JP2004281910A - 固体撮像装置及びその駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】固体撮像装置における垂直転送レジスタの配線構造に起因する微細化の問題に鑑みて、より高画素数、高解像度化を図ることが可能な固体撮像装置を提供する。
【解決手段】インターライントランスファー転送方式の固体撮像装置であって、1水平ライン方向に延在する各垂直転送レジスタ13の電極6を、垂直方向の1画素(受光部11)あたり1電極として構成する。
【選択図】 図1
【解決手段】インターライントランスファー転送方式の固体撮像装置であって、1水平ライン方向に延在する各垂直転送レジスタ13の電極6を、垂直方向の1画素(受光部11)あたり1電極として構成する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インターライントランスファー転送方式を採る固体撮像装置及びその駆動方法に関わる。
【0002】
【従来の技術】
【0003】
近年、固体撮像素子を撮像デバイスに用いた撮像装置として、デジタルスチルカメラが急速に普及している。このデジタルスチルカメラでは、チップ面積を少なくでき、かつ取り扱いの容易なインターライントランスファー(IT)方式が多く採用されている。このIT方式は、光電変換し電荷を蓄積する領域と、垂直走査をする領域(Vreg)とを個々の画素内で分割したものである。
【0004】
このIT方式の固体撮像装置の一例の略線的な構成図を図14に示す。図14において、11は画素を構成するフォトダイオードより成る各受光部、20及び21は垂直転送レジスタ及び水平転送レジスタをそれぞれ示す。図示しないが、垂直転送レジスタ20と受光部11との間には、ROG(読み出しゲート)が設けられる。各受光部11において光電変換され、電荷蓄積された信号は、各受光部11に対しそれぞれ例えば2相以上の電極を配置した垂直転送レジスタ20にROGの動作によって送られる。垂直転送レジスタ20の最下行のレジスタに送られた電荷は、それぞれ矢印a1 〜an で示すように水平転送レジスタ21に転送され、矢印bで示すように外部の出力手段の例えばアンプ22に出力され、電気信号として取り出される。なお、各行の読み出し方法としては、周知のフレーム読み出しなどが用いられる。
【0005】
上述のデジタルスチルカメラなどに用いられる多画素固体撮像装置においては、通常1 画素あたり垂直転送電極を2枚ずつ有している(例えば非特許文献1及び2参照。)。
【0006】
図15に一般的な1画素あたりの電極構成、すなわち受光部近傍の電極構成の一例の模式的な平面図を示す。図15において、11は各受光部を示し、図中矢印xで示す水平方向に延在する第1の電極61及び第2の電極62が各受光部11に対し2個ずつ設けられて、矢印yで示す垂直方向に転送する垂直転送レジスタが構成される。この例では、第1及び第2の電極を2層構成としたものを示す。
【0007】
図16に、図15におけるAA´線上の断面構成を示す。
図16において、1はSi等の半導体より成る基体で、この上に例えばp型のウエル領域2が形成され、電極61の下部には例えば第2p型ウエル領域3とn型不純物領域4からなる転送部が構成される。受光部11には、n型不純物領域7及びp型不純物領域8よりなるいわゆるフォトダイオードが構成される。5は例えばSiO2−SiN−SiO2から成る絶縁層で、この上にポリシリコン等より成る第1の電極61が形成される。9はSiO2等より成る絶縁層、10はAl等よりなる遮光膜、15はチャンネルストッパー領域すなわち素子分離領域を示す。なお、図示しないがこの上に例えば絶縁層、平坦化層を被着してカラーフィルター、マイクロレンズ等が形成されて固体撮像装置が構成される。
12は読み出しゲート(ROG)部、13は垂直転送レジスタを示す。
【0008】
一方、図15における線CC′上の略線的な断面構成を図17に示す。図17において、図16と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。図17に示すように、垂直転送レジスタを構成する第1の電極61及び第2の電極62は、この場合2層構成とされ、各受光部と隣り合う領域において、第1及び第2の電極61及び62が重なるようになされて、1画素あたりの占める面積の縮小化を図っている。
なお、このように垂直転送レジスタとして2個の電極を設けるのみではなく、3以上の電極を設ける場合もある。また、2個の電極を単層構成とする場合もあり、製造工程数の削減を図ることができるが、1画素あたりの占める面積は比較的大きくなるか、或いは後述するように微細化にあたり加工技術に問題を生じる。
【0009】
このように、一般的な固体撮像装置においては垂直転送レジスタとして2以上の電極を設けることによって、これらの電極に、4 相以上のクロックを与え、2回以上の複数フィールドに分割して画像を読み出す構成とされる。
【0010】
一方、センサー即ち受光部の重要な特性の一つとして、飽和信号量がある。飽和信号量は、電極開口部の受光部に形成されたフォトダイオードに蓄積可能な最大電子数であり、デジタルスチルカメラのダイナミックレンジを決定する重要なファクターである。信号特性の向上を図るためには、より多い電子数を確保することが望ましい。
電子は、上述したフォトダイオードのp−n接合部に蓄えられるため、蓄積電子数を増化させるためには、できる限りフォトダイオードの有効面積を拡大することが望ましい。
【0011】
従来の構造で、受光部を微細化していった場合、垂直方向の画素境界には、上述したように少なくとも2本の配線を通す必要がある。これら画素間の配線は、垂直転送クロックの乱れによる信号特性の低下を回避するために、画素全面で所望の導電率を確保すること、すなわち一定以上の線幅及び断面積が必要となり、縮小することができない。
【0012】
従来の構造の単層電極構造では、これら2本の画素間配線を同一平面上に配置しなければならず、使用する半導体微細加工技術の限界を超える微細パターンの製造技術を必要とする。その結果、画素の縮小化、すなわち画素数の増大化による高精細度化、ないしは固体撮像装置の小型化にともなって、画素間及び配線面積の占める割合が大きくなり、フォトダイオードの面積が更に減少し、所望の飽和信号量等の特性確保が困難となる恐れがある。
【0013】
また、従来の2層電極構造では、画素間の配線を単層同様同一平面上か、もしくは上述の図示の例に示すように、2枚重ね構造に配置する必要がある。2枚重ね構造の場合、半導体微細加工技術の重ね合わせ精度限界値以上に1 枚目の電極幅を確保する必要がある。
【0014】
更に、前述の単層電極構造を採る場合と同様に、一定以上の導電率を確保するため、一定以上の電極線幅及び断面積を確保する必要がある。その結果、受光部の面積を縮小した場合、フォトダイオードの実効面積の確保が困難となる。また、2枚重ね構造とすることによって、受光部の開口サイズと比較して、相対的に画素間の段差が高くなり、斜め入射光のけられが発生して、レンズ開放側での感度低下が問題となる。
また、電極上に形成する遮光膜などの加工に際して、このように電極間に段差があることで、微細に加工することが困難となる。
【0015】
【非特許文献1】
竹村裕夫著、「CCDカメラ技術」、初版、ラジオ技術社、昭和61年11月3 日発行、第90〜98ページ
【非特許文献2】
安藤隆男、菰淵寛仁共著、「固体撮像素子の基礎−電子の目のしくみ」、初版、1999年12月10日発行、第96〜103 ページ
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述したような、固体撮像装置における垂直転送レジスタの配線構造に起因する微細化の問題に鑑みて、より高画素数、高解像度化を図ることが可能な固体撮像装置を提供する。
【0017】
【課題を解決するための手段】
上述の問題を解決するために、本発明による固体撮像装置は、インターライントランスファー転送方式の固体撮像装置であって、1水平ライン方向に延在する各垂直転送レジスタの電極を、垂直方向の1 画素あたり1電極として構成する。
【0018】
また本発明による固体撮像装置の駆動方法は、上述の固体撮像装置を用いて、複数の水平ラインの画素に対応する電極に対し、3フィールド以上の多数回に分割して読み出しを行う。
【0019】
上述したように、本発明においては、インターライントランスファー方式の固体撮像装置において、垂直方向の1画素あたり1電極として構成するものである。
このような構成とすることによって、複数の水平ラインの画素に対応する電極に対して3フィールド以上の多数回に分割した読み出しを行うことにより、例えば垂直方向の1画素あたり2電極構成とする従来の固体撮像装置と同様に垂直転送を行うことができ、画素間に配線を1本しか配置する必要がないことから、受光部のセンサー開口率を従来に比して大きくすることが可能となる。これにより、特性の低下を伴うことなく小型化、高解像度化が可能となる。
また、従来の1画素2電極単層構造とする場合と比較して、垂直転送レジスタの電極間の隙間が垂直方向の電極間のみとなることから、製造上、微細加工技術を必要とする部分を低減し、素子の安定形成を可能とし、生産性、歩留まりの向上をはかることができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態の各例について図面を参照して説明する。各例ともに、前述の図14において説明したインターライントランスファー転送方式の固体撮像装置に適用した場合を示す。
【0021】
〔第1の実施の形態〕
図1は、本発明による固体撮像装置の一例の要部の略線的拡大平面図である。この場合、受光部11に対し、水平ライン方向に延在する各垂直転送レジスタの電極6が、垂直方向の1画素、即ち1受光部11あたり1電極とされ、水平方向に1本の配線が構成される。図1において、13は前述の図15において説明した垂直転送レジスタを示す。
【0022】
この場合、電極6は単層構造とされ、垂直転送レジスタ13の延在する垂直方向に、1画素毎にスリット6aが設けられる。dはスリットの間隔を示す。
【0023】
図1におけるAA′線上の略線的拡大断面構成は、前述の図16において説明した従来の固体撮像装置における断面構成と同一とすることができる。すなわち、Si等より成る基体1上に、例えば第1p型ウエル2が設けられ、垂直転送レジスタ13には第2p型ウエル3、n型不純物領域4が例えば図16の紙面に垂直な方向に延在するパターンとして設けられる。この場合は、電極6は1画素(受光部)あたり1電極となる。その他の材料構成は、図16において説明した例と同様の材料構成とし得る。
【0024】
図1におけるBB′線上の略線的拡大断面図を図2に示す。図2において、1は基体、2は第1p型ウエル、3及び4は垂直転送レジスタの延在方向に沿って延在する第2のp型ウエルとn型不純物領域、5は絶縁層である。この場合は、電極6は単層構造とするもので、各垂直転送レジスタの延在方向の画素毎に、スリット6aが設けられる。
このように電極を単層構造とする場合、受光部のセンサー開口率を大とし、特性の低下を伴うことなく小型化、高解像度化が可能となる。また製造工程の削減も図ることができる。
【0025】
全体の画素面積、配線部の幅等を縮小してより小型化をはかる場合、またスリットによる転送電荷の信号特性の劣化を回避するために、図3にその一例の要部の略線的拡大断面図を示すように、各電極6A及び6Bを垂直方向に延在させ、隣り合う電極6A及び6Bがオーバーラップするパターンとするいわば2層構造とすることもできる。16はSiO2−SiN−SiO2等よりなる絶縁層である。これにより、この電極6A、6B間のスリットが生じないようにすることができる。
【0026】
この場合は、オーバーラップ部分を一定の幅で同様に重ねあわせる以外は、図1に示す平面構成と同様とすることができて、すなわち水平ライン方向に延在する配線領域を図1に示す例と同様に、従来の1画素2電極構成の場合と比較して半分とすることができることから、受光部11の面積を増大化することが可能となる。一方、垂直転送方向においては、従来の製造工程と変更なくそのまま適用可能である汎用性を有したデバイス構造とすることができる。
このように2層構成とする場合は、高密度化に伴う微細加工技術の問題を回避して安定した素子の形成が可能となり、従来の製造方法で容易に製造が可能であり、小型化に適した固体撮像装置を提供することができる。
【0027】
次に、このような構成による固体撮像装置の駆動方法の一例について、従来方法による駆動方法の説明図を参照して説明する。各例ともに、デジタルスチルカメラ等に用いられるITIS( インターライントランスファーインターレス駆動方式) の駆動方法の例を示す。
【0028】
具体的には、例えば読み出しパルスとして例えば5〜20Vの電圧を印加し、フォトダイオードから垂直転送レジスタへ信号を読み出す。以後4相以上のたとえば0〜−7.5Vの電圧をクロックに対応して垂直転送レジスタに印加し、第1フィールドの信号を読み出す。以後同様にして残りのセンサー即ち受光部の信号を複数回に分けて信号を読み出す。
【0029】
図4及び図5は、従来の2電極構成による場合の2フィールド4相駆動、3フィールド6相駆動による場合の第1フィールドの読み出し態様を示す説明図である。各図共に、(a)は読み出し前、(b)及び(c)は第1フィールドの各電極すなわち垂直転送レジスタVreg の転送過程を示す。図4及び5において、斜線を付して示す領域は電荷が存在する領域を示す。この場合(a)において示す全てのセンサ(受光部)において電荷が蓄積された例を示し、(a)から(b)に移行する過程においてメカシャッターが閉じられ、以後の転送期間は、受光部は遮光される。
シャッター閉じた後、図4(b) に示すように、受光部すなわちセンサーから1画素毎に垂直転送レジスタの例えばV4及びV1 で示す垂直転送レジスタに電荷が転送され、図4(c)に示すように、垂直転送レジスタ内を順に電荷が転送される。尚、以下の各図において、受光部の画素内に示す矢印は、電荷の転送を模式的に示したものである。また、図示しないが、第1フィールド終了後は、残りの受光部の電荷が転送される。
【0030】
図5は上述したように3フィールド6相駆動の例である。図5(a)に示すように、2画素毎に受光部から例えばV6,V1,V2及びV3で示す垂直転送レジスタに電荷が転送される。この場合、電荷を受けるレジスタすなわち最小の転送パケットが4個分となるので、電極幅を細くでき、センサーの面積を広くすることができる。以後図5(c)に示すように、垂直転送レジスタ内を順に電荷が転送される。第1フィールド終了後、残りの受光部の電荷が順次転送される。
【0031】
次に、上述の1画素1電極構成とした本発明による4フィールド4相駆動、5フィールド5相駆動方式とした場合の第1フィールドの読み出し態様を、図6及び図7を用いて説明する。この場合においても斜線を付して示す領域に電荷が蓄積された場合で、すなわち図示のセンサー全てに電荷が蓄積された状態を示す。そして図6(a)及び図7(a)に示すように、各垂直転送レジスタの1受光部毎の電極の数は1ずつとなる。
4フィールド4相駆動の場合、受光後にメカシャッターを閉じた後、図6(b)に示すように、3画素毎にセンサーの電荷がV1及びV2で示す垂直転送レジスタに電荷が転送され、以後図6(c)に示すように、順次垂直転送レジスタ内を電荷が転送される。第1フィールド終了後、残りの受光部の電荷が順次転送されるのは、上述の各例と同様である。
【0032】
また、5フィールド5相駆動の場合、図7(a)に示すように、各センサーで受光後メカシャッターを閉じ、図7(b)に示すように、4画素毎にセンサーの電荷がV1、V2及びV3で示す垂直転送レジスタに転送され、以後図7(c)に示すように、順次垂直転送レジスタ内を電荷が転送される。
【0033】
垂直転送レジスタにおける取り扱い電荷量は、転送パケットの最小面積で律速される。1 画素2電極フィールド2読み出しの取り扱い電荷量は、転送電極2枚のパケットに蓄積される電荷量となる。
上述の従来構成の駆動方式を含む4つの例において、取り扱い電荷量を比較すると、図4〜図7から明らかなように、従来の1画素2電極構成の場合は、2フィールド2相駆動方式では転送電極1枚分、3フィールド6相駆動方式では転送電極2枚分、そして本発明による1画素1電極構成の場合、4フィールド4相駆動方式とする場合は転送電極2枚分、5フィールド5相駆動方式とする場合は転送電極3枚分となる。
従って、本発明構成において、フィールド以上の駆動方式とする場合に、従来の1 画素2電極3フィールド読み出しの構成と同等以上に取り扱い電荷量を保持することができることがわかる。
すなわち、4フィールド以上とする場合は、飽和信号量を増大化することができて、電極配線面積の低減化と相俟って、受光部の面積の増大化をはかり、または同等の面積とする場合は小型化を実現することができる。
【0034】
次に、本発明による1画素1電極構成による場合の原色市松格子のカラーフィルターの4フィールド読み出しの駆動方法について図8及び図9を参照して説明する。図8及び図9においても、電荷が存在する領域には斜線を付して示す。図8(a1 )及び(a2 )に示すように、カラーフィルターが垂直方向にGr、B、Gr、B…の画素列とR、Gb、R、Gb…の画素列が並置配列されて、3原色のカラーフィルター列が垂直転送方向に配置される。Gr及びGbはそれぞれR信号とB信号と同一の水平ライン上のG信号を示す。
【0035】
このような構成において、この場合においても読み出し前において、全ての受光部において信号が受光されたとする。メカシャッターを閉じた後、図8(b1 )及び(b2 )に示すように、この場合4画素毎に、この場合Gr信号及びR信号の電荷がV1 及びV2 で示す垂直転送レジスタに転送される。そしてこれらの信号が垂直転送レジスタを順次転送されて水平転送レジスタに転送されて読み出された後、第2フィールドにおいては、B 信号及びGb信号がそれぞれV2 及びV3 で示す転送パケットに転送されて、垂直転送レジスタにより同様に順次転送される。
【0036】
次に、第3フィールドにおいては、図9(d1 )及び(d2 )に示すように、Gr信号及びR信号がV3 及びV4 で示す垂直転送レジスタに転送されてその後順次垂直方向に転送され、第4フィールドにおいては、図9(e1 )及び(e2 )に示すように、B信号及びGb信号がV4 及びV1 で示す垂直転送レジスタに転送されて垂直方向に順次転送され、全ての信号電荷が読み出される。
【0037】
この場合においても同様に、取り扱い電荷量は電極セル2個分となり、従来構成と同等以上に取り扱い電荷量を保持することができる。
次に、動画出力のための間引きモードでの読み出し方法について図10を参照して説明する。
この場合は、図10(b3 )及び(b4 )に2/8間引きの第1フィールド、図10(b5 )及び(b6 )に2/16間引きの第1フィールドの転送状態を示している。上述の各例と同様に、電荷が存在する領域には斜線を付して示す。
2/8間引きを行う場合は、図10(b3 )及び(b4 )に示すように、8画素に対し2画素を選択して読み出す。図示の例においては、Gr−B配列の垂直転送レジスタにおいては、Gr信号及びB信号8画素中2画素、R−Gb配列の垂直転送レジスタにおいては、R信号及びGb信号をそれぞれ8画素中2画素、V1a及びV2aで示す垂直転送レジスタにより読み出す。なお、外部の電極配線端子を分離することにより、V1 及びV2 に対応する電極を分離して、V1b及びV2bで示す電極は読み出しを行わないようにすることができる。
【0038】
2/16間引きを行う場合は、図10(b5 )及び(b6 )に示すように、16画素に対し2画素を選択して読み出す。この場合においても、V1 及びV2 で示す電極を例えば外部で端子を分離するなどにより、読み出し用のV1a及びV2aで示す垂直転送レジスタ、読み出しを行わないV1b及びV2bで示す垂直転送レジスタに分離することができる。
【0039】
このように、本発明による1画素1電極構成において、動画出力対応のための間引きモードにおいても、垂直転送レジスタの取り扱い電荷量を十分確保して、多フィールド読み出し及び間引き読み出しを容易に実現することができる。
【0040】
〔第2の実施の形態〕
次に、本発明による固体撮像装置において、垂直転送レジスタの電極を、水平ライン方向に隣り合う画素毎に、垂直方向に逆向きに延在するパターンとして形成する場合の実施の形態について説明する。
図11は、この場合の要部の略線的平面構成図を示す。図11において、図11対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。電極6は、水平ライン方向に隣り合う画素すなわち受光部11毎に、図11の紙面において上下に逆向きに延在するパターンとして形成する。
【0041】
このような電極構成とする場合の、4フィールド4相駆動方式による信号の転送態様について説明する。図12及び13においては、前述の図4〜図10において説明した例と同様に、この場合においても、図示の受光部すなわちセンサーの全てに信号が蓄積された場合を示し、電荷が存在する領域は斜線を付して示す。
【0042】
図12(a1 )及び(a2 )は読み出し前の状態を示し、メカシャッターと閉じた後、第1 フィールドにおいて、図12(b1 )及び(b2 )で示すように、Gr−B配列の垂直転送レジスタとR−Gb配列の垂直転送レジスタにおいて、斜めに配列される信号が読み出される。以後、図12(c1 )及び(c2 )で示す第2フィールドの読み出し、図13(d1 )及び(d2 )、(e1 )及び(e2 )で示す第3及び第4 フィールドにおいても、同様に隣り合う垂直転送レジスタにおいて、斜めに配列される信号が順次読み出されることとなる。
このような斜め読み出しを行うことにより、例えばGr及びGbの信号を同時に読み出すことによって1回のフィールドにおいて同一色の読み出しを行うことができ、例えばオートフォーカスに利用する場合に高速で十分な信号量を得るなどの効果を実現することができる。
【0043】
以上述べたように、本発明によれば、IT方式の固体撮像装置において、1画素あたりに要する面積を低減化し、飽和信号量、開放レンズ側の感度などの主要特性を低下させることなく、小型化もしくは画素数の増大化を図ることができる。
尚、本発明は上述の実施の形態に限定されることなく、電極の詳細な形状、配置、材料構成などにおいて、本発明構成を逸脱しない範囲において種々の変形、変更が可能であることはいうまでもない。
【0044】
【発明の効果】
上述したように、本発明によれば、1画素あたり1電極として構成することによって、画素間の配線数を減らすことにより、1画素あたりに要する面積の低減化をはかり、取り扱い電荷量の低下、開放感度の低下などの特性の低下を伴うことなく、装置の小型化、多画素数化を図ることができる。
【0045】
また、信号の読み出しにあたって3フィールド以上の多数回に分割する駆動方法を採ることによって、確実に信号の読み出しを行うことができる。
【0046】
更に、垂直転送レジスタの電極構造を単層構造とする場合は、製造工程数の削減を図り、生産性の向上を図ることもできる。
また、垂直転送レジスタの電極構造を2層構造とする場合は、全体の画素面積、配線部の幅等を縮小して小型化を図る場合においても微細加工技術の問題を回避した安定した素子の形成が可能であり、またスリットによる転送電荷の信号特性の劣化を回避することができる。
【0047】
更にまた、垂直転送レジスタの電極を、水平ライン方向に隣り合う画素毎に、垂直方向に逆向きに延在するパターンとすることによって、斜め読み出しを行うことができ、1 回のフィールドにおいて同一色の読み出しを行うことができ、例えばオートフォーカスに利用する場合に高速で十分な信号量を得る構成とすることができる。
【0048】
また本発明による固体撮像装置の駆動方法によれば、1水平ライン方向に延在する垂直転送レジスタの電極を1 画素当り1電極として確実に信号の読み出しを行うことができ、1 画素あたりに要する配線部等の面積を低減化して、特性の劣化を伴うことなく装置の小型化、多画素数化を実現できる。
更に、本発明による固体撮像装置の駆動方法において、一定の比率の電極に係わる画素に蓄積された電荷信号のみを読み出し、残り電極にかかわる画素の電化を排出することによって、動画出力対応の間引き読み出しを行うことができ、高画素数、高解像度化を相俟ってより特性の優れた動画対応の固体撮像装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】固体撮像装置の一例の要部の略線的拡大平面図である。
【図2】固体撮像装置の一例の要部の略線的拡大断面図である。
【図3】固体撮像装置の一例の要部の略線的拡大断面図である。
【図4】固体撮像装置の駆動方法の一例の説明図である。
【図5】固体撮像装置の駆動方法の一例の説明図である。
【図6】固体撮像装置の駆動方法の一例の説明図である。
【図7】固体撮像装置の駆動方法の一例の説明図である。
【図8】固体撮像装置の駆動方法の一例の説明図である。
【図9】固体撮像装置の駆動方法の一例の説明図である。
【図10】固体撮像装置の駆動方法の一例の説明図である。
【図11】固体撮像装置の一例の要部の略線的拡大平面図である。
【図12】固体撮像装置の駆動方法の一例の説明図である。
【図13】固体撮像装置の駆動方法の一例の説明図である。
【図14】固体撮像装置の一例の模式的な概略構成を示す構成図である。
【図15】固体撮像装置の一例の要部の略線的拡大平面図である。
【図16】固体撮像装置の一例の要部の略線的拡大断面図である。
【図17】固体撮像装置の一例の要部の略線的拡大断面図である。
【符号の説明】
1 基体、2 第1p型ウエル、3 第2p型ウエル、4 n型不純物領域、5絶縁層、6 電極、6A 電極、6B 電極、6a スリット、7 n型不純物領域、8 p型不純物領域、9 絶縁層、10 遮光膜、11 受光部、12読み出しゲート(ROG)領域、13 垂直転送レジスタ、15 チャンネルストッパー領域、16 絶縁層、61 第1の電極、62 第2の電極
【発明の属する技術分野】
本発明は、インターライントランスファー転送方式を採る固体撮像装置及びその駆動方法に関わる。
【0002】
【従来の技術】
【0003】
近年、固体撮像素子を撮像デバイスに用いた撮像装置として、デジタルスチルカメラが急速に普及している。このデジタルスチルカメラでは、チップ面積を少なくでき、かつ取り扱いの容易なインターライントランスファー(IT)方式が多く採用されている。このIT方式は、光電変換し電荷を蓄積する領域と、垂直走査をする領域(Vreg)とを個々の画素内で分割したものである。
【0004】
このIT方式の固体撮像装置の一例の略線的な構成図を図14に示す。図14において、11は画素を構成するフォトダイオードより成る各受光部、20及び21は垂直転送レジスタ及び水平転送レジスタをそれぞれ示す。図示しないが、垂直転送レジスタ20と受光部11との間には、ROG(読み出しゲート)が設けられる。各受光部11において光電変換され、電荷蓄積された信号は、各受光部11に対しそれぞれ例えば2相以上の電極を配置した垂直転送レジスタ20にROGの動作によって送られる。垂直転送レジスタ20の最下行のレジスタに送られた電荷は、それぞれ矢印a1 〜an で示すように水平転送レジスタ21に転送され、矢印bで示すように外部の出力手段の例えばアンプ22に出力され、電気信号として取り出される。なお、各行の読み出し方法としては、周知のフレーム読み出しなどが用いられる。
【0005】
上述のデジタルスチルカメラなどに用いられる多画素固体撮像装置においては、通常1 画素あたり垂直転送電極を2枚ずつ有している(例えば非特許文献1及び2参照。)。
【0006】
図15に一般的な1画素あたりの電極構成、すなわち受光部近傍の電極構成の一例の模式的な平面図を示す。図15において、11は各受光部を示し、図中矢印xで示す水平方向に延在する第1の電極61及び第2の電極62が各受光部11に対し2個ずつ設けられて、矢印yで示す垂直方向に転送する垂直転送レジスタが構成される。この例では、第1及び第2の電極を2層構成としたものを示す。
【0007】
図16に、図15におけるAA´線上の断面構成を示す。
図16において、1はSi等の半導体より成る基体で、この上に例えばp型のウエル領域2が形成され、電極61の下部には例えば第2p型ウエル領域3とn型不純物領域4からなる転送部が構成される。受光部11には、n型不純物領域7及びp型不純物領域8よりなるいわゆるフォトダイオードが構成される。5は例えばSiO2−SiN−SiO2から成る絶縁層で、この上にポリシリコン等より成る第1の電極61が形成される。9はSiO2等より成る絶縁層、10はAl等よりなる遮光膜、15はチャンネルストッパー領域すなわち素子分離領域を示す。なお、図示しないがこの上に例えば絶縁層、平坦化層を被着してカラーフィルター、マイクロレンズ等が形成されて固体撮像装置が構成される。
12は読み出しゲート(ROG)部、13は垂直転送レジスタを示す。
【0008】
一方、図15における線CC′上の略線的な断面構成を図17に示す。図17において、図16と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。図17に示すように、垂直転送レジスタを構成する第1の電極61及び第2の電極62は、この場合2層構成とされ、各受光部と隣り合う領域において、第1及び第2の電極61及び62が重なるようになされて、1画素あたりの占める面積の縮小化を図っている。
なお、このように垂直転送レジスタとして2個の電極を設けるのみではなく、3以上の電極を設ける場合もある。また、2個の電極を単層構成とする場合もあり、製造工程数の削減を図ることができるが、1画素あたりの占める面積は比較的大きくなるか、或いは後述するように微細化にあたり加工技術に問題を生じる。
【0009】
このように、一般的な固体撮像装置においては垂直転送レジスタとして2以上の電極を設けることによって、これらの電極に、4 相以上のクロックを与え、2回以上の複数フィールドに分割して画像を読み出す構成とされる。
【0010】
一方、センサー即ち受光部の重要な特性の一つとして、飽和信号量がある。飽和信号量は、電極開口部の受光部に形成されたフォトダイオードに蓄積可能な最大電子数であり、デジタルスチルカメラのダイナミックレンジを決定する重要なファクターである。信号特性の向上を図るためには、より多い電子数を確保することが望ましい。
電子は、上述したフォトダイオードのp−n接合部に蓄えられるため、蓄積電子数を増化させるためには、できる限りフォトダイオードの有効面積を拡大することが望ましい。
【0011】
従来の構造で、受光部を微細化していった場合、垂直方向の画素境界には、上述したように少なくとも2本の配線を通す必要がある。これら画素間の配線は、垂直転送クロックの乱れによる信号特性の低下を回避するために、画素全面で所望の導電率を確保すること、すなわち一定以上の線幅及び断面積が必要となり、縮小することができない。
【0012】
従来の構造の単層電極構造では、これら2本の画素間配線を同一平面上に配置しなければならず、使用する半導体微細加工技術の限界を超える微細パターンの製造技術を必要とする。その結果、画素の縮小化、すなわち画素数の増大化による高精細度化、ないしは固体撮像装置の小型化にともなって、画素間及び配線面積の占める割合が大きくなり、フォトダイオードの面積が更に減少し、所望の飽和信号量等の特性確保が困難となる恐れがある。
【0013】
また、従来の2層電極構造では、画素間の配線を単層同様同一平面上か、もしくは上述の図示の例に示すように、2枚重ね構造に配置する必要がある。2枚重ね構造の場合、半導体微細加工技術の重ね合わせ精度限界値以上に1 枚目の電極幅を確保する必要がある。
【0014】
更に、前述の単層電極構造を採る場合と同様に、一定以上の導電率を確保するため、一定以上の電極線幅及び断面積を確保する必要がある。その結果、受光部の面積を縮小した場合、フォトダイオードの実効面積の確保が困難となる。また、2枚重ね構造とすることによって、受光部の開口サイズと比較して、相対的に画素間の段差が高くなり、斜め入射光のけられが発生して、レンズ開放側での感度低下が問題となる。
また、電極上に形成する遮光膜などの加工に際して、このように電極間に段差があることで、微細に加工することが困難となる。
【0015】
【非特許文献1】
竹村裕夫著、「CCDカメラ技術」、初版、ラジオ技術社、昭和61年11月3 日発行、第90〜98ページ
【非特許文献2】
安藤隆男、菰淵寛仁共著、「固体撮像素子の基礎−電子の目のしくみ」、初版、1999年12月10日発行、第96〜103 ページ
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述したような、固体撮像装置における垂直転送レジスタの配線構造に起因する微細化の問題に鑑みて、より高画素数、高解像度化を図ることが可能な固体撮像装置を提供する。
【0017】
【課題を解決するための手段】
上述の問題を解決するために、本発明による固体撮像装置は、インターライントランスファー転送方式の固体撮像装置であって、1水平ライン方向に延在する各垂直転送レジスタの電極を、垂直方向の1 画素あたり1電極として構成する。
【0018】
また本発明による固体撮像装置の駆動方法は、上述の固体撮像装置を用いて、複数の水平ラインの画素に対応する電極に対し、3フィールド以上の多数回に分割して読み出しを行う。
【0019】
上述したように、本発明においては、インターライントランスファー方式の固体撮像装置において、垂直方向の1画素あたり1電極として構成するものである。
このような構成とすることによって、複数の水平ラインの画素に対応する電極に対して3フィールド以上の多数回に分割した読み出しを行うことにより、例えば垂直方向の1画素あたり2電極構成とする従来の固体撮像装置と同様に垂直転送を行うことができ、画素間に配線を1本しか配置する必要がないことから、受光部のセンサー開口率を従来に比して大きくすることが可能となる。これにより、特性の低下を伴うことなく小型化、高解像度化が可能となる。
また、従来の1画素2電極単層構造とする場合と比較して、垂直転送レジスタの電極間の隙間が垂直方向の電極間のみとなることから、製造上、微細加工技術を必要とする部分を低減し、素子の安定形成を可能とし、生産性、歩留まりの向上をはかることができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態の各例について図面を参照して説明する。各例ともに、前述の図14において説明したインターライントランスファー転送方式の固体撮像装置に適用した場合を示す。
【0021】
〔第1の実施の形態〕
図1は、本発明による固体撮像装置の一例の要部の略線的拡大平面図である。この場合、受光部11に対し、水平ライン方向に延在する各垂直転送レジスタの電極6が、垂直方向の1画素、即ち1受光部11あたり1電極とされ、水平方向に1本の配線が構成される。図1において、13は前述の図15において説明した垂直転送レジスタを示す。
【0022】
この場合、電極6は単層構造とされ、垂直転送レジスタ13の延在する垂直方向に、1画素毎にスリット6aが設けられる。dはスリットの間隔を示す。
【0023】
図1におけるAA′線上の略線的拡大断面構成は、前述の図16において説明した従来の固体撮像装置における断面構成と同一とすることができる。すなわち、Si等より成る基体1上に、例えば第1p型ウエル2が設けられ、垂直転送レジスタ13には第2p型ウエル3、n型不純物領域4が例えば図16の紙面に垂直な方向に延在するパターンとして設けられる。この場合は、電極6は1画素(受光部)あたり1電極となる。その他の材料構成は、図16において説明した例と同様の材料構成とし得る。
【0024】
図1におけるBB′線上の略線的拡大断面図を図2に示す。図2において、1は基体、2は第1p型ウエル、3及び4は垂直転送レジスタの延在方向に沿って延在する第2のp型ウエルとn型不純物領域、5は絶縁層である。この場合は、電極6は単層構造とするもので、各垂直転送レジスタの延在方向の画素毎に、スリット6aが設けられる。
このように電極を単層構造とする場合、受光部のセンサー開口率を大とし、特性の低下を伴うことなく小型化、高解像度化が可能となる。また製造工程の削減も図ることができる。
【0025】
全体の画素面積、配線部の幅等を縮小してより小型化をはかる場合、またスリットによる転送電荷の信号特性の劣化を回避するために、図3にその一例の要部の略線的拡大断面図を示すように、各電極6A及び6Bを垂直方向に延在させ、隣り合う電極6A及び6Bがオーバーラップするパターンとするいわば2層構造とすることもできる。16はSiO2−SiN−SiO2等よりなる絶縁層である。これにより、この電極6A、6B間のスリットが生じないようにすることができる。
【0026】
この場合は、オーバーラップ部分を一定の幅で同様に重ねあわせる以外は、図1に示す平面構成と同様とすることができて、すなわち水平ライン方向に延在する配線領域を図1に示す例と同様に、従来の1画素2電極構成の場合と比較して半分とすることができることから、受光部11の面積を増大化することが可能となる。一方、垂直転送方向においては、従来の製造工程と変更なくそのまま適用可能である汎用性を有したデバイス構造とすることができる。
このように2層構成とする場合は、高密度化に伴う微細加工技術の問題を回避して安定した素子の形成が可能となり、従来の製造方法で容易に製造が可能であり、小型化に適した固体撮像装置を提供することができる。
【0027】
次に、このような構成による固体撮像装置の駆動方法の一例について、従来方法による駆動方法の説明図を参照して説明する。各例ともに、デジタルスチルカメラ等に用いられるITIS( インターライントランスファーインターレス駆動方式) の駆動方法の例を示す。
【0028】
具体的には、例えば読み出しパルスとして例えば5〜20Vの電圧を印加し、フォトダイオードから垂直転送レジスタへ信号を読み出す。以後4相以上のたとえば0〜−7.5Vの電圧をクロックに対応して垂直転送レジスタに印加し、第1フィールドの信号を読み出す。以後同様にして残りのセンサー即ち受光部の信号を複数回に分けて信号を読み出す。
【0029】
図4及び図5は、従来の2電極構成による場合の2フィールド4相駆動、3フィールド6相駆動による場合の第1フィールドの読み出し態様を示す説明図である。各図共に、(a)は読み出し前、(b)及び(c)は第1フィールドの各電極すなわち垂直転送レジスタVreg の転送過程を示す。図4及び5において、斜線を付して示す領域は電荷が存在する領域を示す。この場合(a)において示す全てのセンサ(受光部)において電荷が蓄積された例を示し、(a)から(b)に移行する過程においてメカシャッターが閉じられ、以後の転送期間は、受光部は遮光される。
シャッター閉じた後、図4(b) に示すように、受光部すなわちセンサーから1画素毎に垂直転送レジスタの例えばV4及びV1 で示す垂直転送レジスタに電荷が転送され、図4(c)に示すように、垂直転送レジスタ内を順に電荷が転送される。尚、以下の各図において、受光部の画素内に示す矢印は、電荷の転送を模式的に示したものである。また、図示しないが、第1フィールド終了後は、残りの受光部の電荷が転送される。
【0030】
図5は上述したように3フィールド6相駆動の例である。図5(a)に示すように、2画素毎に受光部から例えばV6,V1,V2及びV3で示す垂直転送レジスタに電荷が転送される。この場合、電荷を受けるレジスタすなわち最小の転送パケットが4個分となるので、電極幅を細くでき、センサーの面積を広くすることができる。以後図5(c)に示すように、垂直転送レジスタ内を順に電荷が転送される。第1フィールド終了後、残りの受光部の電荷が順次転送される。
【0031】
次に、上述の1画素1電極構成とした本発明による4フィールド4相駆動、5フィールド5相駆動方式とした場合の第1フィールドの読み出し態様を、図6及び図7を用いて説明する。この場合においても斜線を付して示す領域に電荷が蓄積された場合で、すなわち図示のセンサー全てに電荷が蓄積された状態を示す。そして図6(a)及び図7(a)に示すように、各垂直転送レジスタの1受光部毎の電極の数は1ずつとなる。
4フィールド4相駆動の場合、受光後にメカシャッターを閉じた後、図6(b)に示すように、3画素毎にセンサーの電荷がV1及びV2で示す垂直転送レジスタに電荷が転送され、以後図6(c)に示すように、順次垂直転送レジスタ内を電荷が転送される。第1フィールド終了後、残りの受光部の電荷が順次転送されるのは、上述の各例と同様である。
【0032】
また、5フィールド5相駆動の場合、図7(a)に示すように、各センサーで受光後メカシャッターを閉じ、図7(b)に示すように、4画素毎にセンサーの電荷がV1、V2及びV3で示す垂直転送レジスタに転送され、以後図7(c)に示すように、順次垂直転送レジスタ内を電荷が転送される。
【0033】
垂直転送レジスタにおける取り扱い電荷量は、転送パケットの最小面積で律速される。1 画素2電極フィールド2読み出しの取り扱い電荷量は、転送電極2枚のパケットに蓄積される電荷量となる。
上述の従来構成の駆動方式を含む4つの例において、取り扱い電荷量を比較すると、図4〜図7から明らかなように、従来の1画素2電極構成の場合は、2フィールド2相駆動方式では転送電極1枚分、3フィールド6相駆動方式では転送電極2枚分、そして本発明による1画素1電極構成の場合、4フィールド4相駆動方式とする場合は転送電極2枚分、5フィールド5相駆動方式とする場合は転送電極3枚分となる。
従って、本発明構成において、フィールド以上の駆動方式とする場合に、従来の1 画素2電極3フィールド読み出しの構成と同等以上に取り扱い電荷量を保持することができることがわかる。
すなわち、4フィールド以上とする場合は、飽和信号量を増大化することができて、電極配線面積の低減化と相俟って、受光部の面積の増大化をはかり、または同等の面積とする場合は小型化を実現することができる。
【0034】
次に、本発明による1画素1電極構成による場合の原色市松格子のカラーフィルターの4フィールド読み出しの駆動方法について図8及び図9を参照して説明する。図8及び図9においても、電荷が存在する領域には斜線を付して示す。図8(a1 )及び(a2 )に示すように、カラーフィルターが垂直方向にGr、B、Gr、B…の画素列とR、Gb、R、Gb…の画素列が並置配列されて、3原色のカラーフィルター列が垂直転送方向に配置される。Gr及びGbはそれぞれR信号とB信号と同一の水平ライン上のG信号を示す。
【0035】
このような構成において、この場合においても読み出し前において、全ての受光部において信号が受光されたとする。メカシャッターを閉じた後、図8(b1 )及び(b2 )に示すように、この場合4画素毎に、この場合Gr信号及びR信号の電荷がV1 及びV2 で示す垂直転送レジスタに転送される。そしてこれらの信号が垂直転送レジスタを順次転送されて水平転送レジスタに転送されて読み出された後、第2フィールドにおいては、B 信号及びGb信号がそれぞれV2 及びV3 で示す転送パケットに転送されて、垂直転送レジスタにより同様に順次転送される。
【0036】
次に、第3フィールドにおいては、図9(d1 )及び(d2 )に示すように、Gr信号及びR信号がV3 及びV4 で示す垂直転送レジスタに転送されてその後順次垂直方向に転送され、第4フィールドにおいては、図9(e1 )及び(e2 )に示すように、B信号及びGb信号がV4 及びV1 で示す垂直転送レジスタに転送されて垂直方向に順次転送され、全ての信号電荷が読み出される。
【0037】
この場合においても同様に、取り扱い電荷量は電極セル2個分となり、従来構成と同等以上に取り扱い電荷量を保持することができる。
次に、動画出力のための間引きモードでの読み出し方法について図10を参照して説明する。
この場合は、図10(b3 )及び(b4 )に2/8間引きの第1フィールド、図10(b5 )及び(b6 )に2/16間引きの第1フィールドの転送状態を示している。上述の各例と同様に、電荷が存在する領域には斜線を付して示す。
2/8間引きを行う場合は、図10(b3 )及び(b4 )に示すように、8画素に対し2画素を選択して読み出す。図示の例においては、Gr−B配列の垂直転送レジスタにおいては、Gr信号及びB信号8画素中2画素、R−Gb配列の垂直転送レジスタにおいては、R信号及びGb信号をそれぞれ8画素中2画素、V1a及びV2aで示す垂直転送レジスタにより読み出す。なお、外部の電極配線端子を分離することにより、V1 及びV2 に対応する電極を分離して、V1b及びV2bで示す電極は読み出しを行わないようにすることができる。
【0038】
2/16間引きを行う場合は、図10(b5 )及び(b6 )に示すように、16画素に対し2画素を選択して読み出す。この場合においても、V1 及びV2 で示す電極を例えば外部で端子を分離するなどにより、読み出し用のV1a及びV2aで示す垂直転送レジスタ、読み出しを行わないV1b及びV2bで示す垂直転送レジスタに分離することができる。
【0039】
このように、本発明による1画素1電極構成において、動画出力対応のための間引きモードにおいても、垂直転送レジスタの取り扱い電荷量を十分確保して、多フィールド読み出し及び間引き読み出しを容易に実現することができる。
【0040】
〔第2の実施の形態〕
次に、本発明による固体撮像装置において、垂直転送レジスタの電極を、水平ライン方向に隣り合う画素毎に、垂直方向に逆向きに延在するパターンとして形成する場合の実施の形態について説明する。
図11は、この場合の要部の略線的平面構成図を示す。図11において、図11対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。電極6は、水平ライン方向に隣り合う画素すなわち受光部11毎に、図11の紙面において上下に逆向きに延在するパターンとして形成する。
【0041】
このような電極構成とする場合の、4フィールド4相駆動方式による信号の転送態様について説明する。図12及び13においては、前述の図4〜図10において説明した例と同様に、この場合においても、図示の受光部すなわちセンサーの全てに信号が蓄積された場合を示し、電荷が存在する領域は斜線を付して示す。
【0042】
図12(a1 )及び(a2 )は読み出し前の状態を示し、メカシャッターと閉じた後、第1 フィールドにおいて、図12(b1 )及び(b2 )で示すように、Gr−B配列の垂直転送レジスタとR−Gb配列の垂直転送レジスタにおいて、斜めに配列される信号が読み出される。以後、図12(c1 )及び(c2 )で示す第2フィールドの読み出し、図13(d1 )及び(d2 )、(e1 )及び(e2 )で示す第3及び第4 フィールドにおいても、同様に隣り合う垂直転送レジスタにおいて、斜めに配列される信号が順次読み出されることとなる。
このような斜め読み出しを行うことにより、例えばGr及びGbの信号を同時に読み出すことによって1回のフィールドにおいて同一色の読み出しを行うことができ、例えばオートフォーカスに利用する場合に高速で十分な信号量を得るなどの効果を実現することができる。
【0043】
以上述べたように、本発明によれば、IT方式の固体撮像装置において、1画素あたりに要する面積を低減化し、飽和信号量、開放レンズ側の感度などの主要特性を低下させることなく、小型化もしくは画素数の増大化を図ることができる。
尚、本発明は上述の実施の形態に限定されることなく、電極の詳細な形状、配置、材料構成などにおいて、本発明構成を逸脱しない範囲において種々の変形、変更が可能であることはいうまでもない。
【0044】
【発明の効果】
上述したように、本発明によれば、1画素あたり1電極として構成することによって、画素間の配線数を減らすことにより、1画素あたりに要する面積の低減化をはかり、取り扱い電荷量の低下、開放感度の低下などの特性の低下を伴うことなく、装置の小型化、多画素数化を図ることができる。
【0045】
また、信号の読み出しにあたって3フィールド以上の多数回に分割する駆動方法を採ることによって、確実に信号の読み出しを行うことができる。
【0046】
更に、垂直転送レジスタの電極構造を単層構造とする場合は、製造工程数の削減を図り、生産性の向上を図ることもできる。
また、垂直転送レジスタの電極構造を2層構造とする場合は、全体の画素面積、配線部の幅等を縮小して小型化を図る場合においても微細加工技術の問題を回避した安定した素子の形成が可能であり、またスリットによる転送電荷の信号特性の劣化を回避することができる。
【0047】
更にまた、垂直転送レジスタの電極を、水平ライン方向に隣り合う画素毎に、垂直方向に逆向きに延在するパターンとすることによって、斜め読み出しを行うことができ、1 回のフィールドにおいて同一色の読み出しを行うことができ、例えばオートフォーカスに利用する場合に高速で十分な信号量を得る構成とすることができる。
【0048】
また本発明による固体撮像装置の駆動方法によれば、1水平ライン方向に延在する垂直転送レジスタの電極を1 画素当り1電極として確実に信号の読み出しを行うことができ、1 画素あたりに要する配線部等の面積を低減化して、特性の劣化を伴うことなく装置の小型化、多画素数化を実現できる。
更に、本発明による固体撮像装置の駆動方法において、一定の比率の電極に係わる画素に蓄積された電荷信号のみを読み出し、残り電極にかかわる画素の電化を排出することによって、動画出力対応の間引き読み出しを行うことができ、高画素数、高解像度化を相俟ってより特性の優れた動画対応の固体撮像装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】固体撮像装置の一例の要部の略線的拡大平面図である。
【図2】固体撮像装置の一例の要部の略線的拡大断面図である。
【図3】固体撮像装置の一例の要部の略線的拡大断面図である。
【図4】固体撮像装置の駆動方法の一例の説明図である。
【図5】固体撮像装置の駆動方法の一例の説明図である。
【図6】固体撮像装置の駆動方法の一例の説明図である。
【図7】固体撮像装置の駆動方法の一例の説明図である。
【図8】固体撮像装置の駆動方法の一例の説明図である。
【図9】固体撮像装置の駆動方法の一例の説明図である。
【図10】固体撮像装置の駆動方法の一例の説明図である。
【図11】固体撮像装置の一例の要部の略線的拡大平面図である。
【図12】固体撮像装置の駆動方法の一例の説明図である。
【図13】固体撮像装置の駆動方法の一例の説明図である。
【図14】固体撮像装置の一例の模式的な概略構成を示す構成図である。
【図15】固体撮像装置の一例の要部の略線的拡大平面図である。
【図16】固体撮像装置の一例の要部の略線的拡大断面図である。
【図17】固体撮像装置の一例の要部の略線的拡大断面図である。
【符号の説明】
1 基体、2 第1p型ウエル、3 第2p型ウエル、4 n型不純物領域、5絶縁層、6 電極、6A 電極、6B 電極、6a スリット、7 n型不純物領域、8 p型不純物領域、9 絶縁層、10 遮光膜、11 受光部、12読み出しゲート(ROG)領域、13 垂直転送レジスタ、15 チャンネルストッパー領域、16 絶縁層、61 第1の電極、62 第2の電極
Claims (7)
- インターライントランスファー転送方式の固体撮像装置であって、
1水平ライン方向に延在する各垂直転送レジスタの電極が、垂直方向の1画素あたり1電極とされることを特徴とする固体撮像装置。 - 信号の読み出しにあたって、上記信号を3フィールド以上の多数回に分割した読み出しを行う駆動方法が採られることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
- 上記垂直転送レジスタの電極が単層構造とされて成ることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
- 上記垂直転送レジスタの電極が2層構造とされて成ることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
- 上記垂直転送レジスタの電極が、水平ライン方向に隣り合う画素毎に、垂直方向に逆向きに延在するパターンとされて成ることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
- インターライントランスファー転送方式の固体撮像装置の駆動方法であって、
上記固体撮像装置における一水平ライン方向に延在する垂直転送レジスタの電極を、垂直方向の1画素あたり1電極とし、
複数の水平ラインの画素に対応する上記電極に対し、3フィールド以上の多数回に分割して読み出しを行うことを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。 - 上記垂直転送レジスタの電極のうち一定の比率の電極に係わる画素に蓄積された電荷信号のみを読み出し、残り電極に係わる画素の電荷を排出することによって、動画出力対応の間引き読み出しを行うことを特徴とする請求項6に記載の固体撮像装置の駆動方法。
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2003
- 2003-03-18 JP JP2003074108A patent/JP2004281910A/ja active Pending
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