JP2008039770A - 物体検出方法及び物体検出装置 - Google Patents
物体検出方法及び物体検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008039770A JP2008039770A JP2007179198A JP2007179198A JP2008039770A JP 2008039770 A JP2008039770 A JP 2008039770A JP 2007179198 A JP2007179198 A JP 2007179198A JP 2007179198 A JP2007179198 A JP 2007179198A JP 2008039770 A JP2008039770 A JP 2008039770A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- gas
- liquid level
- tube
- flow meter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
Abstract
【課題】物体の性質にかかわらず安定して高感度に液面などの物体を検出する装置を提供する。
【解決手段】液槽内の液面を検出する装置10であって、第一の端部及び/又はその付近に1又は2以上の開口部を有し、第一の端部を液槽内に配置したときに液位に応じて開口度が変化する管1と、管1内の気体の流量を計測可能な流量計4と、前記管の第二の端部より吸気又は送気する手段5を備え、前記管1が第一の端部と第二の端部との間にリリース孔6を有することを特徴とする。
【選択図】図3
【解決手段】液槽内の液面を検出する装置10であって、第一の端部及び/又はその付近に1又は2以上の開口部を有し、第一の端部を液槽内に配置したときに液位に応じて開口度が変化する管1と、管1内の気体の流量を計測可能な流量計4と、前記管の第二の端部より吸気又は送気する手段5を備え、前記管1が第一の端部と第二の端部との間にリリース孔6を有することを特徴とする。
【選択図】図3
Description
この発明は、液槽内における液面、定形物の姿勢や大きさなどのように物体の量、姿勢、性質もしくは大きさを検出する方法とそのための装置に関する。
従来、半田などの液面を検出する装置として、熱電対によるもの、光学的手段によるもの、浮きを利用したもの、圧力センサを利用したものなどが知られている。熱電対によるものは、熱電対を液面上方に配置し、熱電対が半田に接しているときとそうでないときとの温度差を原理とする。光学的手段によるものは、液面近くに投光部及び受光部の一方、それより上方に他方をそれぞれ配置し、投光部の光を受光部で感知するか否かを原理とする(特許文献1)。浮きを利用したものは、浮きの上方または下方にリミットスイッチを配置し、浮きの上下方向の変位量に応じてリミットスイッチがオン/オフすることを原理とする(特許文献2)。圧力センサを利用したものは、管の下端を液面と対向させ(又は液中に浸け)、上端より加圧気体を送り、液面が上昇(又は下降)して管の下端が封止(又は開放)された際に、管内圧力が変動することを原理とする(特許文献3&4)。
特開2004−291028
特許第3523070
特許第3684064
特許第2528745
しかし、近年急速に普及しようとしている無鉛半田の液面を検出する場合、熱電対式では熱電対が溶けてしまう。光学式の場合、液中に浮遊する汚染物質(半田槽の場合、フラックスや酸化膜など)が投光部の表面に付着して感度を低下させる。浮き式の場合、凝固した半田や酸化物などが浮きの移動を妨げる。圧力センサ式の場合、液面と接している管の下端から加圧気体が噴き出す際に泡が立ち、半田の酸化を促してしまう。
それ故、この発明の課題は、検出対象物の性質にかかわらず安定して高感度に物体を検出する方法とその装置を提供することにある。
それ故、この発明の課題は、検出対象物の性質にかかわらず安定して高感度に物体を検出する方法とその装置を提供することにある。
その課題を解決するために、この発明の物体検出方法は、
第一の端部及び/又はその付近に1又は2以上の開口部、第一の端部と第二の端部との間にリリース孔を各々有する管と、管内の気体の流量を計測可能な流量計とを準備し、物体の量、姿勢、性質もしくは大きさに応じて前記開口部の開口度が変化する位置に前記管の第一の端部を配置し、管の第二の端部より吸気又は送気しながら管内の気体の流量を流量計で計測することにより、物体の量、姿勢、性質もしくは大きさを検出することを特徴とする。
同じくこの発明の物体検出装置は、
第一の端部及び/又はその付近に1又は2以上の開口部、第一の端部と第二の端部との間にリリース孔を各々有する管と、
管内の気体の流量を計測可能な流量計と
を備えることを特徴とする。
この発明の装置で検出される物体は、特に限定されず、固体、液体、気体のいずれであってもよい。
尚、流量=(流速)×(管の断面積)の関係を有し、流速に基づいて流量を算出することは一般的であるから、この明細書では「流量」及び「流量計」を広義に解し、流速計を用いて流速を計測する場合もこの発明の範囲に属する。
第一の端部及び/又はその付近に1又は2以上の開口部、第一の端部と第二の端部との間にリリース孔を各々有する管と、管内の気体の流量を計測可能な流量計とを準備し、物体の量、姿勢、性質もしくは大きさに応じて前記開口部の開口度が変化する位置に前記管の第一の端部を配置し、管の第二の端部より吸気又は送気しながら管内の気体の流量を流量計で計測することにより、物体の量、姿勢、性質もしくは大きさを検出することを特徴とする。
同じくこの発明の物体検出装置は、
第一の端部及び/又はその付近に1又は2以上の開口部、第一の端部と第二の端部との間にリリース孔を各々有する管と、
管内の気体の流量を計測可能な流量計と
を備えることを特徴とする。
この発明の装置で検出される物体は、特に限定されず、固体、液体、気体のいずれであってもよい。
尚、流量=(流速)×(管の断面積)の関係を有し、流速に基づいて流量を算出することは一般的であるから、この明細書では「流量」及び「流量計」を広義に解し、流速計を用いて流速を計測する場合もこの発明の範囲に属する。
管の第一の端部を物体の近傍に、物体を包囲するように所定位置に配置すると、物体の量、姿勢、性質もしくは大きさに依存して第一の端部の開口部が開閉する。通常、物体の量が多かったり、物体が緻密であったり、物体が大きかったりすると、物体が開口部端面あるいは開口部内周面に密接し、開口部を閉じる。逆に、物体の量が少なかったり、物体が希薄であったり、物体が小さかったりすると、開口部は開けられたままである。そして、物体が開口部を閉じているときは気体はリリース孔から第二の端部に至る経路もしくはその逆の経路を気体が流れるだけであって、流量計を通過しない。他方、物体が第一の端部の開口部を閉じていないときは、開口部より気体が流入した後、流量計を通過する(吸気状態)、又は気体が流量計を通過した後、開口部より流出する(送気状態)。従って、管内の気体の流量を計測することにより、物体の量、姿勢、性質もしくは大きさを検知することができる。フラックスや酸化物などの汚染物質が浮いていても検出精度に影響を及ぼすことはない。管の材料としては物体の性質に応じて適切なものを選択すればよい。
開口部は管の第一の端部に一つだけ形成されていてもよいし、それに加えて又はそれに代えて第一の端部付近の外周面に1以上形成されていてもよい。
開口部は管の第一の端部に一つだけ形成されていてもよいし、それに加えて又はそれに代えて第一の端部付近の外周面に1以上形成されていてもよい。
吸気又は送気する手段は、ファン、コンプレッサー、ガスボンベなどであってよい。前記管の第一の端部と第二の端部との間にリリース孔が設けられているので、開口部が物体で塞がれてもリリース孔より気体が出入りする。従って、物体が液体であっても管内の圧力を制御する高価な精密レギュレータを用いることなく液体の吸い上げ及び泡立ちを防止できる。流量計の位置は、リリース孔よりも前記開口部寄りに設けられているのが好ましい。これにより、開口部が閉じているときは、気体が全く流量計を通過しないので、検出精度に優れるからである。流量計としては、風上側と風下側の温度差を感知するマスフロー式が微小流量であっても測定できるので好ましい。
前記物体が液槽内の高温流体もしくは薬剤であるときは、前記管の前記開口部が形成されている部分が耐熱性耐食性材料からなるのが好ましい。また、物体が液体であるとき、前記管は第一の端部より二方向に分岐した二股管であって、分岐管の長さが互いに異なるものであってよい。これにより、液面の上限位置と下限位置を検出することができる。
以上の構成を有することから、この発明によれば、検出対象物が溶融金属であろうと酸であろうと有機溶媒であろうとその性質にかかわらず安定して高感度に物体を検出することができる。その結果、液面検出装置として用いるときは半田付け、洗浄、フラックス塗布、メッキなど液体が関与する種々の処理を高精度に行うことができる。また、物体の隙間検出、目詰まり検出、粉体検出などの広範な分野で適用可能である。
−先駆形態1−
図1はこの発明の実施形態に至る前の第一の先駆形態に係る液面検出方法とその装置を示す断面図であり、(a)は液位が相対的に低いときの状態、(b)は高いときの状態をそれぞれ示す。
液面検出装置10は、管1と流量計4を備える。管1は、槽A内の液面付近に立てられたプローブ2と、プローブ2の上端に気密に接続された本管3とからなる。流量計4は、本管3の途中に配置されている。プローブ2は、両端が開口していてほぼ一様な内径を有し、下端のみ末広がりになっている。材質は、セラミック、ステンレス又はセラミック(もしくはフッ素)コーティングされた金属である。流量計4としては、0.02〜5リットル/分の気体流量を計測可能なもので、例えば株式会社キーエンス製FD−V40シリーズが適用可能である。本管3はプローブ2と反対側端部の開口が上に向けられている。
図1はこの発明の実施形態に至る前の第一の先駆形態に係る液面検出方法とその装置を示す断面図であり、(a)は液位が相対的に低いときの状態、(b)は高いときの状態をそれぞれ示す。
液面検出装置10は、管1と流量計4を備える。管1は、槽A内の液面付近に立てられたプローブ2と、プローブ2の上端に気密に接続された本管3とからなる。流量計4は、本管3の途中に配置されている。プローブ2は、両端が開口していてほぼ一様な内径を有し、下端のみ末広がりになっている。材質は、セラミック、ステンレス又はセラミック(もしくはフッ素)コーティングされた金属である。流量計4としては、0.02〜5リットル/分の気体流量を計測可能なもので、例えば株式会社キーエンス製FD−V40シリーズが適用可能である。本管3はプローブ2と反対側端部の開口が上に向けられている。
槽A内の溶融半田は300〜450℃の所定温度に制御されており、半田付け作業により消費されて液面が低下し、図1(a)に示すようにプローブ2の下端面との間に隔たりが生じると煙突効果により上昇気流が発生する。この気流発生を流量計4で捉えることにより、液面が低下したことを検出し、その検出信号に基づいて糸半田Bを槽Aに供給する。半田Bの供給に伴って液面が上昇し、図1(b)に示すようにプローブ2の下端面に達すると溶融半田でプローブ2の下端が塞がれるので、プローブ2内の気体の流れは止まる。これにより半田Bの供給を停止する。こうして槽A内の液面がほぼ一定に保たれる。プローブ2は、溶融半田に対して耐性を有している。また、液面がフラックスや酸化物などで汚染されていても流量計が誤動作することはほとんどない。
−先駆形態2−
図2はこの発明の第二の先駆形態に係る液面検出方法とその装置を示す断面図である。この実施形態では、本管3のプローブ2と反対側端部に吸気ファン5が取り付けられている。プローブ2は一様な内径を有する。その他の構成は、実施形態1と同一であり、同じ符号を用いることにより説明に代える。稼働中、吸気ファン5を回転させておく。そして、図2のように液面が低下してプローブ2の下端面との間に隔たりが生じると、プローブ2より吸い込まれた多量の空気が流量計4を通過する。槽Aに半田を供給するに伴って液面が上昇し、プローブ2の下端面に達すると半田が僅かに吸い上げられ、流量計4を通過する空気の量が減る。この流量変化に基づいて半田の供給を停止する。
この実施形態によれば、液面温度が低くて十分な上昇気流を確保できない場合でも液面を検出することが可能である。尚、吸気ファン5に代えて吸引ポンプ、エジェクターを用いても良い。
図2はこの発明の第二の先駆形態に係る液面検出方法とその装置を示す断面図である。この実施形態では、本管3のプローブ2と反対側端部に吸気ファン5が取り付けられている。プローブ2は一様な内径を有する。その他の構成は、実施形態1と同一であり、同じ符号を用いることにより説明に代える。稼働中、吸気ファン5を回転させておく。そして、図2のように液面が低下してプローブ2の下端面との間に隔たりが生じると、プローブ2より吸い込まれた多量の空気が流量計4を通過する。槽Aに半田を供給するに伴って液面が上昇し、プローブ2の下端面に達すると半田が僅かに吸い上げられ、流量計4を通過する空気の量が減る。この流量変化に基づいて半田の供給を停止する。
この実施形態によれば、液面温度が低くて十分な上昇気流を確保できない場合でも液面を検出することが可能である。尚、吸気ファン5に代えて吸引ポンプ、エジェクターを用いても良い。
−実施形態1−
図3は先駆形態1及び2を改良したもので、この発明の第一の実施形態に係る液面検出方法とその装置を示す断面図である。図3に示すように本管3における流量計4と吸気ファン5との間の位置にリリース孔6が形成されている。槽A内には水溶液、非揮発性有機溶剤などの低比重の液体が溜められている。その他の構成は、先駆形態2と同一であり、同じ符号を用いることにより説明に代える。リリース孔6は、流量計4と吸気ファン5との間に位置し、常時開いている。
この実施形態によれば、液面がプローブ2の下端より低いときは、空気がプローブ2からだけでなくリリース孔6からも空気を吸い込む点を除いては、実施形態2におけると同様に多量の空気が流量計4を通過する。これにより液面が定位置よりも低下していることを検出し、槽Aに液体を補充する。そして、液面が上昇してプローブ2の下端面に達するとプローブ2からの流入が止まり、流量計4を空気が通過しなくなる。この流量変化に基づいて液体の補充を停止する。一方、プローブ2の下端面が液体で閉じられてもリリース孔6からは空気が流入し続ける。従って、プローブ2内が負圧になることはなく、液体の吸い上げが防がれる。リリース孔6を図4に示すように流量計4の入口側に形成しても検出可能であるが、検出精度が低下する。
図3は先駆形態1及び2を改良したもので、この発明の第一の実施形態に係る液面検出方法とその装置を示す断面図である。図3に示すように本管3における流量計4と吸気ファン5との間の位置にリリース孔6が形成されている。槽A内には水溶液、非揮発性有機溶剤などの低比重の液体が溜められている。その他の構成は、先駆形態2と同一であり、同じ符号を用いることにより説明に代える。リリース孔6は、流量計4と吸気ファン5との間に位置し、常時開いている。
この実施形態によれば、液面がプローブ2の下端より低いときは、空気がプローブ2からだけでなくリリース孔6からも空気を吸い込む点を除いては、実施形態2におけると同様に多量の空気が流量計4を通過する。これにより液面が定位置よりも低下していることを検出し、槽Aに液体を補充する。そして、液面が上昇してプローブ2の下端面に達するとプローブ2からの流入が止まり、流量計4を空気が通過しなくなる。この流量変化に基づいて液体の補充を停止する。一方、プローブ2の下端面が液体で閉じられてもリリース孔6からは空気が流入し続ける。従って、プローブ2内が負圧になることはなく、液体の吸い上げが防がれる。リリース孔6を図4に示すように流量計4の入口側に形成しても検出可能であるが、検出精度が低下する。
−実施形態2−
この実施形態では、図5に示すように本管3に吸気ファン5に代えて絞り弁7a、圧力計7b、減圧弁7c及びコンプレッサー(図示省略)が直列に取り付けられている。そして、槽A内には酸性溶液、アルカリ性溶液、揮発性有機溶剤などの浸食性の液体が溜められている。その他の構成は、図3に示した実施形態1と同一である。
但し、管1内の気体の流れ方向は実施形態1と逆となる。即ち、液面がプローブ2の下端より低いときは、コンプレッサーより供給される気体は一部がリリース孔6より外部に出るとともに残部が流量計4を通過してプローブ2より外部に出る。液面がプローブ2の下端に達すると、液体が抵抗となって供給気体はより多くリリース孔6から排出され、同時に流量計4を通過する量が減る。この流量変化に基づいて液体の補充を停止する。稼働中に浸食性の液体が弁や計器に流入することはない。しかもリース孔6が存在する故に、プローブ2の開口部付近での泡立ちが抑制される。尚、コンプレッサーに代えてガスボンベであってもよい。
この実施形態では、図5に示すように本管3に吸気ファン5に代えて絞り弁7a、圧力計7b、減圧弁7c及びコンプレッサー(図示省略)が直列に取り付けられている。そして、槽A内には酸性溶液、アルカリ性溶液、揮発性有機溶剤などの浸食性の液体が溜められている。その他の構成は、図3に示した実施形態1と同一である。
但し、管1内の気体の流れ方向は実施形態1と逆となる。即ち、液面がプローブ2の下端より低いときは、コンプレッサーより供給される気体は一部がリリース孔6より外部に出るとともに残部が流量計4を通過してプローブ2より外部に出る。液面がプローブ2の下端に達すると、液体が抵抗となって供給気体はより多くリリース孔6から排出され、同時に流量計4を通過する量が減る。この流量変化に基づいて液体の補充を停止する。稼働中に浸食性の液体が弁や計器に流入することはない。しかもリース孔6が存在する故に、プローブ2の開口部付近での泡立ちが抑制される。尚、コンプレッサーに代えてガスボンベであってもよい。
−実施形態3−
この実施形態では、図6に示すように本管3が分岐しており、その枝管8に流量計4が取り付けられている。そして、枝管8の先端にリリース孔6が設けられている。その他の構成は、実施形態2と同一である。この構成の場合、液面がプローブ2の下端より低いときは、コンプレッサーより供給される気体は一部がプローブ2より外部に出るとともに残部が流量計4を通過してリリース孔6より外部に出る。液面がプローブ2の下端に達すると、液体が抵抗となって供給気体はより多く流量計4を通過してリリース孔6から排出される。この流量変化に基づいて液体の補充を停止する。実施形態2と同じく稼働中の浸食性液体の流入や泡立ちが抑制される。
この実施形態では、図6に示すように本管3が分岐しており、その枝管8に流量計4が取り付けられている。そして、枝管8の先端にリリース孔6が設けられている。その他の構成は、実施形態2と同一である。この構成の場合、液面がプローブ2の下端より低いときは、コンプレッサーより供給される気体は一部がプローブ2より外部に出るとともに残部が流量計4を通過してリリース孔6より外部に出る。液面がプローブ2の下端に達すると、液体が抵抗となって供給気体はより多く流量計4を通過してリリース孔6から排出される。この流量変化に基づいて液体の補充を停止する。実施形態2と同じく稼働中の浸食性液体の流入や泡立ちが抑制される。
−実施形態4−
この実施形態では、図7に示すように本管13が二方向に分岐した二股管であり、各枝管に長さの異なるプローブ2a、2bが連結されている。その他の構成は、実施形態2と同一である。プローブ2aの下端面は、プローブ2bのそれよりも下位にある。この構成によれば、液面が変位する過程においてプローブ2aの下端面に達するときと、プローブ2bの下端面に達するときとで合計2回の段階的な流量変化を生じる。従って、液面の上限位置と下限位置を検出することができる。
この実施形態では、図7に示すように本管13が二方向に分岐した二股管であり、各枝管に長さの異なるプローブ2a、2bが連結されている。その他の構成は、実施形態2と同一である。プローブ2aの下端面は、プローブ2bのそれよりも下位にある。この構成によれば、液面が変位する過程においてプローブ2aの下端面に達するときと、プローブ2bの下端面に達するときとで合計2回の段階的な流量変化を生じる。従って、液面の上限位置と下限位置を検出することができる。
−実施形態5−
この実施形態も液面の上限位置と下限位置を検出するものである。但し、実施形態4と異なり、図8に示すように実施形態2と同じ構成の検出装置が2個用いられている。そして、一方のプローブ2が他方のプローブ2’よりも低い位置に固定されている。従って、液面がプローブ2の下端面とプローブ2’の下端面との間に位置するときは、プローブ2’側の流量計4’には多量の気体が流れ、プローブ2側の流量計4にはほとんど流れない。このため液面の上限位置と下限位置をより高精度に検出することができる。
この実施形態も液面の上限位置と下限位置を検出するものである。但し、実施形態4と異なり、図8に示すように実施形態2と同じ構成の検出装置が2個用いられている。そして、一方のプローブ2が他方のプローブ2’よりも低い位置に固定されている。従って、液面がプローブ2の下端面とプローブ2’の下端面との間に位置するときは、プローブ2’側の流量計4’には多量の気体が流れ、プローブ2側の流量計4にはほとんど流れない。このため液面の上限位置と下限位置をより高精度に検出することができる。
−実施形態6−
この実施形態では、図9に示すようにプローブ12が下端面に開口を有するだけでなく、外周面に軸方向に形成されたスリット12aを有している。スリット12aは下端面の開口と連なっている。その他の構成は、実施形態4と同一である。コンプレッサーより送られて絞り弁7aを通過する気体の流量をq3、リリース孔6より流出する気体の量をq2、プローブ12より流出する気体の量をq1とするとき、q3=q2+q1の関係にある。実施形態4では液面がプローブ2の下端面に達した時点でq1がほぼ0となり、q3≒q2となっていた。これに対して、この実施形態では液面がプローブ2の下端面に達してもスリット12aより気体が継続して流出する。そして、スリット12aより流出する量q1は、液面からスリット12aの上端までの長さLと正の相関関係にある。従って、液面の変位を連続的に測定することができる。
尚、スリット12aに代えて図10に示すように軸方向に間欠的に複数の長孔12b、12b・・・12bを形成すれば液位を段階的に測定することができる。長孔12bは、その長軸が水平になるように形成するのが望ましい。スリット12aにするにしても長孔12bにするにしても配管や設置の都合により、図6に示すように枝管8に流量計4を取り付けても良い。
この実施形態では、図9に示すようにプローブ12が下端面に開口を有するだけでなく、外周面に軸方向に形成されたスリット12aを有している。スリット12aは下端面の開口と連なっている。その他の構成は、実施形態4と同一である。コンプレッサーより送られて絞り弁7aを通過する気体の流量をq3、リリース孔6より流出する気体の量をq2、プローブ12より流出する気体の量をq1とするとき、q3=q2+q1の関係にある。実施形態4では液面がプローブ2の下端面に達した時点でq1がほぼ0となり、q3≒q2となっていた。これに対して、この実施形態では液面がプローブ2の下端面に達してもスリット12aより気体が継続して流出する。そして、スリット12aより流出する量q1は、液面からスリット12aの上端までの長さLと正の相関関係にある。従って、液面の変位を連続的に測定することができる。
尚、スリット12aに代えて図10に示すように軸方向に間欠的に複数の長孔12b、12b・・・12bを形成すれば液位を段階的に測定することができる。長孔12bは、その長軸が水平になるように形成するのが望ましい。スリット12aにするにしても長孔12bにするにしても配管や設置の都合により、図6に示すように枝管8に流量計4を取り付けても良い。
−実施形態7−
図11はリリース孔に弁が取り付けられている実施形態を示す断面図であり、(a)は弁の閉状態、(b)は開状態を示す。リリース孔6は、本管3の内周面から外部に至る経路の途中に内周面から遠ざかるに伴って広がるすり鉢状の弁座9aを有する。そして、弁9は、この弁座9aよりも広角の円錐状の弁体9bと、弁体9bの後方に連なる弁軸9cとからなり、弁軸9cが本管3にねじ嵌合することによって固定され、ねじ運動に伴って開度が連続的に変化する。
図11はリリース孔に弁が取り付けられている実施形態を示す断面図であり、(a)は弁の閉状態、(b)は開状態を示す。リリース孔6は、本管3の内周面から外部に至る経路の途中に内周面から遠ざかるに伴って広がるすり鉢状の弁座9aを有する。そして、弁9は、この弁座9aよりも広角の円錐状の弁体9bと、弁体9bの後方に連なる弁軸9cとからなり、弁軸9cが本管3にねじ嵌合することによって固定され、ねじ運動に伴って開度が連続的に変化する。
−実施形態8−
図12もリリース孔に弁が取り付けられているもう一つの実施形態を示す断面図であり、(a)は弁の閉状態、(b)は開状態を示す。二方コック式の弁19を回転させることにより、その位相に応じてリリース孔6が開閉する。
図12もリリース孔に弁が取り付けられているもう一つの実施形態を示す断面図であり、(a)は弁の閉状態、(b)は開状態を示す。二方コック式の弁19を回転させることにより、その位相に応じてリリース孔6が開閉する。
−実施形態9−
図13(a)及び(b)は本管内周面及びリリース孔の種々の変形例を示す断面図である。いずれも本管3の内径がリリース孔6の位置で小さくなっており、これにより縮径部分を通過する際に気体の流速が増し、流量計4の精度が向上する。
図13(a)及び(b)は本管内周面及びリリース孔の種々の変形例を示す断面図である。いずれも本管3の内径がリリース孔6の位置で小さくなっており、これにより縮径部分を通過する際に気体の流速が増し、流量計4の精度が向上する。
−実施形態10−
図14(a)及び(b)は、以上の実施形態と異なり、検出対象物が定形の固体である検出方法を示す一部破断正面図である。この実施形態においてはこれまでの実施形態におけるプローブに代えて本管3の先端に表面が平坦な板22が取り付けられている。そして、図14(a)の形態では板22の上に筒Tが気密性を保って置かれ、その内側に入れ子Bが嵌合されている。入れ子Bが筒Tと締まり嵌合しているときは気体が流量計4を通過せず、緩み嵌合しているときは通過して入れ子Bと筒Tとの間隙を出入りする。従って、入れ子Bと筒Tが、所定の寸法を充足しているかどうかを検出することができる。また、入れ子Bに代えて図略のフィルタを筒Tに嵌合すれば、フィルタの目詰まりを検出することもできる。
図14(b)の形態では筒Tに代えて板22の上にスペーサSが置かれ、その上に物体Cが置かれている。従って、物体CがスペーサSを介して置かれているかどうかを検出することができる。また、スペーサSを取り払うことで、物体Cが板22上に着座しているかどうかを検出することができる。
図14(a)及び(b)は、以上の実施形態と異なり、検出対象物が定形の固体である検出方法を示す一部破断正面図である。この実施形態においてはこれまでの実施形態におけるプローブに代えて本管3の先端に表面が平坦な板22が取り付けられている。そして、図14(a)の形態では板22の上に筒Tが気密性を保って置かれ、その内側に入れ子Bが嵌合されている。入れ子Bが筒Tと締まり嵌合しているときは気体が流量計4を通過せず、緩み嵌合しているときは通過して入れ子Bと筒Tとの間隙を出入りする。従って、入れ子Bと筒Tが、所定の寸法を充足しているかどうかを検出することができる。また、入れ子Bに代えて図略のフィルタを筒Tに嵌合すれば、フィルタの目詰まりを検出することもできる。
図14(b)の形態では筒Tに代えて板22の上にスペーサSが置かれ、その上に物体Cが置かれている。従って、物体CがスペーサSを介して置かれているかどうかを検出することができる。また、スペーサSを取り払うことで、物体Cが板22上に着座しているかどうかを検出することができる。
−実施形態11−
図15は物体の姿勢を検出する方法の実施形態を示す一部破断正面図である。検出装置1が並べて固定されている。第一の端部の上方に存在する物体Cが傾いているときは、一方の検出装置1と他方の検出装置1とで気体の流量が異なるから、流量の異同に基づいて物体Cが水平を保っているか否かが検出される。
図15は物体の姿勢を検出する方法の実施形態を示す一部破断正面図である。検出装置1が並べて固定されている。第一の端部の上方に存在する物体Cが傾いているときは、一方の検出装置1と他方の検出装置1とで気体の流量が異なるから、流量の異同に基づいて物体Cが水平を保っているか否かが検出される。
−実施形態12−
図16は噴流気体の有無、図17は水滴の有無を検出する方法の実施形態を示す一部破断正面図である。いずれもプローブ2の先端に噴流気体V又は水滴Wが存在するときは気体が流量計4を通過しない。
図16は噴流気体の有無、図17は水滴の有無を検出する方法の実施形態を示す一部破断正面図である。いずれもプローブ2の先端に噴流気体V又は水滴Wが存在するときは気体が流量計4を通過しない。
10、20、30、40、50、60、80 液面検出装置
1 管
2、2’、2a、2b、12 プローブ
3 本管
4 流量計
5 吸気ファン
6 リリース孔
22 板
9、19 弁
1 管
2、2’、2a、2b、12 プローブ
3 本管
4 流量計
5 吸気ファン
6 リリース孔
22 板
9、19 弁
Claims (10)
- 物体を検出する方法であって、
第一の端部及び/又はその付近に1又は2以上の開口部、第一の端部と第二の端部との間にリリース孔を各々有する管と、管内の気体の流量を計測可能な流量計とを準備し、物体の量、姿勢、性質もしくは大きさに応じて前記開口部の開口度が変化する位置に前記管の第一の端部を配置し、管の第二の端部より吸気又は送気しながら管内の気体の流量を流量計で計測することにより、物体の量、姿勢、性質もしくは大きさを検出することを特徴とする物体検出方法。 - 前記流量計が、マスフロー式である請求項1に記載の方法。
- 前記物体の量、姿勢、性質もしくは大きさが、液槽内の液位、前記開口部に嵌合された定形物の大きさ、前記開口部の開口端面に気密に接触するようにもしくはスペーサを介して配置される定形物の位置、姿勢もしくは性質、または前記気体と異なる方向に流れる第二の気体の流量である請求項1に記載の方法。
- 物体を検出する装置であって、
第一の端部及び/又はその付近に1又は2以上の開口部、第一の端部と第二の端部との間にリリース孔を各々有する管と、
管内の気体の流量を計測可能な流量計と
を備えることを特徴とする物体検出装置。 - 更に、前記管の第二の端部より吸気又は送気する手段を備える請求項4に記載の装置。
- 前記流量計がリリース孔よりも前記開口部寄りに設けられている請求項4に記載の装置。
- 前記物体が前記開口部に嵌合されるか、又は前記開口部の開口端面に気密に接触するようにもしくはスペーサを介して配置される定形物である請求項4〜6のいずれかに記載の装置。
- 前記物体が前記気体と異なる方向に流れる第二の気体である請求項4〜6のいずれかに記載の装置。
- 前記物体が液槽内の高温流体もしくは薬剤であって、前記管の前記開口部が形成されている部分が耐熱性耐食性材料からなる請求項4〜6のいずれかに記載の装置。
- 前記管が第一の端部より二方向に分岐した二股管であって、分岐管の長さが互いに異なる請求項9に記載の装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007179198A JP2008039770A (ja) | 2006-07-10 | 2007-07-09 | 物体検出方法及び物体検出装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006189105 | 2006-07-10 | ||
JP2007179198A JP2008039770A (ja) | 2006-07-10 | 2007-07-09 | 物体検出方法及び物体検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008039770A true JP2008039770A (ja) | 2008-02-21 |
Family
ID=39174920
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007179198A Pending JP2008039770A (ja) | 2006-07-10 | 2007-07-09 | 物体検出方法及び物体検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008039770A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012016196A1 (de) * | 2012-08-16 | 2014-02-20 | Esders Gmbh | Pegelrohr und Verfahren zur Messung des Wasserstands in einem Bohrloch |
JP2019124662A (ja) * | 2018-01-19 | 2019-07-25 | 日本カニゼン株式会社 | 液面レベル検出装置、液面レベル検出方法、および、めっき処理装置 |
JP2019182283A (ja) * | 2018-04-13 | 2019-10-24 | 株式会社シマノ | 制御装置およびキャリブレーション方法 |
-
2007
- 2007-07-09 JP JP2007179198A patent/JP2008039770A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012016196A1 (de) * | 2012-08-16 | 2014-02-20 | Esders Gmbh | Pegelrohr und Verfahren zur Messung des Wasserstands in einem Bohrloch |
JP2019124662A (ja) * | 2018-01-19 | 2019-07-25 | 日本カニゼン株式会社 | 液面レベル検出装置、液面レベル検出方法、および、めっき処理装置 |
JP2019182283A (ja) * | 2018-04-13 | 2019-10-24 | 株式会社シマノ | 制御装置およびキャリブレーション方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100418684B1 (ko) | 반도체 공정가스용 차압식 유량 제어기 | |
US7798017B2 (en) | Ram pressure probe having two ducts and a differential pressure increasing element | |
JP2008039770A (ja) | 物体検出方法及び物体検出装置 | |
JP2008224672A (ja) | 一定速度での液体の提供及び厳密に再現可能な容積の液体供給方法並びに装置 | |
JP5413282B2 (ja) | 腐食試験装置及び腐食試験方法 | |
CN106323533B (zh) | 用于测量流体流总压的装置 | |
CN111504883A (zh) | 一种多孔介质渗透率的测量装置及测量方法 | |
US20150153264A1 (en) | Corrosion- resistant test device | |
US9340028B2 (en) | Liquid storing device, liquid storing method and inkjet recording device | |
JP2006308374A (ja) | 液体分注装置及び液体分注方法 | |
JP2005172735A (ja) | 液量測定装置 | |
JP2008107244A (ja) | 連続式全有機炭素濃度測定方法及びその装置 | |
JP2008014765A (ja) | 流量計測装置および送液装置 | |
JP6948602B2 (ja) | 希釈装置及び噴霧装置 | |
JP4178122B2 (ja) | 分注装置及びそれを備えた自動分析装置 | |
JP5243924B2 (ja) | 気中塩分測定方法及びシステム | |
US20230138692A1 (en) | Trap device and substrate processing apparatus comprising the same | |
JP2009270825A (ja) | サンプリングチューブ及びサンプリング方法 | |
JP2010078331A (ja) | フロート式ガス流量計およびこのフロート式ガス流量計を備えたガス検知装置 | |
US8289175B2 (en) | Fluid level warning system for vehicle | |
US11874137B1 (en) | Measurement apparatus | |
JP2005262129A (ja) | 液混合装置 | |
JP2010255530A (ja) | 液体流量計測装置 | |
JP4167078B2 (ja) | 背圧検知による残量検出装置 | |
JP2007017367A (ja) | 流量測定器及び流量測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100611 |
|
A072 | Dismissal of procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A073 Effective date: 20111018 |