JP2007017367A - 流量測定器及び流量測定方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 66
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 16
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 13
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 107
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 91
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 31
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 26
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 24
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 24
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 15
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 11
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 9
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 8
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 4
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000005063 solubilization Methods 0.000 description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000010583 slow cooling Methods 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】流路を通過する流体の流量を測定する測定器32において,開口40を設けたダイアフラム41を備え,前記流体は,ダイアフラム40の上流側の流路11aから,開口40を通過して,ダイアフラムの下流側の流路31に流れる構成とし,ダイアフラム41のひずみを検出するためのひずみゲージ42と,ひずみゲージ42の出力に基づいて前記流量を検出する演算部45とを備えた。
【選択図】 図2
Description
Q1=C1A1(2ΔP1/ρ1)1/2・・・(1)
ここで,C1は定数(流量係数,約0.6〜0.8),A1[m2]は前述した開口40の開口面積,ρ1[kg/m3]は流体(蒸気)の密度である。式(1)から明らかなように,流量Q1は差圧ΔP1の平方根と比例関係にある。従って,差圧ΔP1と相関関係にある検出値R1から,流量Q1を算出できる。
Q2=C2A2(2ΔP2/ρ2)1/2・・・(2)
ここで,C2は定数(流量係数,約0.6〜0.8),A2[m2]はオゾンガス流量測定器33における開口40の開口面積(A2=πd2 2/4,d2:オゾンガス流量測定器33における開口40の直径),ρ2[kg/m3]は流体(オゾンガス)の密度である。具体的には,予め実験により,ある差圧ΔP2’を与えたときのときの検出値R2’を調べ,その比例定数α2を求め(ΔP2=α2R2),式(2)に基づいて流量Q2を算出すれば良い。
1 基板処理装置
2 チャンバー
11 蒸気供給管
11a 流路
12 オゾンガス供給管
12a 流路
15 合流部
22 流量調整弁
25 流量調整弁
31 流路
32 蒸気流量測定器
33 オゾンガス流量測定器
40 開口
41 ダイアフラム
42 ひずみゲージ
45 演算部
50 制御部
Claims (9)
- 流路を通過する流体の流量を測定する測定器であって,
開口を設けたダイアフラムを備え,
前記流体は,前記ダイアフラムの上流側の流路から,前記開口を通過して,前記ダイアフラムの下流側の流路に流れる構成とし,
前記ダイアフラムのひずみを検出するためのひずみゲージと,前記ひずみゲージの検出値に基づいて前記流量を検出する演算部とを備えたことを特徴とする,流量測定器。 - 前記演算部は,前記ひずみゲージの検出値に基づいて,前記ダイアフラムの上流側における流体の圧力Pと前記ダイアフラムの下流側における流体の圧力Poとの差圧ΔPを求めることを特徴とする,請求項1に記載の流量測定器。
- 前記演算部は,前記流量Qを次式:Q=CA(2ΔP/ρ)1/2(C:定数,A:前記開口の開口面積,ΔP:前記ダイアフラムの上流側における流体の圧力Pと前記ダイアフラムの下流側における流体の圧力Poとの差圧(ΔP=P−Po),ρ:前記流体の密度)に基づいて算出することを特徴とする,請求項1又は2に記載の流量測定器。
- 前記流体は水蒸気であることを特徴とする,請求項1〜3のいずれかに記載の流量測定器。
- 前記ダイアフラムは,樹脂モールドによって形成されたことを特徴とする,請求項1〜4のいずれかに記載の流量測定器。
- 前記ダイアフラムの下流側の流路は,前記ダイアフラムと対向する面が曲面に形成された略半円筒形状の内部空間であることを特徴とする,請求項1〜5のいずれかに記載の流量測定器。
- 流路を通過する流体の流量を測定する方法であって,
前記流体を,ダイアフラムの上流側から前記ダイアフラムに設けた開口に通過させ,前記ダイアフラムの下流側に流入させ,
前記ダイアフラムのひずみに基づいて,前記流量を検出することを特徴とする,流量測定方法。 - 前記流量Qを次式:Q=CA(2ΔP/ρ)1/2(C:定数,A:前記開口の開口面積,ΔP:前記ダイアフラムの上流側における流体の圧力Pと前記ダイアフラムの下流側における流体の圧力Poとの差圧(ΔP=P−Po),ρ:前記流体の密度)に基づいて求めることを特徴とする,請求項7に記載の流量測定方法。
- 前記流体は水蒸気であることを特徴とする,請求項7又は8に記載の流量測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005201316A JP5269285B2 (ja) | 2005-07-11 | 2005-07-11 | 流量測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005201316A JP5269285B2 (ja) | 2005-07-11 | 2005-07-11 | 流量測定器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007017367A true JP2007017367A (ja) | 2007-01-25 |
JP5269285B2 JP5269285B2 (ja) | 2013-08-21 |
Family
ID=37754645
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005201316A Active JP5269285B2 (ja) | 2005-07-11 | 2005-07-11 | 流量測定器 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5269285B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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