JP2007027486A - 固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】行方向とこれに直交する列方向に配列された多数の光電変換素子10と、多数の光電変換素子10から読み出された電荷を列方向に転送する第一転送部20と、第一転送部20から転送されてきた電荷を行方向に転送する第二転送部40と、第二転送部40から転送されてきた電荷に応じた信号を出力する出力部50とを有する固体撮像素子200であって、第一転送部20は、同一駆動信号が供給される2つの駆動電極と、その下方に形成されたチャネル領域とによって1つの転送段が構成され、第一転送部20の転送動作時、2つの駆動電極下方のチャネル領域のポテンシャルが、転送方向上流から下流に向かって深くなっている。
【選択図】図1
Description
前記第一転送部の転送動作時、前記複数の駆動電極下方のチャネル領域のポテンシャルが、転送方向上流から下流に向かって深くなっている。
図1に示す固体撮像素子200は、n型シリコン基板100上の行方向とこれに直交する列方向に配列された多数の光電変換素子10と、多数の光電変換素子10の各々から電荷読み出し領域60を介して読み出された電荷を列方向に転送する第一転送部20と、第一転送部20から転送されてきた電荷を行方向に転送する第二転送部40と、第二転送部40から転送されてきた電荷に応じた信号を出力する出力部50とを備える。なお、本明細書においては、第一転送部20によって転送される電荷の移動を1つの流れとみなして、個々の部材等の相対的な位置を、必要に応じて「何々の上流」、「何々の下流」等と称して特定する。
第一転送部20は、n型不純物の濃度が略一定のn型チャネル20aと、n型チャネル20a上に電気的絶縁膜を介して形成されたポリシリコン等からなる駆動電極V1〜V8とによって構成される。第一転送部20は、隣接する2つの駆動電極と、その下方に形成されたn型チャネル20aの一領域とによって1つの転送段が構成される。図2の例では、駆動電極V1とV2、駆動電極V3とV4、駆動電極V5とV6、駆動電極V7とV8によってそれぞれ転送段が構成され、1つの光電変換素子10に対し、2つの転送段が設けられた構成となっている。
20 第一転送部
20a n型チャネル
40 第二転送部
50 出力部
60 電荷読み出し領域
100 シリコン基板
200 固体撮像素子
V1〜V8 駆動電極
Claims (3)
- 行方向とこれに直交する列方向に配列された多数の光電変換素子と、前記多数の光電変換素子から読み出された電荷を前記列方向に転送する第一転送部と、前記第一転送部から転送されてきた電荷を前記行方向に転送する第二転送部と、前記第二転送部から転送されてきた電荷に応じた信号を出力する出力部とを有する固体撮像素子であって、
前記第一転送部は、同一駆動信号が供給される複数の駆動電極と、その下方に形成されたチャネル領域とによって1つの転送段が構成され、
前記第一転送部の転送動作時、前記複数の駆動電極下方のチャネル領域のポテンシャルが、転送方向上流から下流に向かって深くなっている固体撮像素子。 - 請求項1記載の固体撮像素子であって、
前記チャネル領域は全体に亘って同一濃度であり、
前記複数の駆動電極の各々のポテンシャルは、前記第一転送部の転送方向上流にある駆動電極の方が、該駆動電極の前記転送方向下流側の隣にある駆動電極よりも高くなっている固体撮像素子。 - 請求項1記載の固体撮像素子であって、
前記チャネル領域は全体に亘って同一濃度であり、
前記複数の駆動電極の各々のポテンシャルは、前記第一転送部の転送方向上流から下流に向かって低く傾斜している固体撮像素子。
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