JP2007035748A - 半導体素子搭載用の支持体および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、基材に、銀を含む第一の金属と、Ti、W、Mo、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Zn、Cuから選択された少なくとも一種の金属を含む第二の金属と、が順に積層された金属層を備えていることを特徴とする半導体素子搭載用の支持体である。また、本発明は、基材に、銀を含む金属を鍍金して第一の金属層を形成した後、第一の金属層の表面に、Ti、W、Mo、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Zn、Cuから選択された少なくとも一種の金属を含む金属をスパッタリングあるいは蒸着して第二の金属層を形成することを特徴とする半導体素子搭載用支持体の製造方法である。
【選択図】 図1
Description
(3)銀を含む金属層の表面のピンホールは、存在しない状態がより好ましいが、100μm2あたり、10個以下とすることにより、半導体装置の信頼性を十分に向上させることができる。なお、本形態のピンホールの数は、電子顕微鏡にて銀の表面を観察し、開口部の内径が0.5〜5μm程度のピンホールを数えたものである。ピンホールの数が少ない金属層とすることにより、ニッケル、タングステンなどの下層の金属あるいはそれらの金属の酸化物が金属層の表面へと拡散移動することが抑制され、銀の劣化や、ワイヤーボンディング不良をなくすることができる。なお、銀の層を鍍金するとき、開口部の内径が0.5μm以下のピンホールであっても、ピンホール内に鍍金液が残留し、熱の影響で鍍金表面に膨れや残留した鍍金液流出により変色の原因となるため、ピンホールは、できるだけ存在しないほうが好ましい。
本形態の基材とは、半導体素子を搭載し、反射壁や導体配線としての金属層を配置することができる部材である。したがって、本形態の基材は、導電性を有する材料として、アルミ、鉄入り銅を主な材料とするリードフレームや、絶縁性部材とすることができる。
本形態における半導体素子は、発光素子、受光素子、およびそれらの半導体素子を過電圧による破壊から守る保護素子(例えば、ツェナーダイオードやコンデンサー)、あるいはそれらを組み合わせたものとすることができる。ここでは、半導体素子の一例として、発光素子(LEDチップ)について説明する。LEDチップを構成する半導体発光素子としては、ZnSeやGaNなど種々の半導体を使用したものを挙げることができるが、蛍光物質を有する発光装置とする場合には、その蛍光物質を効率良く励起できる短波長が発光可能な窒化物半導体(InXAlYGa1−X−YN、0≦X、0≦Y、X+Y≦1)が好適に挙げられる。半導体層の材料やその混晶度によって発光波長を種々選択することができる。例えば、光半導体素子は、可視光領域の光だけでなく、紫外線や赤外線を入出力する発光素子や受光素子とすることができる。
101、201・・・第一の金属
102、202・・・第二の金属
103・・・基材
104・・・発光素子
105・・・導電性部材
106・・・透光性部材
Claims (5)
- 基材に配置された銀を含む第一の金属の少なくとも一部に、Ti、W、Mo、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Zn、Cuから選択された少なくとも一種の金属を含む第二の金属が積層された金属層を備えていることを特徴とする半導体素子搭載用の支持体。
- 前記基材は、半導体素子を配置する凹部を有し、前記金属層は、前記凹部の底部と、内壁部と、に配されている請求項1に記載の支持体。
- 請求項1または2に記載の支持体と、その支持体に搭載された半導体素子と、その半導体素子を前記金属層に接続させる導電性部材と、を備え、
前記導電性部材は、銅、銀、金から選択された少なくとも一種を材料として含み、前記金属層から露出された第一の金属に配されている半導体装置。 - 請求項1または2に記載の支持体と、その支持体に搭載された半導体素子を被覆し前記第二の金属を介して前記支持体に配された透光性部材と、を備えた半導体装置。
- 基材に、銀を含む金属を鍍金して第一の金属層を形成した後、前記第一の金属層の表面に、Ti、W、Mo、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Zn、Cuから選択された少なくとも一種の金属を含む金属をスパッタリングあるいは蒸着して第二の金属層を形成することを特徴とする半導体素子搭載用支持体の製造方法。
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2005
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