JP2007034139A - 光学素子およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 反射防止膜等の光学膜にクラックや剥離等の製造不良が生じることを有効に抑制することができ、ひいては、光学性能、外観品位および歩留まりを向上させることができる光学素子およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 光学素子本体２と、位相差フィルム１０と、この位相差フィルム１０の少なくとも一方の表面に形成された反射防止膜１１、１２とを備えた光学素子１であって、反射防止膜１１、１２が、位相差フィルム１０の少なくとも一方の表面における端部よりも内側の領域に形成されていること。
【選択図】 図１

Description

本発明は、光学素子およびその製造方法に係り、特に、反射防止膜が形成された位相差フィルム等の光学膜が形成された光学フィルムを備えた光学素子を製造するのに好適な光学素子およびその製造方法に関する。

従来から、光ピックアップ装置としては、光源、光学的情報記録媒体および光検出器を結ぶ光路上に、１／２波長板や１／４波長板等の位相差板を配置したものが採用されていた。

このような光ピックアップ装置に搭載される位相差板は、光源から出射された光や、光源から出射された後に光学的情報記録媒体によって反射された光に対して、直線偏光の偏光方向の変換や、直線偏光から円偏光への変換またはその逆の変換等を行うために用いられている。

この種の位相差板は、従来は、水晶基板を用いたものが主流であったが、近年においては、より安価に位相差板を製造する観点から、ガラス等の透明な母材に位相差フィルムを貼り合わせることによって、位相差板を製造することが行われるようになった（例えば、特許文献１参照）。

さらに、最近では、光ピックアップ装置の小型化等の観点から、回折格子等の光学素子本体に位相差フィルムを貼り付けた光学素子が提案されている。

このような光学素子には、位相差フィルムの厚み方向の少なくとも一方の表面に、反射防止膜を形成したものがある。

従来、このような反射防止膜が形成された位相差フィルムを得るには、大判の位相差フィルム（以下、マザーフィルムと称する）の表面全体に、反射防止膜を蒸着等の方法によって全面的に形成し、その後、マザーフィルムから、パンチ加工等によって反射防止膜が形成された個々の位相差フィルムを切り抜くようになっていた。

特開２００２−２９６４１８号公報

しかしながら、従来は、反射防止膜を、位相差フィルムのマザーフィルムの表面に全面的に形成していたため、反射防止膜が形成されたマザーフィルムから個々の位相差フィルムを切り抜く際に、反射防止膜に対してもマザーフィルム切断時の応力が大きく作用することによって、反射防止膜にクラックや剥離等の製造不良が発生するといった問題が生じていた。

このような製造不良は、収差の悪化や波面の乱れ、あるいは、透過率の低下等の光学性能の悪化を招くだけでなく、外観をも悪くすることになるため、このような製造不良の問題を有効に解決することが求められていた。

そこで、本発明は、このような問題に鑑みなされたものであり、反射防止膜等の光学膜にクラックや剥離等の製造不良が生じることを有効に抑制することができ、ひいては、光学性能、外観品位および歩留まりを向上させることができる光学素子およびその製造方法を提供することを目的とするものである。

前述した目的を達成するため、本発明の請求項１に係る光学素子の特徴は、光学機能面が形成された光学機能部を有する光学素子本体と、この光学素子本体に、前記光学機能部に対向するように固設された位相差フィルムと、この位相差フィルムの少なくとも一方の表面に形成された反射防止膜とを備えた光学素子であって、前記反射防止膜が、前記位相差フィルムの前記少なくとも一方の表面における端部よりも内側の領域に形成されている点にある。

そして、この請求項１に係る発明によれば、反射防止膜を、この反射防止膜が形成された位相差フィルムを切断加工によって製造する際に反射防止膜に作用する切断の応力を軽減させるために好適な領域に形成することが可能となる。

また、請求項２に係る光学素子の特徴は、請求項１において、前記反射防止膜が、前記光学機能面の光学有効領域を前記位相差フィルムの前記反射防止膜が形成された表面上に投影させた仮想投影面を少なくとも包含する範囲にわたって形成されている点にある。

そして、この請求項２に係る発明によれば、更に、反射防止膜を、この反射防止膜が少なくとも光学機能面の光学有効領域に対して適正に機能し得るような範囲にわたって形成することが可能となる。

さらに、請求項３に係る光学素子の特徴は、請求項１または２において、前記位相差フィルムが、平面矩形状に形成されている点にある。

そして、この請求項３に係る発明によれば、更に、位相差フィルムの形状を、この位相差フィルムを光学素子本体に貼り付ける際の位置合わせを簡便かつ高精度に行うことができる形状にすることが可能となる。

さらにまた、請求項４に係る光学素子の特徴は、請求項１〜３のいずれか１項において、前記反射防止膜が、前記位相差フィルムの双方の表面に形成されている点にある。

そして、この請求項４に係る発明によれば、更に、反射防止膜を位相差フィルムの双方の表面に形成する場合においても、各反射防止膜を、各反射防止膜が形成された位相差フィルムを切断加工によって製造する際に、各反射防止膜に作用する切断の応力を軽減させるために好適な領域に形成することが可能となる。

また、請求項５に係る光学素子の特徴は、請求項１〜４のいずれか１項において、前記光学素子本体が、前記光学機能面としての格子面を有する回折格子とされている点にある。

そして、この請求項５に係る発明によれば、反射防止膜が形成された位相差フィルムを切断加工によって製造する際に反射防止膜に作用する切断の応力を軽減させるために好適な領域に反射防止膜が形成された位相差フィルムを、回折格子に固設することが可能となる。

さらに、請求項６に係る光学素子の特徴は、光学機能面が形成された光学機能部を有する光学素子本体と、この光学素子本体に、前記光学機能部に対向するように固設された光学フィルムと、この光学フィルムの少なくとも一方の表面に形成された光学膜とを備えた光学素子であって、前記光学膜が、前記光学フィルムの前記少なくとも一方の表面における端部よりも内側の領域に形成されている点にある。

そして、この請求項６に係る発明によれば、光学膜を、この光学膜が形成された光学フィルムを切断加工によって製造する際に光学膜に作用する切断の応力を軽減させるために好適な領域に形成することが可能となる。

さらにまた、請求項７に係る光学素子の製造方法の特徴は、マザーフィルムの少なくとも一方の表面に反射防止膜を形成し、前記反射防止膜が形成されたマザーフィルムから、切断手段を用いることによって、少なくとも一方の表面に前記反射防止膜が形成された複数の位相差フィルムを切り抜き、前記位相差フィルムを、光学機能面が形成された光学機能部を有する光学素子本体に、前記光学機能部に対向するように貼り付けることによって光学素子を製造する光学素子の製造方法であって、前記反射防止膜を、前記マザーフィルムの少なくとも一方の表面に、所定の間隔を設けて複数に分割して形成し、前記複数に分割して形成された個々の反射防止膜のそれぞれの外縁よりも外側の位置を、前記切断手段による前記マザーフィルムの切断位置として、前記個々の反射防止膜がそれぞれ形成された前記複数の位相差フィルムを切り抜く点にある。

そして、この請求項７に係る発明によれば、マザーフィルムから反射防止膜が形成された複数の位相差フィルムを切り抜く際に、切断手段の応力が反射防止膜に直接的に作用することを回避することができるため、反射防止膜に作用するフィルム切断時の応力を軽減させることが可能となる。

また、請求項８に係る光学素子の製造方法の特徴は、請求項７において、前記反射防止膜を複数に分割して形成する際に、個々の反射防止膜を、前記個々の反射防止膜が形成された前記位相差フィルムを前記光学素子本体に貼り付けたと仮定した場合に、前記光学機能面の光学有効領域を前記位相差フィルムの前記個々の反射防止膜が形成された表面上に仮想的に投影させた仮想投影面を少なくとも包含するような範囲にわたって形成する点にある。

そして、この請求項８に係る発明によれば、更に、マザーフィルムの表面に反射防止膜を分割して形成する際に、個々の反射防止膜を、個々の反射防止膜が少なくとも光学機能面の光学有効領域に対して適正に機能し得るような範囲にわたって形成することが可能となる。

さらに、請求項９に係る光学素子の製造方法の特徴は、請求項７または８において、前記複数の位相差フィルムを、前記マザーフィルムから平面矩形状に切り抜く点にある。

そして、この請求項９に係る発明によれば、更に、マザーフィルムから切り抜かれる複数の位相差フィルムの形状を、これら複数の位相差フィルムを光学素子本体に貼り付ける際の位置合わせを簡便かつ高精度に行うことができる形状にすることが可能となる。

さらにまた、請求項１０に係る光学素子の製造方法の特徴は、請求項７〜９のいずれか１項において、前記マザーフィルムの双方の表面に、前記反射防止膜を複数に分割して形成する点にある。

そして、この請求項１０に係る発明によれば、更に、マザーフィルムの双方の表面に反射防止膜を形成する場合においても、反射防止膜が形成された複数の位相差フィルムをマザーフィルムから切り抜く際に、切断手段の応力が反射防止膜に直接的に作用することを回避することができ、反射防止膜に作用するフィルム切断時の応力を軽減させることが可能となる。

また、請求項１１に係る光学素子の製造方法の特徴は、請求項７〜１０のいずれか１項において、前記マザーフィルムの少なくとも一方の表面上に、複数の開孔を有するマスクを配置した状態で、前記マザーフィルムの少なくとも一方の表面に、前記複数の開孔を通して前記反射防止膜を蒸着させることにより、前記反射防止膜を複数に分割して形成する点にある。

そして、この請求項１１に係る発明によれば、更に、マスクを用いることによって、マザーフィルムの表面に、複数に分割された個々の反射防止膜を簡便かつ適切に形成することが可能となる。

さらに、請求項１２に係る光学素子の製造方法の特徴は、請求項７〜１１のいずれか１項において、前記光学素子本体として、格子面を有する回折格子を用いる点にある。

そして、この請求項１２に係る発明によれば、位相差フィルムを切り抜く際における反射防止膜に作用するフィルム切断時の応力が軽減された反射防止膜が形成された位相差フィルムを、回折格子に貼付けることが可能となる。

さらにまた、請求項１３に係る光学素子の製造方法の特徴は、マザーフィルムの少なくとも一方の表面に光学膜を形成し、前記光学膜が形成されたマザーフィルムから、切断手段を用いることによって、少なくとも一方の表面に光学膜が形成された複数の光学フィルムを切り抜き、前記光学フィルムを、光学機能面が形成された光学機能部を有する光学素子本体に、前記光学機能部に対向するように貼り付けることによって光学素子を製造する光学素子の製造方法であって、前記光学膜を、前記マザーフィルムの少なくとも一方の表面に、所定の間隔を設けて複数に分割して形成し、前記複数に分割して形成された個々の光学膜のそれぞれの外縁よりも外側の位置を、前記切断手段による前記マザーフィルムの切断位置として、前記個々の光学膜がそれぞれ形成された前記複数の光学フィルムを切り抜く点にある。

そして、この請求項１３に係る発明によれば、マザーフィルムから光学膜が形成された複数の光学フィルムを切り抜く際に、切断手段の応力が光学膜に直接的に作用することを回避することができるため、光学膜に作用するフィルム切断時の応力を軽減させることが可能となる。

本発明の請求項１に係る光学素子によれば、反射防止膜を、この反射防止膜が形成された位相差フィルムを切断加工によって製造する際に反射防止膜に作用する切断の応力を軽減させるために好適な領域に形成することができる結果、反射防止膜にクラックや剥離等の製造不良が生じることを有効に抑制することができ、ひいては、光学性能、外観品位および歩留まりを向上させることができる光学素子を実現することができる。

また、請求項２に係る光学素子によれば、更に、反射防止膜を、この反射防止膜が少なくとも光学機能面の光学有効領域に対して適正に機能し得るような範囲にわたって形成することができる結果、請求項１に係る光学素子の効果に加えて、さらに、光学性能をより向上させることができる光学素子を実現することができる。

さらに、請求項３に係る光学素子によれば、更に、位相差フィルムの形状を、この位相差フィルムを光学素子本体に貼り付ける際の位置合わせを簡便かつ高精度に行うことができる形状にすることができる結果、請求項１または２に係る光学素子の効果に加えて、さらに、光学性能および製造効率をさらに向上させることができる光学素子を実現することができる。

さらにまた、請求項４に係る光学素子によれば、更に、反射防止膜を位相差フィルムの双方の表面に形成する場合においても、各反射防止膜を、各反射防止膜が形成された位相差フィルムを切断加工によって製造する際に、各反射防止膜に作用する切断の応力を軽減させるために好適な領域に形成することができるため、請求項１〜３のいずれか１項に係る光学素子の効果に加えて、さらに、より多くの波長の光に対して優れた光学性能を発揮することができる光学素子を実現することができる。

また、請求項５に係る光学素子によれば、更に、反射防止膜が形成された位相差フィルムを切断加工によって製造する際に反射防止膜に作用する切断の応力を軽減させるために好適な領域に反射防止膜が形成された位相差フィルムを、回折格子に固設することができる結果、反射防止膜にクラックや剥離等の製造不良が生じることを有効に抑制することができ、光学性能、外観品位および歩留まりを向上させることができる回折光学素子を実現することができる。

さらに、請求項６に係る光学素子によれば、光学膜を、この光学膜が形成された光学フィルムを切断加工によって製造する際に光学膜に作用する切断の応力を軽減させるために好適な領域に形成することがきる結果、光学膜にクラックや剥離等の製造不良が生じることを有効に抑制することができ、ひいては、光学性能、外観品位および歩留まりを向上させることができる光学素子を実現することができる。

さらにまた、請求項７に係る光学素子の製造方法によれば、マザーフィルムから反射防止膜が形成された複数の位相差フィルムを切り抜く際に、切断手段の応力が反射防止膜に直接的に作用することを回避して、反射防止膜に作用するフィルム切断時の応力を軽減させることができる結果、反射防止膜にクラックや剥離等の製造不良が生じることを有効に抑制することができ、ひいては、光学素子の光学性能、外観品位および歩留まりを向上させることができる光学素子の製造方法を実現することができる。

また、請求項８に係る光学素子の製造方法によれば、更に、マザーフィルムの表面に反射防止膜を分割して形成する際に、個々の反射防止膜を、個々の反射防止膜が少なくとも光学機能面の光学有効領域に対して適正に機能し得るような範囲にわたって形成することができる結果、請求項７に係る光学素子の製造方法の効果に加えて、さらに、光学素子の光学性能をより向上させることができる光学素子の製造方法を実現することができる。

さらに、請求項９に係る光学素子の製造方法によれば、更に、マザーフィルムから切り抜かれる複数の位相差フィルムの形状を、これら複数の位相差フィルムを光学素子本体に貼り付ける際の位置合わせを簡便かつ高精度に行うことができる形状にすることができる結果、請求項７または８に係る光学素子の製造方法の効果に加えて、さらに、光学素子の光学性能および製造効率をさらに向上させることができる光学素子の製造方法を実現することができる。

さらにまた、請求項１０に係る光学素子の製造方法によれば、更に、マザーフィルムの双方の表面に反射防止膜を形成する場合においても、反射防止膜が形成された複数の位相差フィルムをマザーフィルムから切り抜く際に、反射防止膜に作用するフィルム切断時の応力を軽減させることができる結果、請求項７〜９のいずれか１項に係る光学素子の製造方法の効果に加えて、さらに、より多くの波長の光に対して優れた光学性能を発揮する光学素子を製造することができる光学素子の製造方法を実現することができる。

また、請求項１１に係る光学素子の製造方法によれば、更に、マスクを用いることによって、マザーフィルムの表面に、複数に分割された個々の反射防止膜を簡便かつ適切に形成することができる結果、請求項７〜１０に係る光学素子の製造方法の効果に加えて、さらに、光学素子の製造効率および光学性能をより向上させることができる光学素子の製造方法を実現することができる。

さらに、請求項１２に係る光学素子の製造方法によれば、位相差フィルムを切り抜く際に反射防止膜に作用する切断の応力が軽減された反射防止膜が形成された位相差フィルムを、回折格子に貼付けることができる結果、反射防止膜にクラックや剥離等の製造不良が生じることを有効に抑制することができ、回折光学素子の光学性能、外観品位および歩留まりを向上させることができる光学素子の製造方法を実現することができる。

さらにまた、請求項１３に係る光学素子の製造方法によれば、マザーフィルムから光学膜が形成された複数の光学フィルムを切り抜く際に、切断手段の応力が光学膜に直接的に作用することを回避して、光学膜に作用するフィルム切断時の応力を軽減させることができる結果、光学膜にクラックや剥離等の製造不良が生じることを有効に抑制することができ、ひいては、光学素子の光学性能、外観品位および歩留まりを向上させることができる光学素子の製造方法を実現することができる。

以下、本発明に係る光学素子の実施形態について、図１〜図３を参照して説明する。

図１は、本実施形態における光学素子の縦断面図を示したものである。また、図２は、図１の平面図を、図３は、図１の下面図をそれぞれ示したものである。

図１〜図３に示すように、本実施形態における光学素子１は、光学素子本体としての回折格子２を有しており、この回折格子２は、所定の厚みを有する光学機能部３と、この光学機能部３の外側に配設されたバレル５とを有している。

この回折格子２は、樹脂材料の射出成形によって一体成形されたものである。

光学機能部３の図１における上面には、光学機能面として、複数の格子溝６（図２参照）が整列された格子面７が形成されている。

一方、光学機能部３の図１における下面には、平坦な光学面８が形成されている。

バレル５の図１における下面には、所定の厚みを有する位相差フィルム１０が、光学機能部３に対して平行になるように固設されており、この位相差フィルム１０は、光学機能部３に対して厚み方向（図１中で上下方向）に所定の間隔を有した状態で対向している。

位相差フィルム１０は、例えば、紫外線硬化接着剤等の接着手段によって、バレル５に貼り付ける（固設する）ことができる。

また、位相差フィルム１０は、例えば、オレフィン系樹脂を延伸させることによって形成することができる。

位相差フィルム１０の厚み方向の双方の表面、すなわち、位相差フィルムの図１における上面および下面の双方には、互いに異なる波長の光に対して所望の反射防止機能を発揮する第１反射防止膜１１および第２反射防止膜１２がそれぞれ形成されている。

第１反射防止膜１１および第２反射防止膜１２は、例えば、ＳｉＯ_２の薄膜と、ＴｉＯ_２の薄膜とを厚み方向に交互に積層させることによって形成してもよい。この場合、第１反射防止膜１１と第２反射防止膜１２とは、例えば、薄膜の層数を互いに異ならせることによって、互いに異なる波長の光に対応した反射防止機能を備えることができる。

そして、図３に示すように、本実施形態においては、第１反射防止膜１１および第２反射防止膜１２が、位相差フィルム１０の厚み方向の表面における端部（換言すれば外周端）よりも内側の領域に形成されている。

このような第１反射防止膜１１および第２反射防止膜１２は、各反射防止膜１１、１２が形成された位相差フィルム１０を切断加工（パンチ加工等）によって製造する際に、各反射防止膜１１、１２に作用する切断の応力を軽減させるために好適な領域に形成されたものとなっている。

さらに、図３に示すように、本実施形態においては、第１反射防止膜１１および第２反射防止膜１２が、図３において円形の一点鎖線で示す格子面７の光学有効領域（有効径）１４よりも広い範囲にわたって形成されている。

換言すれば、第１反射防止膜１１および第２反射防止膜１２は、光学有効領域１４を、反射防止膜１１、１２が形成された位相差フィルム１０の表面上に厚み方向に仮想的に投影させた仮想投影面を包含する範囲にわたって形成されている。

これにより、第１反射防止膜１１および第２反射防止膜１２が、光学有効領域１４を通る光に対して反射防止機能を適正に発揮することが可能となる。

さらに、図３に示すように、本実施形態においては、位相差フィルム１０が、この位相差フィルム１０の遅延軸（図示せず）に平行な端辺を有する平面四角形状に形成されている。

このような位相差フィルムの形状により、本実施形態における光学素子１は、位相差フィルム１０を回折格子２に貼り付ける際の位置合わせが簡便かつ高精度になされたものとなっている。

次に、本発明に係る光学素子の製造方法の実施形態について、図４〜図９を参照して説明する。

本実施形態においては、まず、図４に示すように、所定の厚みを有する位相差フィルム１０のマザーフィルム１５とマスク１６とを用意する。

図４に示すように、マスク１６には、図４における縦方向および横方向に所定の間隔を設けるようにして、平面四角形状の複数の開孔１８が穿設されている。また、マスク１６には、マスク１６の端部が四角形状に切り欠かれていることによって、マザーフィルム１５の遅延軸方向を識別するための遅延軸方向識別マーク１９が形成されている。

次いで、図５に示すように、マザーフィルム１５の厚み方向の一方の表面上に、遅延軸方向識別マーク１９を用いて位置合わせを行いながらマスク１６を配置した後、マザーフィルム１５の表面に、マスク１６の開孔１８を通して反射防止膜の成膜材料を蒸着させる。

これにより、図６に示すように、マザーフィルム１５の表面上には、反射防止膜が、平面四角形状の複数（開孔１８と同数）の第１反射防止膜１１として、複数に分割して形成される。

なお、図６に示すように、複数の第１反射防止膜１１は、図６における縦方向および横方向に所定の間隔を有している。

同様に、マザーフィルム１５の図４の裏側の表面（他方の表面）上にマスク１６を配置して反射防止膜の成膜材料を蒸着させることによって、マザーフィルム１５の裏側の表面上に、反射防止膜を複数の第２反射防止膜１２に分割して形成する。

このとき、マザーフィルム１５を介して個々の第１反射防止膜１１の位置と個々の第２反射防止膜１２の位置とが互いに合致されるように、マスク１６の配置位置を調整する。

また、このとき、第１反射防止膜１１および第２反射防止膜１２は、これら反射防止膜１１、１２が形成された位相差フィルム１０を回折格子２に貼り付けたと仮定した場合に、回折格子２の光学有効領域１４を、位相差フィルム１０の反射防止膜１１、１２が形成された表面上に厚み方向に仮想的に投影させた仮想投影面よりも広い範囲にわたるように形成する。このことは、マスク１６の開孔１８の大きさを予め調整することによって簡便に実現することができる。

次いで、切断手段としての例えばパンチ加工機を用いることによって、複数の第１反射防止膜１１および複数の第２反射防止膜１２がそれぞれ形成されたマザーフィルム１５から、個々の位相差フィルム１０を切り抜く。

その際に、図７に示すように、個々の第１反射防止膜１１の外縁および個々の第２反射防止膜１２の外縁よりも外側の位置（図７における破線部）を、パンチ加工機によるマザーフィルム１５の切断位置として、個々の反射防止膜１１、１２がそれぞれ形成された複数の位相差フィルム１０を平面四角形状に切り抜く。

このとき、マザーフィルム１５の切断位置が、個々の第１反射防止膜１１の外縁および個々の第２反射防止膜１２の外縁よりも外側の位置にあることにより、パンチ加工機の刃が第１反射防止膜１１および第２反射防止膜１２に直接的に接触することを確実に回避することができる。

これにより、第１反射防止膜１１および第２反射防止膜１２に作用するマザーフィルム１５の切断時の応力を、反射防止膜が位相差フィルムの表面に全面的に形成されていた従来に比べて格段に軽減させることができる。

このようにしてマザーフィルム１５から切り抜かれた図８、図９に示す第１反射防止膜１１および第２反射防止膜１２が形成された位相差フィルム１０は、第１反射防止膜１１および第２反射防止膜１２の剥離やクラック等の製造不良がきわめて低減されたものとなっている。

次いで、このような位相差フィルム１０を、回折格子２のバレル５に、紫外線硬化接着剤等の接着手段を用いることによって光学機能部３に対向するように貼り付ける。

このとき、位相差フィルム１０の遅延軸が、回折格子２の格子溝６に対して所定の角度を有するように位置合わせを行う。ここで、本実施形態においては、位相差フィルム１０が遅延軸に平行な端辺を有する平面四角形状に形成されているため、位置合わせを簡便かつ高精度に行うことができる。

このようにして製造された光学素子１は、第１反射防止膜１１および第２反射防止膜１２の製造不良が有効に低減されているため、従来に比べて格段に優れた光学性能を発揮することができる。

さらに、第１反射防止膜１１および第２反射防止膜１２が、光学有効領域１４を位相差フィルム１０の表面上に仮想的に投影させた仮想投影面よりも広い範囲にわたって形成されているため、第１反射防止膜１１および第２反射防止膜１２が、光学有効領域１４を通る光に対して反射防止機能を適正に発揮することができる。

以上述べたように、本実施形態における光学素子およびその製造方法によれば、第１反射防止膜１１および第２反射防止膜１２を、各反射防止膜１１、１２が形成された位相差フィルム１０を切断加工によって製造する際の各反射防止膜１１、１２に作用する切断の応力を軽減させるために好適な領域に形成することができる。

この結果、第１反射防止膜１１および第２反射防止膜１２にクラックや剥離等の製造不良が生じることを有効に抑制することができ、ひいては、光学素子１の光学性能、外観品位および歩留まりを向上させることができる。

なお、本発明は、前述した実施の形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。

例えば、本発明は、位相差フィルム以外の光学フィルムを用いる場合にも有効に適用することができるものである。

また、本発明は、光学フィルムの表面に、ＮＤコート（neutral density coating ）やＩＲ（赤外線）カットフィルタ等の反射防止膜以外の光学膜を形成する場合にも有効に適用することができるものである。すなわち、本発明を、ＮＤコートやＩＲカットフィルタに適用する場合においても、これらＮＤコートやＩＲカットフィルタに、剥離やクラック等の製造不良を有効に低減させることができる。

さらに、反射防止膜の形状は、前述したような平面四角形状のものに限らず、平面円形状等の種々の形状にしてもよい。例えば、反射防止膜の形状を平面円形状とすれば、反射防止膜に作用するマザーフィルムの切断時の応力をさらに有効に軽減させることができる。

さらにまた、マザーフィルム１５の表面上に形成される複数の第１反射防止膜１１同士の間隔（図６における縦方向または横方向の間隔）あるいは、複数の第２反射防止膜１２同士の間隔については、コンセプトに応じて種々変更することができる。なお、本発明が、位相差フィルム１０の厚み方向の一方の表面のみに反射防止膜を形成する場合においても、前述した実施形態と同様に優れた効果を奏することができることは言うまでもない。

また、本発明は、光学素子本体として、回折格子以外の光学素子本体（例えば、レンズ等）を用いる場合においても、前述した実施形態と同様の優れた効果を奏することができるものである。

本発明に係る光学素子の実施形態を示す縦断面図 図１の平面図 図１の下面図 本発明に係る光学素子の製造方法の実施形態において、マザーフィルムとマスクとを示す図 本発明に係る光学素子の製造方法の実施形態において、マザーフィルム上にマスクを配置した状態を示す図 本発明に係る光学素子の製造方法の実施形態において、マザーフィルムの表面上に形成された複数の第１反射防止膜を示す図 本発明に係る光学素子の製造方法の実施形態において、マザーフィルムの切断位置を示す図 本発明に係る光学素子の製造方法の実施形態において、第１反射防止膜および第２反射防止膜が形成された位相差フィルムを示す平面図 図８の側面図

符号の説明

１ 光学素子１
２ 回折格子
３ 光学機能部
７ 格子面
１０ 位相差フィルム
１１ 第１反射防止膜
１２ 第２反射防止膜
１４ 光学有効領域
１５ マザーフィルム
１６ マスク
１８ 開孔

Claims (13)

1. 光学機能面が形成された光学機能部を有する光学素子本体と、
   この光学素子本体に、前記光学機能部に対向するように固設された位相差フィルムと、
   この位相差フィルムの少なくとも一方の表面に形成された反射防止膜と
   を備えた光学素子であって、
   前記反射防止膜が、前記位相差フィルムの前記少なくとも一方の表面における端部よりも内側の領域に形成されていること
   を特徴とする光学素子。
2. 前記反射防止膜が、前記光学機能面の光学有効領域を前記位相差フィルムの前記反射防止膜が形成された表面上に仮想的に投影させた仮想投影面を少なくとも包含する範囲にわたって形成されていること
   を特徴とする請求項１に記載の光学素子。
3. 前記位相差フィルムが、平面矩形状に形成されていること
   を特徴とする請求項１または２に記載の光学素子。
4. 前記反射防止膜が、前記位相差フィルムの双方の表面に形成されていること
   を特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の光学素子。
5. 前記光学素子本体が、前記光学機能面としての格子面を有する回折格子とされていること
   を特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の光学素子。
6. 光学機能面が形成された光学機能部を有する光学素子本体と、
   この光学素子本体に、前記光学機能部に対向するように固設された光学フィルムと、
   この光学フィルムの少なくとも一方の表面に形成された光学膜と
   を備えた光学素子であって、
   前記光学膜が、前記光学フィルムの前記少なくとも一方の表面における端部よりも内側の領域に形成されていること
   を特徴とする光学素子。
7. マザーフィルムの少なくとも一方の表面に反射防止膜を形成し、
   前記反射防止膜が形成されたマザーフィルムから、切断手段を用いることによって、少なくとも一方の表面に前記反射防止膜が形成された複数の位相差フィルムを切り抜き、
   前記位相差フィルムを、光学機能面が形成された光学機能部を有する光学素子本体に、前記光学機能部に対向するように貼り付けることによって光学素子を製造する光学素子の製造方法であって、
   前記反射防止膜を、前記マザーフィルムの少なくとも一方の表面に、所定の間隔を設けて複数に分割して形成し、
   前記複数に分割して形成された個々の反射防止膜のそれぞれの外縁よりも外側の位置を、前記切断手段による前記マザーフィルムの切断位置として、前記個々の反射防止膜がそれぞれ形成された前記複数の位相差フィルムを切り抜くこと
   を特徴とする光学素子の製造方法。
8. 前記反射防止膜を複数に分割して形成する際に、個々の反射防止膜を、前記個々の反射防止膜が形成された前記位相差フィルムを前記光学素子本体に貼り付けたと仮定した場合に、前記光学機能面の光学有効領域を前記位相差フィルムの前記個々の反射防止膜が形成された表面上に仮想的に投影させた仮想投影面を少なくとも包含するような範囲にわたって形成すること
   を特徴とする請求項７に記載の光学素子の製造方法。
9. 前記複数の位相差フィルムを、前記マザーフィルムから平面矩形状に切り抜くこと
   を特徴とする請求項７または８に記載の光学素子の製造方法。
10. 前記マザーフィルムの双方の表面に、前記反射防止膜を複数に分割して形成すること
    を特徴とする請求項７〜９のいずれか１項に記載の光学素子の製造方法。
11. 前記マザーフィルムの少なくとも一方の表面上に、複数の開孔を有するマスクを配置した状態で、前記マザーフィルムの少なくとも一方の表面に、前記複数の開孔を通して前記反射防止膜を蒸着させることにより、前記反射防止膜を複数に分割して形成すること
    を特徴とする請求項７〜１０のいずれか１項に記載の光学素子の製造方法。
12. 前記光学素子本体として、格子面を有する回折格子を用いること
    を特徴とする請求項７〜１１のいずれか１項に記載の光学素子の製造方法。
13. マザーフィルムの少なくとも一方の表面に光学膜を形成し、
    前記光学膜が形成されたマザーフィルムから、切断手段を用いることによって、少なくとも一方の表面に光学膜が形成された複数の光学フィルムを切り抜き、
    前記光学フィルムを、光学機能面が形成された光学機能部を有する光学素子本体に、前記光学機能部に対向するように貼り付けることによって光学素子を製造する光学素子の製造方法であって、
    前記光学膜を、前記マザーフィルムの少なくとも一方の表面に、所定の間隔を設けて複数に分割して形成し、
    前記複数に分割して形成された個々の光学膜のそれぞれの外縁よりも外側の位置を、前記切断手段による前記マザーフィルムの切断位置として、前記個々の光学膜がそれぞれ形成された前記複数の光学フィルムを切り抜くこと
    を特徴とする光学素子の製造方法。

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