JP2007027623A - 基板吸着水分の除去方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(4)の工程でプラズマ印加を行い、基板に形成された金属電極の表面をクリーニングする。(5)の工程でプラズマクリーニング後、大気開放を開始するまでの時間を設定することで基板をプラズマ印加しない状態で真空雰囲気に放置して基板吸着水分を除去する(水分除去工程)。このとき、チャンバー内の温度が50℃から80℃に上がっていため、アンダーフィル樹脂塗布前に従来必要とされたの専用の水分除去工程を省いても、短時間で基板吸着水分を除去することができる。
【選択図】 図3
Description
そこで、図7に示すように、アンダーフィル樹脂23をICチップ12と基板11間に塗布し、ホットプレート32などで加熱して高温で硬化させることでICチップ12と基板11間をアンダーフィル樹脂23で密着封止し、接合部を保護する方法が用いられている。しかし、このアンダーフィル樹脂23による樹脂封止をする際、樹脂塗布時の気泡の巻き込みや樹脂中の気泡や基板11に吸着した水分31が加熱により樹脂23に取り込まれてボイドが発生し、これが樹脂硬化後にも残ると、部品実装時等にボイド内部で水蒸気爆発を引き起こし、接続部を引き剥がすといった不具合が起きる場合がある。この対策として減圧雰囲気で樹脂注入したり、樹脂塗布後に減圧してボイドを取り除いたり、樹脂塗布前に基板を加熱して基板吸着水分(水分31のこと)を除去することが行われている。つぎに、樹脂塗布前に基板吸着水分を除去する方法について説明する。
(1)ICチップ12にバンプ22を形成する。
(2)基板11をプラズマクリーナーに入れて、減圧する。
(3)つぎに、Arガスを注入する。
(4)つぎに、プラズマ印加により基板11の金属電極21の表面をプラズマクリーニングする(金属電極クリーニング工程)。
(5)プラズマクリーニング終了後、速やかに大気開放する。
(6)基板11の金属電極21にICチップ12のバンプ22を固着する(フリップチップボンディングする)。フリップチップボンディングの方法としては、めっきバンプ、はんだバンプおよびAuボールバンプなどを用いて熱圧着や超音波接合を適用する。
(7)図9に示すように、ICチップ12を固着した基板11をホットプレート32に載せ、基板11を120℃程度で1時間〜4時間程度加熱して(ベーキング)、樹脂塗布前に基板吸着水分(水分31)を除去する(水分除去工程)。
(8)図10に示すようにアンダーフィル樹脂23をICチップ12の側の基板11上に塗布し、アンダーフィル樹脂23を基板11とICチップ12の間に浸透させて、基板11とICチップ12の間にアンダーフィル樹脂23を充填する。
(9)120℃〜160℃に加熱して、アンダーフィル樹脂23を硬化させる。
また、基板に吸着した水分を除去する方法ではないが、フリップチップ実装体のICチップと基板間に形成されている隙間に封止用樹脂液であるアンダーフィル樹脂を充填する場合に、真空雰囲気の真空度を低下させることで、アンダーフィル樹脂に残存したボイドを除去できる方法が開示されている(例えば、特許文献2)。
また、一部が開放されたセル(キャップ)でプリント基板に装着されたCSP(chip size package)を局部的に覆い、セル内を減圧してCSPの装着部周囲を短時間で減圧する。減圧したセル内に設けられたディスペンスシリンジによりCPSの周囲に樹脂を確実に塗布することができることが開示されている(例えば、特許文献3)。
また、前記の特許文献1は半導体基板吸着水分の除去を脱水用ガスを用いて行う方法を説明したものである。また、特許文献2ではアンダーフィル樹脂内に存在するボイドを真空脱法する方法について説明したものであり、特許文献3においては、樹脂の塗布を減圧して行う方法を説明したものであり、基板吸着水分の除去については説明されていない。
この発明の目的は、前記の課題を解決して、短時間で、樹脂塗布前に基板吸着水分を除去する方法を提供することである。
また、前記所定の真空度が10Pa以下であるとよい。
また、前記の所定の加熱温度が50℃以上で、前記の所定の加熱時間が10分以下とするとよい。
また、前記基板がプリント基板などの樹脂基板、セラミック基板もしくはフェライト基板であるとよい。
また、前記基板を減圧容器に入れて、減圧状態とするとよい。
また、前記減圧容器が前記基板を加熱する加熱手段を有するとよい。
また、前記の減圧容器が、真空ベーク炉であるとよい。
また、前記減圧容器がプラズマクリーナーであるとよい。
また、ICチップをプラズマクリーニングした基板にフリップチップボンディングした後、ICチップと基板間にアンダーフィル樹脂を充填する前に前記基板に吸着した水分を除去する方法において、プラズマクリーナーに基板を設置する工程と、プラズマクリーナーを減圧する工程と、ArもしくはO2 ガスをプラズマクリーナー内に注入する工程と、プラズマ印加して基板に形成された電極表面をプラズマクリーニングする工程と、プラズマ印加を停止した後、減圧状態で所定の時間放置する工程と、大気開放する工程と、を含む方法とする。
また、前記プラズマ印加により前記基板の温度を50℃〜80℃に上昇させ、前記所定の放置時間を10分以下とするとよい。
また、従来のプラズマクリーニングによる基板に形成された金属電極のクリーニング工程に、プラズマ印加終了後、プラズマ印加で50℃以上に加熱された基板を減圧状態で5分〜10分間プラズマクリーナー中に放置することで、専用の減圧・加熱工程および(または)装置を省いても、短時間に基板吸着水分を除去することができる。
基板吸着水分を除去することで、アンダーフィル樹脂硬化の際にアンダーフィル樹脂内に発生するボイドを防止できて、アンダーフィル樹脂と基板の密着度を高めることができる。
(1)ICチップにバンプを形成する。バンプとしては、めっきバンプ、はんだバンプやAuボールバンプである。
つぎに、基板にICチップを上記の製造方法でフリップチップボンディングする前処理として、基板に形成された金属電極表面の洗浄を行う。洗浄方法としてはArガスを用いて反応性イオンエッチング方式でプラズマクリーニングを行う。その詳細を説明する。
(2)基板をプラズマクリーナーのチャンバー内に設置後に、チャンバー内を真空引きする。
(3)その後、設定真空度に到達後、Arガスの注入を開始し、チャンバー内を十分なAr雰囲気とする。
(4)プラズマ印加を行い、基板に形成された金属電極の表面をプラズマクリーニングする(金属電極クリーニング工程)。
(5)プラズマクリーニング後、チャンバーを大気開放して基板を取り出す。
(6)ICチップを基板に形成した金属電極にフリップチップボンディングする。フリップチップボンディングの方法としては、バンプ用いて熱圧着や超音波接合する。
(7)図2に示すように、チャンバー1内にICチップ12を固着した基板11を設置後、チャンバー1を密閉し、ホットプレート8の温度を120℃程度に昇温し、チャンバー1内に導入管4を介してドライエアーまたは窒素ガスなどのガス5をパージし、真空ポンプ2を駆動させチャンバー1内を10Pa以下に減圧させ、5分〜10分間減圧・加熱状態で放置する。尚、ホットプレート8の温度は50℃以上で水分除去効果がある(水分除去工程)。
(8)チャンバー1のリーク弁を開き、チャンバー1内を大気開放して、基板1を取り出す。
(9)アンダーフィル樹脂をICチップ12の側の基板11上に塗布し、アンダーフィル樹脂を基板11とICチップ12の間に浸透させて、基板11とICチップ12の間にアンダーフィル樹脂を充填する。
(10)ICチップ12と基板11の間の隙間にアンダーフィル樹脂が充填された後、オーブンに入れて、120℃〜160℃に加熱して、アンダーフィル樹脂を硬化させる。
しかし、この方法では、基板吸着水分を除去するために、図2のような専用の減圧・加熱設備を用いた専用の基板吸着水分の除去工程を必要とする。つぎに専用の減圧・加熱設備を不要とし、専用の除去工程を不要とした場合でも基板吸着水分を短時間で除去できる方法について説明する。
(1)ICチップにバンプを形成する。バンプとしては、めっきバンプ、はんだバンプやAuボールバンプである。
つぎに、基板にICチップを上記の製造方法でフリップチップボンディングする前処理として、基板に形成された金属電極表面の洗浄を行う。洗浄方法としてはArガスを用いて反応性イオンエッチング方式でプラズマクリーニングを行う。その詳細を説明する。
(2)基板をプラズマクリーナー内に設置後に、チャンバー内を真空引きする。
(3)設定真空度に到達後、チャンバー内をArガスの雰囲気にするためガスの注入を開始し、チャンバー内を十分なAr雰囲気とする。
(4)プラズマ印加を行い、基板に形成された金属電極の表面をクリーニングする(金属電極クリーニング工程)。
(5)プラズマクリーニング後、基板をプラズマ印加しない状態で10Pa以下の減圧雰囲気で5分〜10分放置して、基板吸着水分を除去する。基板温度はプラズマクリーニングにより50℃〜80℃程度に上昇しているため、短時間で基板吸着水分を除去することができる(水分除去工程)。
(6)チャンバーを大気開放して基板を取り出す。
(7)ICチップを基板の金属電極にフリップチップボンディングする。
(8)アンダーフィル樹脂をICチップの側の基板上に塗布し、アンダーフィル樹脂を基板とICチップの間に浸透させて、基板とICチップの間にアンダーフィル樹脂を充填する。
(9)ICチップが固着し、アンダーフィル樹脂が隙間に充填された基板をオーブンに入れて、120℃〜160℃に加熱して、アンダーフィル樹脂を硬化させる。
つぎに、図1の工程と図3の工程の基板吸着水分の除去方法における基板の脱湿率の時間変化について説明する。
図4は、基板重量変化率の時間変化を表す図である。比較のために、従来の図8の工程の場合についても示した。基板重量は吸着水分が多い程重く、吸着水分が除去されるにつれて軽くなり、基板重量変化が無くなった状態(基板重量変化率がフラットになった状態)が基板吸着水分が完全に除去された状態である。図4の縦軸の基板重量変化率は(所定の時間での水分が除去された基板重量−吸着水分を有する初期基板重量)÷初期基板重量×100で表される。
第2実施例の図3の工程(B)では、従来の図8の工程(C)と比べて、専用の基板吸着水分除去工程を省いて、且つ、大幅に基板吸着水分の除去時間が短縮する。しかし、第2実施例の図3の工程(B)では基板温度が50℃〜80℃であり、第1実施例の図1の工程(A)で基板温度を120℃とした場合と比べて低いため、図1の工程と比べると基板吸着水分の除去時間は長くなる。
前記の第1、第2実施例はフリップチップボンディング前に基板に形成された金属電極表面を洗浄するために、Arガスを用いた反応性イオンエッチング方式のプラズマクリーニングを例に挙げて説明したが、金属電極表面に有機物などが付着している場合にはO2 ガスを用いたダイレクトプラズマ方式や反応性イオンエッチング方式のプラズマクリーニングが有効である。この場合も図1または図2と同様の工程とすることで、基板吸着水分を除去することができる。
この方法は、従来の図8の工程と同様の工程でフリップチップボンディング前にプラズマクリーニングを行い(ここではまだ基板吸着水分の除去は行われない)、その後にアンダーフィル樹脂と基板の密着性を良好にするために基板上に付着した有機物を除去し、さらに基板吸着水分を除去するものである。有機物を除去するためには、フリップチップボンディングの後で、アンダーフィル樹脂の塗布直前にO2 ガスを用いて基板をプラズマクリーニングする。この方法の詳細を説明する。
(1)ICチップにバンプを形成する。バンプとしては、めっきバンプ、はんだバンプやAuボールバンプである。
(2)基板をプラズマクリーナー内に設置後に、チャンバー内を真空引きする。
(3)設定真空度に到達後、チャンバー内をArガスの雰囲気にするためガスの注入を開始し、チャンバー内を十分なAr雰囲気とする。
(4)プラズマ印加を行い、基板に形成された金属電極の表面をクリーニングする(金属電極クリーニング工程)。
(5)プラズマクリーニング後、チャンバーを大気開放して基板を取り出す。
(6)ICチップを基板の金属電極にフリップチップボンディングする。フリップチップボンディングの方法としては、めっきバンプ、はんだバンプおよびAuボールバンプなどを用いて熱圧着や超音波接合を適用する。
(7)ICチップを固着した基板をプラズマクリーナー内に設置後に、チャンバー内を真空引きする。
(8)設定真空度に到達後、チャンバー内をO2 ガスの雰囲気にするためガスの注入を開始し、チャンバー内を十分なO2 雰囲気とする。
(9)プラズマ印加を行い、基板の表面をクリーニングする(基板クリーニング工程)。(10)プラズマクリーニング後、大気開放を開始するまでの時間を設定することで基板をプラズマ印加しない状態で10Pa以下の減圧雰囲気で5分〜10分程度放置して、基板吸着水分を除去する(水分除去工程)。基板温度が50℃から80℃に上昇しているため、短時間で基板吸着水分を除去することができる。
(11)チャンバーを大気開放して基板を取り出す。
(12)アンダーフィル樹脂をICチップの側の基板上に塗布し、アンダーフィル樹脂を基板とICチップの間に浸透させて、基板とICチップの間にアンダーフィル樹脂を充填する。
(13)ICチップが固着し、アンダーフィル樹脂が隙間に充填された基板をオーブンに入れて、120℃〜160℃に加熱して、アンダーフィル樹脂を硬化させる。
尚、基板に形成された金属電極の汚れが少ない場合には、金属電極クリーニング工程を不要としても構わない。
2 真空ポンプ
3 接続管
4 導入管
5 ガス
6 排気管
7 真空計
8 ホットプレート
9 基板設置用ステージ
10 基板ステージ用ヒータ
11 基板
12 ICチップ
13 水蒸気
Claims (11)
- 基板を所定の真空度の、所定の加熱温度で所定の加熱時間加熱することで、基板に吸着した水分を除去することを特徴とする基板吸着水分の除去方法。
- 前記所定の真空度が10Pa以下であることを特徴とする請求項1に記載の基板吸着水分の除去方法。
- 前記の所定の加熱温度が50℃以上で、前記の所定の加熱時間が10分以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の基板吸着水分の除去方法。
- 前記基板が樹脂基板、セラミック基板もしくはフェライト基板であることを特徴とする請求項1に記載の基板吸着水分の除去方法。
- 前記基板を減圧容器に入れて、減圧状態とすることを特徴とする請求項1または2に記載の基板吸着水分の除去方法。
- 前記減圧容器が前記基板を加熱する加熱手段を有することを特徴とする請求項1または3に記載の基板吸着水分の除去方法。
- 前記の減圧容器が、真空ベーク炉であることを特徴とする請求項6に記載の基板吸着水分の除去方法。
- 前記加熱手段が、ホットプレートであることを特徴とする請求項6に記載の基板吸着水分の除去方法。
- 前記減圧容器がプラズマクリーナーであることを特徴とする請求項6に記載の基板吸着水分の除去方法。
- ICチップをプラズマクリーニングした基板にフリップチップボンディングした後、ICチップと基板間にアンダーフィル樹脂を充填する前に前記基板に吸着した水分を除去する方法において、プラズマクリーナーに基板を設置する工程と、プラズマクリーナーを減圧する工程と、ArもしくはO2 ガスをプラズマクリーナー内に注入する工程と、プラズマ印加して基板に形成された電極表面をプラズマクリーニングする工程と、プラズマ印加を停止した後、減圧状態で所定の時間放置する工程と、大気開放する工程と、を含むことを特徴とする基板吸着水分の除去方法。
- 前記プラズマ印加により前記基板の温度を50℃〜80℃に上昇させ、前記所定の放置時間を10分以下とすることを特徴とする請求項10に記載の基板吸着水分の除去方法。
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