JP2007034207A - マスク作成方法及びマスクパターン設計装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 マスク上の所定の設計パターンを被露光体に露光するために使用される前記マスクの作成方法であって、前記マスクに配置される第1のパターンと第2のパターンとをそれぞれ被露光体に転写する場合のプロセス裕度を算出する算出ステップと、前記プロセス裕度が基準値を満たすか否かを判断する判断ステップと、前記基準値を満たさない場合に、前記基準値を満たすように前記第1及び第2のパターンの少なくとも一方の位置を移動させて補正する補正ステップと、前記第1及び第2のパターンとの間に、前記第1及び第2のパターンよりも小さい第3のパターンを挿入する挿入ステップとを有することを特徴とするマスク作成方法を提供する。
【選択図】 図1
Description
100 マスクパターン設計装置
110 データ記憶部
120 プログラム記憶部
130 処理制御部
140 入出力制御部
150 入力装置
160 出力装置
500 露光装置
510 照明装置
525 マスクステージ
530 投影光学系
540 被露光体
545 ウェハステージ
550 アライメント検出機構
560 フォーカス位置検出機構
Claims (10)
- マスク上の所定の設計パターンを被露光体に露光するために使用される前記マスクの作成方法であって、
前記マスクに配置される第1のパターンと第2のパターンとをそれぞれ被露光体に転写する場合のプロセス裕度を算出する算出ステップと、
前記プロセス裕度が基準値を満たすか否かを判断する判断ステップと、
前記基準値を満たさない場合に、前記基準値を満たすように前記第1及び第2のパターンの少なくとも一方の位置を移動させて補正する補正ステップと、
前記第1及び第2のパターンの周囲に、前記第1及び第2のパターンよりも小さい第3のパターンを挿入する挿入ステップとを有することを特徴とするマスク作成方法。 - 前記基準値は、露光量及び/又は焦点深度の変化に対するプロセス裕度であることを特徴とする請求項1記載のマスク作成方法。
- 前記第1及び第2のパターンは、コンタクトホールパターンであることを特徴とする請求項1記載のマスク作成方法。
- 前記第3のパターンは、補助パターンであることを特徴とする請求項1記載のマスク作成方法。
- 前記挿入ステップ後に前記第1及び第2のパターンに対して近接効果補正を施すことを特徴とする請求項1記載のマスク作成方法。
- 請求項1乃至5のいずれか一項記載のマスク作成方法を格納する記憶装置と、
前記マスク作成方法に基づいてマスクパターンの補正を行う補正部とを有することを特徴とするマスクパターン設計装置。 - 請求項1乃至5のいずれか一項記載のマスク作成方法により作成されたマスクを用いて被露光体にマスクパターンを露光する露光方法であって、
前記マスクがバイナリマスクもしくはハーフトーンマスクである場合、中心部が輪郭部よりも暗い光で露光することを特徴とする露光方法。 - 請求項1乃至5のいずれか一項記載のマスク作成方法により作成されたマスクを用いて被露光体にマスクパターンを露光する露光方法であって、
前記マスクが位相シフトマスクである場合、中心部が輪郭部よりも明るい光で露光することを特徴とする露光方法。 - 請求項7又は8記載の露光方法を行うことができる露光モードを有することを特徴とする露光装置。
- 請求項9記載の露光装置を用いて被露光体を露光するステップと、
当該露光された被露光体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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