JPH11218299A - 液管理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 性状変化に応じた吸光度の変化がない液体の
性状変化を検知する。 【解決手段】 本発明は、液体の流路９を備える液管理
装置であって、特に、流路９内における前記液体の流量
を測定する流量測定手段１３と、その下流側にて流路９
を狭さくし、上流側の前記液体を加圧する狭さく手段１
４とを具備することをその特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体装置
の製造に使用される洗浄液の管理に使用される液管理装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の液管理装置としては、例えば特
願平８−３０５３７９号に開示のものがある。この液管
理装置では、洗浄液調合装置にて調合された洗浄液の一
部を吸光度計内に流入させ、吸光度計内に設置された、
予めゼロ点補正済みのフローセルにて、所定波長（洗浄
液がレジスト剥離液である場合には３８０nm）における
洗浄液の吸光度を連続的に測定し、吸光度の値及びその
変化量に基づき、洗浄液の種類に応じた方法で、洗浄液
の洗浄力を管理するものである。また、吸光度計のゼロ
点補正は、実際の洗浄に使用された洗浄液を用いた吸光
度の測定に先立ち、同一条件下にて新品の洗浄液を用い
て吸光度を測定し、その際の吸光度をゼロとすることに
より行う。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の液管理装置では、例えば以下のような問題がある。 （１）吸光度に基づき洗浄液の洗浄力を判断するため、
洗浄力が低下しても洗浄液の吸光度が変化しない場合に
は適用できない。 （２）吸光度計の出力が時間の経過とともにドリフトす
るので、測定を正確に行うためには、吸光度計のゼロ点
補正を頻繁に行う必要がある。 （３）吸光度計に対する洗浄液の流入量が多く、洗浄液
が無駄となる。 （４）吸光度計の光源ランプが切れやすく、保守に手間
と費用がかかる。 （５）流路の構成が複雑でジョイント部分が多数存在す
るため、液漏れを起こしやすい。 （６）高温の洗浄液が流入すると、吸光度計が破損する
恐れがある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は上記事情に鑑み
てなされたもので、液体の流路を備える液管理装置であ
って、特に、前記流路内における前記液体の流量を測定
する流量測定手段と、その下流側にて前記流路を狭さく
し、上流側の前記液体を加圧する狭さく手段とを具備す
ることをその特徴としている。

【０００５】ここで、前記液体が物品の洗浄に使用され
る洗浄液である場合には、前記流量測定手段と狭さく手
段とを、前記洗浄液の貯留部から延びる流路に設け、前
記流量測定手段と狭さく手段との間に、前記流路内にお
ける洗浄液の圧力を測定する圧力測定手段を設けるとと
もに、前記圧力測定手段の測定結果から前記洗浄液にお
ける夾雑物の溶解量を算出する演算手段を設ける。

【０００６】あるいは、前記流量測定手段と狭さく手段
とを、前記洗浄液の貯留部から延びる流路に設けるとと
もに、前記狭さく手段と流量測定手段との間の前記流路
から、上端が閉塞された管路を立接させ、この管路に、
管路内における前記洗浄液の液面の位置を検出する位置
検出手段を設けてもよい。

【０００７】一方、前記前記流量測定手段には、例えば
超音波渦流量計に代表される無可動式流量計が用いられ
る。

【０００８】更に、前記狭さく手段には、例えば狭さく
手段より上流側における前記液体の圧力を調節可能な絞
弁が用いられる。前記流量測定手段の上流側に、前記流
路内の液体を冷却する冷却手段を設けてもよい。

【０００９】また、前記流量測定手段と狭さく手段と
を、物品の洗浄に使用される洗浄液の原料の流路に設け
てもよい。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づき、本発明の実
施形態について説明する。本発明に係る液管理装置の第
一の実施形態を図１に示す。符号１は洗浄液貯留部で、
洗浄液貯留部１には、半導体装置の洗浄装置２にて使用
される洗浄液（レジスト剥離液）が貯留されている。洗
浄液貯留部１から洗浄装置２へは流路３を介して洗浄液
が供給され、洗浄装置２にてオーバーフローした洗浄液
は、流路４を介して洗浄液貯留部１に還流される。

【００１１】符号５は洗浄液調合装置で、洗浄液調合装
置５にて調合された洗浄液は、必要に応じ、流路６を介
して洗浄液貯留部１に供給される。また、符号７は洗浄
液貯留部１に設けられた洗浄液排出路で、洗浄液排出路
７に設置された弁８を開くことにより、洗浄液貯留部１
内の洗浄液が排出される。

【００１２】符号９は、流路３から分岐するサンプリン
グ流路（流路）である。サンプリング流路９には流路切
換弁１０が設けられ、流路切換弁１０の流入側を一定時
間毎に切り換えることにより、複数の流路３を順次サン
プリング流路９に連結させることが可能となっている。
また、符号１１は、流路切換弁１０の下流側にてサンプ
リング流路９に設けられたポンプで、ポンプ１１の作動
により、洗浄液の一部が、流路３から流路切換弁１０を
介してサンプリング流路９内に流入する。

【００１３】符号１２は、ポンプ１１の下流側にてサン
プリング流路９に設けられた冷却器である。冷却器１２
は、螺旋状に屈曲するサンプリング流路９の周囲を両端
が閉塞された管体で覆ったもので、サンプリング流路９
と、入水口１２ａから管体内に流入して出水口１２ｂか
ら流出する冷却水との間で熱交換を行うことにより、サ
ンプリング流路９内の洗浄液が所定の温度に冷却され
る。

【００１４】符号１３は、冷却器１２の下流側にてサン
プリング流路９に設けられたマスフローコントローラ
（流量測定手段）である。マスフローコントローラ１３
は、サンプリング流路９内の洗浄液の流量が常時一定と
なるよう、洗浄液の流量を制御している。また、符号１
４は、マスフローコントローラ１３の下流側にてサンプ
リング流路９を狭さくし、上流側の洗浄液を加圧するオ
リフィス（狭さく手段）である。サンプリング流路９
は、オリフィス１４から更に下流側に延び、流路切換弁
１０に延びるサンプリング流路９との分岐点より下流側
にて、流路３に連結されている。

【００１５】符号１５は、マスフローコントローラ１３
とオリフィス１４との間にてサンプリング流路９に設け
られた圧力センサ（圧力測定手段）である。圧力センサ
１５は、その設置箇所における洗浄液の圧力を常時測定
し、この圧力を直流電圧に変換して、制御部１６に送信
する。制御部１６は、圧力センサ１５の測定結果から洗
浄液における夾雑物（レジスト）の溶解量を算出する演
算手段を備えている。また、符号１７は、演算手段の演
算結果を表示する表示パネルである。

【００１６】ここで、演算手段における、夾雑物の溶解
量算出の原理について説明する。洗浄液に夾雑物が溶解
すると、洗浄液の粘度が上昇する。従って、洗浄液の流
速及び温度が一定であれば、洗浄液の圧力と洗浄液にお
ける夾雑物の溶解量との間には、例えば図２に示すよう
な関係が成立する。そこで、本実施形態では、この関係
式を予め演算手段に記憶させておき、サンプリング流路
９にオリフィス１４を設けて洗浄液の圧力を高め、この
圧力を圧力センサ１５にて測定し、演算手段に記憶され
た関係式に入力することにより、夾雑物の溶解量を算出
している。

【００１７】次に、上記構成を有する液管理装置の動作
について説明する。洗浄液調合装置５にて調合され、洗
浄液貯留部１に貯留された洗浄液は、流路３を介して洗
浄装置２に送られ、洗浄装置２にて、半導体装置の洗浄
（レジスト剥離）に使用される。

【００１８】一方、ポンプ１１の作動により流路３から
サンプリング流路９内に流入した洗浄液は、冷却器にて
所定の温度に冷却され、マスフローコントローラ１３に
て一定の流量に制御された後、オリフィス１４にて加圧
される。この圧力は圧力センサ１５を介して制御部１６
に送信され、制御部１６にて、洗浄液中における夾雑物
（レジスト）の溶解量が算出される。

【００１９】算出結果は表示パネル１７に表示されると
ともに、算出結果に基づき、洗浄液調合装置５から洗浄
液貯留部１への洗浄液の継ぎ足しや、洗浄液貯留部１に
おける洗浄液の一部または全量交換等の操作を行う。こ
こで、上記操作は、全て制御部１６の制御により自動的
に行われる。また、オリフィス１４を通過した洗浄液
は、実際の洗浄に使用される洗浄液を単に冷却したもの
に過ぎないので、廃液とはせず、サンプリング流路９か
ら流路３へと還流し、洗浄に使用される。

【００２０】上記構成を有する液管理装置によれば、以
下の効果が得られる。 （１）流路内における洗浄液の圧力変化に基づき洗浄液
の洗浄力を判断するため、洗浄力が低下しても洗浄液の
吸光度が変化しない場合でも適用可能である。 （２）部品単数が少なく、流路の構成が単純であるた
め、装置の保守が容易で、かつ液漏れや装置の破損等も
起こりにくい。また、高価な消耗部品が少ないので、ラ
ンニングコストも低い。 （３）液管理装置への洗浄液の流入量が少なく、しかも
流入した洗浄液が無駄とならない。 （４）洗浄液の洗浄力を常時監視するため、洗浄液の洗
浄力が常時最適状態に保たれ、洗浄効果が向上する。ま
た、同様の理由により、上記最適状態が、洗浄液の全量
交換ではなく、継ぎ足しや一部交換により維持されるこ
とが多くなるため、洗浄液の使用量が減少し、コストダ
ウンが図れる。

【００２１】本発明に係る液管理装置の第二の実施形態
を図３に示す。本実施形態では、第一の実施形態の圧力
センサ１５に換えて、マスフローコントローラ１３とオ
リフィス１４との間にて、サンプリング流路９から、上
端が閉塞された管路２１を立接させたものである。この
管路２１には、例えばＰＦＡ（パーフルオロアルキルエ
ーテル重合体）チューブのような、透明の耐薬品性チュ
ーブが使用され、かつ管路２１の上端には、大気圧状態
の空気Ａが封入されている。

【００２２】また、管路２１には、上方から、液劣化上
限レベルセンサ２２及び液劣化下限レベルセンサ２３が
設けられている。これらのセンサ２２，２３は、いずれ
も管路２１内における洗浄液の液面の位置を検出する位
置検出手段として機能するもので、具体的には、センサ
２２，２３の設置位置における管路２１内の光の反射の
違いにより、センサ２２，２３の設置位置における管路
２１内の洗浄液の有無を検知するものである。

【００２３】これらのセンサ２２，２３の検出値はいず
れも制御部１６に送信されるが、本実施形態の場合、第
一の実施形態と異なり、制御部１６で、洗浄液における
夾雑物の溶解量を算出する必要はない。従って、制御部
１６は演算手段を備えておらず、かつ表示パネル１７も
ない。

【００２４】次いで、上記構成を有する液管理装置の動
作について、図４に示すフローチャートとともに説明す
る。本実施形態の場合、オリフィス１４にて加圧された
洗浄液は圧力に応じて管路２１内を上昇するが、上記の
通り、洗浄液の圧力と洗浄液における夾雑物の溶解量と
の間には相関が存在するので、夾雑物の溶解量が増加す
ると、管路２１内における洗浄液の液面も上昇する。

【００２５】やがて、液劣化下限レベルセンサ２３が洗
浄液の液面を検知し、次いで、液劣化上限レベルセンサ
２２が洗浄液の液面を検知すると（Ｓ１）、洗浄液調合
装置５から洗浄液貯留部１に新たな洗浄液が供給される
とともに、弁８が開き、洗浄液貯留部１内に貯留され
た、夾雑物を含む洗浄液が、洗浄液排出路７を介して排
出される（Ｓ２）。ここで、洗浄液貯留部１からの洗浄
液の排出量は、洗浄液調合装置５からの供給量より１０
〜２０％少なくなるよう予め設定されている。

【００２６】新たな洗浄液の供給に伴い、サンプリング
流路９内における洗浄液の圧力が低下すると、管路２１
内における洗浄液の液面も下降する。やがて、センサ２
２，２３が洗浄液の液面を検知しなくなる（Ｓ３）と、
洗浄液調合装置５からの洗浄液の供給が停止されるとと
もに、弁８が閉じ、洗浄液貯留部１からの洗浄液の排出
が停止される（Ｓ４）。そして、上記Ｓ１〜Ｓ４のステ
ップが１回終了すると、制御部１６内のカウンタが１回
加算される（Ｓ５）。また、上記Ｓ１〜Ｓ５のステップ
は、カウンタが１０を越えるまで繰り返し行われる（Ｓ
６）。

【００２７】一方、本実施形態では、Ｓ１〜Ｓ５のステ
ップを１０回繰り返したところで、洗浄液貯留部１内に
貯留された洗浄液が寿命に達したものと判断する。すな
わち、上記Ｓ６にてカウンタが１０を越えると、弁８が
開き（Ｓ７）、洗浄液貯留部１内に貯留された洗浄液が
全て排出される。洗浄液の排出が完了する（Ｓ８）と、
弁８が閉じるとともに、洗浄液調合装置５からの洗浄液
の供給が開始される（Ｓ９）。

【００２８】そして、洗浄液貯留部１内に所定量の洗浄
液が貯留される（Ｓ１０）と、洗浄液調合装置５からの
洗浄液の供給が停止され（Ｓ１１）、カウンタがリセッ
トされ（Ｓ１２）、センサ２２，２３によるモニタリン
グ動作（Ｓ１〜Ｓ５）に戻る。また、上記操作は、全て
制御部１６の制御により自動的に行われる。

【００２９】このように、上記構成を有する液管理装置
では、センサ２２，２３の設置位置における管路２１内
の洗浄液の有無を検知し、この検知結果及び検知回数に
基づき、洗浄液調合装置５から洗浄液貯留部１への洗浄
液の継ぎ足しや、洗浄液貯留部１における洗浄液の一部
または全量交換等の操作を自動的に行っている。すなわ
ち、上記構成を有する液管理装置においても、上記第一
の実施形態に示す液管理装置と同様の効果が得られる。

【００３０】加えて、上記構成を有する液管理装置で
は、 （５）管路２１の上端に封入された空気Ａが、管路２１
への加圧／減圧に伴い伸縮するため、ポンプ１１の脈動
の影響が吸収される。 （６）管路２１内における洗浄液の液面の位置を液管理
の基準としているため、電気的ノイズの影響を受けにく
い。という効果もある。

【００３１】なお、上記第一及び第２の実施形態に示す
液管理装置では、いずれも、サンプリング流路９を洗浄
液貯留部１から洗浄装置２に至る流路３に設けたが、サ
ンプリング流路９を洗浄液貯留部１に直接設けてもよ
い。また、洗浄装置２が洗浄液貯留部を内蔵する場合に
は、その洗浄液貯留部に設けてもよい。

【００３２】一方、本発明に係る液管理装置の原理は、
洗浄液調合装置５にも適用可能である。この洗浄液調合
装置５の例を図５に示す。この洗浄液調合装置５は、過
酸化水素水とアンモニア水と純水とから洗浄液を調合す
るためのもので、符号３１は過酸化水素水の貯留タン
ク、符号３２はアンモニア水の貯留タンク、符号３３は
純水の貯留タンクである。

【００３３】貯留タンク３１は、内面が平滑なＰＦＡ製
とされた流路３４を介して洗浄液調合タンク３５に連結
されている。流路３４には、接続部がＰＦＡ製とされた
超音波渦流量計（無可動式流量計）３６が設けられ、超
音波渦流量計３６の下流側には、自動可変絞弁（狭さく
手段）３７及び遮断弁３８が設けられている。

【００３４】符号３９は、貯留タンク３２と洗浄液調合
タンク３５とを連結する流路である。流路３９は流路３
４と同様の構造を有し、かつ流路３９には、上流側か
ら、流路３４に設けられたものと同様の構造を有する超
音波渦流量計４０、自動可変絞弁（狭さく手段）４１、
及び遮断弁４２が設けられている。また、符号４３，４
４は、超音波渦流量計３６，４０の上流側にて流路３
４，３９にそれぞれ設けられた圧力センサである。

【００３５】符号４５は、貯留タンク３３と洗浄液調合
タンク３５とを連結する流路で、流路４５には、上流側
から、超音波渦流量計４６及び遮断弁４７が設けられて
いる。また、符号４８は、洗浄液調合タンク３５と洗浄
液貯留部１とを連結する流路６に設けられた弁、符号５
０は、超音波渦流量計３６，４０，４６及び圧力センサ
４３，４４からの信号を受け、自動可変絞弁３７，４１
及び遮断弁３８，４２，４７を制御する制御手段であ
る。

【００３６】次に、上記構成を有する洗浄液調合装置５
の動作について説明する。洗浄液の調合に際しては、ま
ず、遮断弁３８，４２を開き、貯留タンク３１，３２か
ら、３０％過酸化水素水及び２８％アンモニア水（以
下、薬液と総称する）を、それぞれ流路３４，３９を介
して洗浄液調合タンク３５に供給する。また、薬液の供
給と同時に、圧力センサ４３，４４からの信号に基づ
き、流路３４，３９内における薬液の圧力が所定範囲内
に納まるよう、自動可変絞弁３７，４１の絞りを調節す
るとともに、流路３４，３９内における薬液の流量を、
超音波渦流量計３６，４０にてそれぞれ測定する。そし
て、超音波渦流量計３６，４０にて測定した薬液の積算
流量がそれぞれ所定値に達したところで、遮断弁３８，
４２を閉じ、流路３４，３９を閉鎖する。

【００３７】薬液の供給が完了したら、遮断弁４７を開
き、貯留タンク３３から、純水を流路４５を介して洗浄
液調合タンク３５に供給するとともに、流路４５内にお
ける純水の流量を、超音波渦流量計４６にて測定する。
そして、純水の積算流量が所定値に達したところで、遮
断弁４７を閉じ、流路４５を閉鎖する。また、上記操作
は、全て制御部５０の制御により自動的に行われる。一
方、薬液及び純水の供給により洗浄液調合タンク３５内
にて調合された洗浄液は、弁４８を開くことにより、流
路６を介して洗浄液貯留部１に供給される。

【００３８】ここで、自動可変絞弁３７，４１の作用に
ついて説明する。超音波渦流量計３６，４０は、小型で
測定精度が高いという特長を有する反面、液中に気泡が
発生すると、超音波の伝播やカルマン渦の生成に支障を
きたし、高精度な計量ができなくなるという欠点を有し
ている。そこで、この洗浄液調合装置５では、超音波渦
流量計３６，４０の下流側に自動可変絞弁３７，４１を
設け、薬液の圧力を高めることにより、薬液中における
気泡の発生を防止している。

【００３９】また、気泡の発生が抑制される圧力は、薬
液の種類、濃度、及び温度により異なるため、この洗浄
液調合装置５では、圧力センサ４３，４４からの信号に
基づき、自動可変絞弁３７，４１の絞りを自動的に調節
し、流路３４，３９内における圧力を調節している。例
えば、液温２５℃の３０％過酸化水素水の場合、圧力が
２．６ｋＰａ以上であれば過酸化水素が遊離しないの
で、安全率を見込んで、流路３４内における圧力が０．
０５ＭＰａ以上となるよう、自動可変絞弁３７の絞りを
調節する。また、液温２５℃の３０％アンモニア水の場
合、圧力が０．１１ＭＰａ以上であればアンモニアガス
が遊離しないので、流路３９内における圧力が０．１１
ＭＰａ以上となるよう、自動可変絞弁４１の絞りを調節
する。

【００４０】すなわち、この洗浄液調合装置５では、自
動可変絞弁３７，４１にて流路３４，３９内における薬
液を加圧することにより、薬液からの気泡の発生が防止
され、その結果、従来発泡性の薬液に対して使用できな
かった超音波渦流量計３６，４０が使用可能となってい
る。また、超音波渦流量計３６，４０が使用可能である
ため、秤量槽にて薬液の計量を行っていた従来の洗浄液
調合装置５に比べ、高精度の計量が可能である。更に、
秤量槽のような大型の部品が不要となり、かつ部品点数
も減少するため、従来の洗浄液調合装置５に比べ、装置
の小型化が可能となる。

【００４１】図６は、本発明の原理を利用した洗浄液調
合装置５の他の例を示すものである。この洗浄液調合装
置５では、図５に示す装置の構成に加え、超音波渦流量
計３６，４０より上流側の流路３４，３９に、例えばペ
ルチェ冷却素子のような冷却手段５１，５２をそれぞれ
設けるとともに、冷却手段５１，５２と超音波渦流量計
３６，４０との間の流路３４，３９に、三方弁５３，５
４をそれぞれ設けたものである。

【００４２】また、三方弁５３，５４は、流路５５，５
６を介して、貯留タンク３１，３２にそれぞれ連結され
ている。すなわち、この洗浄液調合装置５では、冷却手
段５１，５２を通過後の薬液が、三方弁５３，５４に
て、超音波渦流量計３６，４０側、または貯留タンク３
１，３２側のいずれか（通常は超音波渦流量計３６，４
０側）に流下可能とされている。

【００４３】一方、冷却手段５１，５２と三方弁５３，
５４との間の流路３４，３９には、圧力センサ４３，４
４に換えて、温度センサ５７，５８がそれぞれ設置され
ている。また、冷却手段５１，５２、三方弁５３，５
４、及び温度センサ５７，５８は、いずれも制御手段５
０に接続されている。

【００４４】この洗浄液調合装置５では、自動可変絞弁
３７，４１にて薬液を加圧することによる薬液からの気
泡の発生防止に加え、液体に対する気体の溶解度が低温
となるほど大きくなることを利用して、薬液からの気泡
の発生を防止している。すなわち、薬液を、冷却手段５
１，５２にて、所定の温度（例えば２〜５℃）に冷却し
てから超音波渦流量計３６，４０に流入させることによ
り、薬液からの過酸化水素やアンモニアの遊離が防止さ
れ、その結果、超音波渦流量計３６，４０における更に
高精度な計量が可能となっている。

【００４５】更に、冷却後の薬液の液温を温度センサ５
７，５８にて常時モニターし、液温が上記所定温度を越
えた場合には、三方弁５３，５４を切換え、薬液を、流
路５５，５６を介して貯留タンク３１，３２に還流させ
ることにより、発泡の恐れがある薬液の超音波渦流量計
３６，４０への流入を防止している。また、上記操作
も、全て制御部５０の制御により自動的に行われる。

【００４６】なお、流量計３６，４０には、超音波渦流
量計以外の無可動式流量計も使用可能であることは言う
までもない。

【００４７】また、上記の説明では、対象となる液体と
してレジスト剥離液を例に挙げて説明したが、本発明の
技術は、他の半導体装置や液晶パネル、あるいはプラズ
マディスプレイ等の製造に使用される洗浄液や、更には
現像液、リンス液等についても適用可能である。

【００４８】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明の液管理装置
によれば、以下のような効果が得られる。 （イ）流路内における液体の圧力変化に基づき液体の性
状変化を判断するため、性状が低下しても吸光度が変化
しない液体に対しても適用可能である。 （ロ）部品単数が少なく、流路の構成が単純であるた
め、装置の保守が容易で、かつ液漏れや装置の破損等も
起こりにくい。また、高価な消耗部品が少ないので、ラ
ンニングコストも低い。 （ハ）液管理装置への液体の流入量が少なく、しかも流
入した液体が無駄とならない。 （ニ）液体の性状変化を流量測定手段にて常時監視する
ため、液体の性状が常時最適状態に保たれ、液体の使用
効果が向上する。また、同様の理由により、上記最適状
態が、液体の全量交換ではなく、継ぎ足しや一部交換に
より維持されることが多くなるため、液体の使用量が減
少し、コストダウンが図れる。 （ホ）液体を加圧することにより、液体からの気泡の発
生が防止されるため、従来発泡性の液体に対して使用で
きなかった、例えば超音波渦流量計のような機器が使用
可能となる。 （ヘ）液体の加圧に先立ち、液体を冷却して気体の液体
への溶解度を増大させることにより、気泡の発生がより
確実に防止される。その結果、上記（ホ）の効果が更に
高められる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第一の実施形態を示す液管理装置の
構成図である。

【図２】 洗浄液の圧力と洗浄液における夾雑物の溶解
量との関係を示すグラフである。

【図３】 本発明の第二の実施形態を示す液管理装置の
構成図である。

【図４】 本発明の第二の実施形態の液管理装置におけ
る液の管理工程を示すフローチャートである。

【図５】 本発明の液管理装置の原理を適用した洗浄液
調合装置の構成図である。

【図６】 本発明の液管理装置の原理を適用した洗浄液
調合装置の構成図である。

【符号の説明】

９ サンプリング流路（流路） １３ マスフローコントローラ（流量測定手段） １４ オリフィス（狭さく手段） １５ 圧力センサ（圧力測定手段） ２１ 管路 ２２ 液劣化上限レベルセンサ（位置検出手段） ２３ 液劣化下限レベルセンサ（位置検出手段） ３４，３９ 流路 ３６，４０，４６ 超音波渦流量計（無可動式流量計） ３７，４１ 自動可変絞弁（狭さく手段） ５１，５２ 冷却手段

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液体の流路を備える液管理装置であっ
   て、前記流路内における前記液体の流量を測定する流量
   測定手段と、その下流側にて前記流路を狭さくし、上流
   側の前記液体を加圧する狭さく手段とを具備することを
   特徴とする液管理装置。
2. 【請求項２】 前記液体が物品の洗浄に使用される洗浄
   液とされ、前記流量測定手段と狭さく手段とを、前記洗
   浄液の貯留部から延びる流路に設け、前記流量測定手段
   と狭さく手段との間に、前記流路内における前記洗浄液
   の圧力を測定する圧力測定手段を設けるとともに、前記
   圧力測定手段の測定結果から前記洗浄液における夾雑物
   の溶解量を算出する演算手段を設けたことを特徴とする
   請求項１記載の液管理装置。
3. 【請求項３】 前記液体が物品の洗浄に使用される洗浄
   液とされ、前記流量測定手段と狭さく手段とを、前記洗
   浄液の貯留部から延びる流路に設けるとともに、前記狭
   さく手段と流量測定手段との間の前記流路から、上端が
   閉塞された管路を立接させ、この管路に、管路内におけ
   る前記洗浄液の液面の位置を検出する位置検出手段を設
   けたことを特徴とする請求項１記載の液管理装置。
4. 【請求項４】 液体の流路と、この流路内における前記
   液体の流量を測定する流量測定手段と、その下流側にて
   前記流路を狭さくし、上流側の前記液体を加圧する狭さ
   く手段とを備える液管理装置であって、前記流量測定手
   段が、無可動式流量計であることを特徴とする液管理装
   置。
5. 【請求項５】 前記無可動式流量計が、超音波渦流量計
   であることを特徴とする請求項４に記載の液管理装置。
6. 【請求項６】 前記狭さく手段が、この狭さく手段より
   上流側における前記液体の圧力を調節可能な絞弁である
   ことを特徴とする請求項４または５に記載の液管理装
   置。
7. 【請求項７】 前記流量測定手段の上流側に、前記流路
   内の前記液体を冷却する冷却手段を設けたことを特徴と
   する請求項４ないし６のいずれか１項に記載の液管理装
   置。
8. 【請求項８】 前記流量測定手段と狭さく手段とを、物
   品の洗浄に使用される洗浄液の原料の流路に設けたこと
   を特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の
   液管理装置。