JP3172884B2

JP3172884B2 - 薬液制御装置

Info

Publication number: JP3172884B2
Application number: JP03290592A
Authority: JP
Inventors: 春雄横手
Original assignee: 株式会社東京フローメータ研究所
Priority date: 1992-01-24
Filing date: 1992-01-24
Publication date: 2001-06-04
Anticipated expiration: 2016-06-04
Also published as: JPH05206101A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、半導体或いは
液晶製造工程において、ウェットエッチング用の各種薬
液の流量、圧力、温度等を制御する薬液制御装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体或いは液晶製造工程においては、
ウェットエッチング工程と、その後に行われる洗浄工程
がある。上記ウェットエッチング工程とは、強酸の薬
液、例えば、フッ酸、硫酸、塩酸等を使用して、基板上
に付着している金属膜或いはちっ化膜を除去する工程で
ある。又、上記洗浄工程とは、上記ウェットエッチング
工程の後に行われるものであって、ウェットエッチング
によって基板上に付着した強酸の薬液を純水によって除
去する工程である。

【０００３】ところで、上記ウェットエッチング工程に
おける薬液の流量制御は、例えば、、図１１に示すよう
な構成によって行っている。まず、薬液は循環ポンプ２
０１により循環され、上記循環ポンプ２０１と循環槽２
０３との間には循環流路２０５が構成されている。上記
循環流路２０５内には、流量計２０７、開閉バルブ２０
９、フィルタ２１１がそれぞれ介挿されている。そし
て、流量計２０７を監視しながら開閉バルブ２０９を手
動によって適宜開閉することにより、循環する薬液２１
３の流量を制御する。

【０００４】又、薬液２１３の温度制御は、例えば、図
１２に示すような構成によって行っていた。すなわち、
循環流路２０５に熱交換器２１５を介挿し、又、循環槽
２０３内には温度モニタ２１７を設置する。そして、上
記温度モニタ２１７によって循環槽２０３内の薬液２１
３の温度を監視して、温度調節器２１９を介して熱交換
器２１５を制御することにより、薬液２１３の温度を制
御する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の構成による
と次のような問題があった。まず、流量制御における問
題から説明する。ウェットエッチング工程においては、
図１３に示すような状態で、薬液２１３のエッチングが
行われる。すなわち、薬液２１３の流れに対して基板２
２１を平行に配置する。そして、薬液２１３が精度良く
流量制御されていれば流れは層流となり、基板２２１の
凸部２２３はもとより、凹部２２５内にも薬液２１３が
適度に入り込んでいき、凸部２２３及び凹部２２５共に
均一にエッチングがなされる。

【０００６】ところが、従来の場合には、図１１に示し
た構成では、薬液２１３の流量制御が精度良く行われな
いために、薬液２１３の流量が不用意に増減してしまう
ことがある。そして、薬液２１３の流量が多過ぎる場合
には、図１４に示すように、凹部２２５内で乱流が発生
してしまい、凹部２２５内において場所によってエッチ
ングレート（単位時間当たりのエッチング量）にばらつ
きが生じてしまうという問題があった。これに対して、
薬液２１３の流量が少な過ぎる場合には、図１５に示す
ような状態になってしまう。すなわち、凹部２２５内に
おいて薬液２１３が滞留してしまい、新しい薬液２１３
の供給が鈍ってしまう。そのため、時間とともに化学変
化が鈍ってしまって凸部２２３と凹部２２９との間にエ
ッチングレートのばらつきが生じてしまうものである。

【０００７】次に、圧力制御の問題がある。例えば、薬
液２１３の圧力が所定圧力に対して低下してしまうこと
がある。これは、例えば、フィルタ２１１が破損してし
まい、薬液２１３の濾過が正常に行われないことに起因
する。すなわち、通常は、フィルタ２１１では濾過抵抗
等により圧力が上昇することになるが、フィルタ２１１
が破損した場合には、そのような圧力上昇が発生せず、
圧力が低下してしまうことになる。又、フィルタ２１１
の故障以外にも、配管の損失等に起因した薬液漏れが原
因して圧力が低下することがある。

【０００８】ここれに対して、フィルタ２１１が目詰ま
り現象を起こした場合には、薬液２１３の圧力が所定圧
力に対して上昇してしまうことになり、場合によって
は、薬液２１３の流通そのものが損なわれてしまうこと
がある。このように、薬液２１３の圧力が所定圧力に対
して、不用意に上昇・低下したような場合には、薬液２
１３の循環流量が変動することになり、既に述べたよう
にエッチングレートがばらついてしまうことになる。と
ころが、従来の場合には、圧力の監視が殆ど行われてお
らず、問題となっていた。

【０００９】次に、薬液２１３の温度の問題がある。す
なわち、従来の構成では、薬液２１３の温度を高い精度
で制御することはできず、そのため、エッチングレート
にばらつきが発生してしまうという問題があった。薬液
２１３はその温度が僅かに変動するだけで（例えば、
０．２℃程度）、そのエッチングレート時間が大きく変
動してしまうという性質を備えている。これに対して、
従来の場合には、オーバーフロー槽である循環槽２０３
内に温度モニタ２１７を挿入して監視しているだけであ
り、それに基づいて熱交換器２１５を制御しても、循環
している間に変動してしまうことがあり、その改善が要
求されていた。

【００１０】又、上記温度制御の構成において、従来の
熱交換器２１５は、薬液２１３を熱交換プレートによっ
て直接熱交換させるものである。その際、熱交換プレー
トは金属製であるので、薬液２１３によって酸化されて
しまい、その健全性が損なわれてしまうことはもとよ
り、酸化反応によって重金属イオンが生じてしまい、そ
れによって、半導体ウェハー等の品質が損なわれてしま
うことが懸念される。これに対しては、熱交換プレート
に耐薬品特性を備えた樹脂等をコーティングすることが
考えられているが、樹脂と金属との剥離、クラックの発
生、ピンホールの発生等によりその耐薬品特性が損なわ
れることがあり、長期にわたってその機能を維持するこ
とは不可能であった。

【００１１】本発明はこのような点に基づいてなされた
ものでその目的とするところは、温度、流量、圧力を高
い精度で制御することにより上記したような各種不具合
を解消することが可能な薬液制御装置を提供することに
ある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するべく
本願発明による薬液制御装置は、薬液を収容する薬液槽
と、上記薬液槽に接続された薬液循環ラインと、上記薬
液循環ラインに介挿された薬液循環ポンプと、上記薬液
循環ラインに介挿され薬液と第１冷媒とを二重配管構造
によって熱交換させる第１熱交換器と、上記薬液循環ラ
インに介挿され薬液の流量を制御する流量制御手段と、
上記薬液循環ラインに介挿され循環する薬液の圧力を検
出する薬液圧力検出手段と、上記第１熱交換器に循環さ
れる第１冷媒を第２冷媒によって熱交換する第２熱交換
器と、上記薬液槽に設置され薬液の温度を検出する薬液
温度検出手段と、上記第２熱交換器に設置され第１冷媒
の温度を検出する第１冷媒温度検出手段と、上記流量制
御手段及び圧力検出手段からの信号に基づいて流量又は
圧力が設定値に対してずれた場合に警報を出力するとと
もに上記薬液温度検出手段及び第１冷媒温度検出手段か
らの信号に基づいて第１冷媒ひいては薬液の温度を制御
し薬液温度が設定値に対してずれた場合に警報を出力す
る制御手段と、を具備したことを特徴とするものであ
る。

【００１３】

【作用】本発明の薬液制御装置は、循環する薬液の流量
を制御することは勿論のこと、圧力を監視するととも
に、温度を制御するものである。その温度制御は、薬液
槽に設置され薬液の温度を検出する第１温度検出手段
と、第２熱交換器に設置され循環水の温度を検出する第
２温度検出手段とからの信号に基づいて、第１冷媒の温
度ひいてはそれと熱交換される薬液の温度を制御するも
のである。

【００１４】

【実施例】以下、図１乃至図１０を参照して本発明の一
実施例を説明する。本実施例による薬液制御装置は、図
１に示すような構成になっている。図１中一点鎖線で囲
んだ部分が本実施例による薬液制御装置である。まず、
ＩＮポート１とＯＵＴポート３とが設けられていて、こ
れらＩＮポート１とＯＵＴポート３との間には、薬液循
環ライン５が配設されている。上記薬液循環ライン５に
は、開閉バルブ７、ベローズポンプ９、ダンパー１１、
熱交換器１３、フロートコントローラ１５、圧力計１
７、フィルタ１９、開閉バルブ２１が、ＩＮポート１側
より順次介挿されている。

【００１５】上記ＩＮポート１とＯＵＴポート３には、
別に設けられるオーバーフロー槽２３が接続される。す
なわち、オーバーフロー槽２３のＯＵＴポート２５側が
配管２７を介してＩＮポート１と接続され、オーバーフ
ロー槽２３のＩＮポート２９側が配管３１を介してＯＵ
Ｔポート３と接続されている。上記オーバーフロー槽２
３内には、ウェットエッチング用の薬液３３が収容され
ている。

【００１６】ベローズポンプ９は、薬液３３を循環させ
るものであり、その際、脈動が発生するので、その脈動
をダンパー１１によって吸収する。ダンパー１１によっ
て脈動を吸収された薬液３３は、熱交換器１３内に導入
される。熱交換器１３は、二重配管構造になっていて、
薬液３３はテフロン製の内管３５内を流通する。一方、
塩化ビニール製の外管３７内には第１冷媒としての循環
水が流通する。上記循環水は別に設けられたサーモモジ
ュール熱交換器３９より供給される。サーモモジュール
熱交換器３９と熱交換器１３とは、配管４１、４３を介
して接続されていて、循環水はこれら配管４１、４３及
び熱交換器１３の外管３７を介して、薬液３３とは逆方
向に流通する。

【００１７】上記サーモモジュール熱交換器３９には、
第２冷媒としての冷却水を供給・排出する冷却水配管４
５、４７が接続されている。上記冷却水配管４５、４７
には、開閉バルブ４９、５１が介挿されていて、外部と
接続されるようになっている。又、上記配管４１、４３
からは別の配管５３、５５が分岐されていて、それぞれ
開閉バルブ５７、５９が接続されており、外部と接続さ
れるようになっている。尚、図１中符号２０はドライエ
アポート、２２は排気ポート、２４は冷却水ＩＮポー
ト、２６は冷却水ＯＵＴポート、２８は熱交ＯＵＴポー
ト、３０、３２はドレインポートをそれぞれ示す。

【００１８】熱交換器１３により熱交換された薬液３３
は、フローコントローラ１５に導入される。このフロー
コントローラ１５は、実願平３−８９０８４号に添付し
た明細書及び図面に示すものであり、図１０に示すよう
な構成になっている。まず、流量検出部１０１と流量制
御部１０３とがあり、これら流量検出部１０１と流量制
御部１０３とが一体化された構成になっている。流量検
出部１０１はボディ１０５を備えていて、このボディ１
０５は流量制御部１０３のボディでもある。ボディ１０
５の図中左端には流入口１０７が形成されていて、この
流入口１０７の図中右側には中空状のテーパ管１０９が
設置されている。このテーパ管１０９の内側にはフロー
ト１１１が昇降可能に配置されている。

【００１９】上記ボディ１０５の上方には台座１１３が
固定されている。フロート１１１には、ガイドパイプ１
１５を介してコア１１７が連結されている。コア１１７
の外周位置にはパイプ１１９が配置されていて、このパ
イプ１１９の外周位置には差動トランス１２１が設置さ
れている。又、この差動トランス１２１の外周位置には
回路１２３が設置されている。

【００２０】上記流入口１０７より流体が流入すると、
それによって、フロート１１１が上昇する。フロート１
１１の上昇によってフロート１１１とテーパ管１０９と
の間に隙間が発生し、この隙間を介して流体が流れる。
その際、フロート１１１の前後に差圧が発生し、その差
圧による上向きの力とフロート１１１の自重とがバラン
スした位置でフロート１１１が停止する。その際、フロ
ート１１１の停止位置によって流量が一義的に決定さ
れ、それはコア１１７、差動トランス１２１、回路１２
３を介して電気信号としてコントローラ１６（図５に示
す）に出力される。

【００２１】一方、流量制御部１０３であるが、ボディ
１０５の中央部には流路１２５が形成されていて、この
流路１２５を介して流量検出部１０１側と連通してい
る。ボディ１０５の図中右端には流出口１２７が形成さ
れていて、流路１２５と流出口１２７との間には、シー
ト部１２９が設けられている。このシート部１２９には
弁体１３１が離接可能に配置されている。弁体１３１の
上方には、ダイヤフラム１３３及びロッド１３５を介し
てアクチュエータ１３７が連結されている。このアクチ
ュェータ１３７が駆動することにより、ロッド１３５を
介して弁体１３１を昇降させ、シート部１２９に対する
弁体１３１の位置を調整する。アクチュエータ１３７に
はコントローラ１６より制御信号が入力され、この制御
信号に基づいてアクチュエータ１３７が駆動される。

【００２２】そして、流量検出部１０１においてフロー
ト１１１の位置に基づいて流量信号がコントローラ１６
に出力される。コントローラ１６はその流量信号と予め
設定された設定信号とを比較してその差を算出して、そ
の差信号を流量制御部１０３に出力する。流量制御部１
０３においては、その信号に基づいてアクチュェータ１
３７が駆動され弁体１３１を昇降させる。それによっ
て、流量制御部１０３側において流量制御が行われる。
それに伴って、流量検出部１０１のフロート１１１の位
置も変化する。以上の作用によって流体の流量が所定の
値に制御される。

【００２３】フローコントローラ１５によって流量制御
された薬液３３は、圧力計１７によってその圧力を検出
される。この圧力計１７は、内部にテフロンダイヤフラ
ムを有していて、薬液３３の圧力によりこのテフロンダ
イヤフラムが押し上げられ、さらに、接液部の反対側に
あるステンレス製ダイヤフラムが押し上げられる。上記
ステンレス製ダイヤフラムには、シリコンオイルを介し
て半導体センサが設置されていて、この半導体センサに
よって圧力を電気信号に変換して出力する。検出された
圧力は指示調節計に出力され、そこで予め設定された値
と比較・判別され、適宜警報出力されるようになってい
る。具体的には、警報表示、アラーム、外部に警報信号
を出力する、といったものである。

【００２４】フィルタ１９には、エアー抜き配管６１、
６３が接続されていて、これらエアー抜き配管６１、６
３には、開閉バルブ６５、６７が介挿されているととも
に、ドレン配管として外部と接続されるようになってい
る。

【００２５】又、装置内には、制御用エアー配管群６９
及び各種電磁弁７２、７４、７６等が収容配置されてい
る。

【００２６】前記オーバーフロー槽２３内には、第１温
度センサ７８が設置されており、又、サーモモジュール
熱交換器３９にも別の第２温度センサ８２が設置されて
いる。これら二つの温度センサ７８、８２からの信号に
基づいて、薬液３３の温度を制御する。すなわち、第１
温度センサ７８、第２温度センサ８２は、それぞれ第１
温度調節器及び第２温度調節器（図中、温度調節器８０
として示す）に接続されていて、これら二つの温度調節
器は、共通の設定値を設定している。そして、第１温度
調節器は、第１温度センサ７８の検出値と上記設定値を
比較して、第２温度調節器に演算信号を出力する。第２
温度調節器は、その演算信号と、第２温度センサ８２の
検出値及び設定値を比較して得られる演算値とに基づい
て、サーモモジュール熱交換器３９の駆動用電源に、冷
却用の電気信号を出力して、循環水の温度を制御する。
それによって、循環水と熱交換される薬液３３の温度を
制御する。

【００２７】次に、図２を参照して装置の電気的接続構
成を説明する。図に示すように、操作盤７１、手動操作
盤７３、機器表示盤７５、制御部７７、入出力部７９に
大別される。操作盤７１は、受電端子８１よりＡＣ１０
０Ｖ電源を受けていて、電源スイッチ８３、スタートス
イッチ８５、リセットスイッチ８７、ブザー８９、各種
警告表示灯９１等が設置されている。上記警告表示灯９
１の内、「ＦＬＯＷ」は、実際の流量が制御値に対して
外れた場合に点灯する。「ＴＥＭＰ」は、薬液３３の温
度が制御温度に対して外れた場合、サーモモジュール熱
交換器３９において、冷却水の断水等により温度異常が
生じた場合に点灯する。「ＰＲＥＳＳ」は、薬液３３の
循環圧力がフィルタ１９の破損や目詰まり等によって制
御値から外れた場合に点灯する。「ＡＩＲ」は、制御用
エアーの圧力低下時に点灯するものである。

【００２８】手動操作盤７３は、保守・点検時に各ユニ
ットを単独に操作させるために設けられたものである。
「ＣＣ」は熱交換器１３用、「ＰＵＭＰ」はベローズポ
ンプ９用、「ＡＶ１」は開閉バルブ７用、「ＡＶ２」は
開閉バルブ２１用である。又、機器表示盤７５には、圧
力調節器、流量調節器、熱交換コントローラの電気ユニ
ットを設置し、それぞれの設定範囲及び上下限警報値の
設定を行う。又、それぞれの設定値に対して、上下限の
警報出力となった場合には、制御部７７の「プログラマ
ブルシーケンサー」に信号が出力されて、操作盤７１の
各表示灯９１が点灯して、外部に警報を出力することに
なる。

【００２９】次に、制御部７７の構成について説明す
る。「ＳＳＲ」、「ＳＳＲ／ＤＲ」は、主電源としての
ＡＣ１００Ｖのオン・オフ用のものであり、操作盤７１
の「ＰＯＷＥＲ」スイッチ８３によって駆動される。３
個の「ＮＦＢ」は保護機器である。又、「プログラマブ
ルシーケンサー」は、各種の信号の入力及び出力の内容
を内部プログラムによって駆動して制御するものであ
る。又、「ＴＢ」は制御部７７と各種機器及びセンサ類
を中継する端子台である。

【００３０】又、入出力部７９は、制御部７７の「プロ
グラマブルシーケンサー」に制御信号を出力したり、
「プログラマブルシーケンサー」からの信号により動作
する部分である。「ＥＶ１」、「ＥＶ２」、「ＥＶ３」
は、既に説明した電磁弁７２、７３、７５であり、又、
「漏水検知」は、装置内において薬液３３や冷却水が漏
れた場合に、「プログラマブルシーケンサー」に信号を
出力して本体を停止させるものである。又、この「漏水
検知」は、サーモモジュール熱交換器３９の循環水の液
面レベルを監視している。それによって、異常発熱等の
トラブルの発生を防止している。又、「ＰＩ圧力」は、
圧力調節器に信号を出力する半導体センサである。「Ａ
ＩＲ圧力」は駆動用エアーの圧力低下を検知するセンサ
である。「フローコントローラ」については前述した通
りのものである。

【００３１】又、以上述べた各機器は、図５乃至図９に
示すような状態で、箱体９２内に組み込まれている。箱
体９２は、塩化ビニール製であって、上下二段式となっ
ている。そして、図５からも明らかなように、上段に
は、電気・計装関係の機器が内蔵されており、又、下段
には、図１に示した各種機器、配管類が内蔵されてい
る。尚、図中符号９４は冷却ファンである。

【００３２】以上の構成を基にその作用を説明する。ま
ず、薬液３３の流量制御であるが、これは、フローコン
トローラ１５によって、所定の流量に高い精度で制御さ
れる。又、薬液３３の循環圧力については、圧力計１７
によって常時監視されている。そして、予め設定された
値に対して外れるようなことがある場合には、所定の警
報が出力される。

【００３３】次に、薬液３３の温度制御について説明す
る。まず、オーバーフロー槽２３に設置された第１温度
センサ７８によって、オーバーフロー槽２３内の薬液の
温度を検出し、又、サーモモジュール熱交換器３９に設
置された第２温度センサ８２によって循環水の温度を検
出する。そして、第１温度センサ７８の検出信号と予め
設定された設定値とを第１温度調節器によって比較・演
算して、演算信号を第２温度調節器に出力する。第２温
度調節器は、その演算信号と、第２温度センサ８２の検
出信号と予め設定された設定値とを比較・演算して得ら
れる演算信号の両方に基づいて、サーモモジュール熱交
換器３９を制御する。それによって、第１冷媒としての
循環水の温度ひいては熱交換器１３により循環水と熱交
換される薬液３３の温度を制御するものである。

【００３４】以上本実施例によると次のような効果を奏
することができる。まず、本実施例の場合には、薬液３
３の流量を制御することは勿論のこと、圧力、温度を制
御して、それぞれ警報を出力するように構成しているの
で、薬液３３の流量、圧力、温度を高い精度で制御する
ことができるとともに、異常が生じた場合には、それを
迅速に検知して所定の処置を施すことができる。よっ
て、エッチングレートも安定したものとなり、製品の品
質を向上させることができる。

【００３５】又、各機器は、耐薬品性を考慮した材質か
ら構成されているので、その健全性も長期にわたって維
持されることになる。又、熱交換器１３は、二重配管構
造になっていて、薬液３３が流通する内管３５はテフロ
ン製になっているので、従来のように熱交換プレートを
介して直接熱交換する場合のように、重金属イオンが発
生するようなことはなく、重金属イオンの発生による不
具合を解消することができる。

【００３６】

【発明の効果】以上詳述したように本発明による薬液制
御装置によると、循環する薬液の流量を制御するととも
に、圧力を監視して、温度を制御するように構成してい
るので、薬液を所定の流量、圧力、温度に高い精度で制
御することができ、例えば、半導体のウェットエッチン
グ用の薬液の制御に適用した場合には、エッチングレー
トを安定したものとして製品の品質を向上させることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す図で薬液制御装置の構
成を示す系統図である。

【図２】本発明の一実施例を示す図で薬液制御装置の制
御関係の構成を示す図である。

【図３】本発明の一実施例を示す図で薬液制御装置の外
観を示す正面図である。

【図４】本発明の一実施例を示す図で薬液制御装置の外
観を示す背面図である。

【図５】本発明の一実施例を示す図で薬液制御装置の内
部配置を示す図である。

【図６】本発明の一実施例を示す図で図５のVI-VI 断面
図である。

【図７】本発明の一実施例を示す図で図５のVII-VII 断
面図である。

【図８】本発明の一実施例を示す図で図５のVIII-VIII
断面図である。

【図９】本発明の一実施例を示す図で図５のIX-IX 断面
図である。

【図１０】本発明の一実施例を示す図でフローコントロ
ーラの断面図である。

【図１１】従来例を示す図で薬液の流量を制御する構成
を示す図である。

【図１２】従来例を示す図で薬液の流量と温度を制御す
る構成を示す図である。

【図１３】従来例を示す図でウェットエッチング工程に
おける薬液の理想的な流れを示す図である。

【図１４】従来例を示す図でウェットエッチング工程に
おける薬液の流れであって流量が多過ぎる場合の様子を
示す図である。

【図１５】従来例を示す図でウェットエッチング工程に
おける薬液の流れであって流量が少な過ぎる場合の様子
を示す図である。

【符号の説明】

１ＩＮポート３ＯＵＴポート５薬液循環ライン７開閉バルブ９ベローズポンプ（薬液循環ポンプ）１１ダンパー１３熱交換器（第１熱交換器）１５フローコントローラ（流量制御手段）１６コントローラ１７圧力計（圧力検出手段）１９フィルタ２０ドライエアポート２１開閉バルブ２２排気ポート２３オーバーフロー槽（薬液槽）２４冷却水ＩＮポート２５ＯＵＴポート２６冷却水ＯＵＴポート２７配管２８熱交ＯＵＴポート２９ＩＮポート３０ドレインポート３１配管３２ドレインポート３３薬液３５内管３７外管３９サーモモジュール熱交換器（第２熱交換器）４１配管４３配管４５冷却水配管４７冷却水配管４９開閉バルブ５１開閉バルブ５３配管５５配管５７開閉バルブ５９開閉バルブ６１エアー抜き配管６３エアー抜き配管６５開閉バルブ６７開閉バルブ６９エア配管群７１操作盤７２電磁弁７３手動操作盤７４電磁弁７５機器表示盤７６電磁弁７７制御部７８第１温度センサ（薬液温度検出手段）７９入出力部８０温度調節器８１受電端子８２第２温度センサ（第１冷媒温度検出手段）８３電源スイッチ８５スタートスイッチ８７リセットスイッチ８９ブザー９１警告表示灯９２箱体９４冷却ファン１０１流量検出部１０３流量制御部１０５ボディ１０７流入口１０９テーパ管１１１フロート１１３台座１１５ガイドパイプ１１７コア１１９パイプ１２１差動トランス１２３回路１２５流路１２７流出口１２９シート部１３１弁体１３３ダイヤフラム１３５ロッド１３７アクチュエータ

フロントページの続き (56)参考文献特開平３−26308（ＪＰ，Ａ) 特開昭60−145627（ＪＰ，Ａ) 特開昭61−278700（ＪＰ，Ａ) 特開平５−166780（ＪＰ，Ａ) 実開昭62−52771（ＪＰ，Ｕ) 実開平１−122814（ＪＰ，Ｕ) 実開昭61−22340（ＪＰ，Ｕ) 実開平４−18435（ＪＰ，Ｕ) 実公昭50−2517（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/304,21/306,21/308 C23F 1/00 - 3/06

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】薬液を収容する薬液槽と、上記薬液槽に
接続された薬液循環ラインと、上記薬液循環ラインに介
挿された薬液循環ポンプと、上記薬液循環ラインに介挿
され薬液と第１冷媒とを二重配管構造によって熱交換さ
せる第１熱交換器と、上記薬液循環ラインに介挿され薬
液の流量を制御する流量制御手段と、上記薬液循環ライ
ンに介挿され循環する薬液の圧力を検出する薬液圧力検
出手段と、上記第１熱交換器に循環される第１冷媒を第
２冷媒によって熱交換する第２熱交換器と、上記薬液槽
に設置され薬液の温度を検出する薬液温度検出手段と、
上記第２熱交換器に設置され第１冷媒の温度を検出する
第１冷媒温度検出手段と、上記流量制御手段及び圧力検
出手段からの信号に基づいて流量又は圧力が設定値に対
してずれた場合に警報を出力するとともに上記薬液温度
検出手段及び第１冷媒温度検出手段からの信号に基づい
て第１冷媒ひいては薬液の温度を制御し薬液温度が設定
値に対してずれた場合に警報を出力する制御手段と、を
具備したことを特徴とする薬液制御装置。
【請求項２】請求項１記載の薬液制御装置において、
第１熱交換器は、内管内に薬液を流通させ、外管内に第
１冷媒を流通させ、それぞれの流通方向を逆向きとした
ことを特徴とする薬液制御装置。
【請求項３】請求項１記載の薬液制御装置において、
薬液循環ポンプの吐出側の薬液循環ラインには、脈動を
吸収するダンパが介挿されていることを特徴とする薬液
制御装置。
【請求項４】請求項２記載の薬液制御装置において、
少なくとも内管は対象とする薬液に対して耐薬品材料か
ら構成されていることを特徴とする薬液制御装置。