JP2007013180A - 液浸リソグラフィシステム用液体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】抵抗を変える物質を液体に導入ことにより、当該液体を導電性にする。次にこの液体230を、露光工程中に、投影レンズシステムの液浸ヘッド220と、半導体ウエハ202との間に配置する。液体230は導電性なので、露光工程中に半導体ウエハが投影レンズシステムに対して動いている間に生じる静電エネルギーが、導電性の液体を介して放電される。これにより、投影レンズシステムの液浸ヘッド220と、半導体ウエハ202と、それを支持する台に配置されたセンサとへの損傷を防止できる。
【選択図】図3
Description
本発明は、一般的には、半導体装置を製造するためのリソグラフィシステムに関する。特に、液浸リソグラフィシステムおよび液浸露光装置に用いられる液体に関する。
半導体装置は、多種多様な材料層を半導体基材またはウエハに堆積することにより製造される。これらの材料層は、リソグラフィによってパターン形成される。また、これらの材料層は、通常、集積回路(IC)を形成するためにパターン形成およびエッチングされた、導電性の材料と、半導電性の材料と、絶縁性の材料とを備えている薄膜を含んでいる。
これらの問題、およびその他問題は、一般に、本発明の好ましい実施形態によって、解決されか、または回避される。同様に、技術的な利点が達成される。本発明によって、リソグラフィシステムに用いられる新たな導電性の液体が提供される。当該液体は、半導体基材への静電放電による損傷、および、液浸リソグラフィシステムの一部への静電放電による損傷とを防ぐ。
本発明およびその利点をより完全に理解するために、本発明について、添付図面を参照しながら以下に説明する。
以下では、好ましい実施形態の構成および使用について論じる。しかし本発明が、多種多様な特定の文脈に含まれる本発明の多くの適切な概念を提供するということを、理解されたい。ここで論じるこれらの特定の実施形態は、本発明を構成および使用するための特定の方法の実例にすぎず、本発明の範囲を限定するものではない。
Claims (29)
- 液浸リソグラフィシステム用の液体であって、
第1構成物と、
上記第1構成物の抵抗を変化させる物質を備えている第2構成物とを備えている液体。 - 上記第1構成物が液体である請求項1に記載の液体。
- 上記第1構成物が水、蒸留水、脱イオン水、または脱イオン蒸留水を備えている請求項1に記載の液体。
- 上記第2構成物が気体である請求項1に記載の液体。
- 上記第2構成物が、二酸化酸素、酸素、窒素、窒素含有物質、または酸素含有物質を備えている請求項4に記載の液体。
- 上記第2構成物が液体または固体である請求項1に記載の液体。
- 上記第2構成物が過酸化水素または塩化ナトリウムである請求項6に記載の液体。
- 上記第2構成物が、上記第1構成物の抵抗を減少させる物質を備えている請求項1に記載の液体。
- 導電性である請求項8に記載の液体。
- 上記第2構成物が上記第1構成物に溶解する請求項1に記載の液体。
- 上記第2構成物が、上記第1構成物から沈殿しない物質を備えている請求項10に記載の液体。
- 請求項1に記載の液体を含む液浸リソグラフィシステム。
- 液浸リソグラフィシステム用の液体操作装置であって、請求項1に記載の液体を供給する液体操作装置。
- 上記第2構成物を含んでいる容器と、上記第2構成物を第2構成物に混合するか、または、上記第1構成物および第2構成物の混合物を含むための事前混合チャンバと、および/または、上記第2構成物を上記第1構成物に注入するための注入システムとを含んでいる請求項13に記載の液体操作装置。
- 液浸リソグラフィシステム用の液体を生成する方法であって、第1構成物を用意し、上記第1構成物の抵抗を変化させる物質から構成されている第2構成物を、上記第1構成物に導入する方法。
- 上記第1構成物を用意するとき、液体を用意し、
上記第2構成物を導入するとき、気体、液体、または固体を導入する請求項15に記載の方法。 - 上記第2構成物を導入するとき、上記第2構成物を第1構成物に溶解させる請求項15に記載の方法。
- さらに、チャンバを用意し、当該チャンバに上記第1構成物を配置する請求項15に記載の方法。
- 上記第2構成物を第1構成物に導入するとき、チャンバーに圧力を加える請求項18に記載の方法。
- 上記第2構成物を導入するとき、上記第2構成物を第1構成物に注入するか、または、上記第2構成物を上記第1構成物に事前に混ぜる請求項15に記載の方法。
- 半導体基材を支える台と、
当該台に近接して配置され、一端に最終の要素を有している投影レンズシステムと、
投影レンズシステムの上記最終の要素の近くに配置され、上記台と、上記投影レンズシステムの上記最終の要素との間に、液体を配置するための複数のポートを備えている液浸ヘッドと、
導電の液体を供給する液体操作部とを備えている液浸リソグラフィシステム。 - 上記液体操作部は、第1構成物と、当該第1構成物の抵抗を変化させる第2構成物とを備えている液体を供給する請求項21に記載の液浸リソグラフィシステム。
- 上記液体操作部は、二酸化炭素、酸素、窒素、窒素含有物質、酸素含有物質、過酸化水素水、または塩化ナトリウムを備えている第2構成物を供給する請求項22に記載の液浸リソグラフィシステム。
- 上記台は、露光工程の間、上記投影レンズシステムに沿って動き、
上記液体は、露光工程の間、上記投影レンズシステムの上記最終の要素と上記半導体基材との間に配置される請求項21に記載の液浸リソグラフィシステム。 - 上記台の移動によって静電エネルギーが発生し、
上記液体は、上記静電エネルギーを放電し、
上記液浸ヘッドおよび半導体基材の損傷を防ぎ、
上記台が少なくとも1つの埋め込まれたセンサを含んでいるなら、当該少なくとも1つのセンサの損傷を防ぐ請求項24に記載の液浸リソグラフィシステム。 - 半導体基材を支える台と、
当該台に近接して配置され、一端に最終の要素を有している投影レンズシステムと、
投影レンズシステムの上記最終の要素の近くに配置され、上記台と、上記投影レンズシステムの上記最終の要素との間に、液体を配置するための複数のポートを備えている液浸ヘッドと、
上記液体の抵抗を変化させる手段とを備えている液浸リソグラフィシステム。 - 半導体装置のリソグラフィ方法であって、
ウエハ支持部と、投影レンズシステムと、当該ウエハ支持部と当該投影レンズシステムとの間に液体を配置する液浸ヘッドと、当該投影レンズシステムの近くに配置されるエネルギー供給源とを有する液浸露光装置を供給し、
放射線に感受性のある材料を有している基材を供給し、
上記基材を、上記ウエハ支持部上に配置し、
導電の上記液体を、上記基材と上記投影レンズシステムとの間に配置し、
上記エネルギー供給源から、上記基材の放射線感受性物質に、放射線を照射する方法。 - 上記液体を配置するとき、液体を備えている第1構成物と、抵抗を変化させる物質を備えている第2構成物とを備えている液体を配置する請求項27に記載の方法。
- 上記液体を配置するとき、水、蒸留水、脱イオン水、または脱イオン蒸留水を備えている上記第1構成物と、二酸化炭素、酸素、窒素、窒素含有物質、酸素含有物質、過酸化水素水、または塩化ナトリウムを備えている第2構成物とを配置する請求項27に記載の方法。
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