235—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser emitting light at a wavelength longer than 1000 nm, e.g. InP-based 1300 nm and 1500 nm lasers
- H01S5/32391—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser emitting light at a wavelength longer than 1000 nm, e.g. InP-based 1300 nm and 1500 nm lasers based on In(Ga)(As)P
Abstract
【解決手段】 本発明の分布帰還型半導体レーザは、第1クラッド層と、第1クラッド層の上に設けられた第1光閉じ込め層と、第1光閉じ込め層の上に設けられた活性層と、活性層の上に設けられ、AlGaInAs半導体からなる第2光閉じ込め層と、第2光閉じ込め層の上に成長されたInP半導体層と、InP半導体層の上に成長されたInGsAsP半導体層と、InGsAsP半導体層の上に設けられ、InP半導体からなる第2クラッド層とを備える。回折格子は、InGsAsP半導体層と第2クラッド層とによって構成される。
【選択図】 図1
Description
K.Nakahara, et al., 「1.3-umInGaAlAs directly modulated MQW RWG DFB lasers operating over 10 Gb/s and 100℃」, Central Research Laboratory Hitachi Ltd., OFC2004, ThD1
まず、n型InP基板52上に半導体層の積層構造を形成する。図3(a)に示すように、n型InP基板52上に、n型InP第1クラッド層54、AlGaInAs第1光閉じ込め層56、AlGaInAs活性層58、AlGaInAs第2光閉じ込め層60、AlInAsキャリアストップ層61、InP半導体層62、p型InGaAsP半導体層(回折格子形成層)64、及び、p型InP第2クラッド層66を順次に形成する。これらの半導体層は、例えば有機金属気相エピタキシ法(Organometallic Vapor Phase Epitaxy:OMVPE)を用いて成長される。
次いで、第2クラッド層66上にエッチングマスク層を形成する。図3(a)に示すように、エッチングマスク層80は、第2クラッド層66上にマスク層を堆積し、このマスク層をフォトリソグラフィ技術によって所定形状にエッチングすることによって形成される。マスク層80は、XY面に直交するZ方向に延びる短冊形に形成される。例示すれば、マスク層の材料には、二酸化シリコン(SiO2 )または窒化シリコン(SiN)等が用いられる。
次いで、図3(b)に示すように、第1クラッド層54、第1光閉じ込め層56、活性層58、第2光閉じ込め層60、キャリアストップ層61、InP半導体層62、回折格子形成層64、及び、第2クラッド層66をエッチングすることによって、第1クラッド層54a、第1光閉じ込め層56a、活性層58a、第2光閉じ込め層60a、キャリアストップ層61a、InP半導体層62a、回折格子形成層64a、及び、第2クラッド層66aで構成されるメサに形成する。
次いで、マスク材を除去することなく、第1クラッド層54a上にp型InP電流ブロック層70とn型InP電流ブロック層71とを順次に形成して、第1光閉じ込め層56a、活性層58a、第2光閉じ込め層60a、キャリアストップ層61a、InP半導体層62a、回折格子形成層64a、及び、第2クラッド層66aから成るメサを埋め込む。図4(a)に示すように、これらの電流ブロック層70、71は、マスク層80上には堆積されず、形成されたメサ面上のみに選択的に成長する。したがって、エッチングで残されたメサは埋め込まれて、平坦化される。
次いで、マスク材を除去した後に、第2クラッド層66a上に半導体層の積層構造を形成する。図4(b)に示すように、第2クラッド層66a及び電流ブロック層70、71上に、p型InP第2クラッド層67及びコンタクト層68を順次に形成する。これらの半導体層は、例えばOMVPEを用いて成長される。
Claims (4)
- 分布帰還型半導体レーザであって、
第1クラッド層と、
前記第1クラッド層の上に設けられた第1光閉じ込め層と、
前記第1光閉じ込め層の上に設けられた活性層と、
前記活性層の上に設けられ、AlGaInAs半導体からなる第2光閉じ込め層と、
前記第2光閉じ込め層の上に成長されたInP半導体層と、
前記InP半導体層の上に成長されたInGsAsP半導体層と、
前記InGsAsP半導体層の上に設けられ、InP半導体からなる第2クラッド層と、
を備え、
回折格子が、前記InGsAsP半導体層と第2クラッド層とによって構成される、
分布帰還型半導体レーザ。 - 前記第2光閉じ込め層と前記InP半導体層との間に設けられ、AlInAs半導体からなるキャリアストップ層を更に備え、
前記第1クラッド層がn型InP半導体からなり、
前記第2クラッド層がp型InP半導体からなる、
請求項1に記載の分布帰還型半導体レーザ。 - 前記第1クラッド層と前記第1光閉じ込め層との間に設けられ、AlInAs半導体からなるキャリアストップ層を更に備え、
前記第1クラッド層がp型InP半導体からなり、
前記第2クラッド層がn型InP半導体からなる、
請求項1に記載の分布帰還型半導体レーザ。 - 前記InP半導体層の厚みが、10nm以下である、
請求項1〜3のいずれかに記載の分布帰還型半導体レーザ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005214469A JP2007035784A (ja) | 2005-07-25 | 2005-07-25 | 分布帰還型半導体レーザ |
US11/491,543 US7474683B2 (en) | 2005-07-25 | 2006-07-24 | Distributed feedback semiconductor laser |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005214469A JP2007035784A (ja) | 2005-07-25 | 2005-07-25 | 分布帰還型半導体レーザ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007035784A true JP2007035784A (ja) | 2007-02-08 |
JP2007035784A5 JP2007035784A5 (ja) | 2008-09-11 |
Family
ID=37794694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005214469A Pending JP2007035784A (ja) | 2005-07-25 | 2005-07-25 | 分布帰還型半導体レーザ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7474683B2 (ja) |
JP (1) | JP2007035784A (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20070084973A (ko) * | 2006-02-22 | 2007-08-27 | 삼성전기주식회사 | 고출력 반도체 레이저소자 |
JP4843672B2 (ja) * | 2006-05-12 | 2011-12-21 | 富士通株式会社 | 半導体装置 |
US7848375B1 (en) * | 2007-05-30 | 2010-12-07 | Finisar Corporation | Ridge waveguide laser with flared facet |
US7763484B2 (en) * | 2007-06-13 | 2010-07-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method to form an optical grating and to form a distributed feedback laser diode with the optical grating |
DE602007003480D1 (de) * | 2007-10-11 | 2010-01-07 | Alcatel Lucent | Lasermodul und Verfahren zur Herstellung eines Lasermoduls |
JP6155770B2 (ja) * | 2013-03-29 | 2017-07-05 | 富士通株式会社 | 光素子及び光モジュール |
FR3026571B1 (fr) * | 2014-09-26 | 2016-12-02 | Thales Sa | Procede d'elaboration d'une structure resonante d'un laser a semi-conducteur a contre-reaction repartie |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003258376A (ja) * | 2002-03-05 | 2003-09-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レーザ装置の製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2833952B2 (ja) * | 1992-12-21 | 1998-12-09 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ |
JP3386261B2 (ja) * | 1994-12-05 | 2003-03-17 | 三菱電機株式会社 | 光半導体装置、及びその製造方法 |
JP4676068B2 (ja) * | 2001-02-02 | 2011-04-27 | 古河電気工業株式会社 | 半導体光素子の作製方法 |
JP3863454B2 (ja) * | 2002-04-23 | 2006-12-27 | 富士通株式会社 | 半導体レーザ装置 |
-
2005
- 2005-07-25 JP JP2005214469A patent/JP2007035784A/ja active Pending
-
2006
- 2006-07-24 US US11/491,543 patent/US7474683B2/en active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003258376A (ja) * | 2002-03-05 | 2003-09-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レーザ装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070183470A1 (en) | 2007-08-09 |
US7474683B2 (en) | 2009-01-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5872022A (en) | Method for etching a semiconductor method for fabricating semiconductor device method for fabricating semiconductor laser and semiconductor laser | |
US7941024B2 (en) | Buried heterostructure device having integrated waveguide grating fabricated by single step MOCVD | |
JP2007035784A (ja) | 分布帰還型半導体レーザ | |
US5260230A (en) | Method of manufacturing buried heterostructure semiconductor laser | |
JP2008227154A (ja) | 光半導体素子の製造方法 | |
JP3977920B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5093033B2 (ja) | 半導体レーザの製造方法、半導体レーザ、光ピックアップおよび光ディスク装置 | |
US6036771A (en) | Method of manufacturing optical semiconductor device | |
JP5169534B2 (ja) | 集積型光半導体装置の製造方法及び集積型光半導体装置 | |
US20020043209A1 (en) | Method of fabricating compound semiconductor device | |
US7816157B2 (en) | Method of producing semiconductor optical device | |
JP4325558B2 (ja) | 半導体レーザ、および半導体レーザを作製する方法 | |
JP4457578B2 (ja) | 半導体光素子を製造する方法、及び半導体光素子 | |
JPH077232A (ja) | 光半導体装置 | |
JPH09186391A (ja) | 化合物半導体装置及びその製造方法 | |
JP3911342B2 (ja) | 半導体レーザ装置の製造方法 | |
JP3602814B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2005217218A (ja) | 半導体基板の製造方法 | |
JP5076964B2 (ja) | 半導体レーザおよび半導体レーザを作製する方法 | |
JP3715638B2 (ja) | 半導体発光素子の製造方法 | |
JP2010287804A (ja) | 半導体光素子 | |
JP2001024278A (ja) | 半導体薄膜の成長方法、および半導体レーザ装置の製造方法 | |
JPH05315710A (ja) | 半導体レーザ装置及びその製造方法 | |
JPH09116236A (ja) | 半導体装置作製法 | |
JPH0521891A (ja) | 埋込み構造半導体レーザの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080724 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080724 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110104 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110426 |