JP2007010733A - 露光装置及び露光方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 ステージに載置された感光材料のアライメントマークの撮影が確実に実行できる露光装置及び露光方法の提供を課題とする。
【解決手段】 感光材料６０が載置されたステージ２０を所定の搬送路に沿って移動させる間に、その感光材料６０のアライメントマークＭを含む所定領域を第１のカメラ３６で撮影し、その第１のカメラ３６による撮影結果を基に、第１のカメラ３６よりも高倍率とされた第２のカメラ３８の位置を調整し、ステージ２０を所定の搬送路に沿って移動させる間に、感光材料６０のアライメントマークＭを、その第２のカメラ３８で撮影し、その撮影結果に基づいて補正された画像データを感光材料６０に露光手段２８によって露光する。
【選択図】 図９

Description

本発明は、ステージに載置されたプリント配線基板等の感光材料の位置を測定し、それによって求められる描画領域を、画像データに基づいて変調された光ビームにより露光して画像を形成する露光装置と露光方法に関する。

従来から、例えばプリント配線基板（以下、単に「基板」又は「感光材料」という場合がある）等に配線パターンを形成するレーザー露光装置が知られている。このレーザー露光装置には、画像露光の対象となるプリント配線基板を載置する露光ステージが備えられ、その露光ステージを所定の搬送経路に沿って移動させるようになっている。

具体的に説明すると、プリント配線基板が載置された露光ステージは、所定の速度で副走査方向へ移動し、所定の読取位置において、そのプリント配線基板の例えばコーナー部に設けられた位置合わせ孔（アライメントマーク）がＣＣＤカメラによって撮影される。そして、その撮影によって得られたプリント配線基板の位置に合わせて、描画座標系中の描画対象領域を座標変換することにより、画像データに対するアライメント処理が実行される。

アライメント処理の実行後、露光ステージ上のプリント配線基板は、所定の露光位置において、画像データに基づいて変調され、ポリゴンミラーにより主走査方向へ偏向されたレーザービームによって、その上面に形成された感光性塗膜が走査、露光処理される。これにより、プリント配線基板上における所定の領域（描画領域）に、画像データに基づく（配線パターンに対応する）画像（潜像）が形成される。

画像（潜像）が形成されたプリント配線基板は、露光ステージが初期位置に復帰移動した後、露光ステージから取り出され、プリント配線基板が取り除かれた露光ステージは、次のプリント配線基板を露光する工程に移行するようになっている（例えば、特許文献１参照）。

このように、レーザー露光装置では、プリント配線基板の描画領域に対する露光位置を正確に合わせるため、露光位置の基準となるアライメントマークを撮影し、その位置（基準位置データ）の測定結果に基づいて、露光位置を適正位置に合わせるようにしている。
特開２０００−３３８４３２号公報

しかしながら、プリント配線基板を露光ステージに載置する際に、どうしても前の基板とは、その載置位置がずれてしまったり、同じサイズでもロット毎や種類毎に基板のアライメントマークの位置がずれていたりして、時としてアライメントマークがＣＣＤカメラの視野から外れ、その撮影が不可能となってしまう問題があった（アライメントマークの検出不良によるエラーが発生することがあった）。

そのため、従来では、アライメントマークの検出（撮影）が不可能になると、再度基板を置き直して対応していたが、このとき、その基板をどのような位置に置き直せばよいか不明であるため、実際には、適当に置き直して再度検出（撮影）を試みるようにしていた。したがって、場合によっては複数回置き直すこともあり、処理効率の低下を招いていた。

そこで、本発明は、上記事情に鑑み、ステージに載置された感光材料のアライメントマークの撮影が確実に実行できる露光装置及び露光方法を得ることを目的とする。

上記の目的を達成するために、本発明に係る請求項１に記載の露光装置は、感光材料が載置可能とされ、所定の搬送路に沿って移動可能に構成されたステージと、前記ステージに載置された感光材料のアライメントマークを含む所定領域を撮影する第１のカメラと、前記第１のカメラよりも高倍率とされるとともに前記第１のカメラによる撮影結果を基に位置調整可能とされ、前記ステージに載置された感光材料のアライメントマークを撮影する第２のカメラと、前記第２のカメラによる撮影結果に基づいて補正された画像データを前記感光材料に露光する露光手段と、を備えたことを特徴としている。

そして、本発明に係る請求項６に記載の露光方法は、感光材料が載置されたステージを所定の搬送路に沿って移動させる間に、その感光材料のアライメントマークを含む所定領域を第１のカメラで撮影し、その第１のカメラによる撮影結果を基に、第１のカメラよりも高倍率とされた第２のカメラの位置を調整し、前記ステージを所定の搬送路に沿って移動させる間に、前記感光材料のアライメントマークを、その第２のカメラで撮影し、その撮影結果に基づいて補正された画像データを前記感光材料に露光手段によって露光することを特徴としている。

請求項１及び請求項６に記載の発明によれば、まず第１のカメラでアライメントマークを含む所定領域を撮影し、次いで、それよりも倍率が高く、かつ、その撮影結果を基に位置調整された第２のカメラでアライメントマークを撮影する。したがって、ステージに対し、感光材料の載置位置がずれていたり、ロット毎、種類毎に感光材料のアライメントマークに位置ずれが生じていても、確実にアライメントマークを撮影することができる。

また、請求項２に記載の露光装置は、請求項１に記載の露光装置において、前記ステージが往復移動可能とされ、前記第１のカメラでの撮影が、前記ステージの往路移動の間に行われ、前記第２のカメラでの撮影と前記露光手段による露光が、前記ステージの復路移動の間に行われることを特徴としている。

そして、請求項７に記載の露光方法は、請求項６に記載の露光方法において、前記ステージが往復移動可能とされ、前記ステージの往路移動の間に、前記第１のカメラが撮影をし、前記ステージの復路移動の間に、前記第２のカメラが撮影をしつつ前記露光手段が露光することを特徴としている。

請求項２及び請求項７に記載の発明によれば、まずステージの往路移動の間に、第１のカメラでアライメントマークを含む所定領域を撮影し、次いでステージの復路移動の間に、第１のカメラよりも倍率が高く、かつ、その撮影結果を基に位置調整された第２のカメラでアライメントマークを撮影する。したがって、ステージに対し、感光材料の載置位置がずれていたり、ロット毎、種類毎に感光材料のアライメントマークに位置ずれが生じていても、確実にアライメントマークを撮影することができる。また、ステージを往復移動させる構成であるので、設置スペースの省スペース化が図れる。

また、請求項３に記載の露光装置は、請求項１又は請求項２に記載の露光装置において、少なくとも前記第２のカメラの照明光を短波長化したことを特徴としている。

そして、請求項８に記載の露光方法は、請求項６又は請求項７に記載の露光方法において、少なくとも前記第２のカメラで撮影する際、その照明光が短波長化されていることを特徴としている。

請求項３及び請求項８に記載の発明によれば、少なくとも精度が必要とされる第２のカメラでの撮影時に、その撮影解像度を向上させることができる。

また、請求項４に記載の露光装置は、請求項２又は請求項３に記載の露光装置において、前記ステージの往路移動時の速度が、前記ステージの復路移動時の速度よりも速いことを特徴としている。

請求項４に記載の発明によれば、さほど精度の必要とされない第１のカメラでの撮影時に速度を上げることができるので、処理効率（生産性）の向上が図れる。

更に、請求項５に記載の露光装置は、請求項２乃至請求項４の何れか１項に記載の露光装置において、前記第２のカメラと前記露光手段との間隔が、前記ステージの移動方向における前記アライメントマークの間隔以上とされていることを特徴としている。

請求項５に記載の発明によれば、露光手段と第２のカメラとが接近して配置されていても、ステージの移動方向におけるアライメントマークの間隔毎に、第２のカメラでアライメントマークを撮影しながら、露光手段による露光処理ができる。したがって、設置スペースの省スペース化が図れる。

以上、何れにしても本発明によれば、ステージに載置された感光材料のアライメントマークの撮影が確実に実行できる露光装置及び露光方法を提供することができる。

以下、本発明の最良な実施の形態を図面に示す実施例を基に詳細に説明する。図１は本発明に係る露光装置の概略斜視図であり、図２は露光装置の概略側面図、図３は露光装置の概略平面図である。なお、図３において、矢印Ｘを幅方向、矢印Ｙを移動方向又は走査方向とする。また、図２において、矢印ＹＡを往路方向、矢印ＹＢを復路方向とする。

［露光装置の構成］
図１乃至図３で示すように、露光装置１０は、棒状の角パイプを枠状に組み付けて構成された矩形状の枠体１２に各部が収容されて構成されており、その枠体１２には、図示しないパネルが張り付けられている。これにより、露光装置１０は外部と遮断される構成である。

枠体１２は、背高の筐体部１２Ａと、この筐体部１２Ａの一側面から突出するように設けられたステージ部１２Ｂと、で構成されている。ステージ部１２Ｂは、その上面が筐体部１２Ａよりも低位とされ、オペレーターがステージ部１２Ｂの前に立ったときに、略腰高の位置になる構成とされている。

ステージ部１２Ｂの上面には、開閉蓋１４が設けられている。開閉蓋１４の筐体部１２Ａ側の一辺には、図示しない蝶番が取り付けられており、この一辺を中心として、開閉動作可能とされている。そして、開閉蓋１４を開放した状態のステージ部１２Ｂの上面には、露光ステージ２０（図４参照）が露出可能になっている。

また、ステージ部１２Ｂから筐体部１２Ａまで、露光ステージ２０の移動軌跡の基準となる定盤１８が延設されている。この定盤１８は、筐体部１２Ａを構成する角パイプに対して強固に固定された架台１６に支持されている。なお、定盤１８の長手方向（移動方向）一端部は、ステージ部１２Ｂまで至っており、この位置に露光ステージ２０が位置している状態で、オペレーターは露光ステージ２０上に感光材料６０を載置、あるいは取り出すことが可能となっている。

また、定盤１８の上面には、その長手方向に沿って互いに平行とされた一対の摺動レール２２が配設されており、露光ステージ２０の下面に取り付けられた断面視略「コ」字状の脚部２０Ａ（図４参照）が、その摺動レール２２に摺動可能に支持されている。したがって、露光ステージ２０は、この摺動レール２２に支持されることで、ほとんど摩擦抵抗なく（ベアリング等を介している場合は、そのベアリングの転がり抵抗のみで）走査方向へ摺動可能となっている。

また、定盤１８の上面で、一対の摺動レール２２の間には、リニアモーター部２４が配設されている。リニアモーター部２４は、ステッピングモーターの駆動力を応用した直線型の駆動源であり、定盤１８の長手方向に沿って設けられた棒状のステータ部（磁石部）２４Ａ（図２参照）と、露光ステージ２０の下面側に設けられ、ステータ部２４Ａとは所定の間隔を持って配置されたコイル部２４Ｂと、で構成されている。

したがって、露光ステージ２０は、コイル部２４Ｂへの通電によって発生する磁界とステータ部２４Ａの磁界との磁力作用により駆動力を得て、摺動レール２２に沿って定盤１８上を、その長手方向（走査方向）に移動する構成である。なお、その原理はステッピングモーターと同様であるため、露光ステージ２０は、定速性、位置決め精度、並びに始動時、停止時のトルク変動等、電気的な制御により、精度の高い駆動制御が可能となっている。

また、リニアモーター部２４には、図示しないリニアエンコーダーが付設されている。このリニアエンコーダーは、露光ステージ２０と共にコイル部２４Ｂがステータ部２４Ａに対して走査方向へ相対移動する際に、その往復移動方向に対応する極性のパルス信号を、移動量に比例するパルス数だけパルスカウンターへ出力する構成になっている。

露光ステージ２０の上面には、露光対象物となる矩形平板状の感光材料６０が、図示しない位置決め手段により所定の位置に位置決めされた状態で載置される。露光ステージ２０は、その載置面に複数の溝（図示省略）が設けられており、感光材料６０が所定位置に位置決めされた状態で載置された後、バキュームポンプ等によって溝内が負圧とされることにより、感光材料６０を吸着保持できる構成になっている。

感光材料６０には、その露光面上の描画領域における露光位置の基準を示すアライメントマークＭが複数個設けられている。このアライメントマークＭは、例えば図３で示すように、円形の貫通孔によって構成され、感光材料６０のコーナー部を含む短手方向に所定間隔を隔てて３個、後述する露光ヘッドユニット２８とアライメントユニット３０との配設間隔以下の間隔を隔てて長手方向に４列配設されている。これにより、アライメントマークＭを測定しながらの露光処理が実現可能となる構成である。

露光ステージ２０における定盤１８上での移動軌跡の略中間位置には、露光ヘッドユニット２８（図５参照）が配設されている。露光ヘッドユニット２８は、定盤１８の幅方向両端部の外側にそれぞれ立設された一対の支柱２６に架け渡されるように設けられており、露光ヘッドユニット２８と定盤１８との間を露光ステージ２０が通過可能となる構成とされている。

露光ヘッドユニット２８は、複数のヘッドアッセンブリ２８Ａが定盤１８の幅方向に沿って配列されて構成されており、露光ステージ２０を定速度で移動させながら、所定のタイミングで、それぞれのヘッドアッセンブリ２８Ａから複数の光ビームを露光ステージ２０上の感光材料６０へ照射することで、その感光材料６０の露光面（描画領域）を露光できるようになっている。

露光ヘッドユニット２８を構成するヘッドアッセンブリ２８Ａは、図６（Ｂ）で示すように、ｍ行ｎ列（例えば２行５列）の略マトリックス状に配列されており、これら複数のヘッドアッセンブリ２８Ａが露光ステージ２０の移動方向（走査方向）と直交する方向（幅方向）に配列されている。ここでは、感光材料６０の幅との関係で、２行５列で合計１０個のヘッドアッセンブリ２８Ａとしている。

更に、１つのヘッドアッセンブリ２８Ａによる露光エリア２８Ｂは、走査方向を短辺とする矩形状とされ、かつ、その走査方向に対して所定の傾斜角度で傾斜しており、露光ステージ２０の移動に伴い、感光材料６０には、ヘッドアッセンブリ２８Ａ毎に帯状の露光済み領域２８Ｃが形成されるようになっている（図６（Ａ）参照）。

一方、図１で示すように、筐体部１２Ａ内には、定盤１８上の露光ステージ２０の移動を妨げない別の場所に、光源ユニット４８が配設されている。この光源ユニット４８は複数のレーザー（半導体レーザー）を収容しており、このレーザーから出射する光を、光ファイバー（図示省略）を介して、それぞれのヘッドアッセンブリ２８Ａへ案内するようになっている。

各ヘッドアッセンブリ２８Ａは、光ファイバーによって案内され、入射された光ビームを空間光変調素子である図示しないデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）によって、ドット単位で制御し、感光材料６０に対してドットパターンを露光するようになっている。ここでは、複数のドットパターンを用いて１画素の濃度を表現するようになっている。

また、図７で示すように、露光エリア２８Ｂ（１つのヘッドアッセンブリ２８Ａ）は、２次元配列（例えば４×５）された２０個のドットによって形成されている。そして、２次元配列のドットパターンは、走査方向に対して傾斜されていることで、走査方向に並ぶ各ドットが、走査方向と交差する方向に並ぶドット間を通過するようになっており、実質的なドット間ピッチを狭めることができるようになっている。これにより、高解像度化が図れる構成である。

なお、上記のように、ヘッドアッセンブリ２８Ａの傾斜は、露光装置１０の標準解像度の設定によっては、同一走査線上に複数のドットパターンが重複する場合がある。このような場合には、何れか一方のドットパターン（例えば図７で斜線としたドットパターン）に対応するＤＭＤを常にオフ状態にして、不使用のドットパターンを設ければよい。

ここで、露光ステージ２０上に位置決め載置された感光材料６０への露光処理は、露光ステージ２０に感光材料６０を載置し、定盤１８上の摺動レール２２に沿って奥側へ移動するとき（往路）ではなく、一旦、定盤１８の奥側（筐体部１２Ａ側）端部へ到達して、ステージ部１２Ｂへ戻るとき（復路）に実行される。

すなわち、少なくとも露光ステージ２０の往路走行は、露光ステージ２０上の感光材料６０の位置情報を得るための移動であり、この位置情報を得るためのユニットとして、定盤１８上には、図８で示すようなアライメントユニット３０が配設されている。なお、図８では、後述する高倍率のカメラ部３８のみが示されているが、低倍率のカメラ部３６も同様に、その裏側に配設されている。

アライメントユニット３０は、露光ヘッドユニット２８よりも往路方向奥側に配設されており、定盤１８の幅方向両端部の外側にそれぞれ立設された一対の支柱２６に架設されている。このアライメントユニット３０は、一対の支柱２６に両端が固定されるベース部３２と、このベース部３２の走査方向における両面に対し、定盤１８の幅方向へ移動可能に設けられる複数（例えば４台ずつ）のカメラ部３６、３８と、で構成されている。

カメラ部３６、３８は、往路方向奥側が高倍率（高解像度）のカメラ部３８とされ、往路方向手前側（露光ヘッドユニット２８側）が低倍率（低解像度）のカメラ部３６とされている。また、各カメラ部３６、３８は、ベース部３２に沿って配設された互いに平行な一対のレール部３４に、カメラベース４０を介して摺動可能に取り付けられており、それぞれ独立して移動可能となっている。

更に、カメラ部３６、３８は、カメラ本体３６Ａ、３８Ａの下面にレンズ部３６Ｂ、３８Ｂが設けられ、レンズ部３６Ｂ、３８Ｂの突出先端部には、リング状のストロボ光源（ＬＥＤストロボ光源）３６Ｃ、３８Ｃが取り付けられている。各レンズ部３６Ｂ、３８Ｂは、レンズ光軸が略垂直になるように、下方へ向けて配置されており、ストロボ光源３６Ｃ、３８Ｃからの光が、露光ステージ２０上の感光材料６０へ照射され、その反射光を、レンズ部３６Ｂ、３８Ｂを介してカメラ本体３６Ａ、３８Ａに入力させることで、感光材料６０上のアライメントマークＭを撮影できる構成になっている。

そして、低倍率のカメラ部３６のストロボ光源３６Ｃは、長波長（例えば赤色）の光を照射し、高倍率のカメラ部３８のストロボ光源３８Ｃは、短波長（例えば青色）の光を照射するようになっている。一般に、短波長の光をストロボ光源として用いた撮影では解像度を向上できる。

したがって、低倍率のカメラ部３６と高倍率のカメラ部３８の両方とも短波長の光を用いてストロボ撮影することが望ましいが、短波長の光を照射するストロボ光源は高価であるため、少なくとも精度が必要とされる高倍率のカメラ部３８に、短波長の光を照射できるストロボ光源３８Ｃを用いている。これにより、アライメントマークＭを撮影したときの解像度の向上が図れる構成である。

カメラベース４０は、それぞれボールねじ機構部４２の駆動によって、定盤１８の幅方向へ移動可能となっており、露光ステージ２０の移動と、ボールねじ機構部４２の駆動力による定盤１８の幅方向への移動とによって、感光材料６０の所望の位置にレンズ部３６Ｂ、３８Ｂの光軸を配置することが可能となっている。

ここで、露光ステージ２０と感光材料６０とは、オペレーターが感光材料６０を露光ステージ２０に載置することで、その相対位置関係が決まるため、若干のずれが生じることがある。そのため、まず感光材料６０に設けられたアライメントマークＭを含む所定領域を低倍率のカメラ部３６によって撮影し、その撮影結果を基に高倍率のカメラ部３８の幅方向の位置を調整し、その後、その高倍率のカメラ部３８によってアライメントマークＭを撮影する構成としている。

この２段階の撮影方式により、露光ステージ２０に載置された感光材料６０に位置ずれが生じていても、確実にアライメントマークＭを撮影できる構成である。そして、これにより、露光ステージ２０と既知の相対関係となっている露光ヘッドユニット２８による露光タイミングに補正をかけ、感光材料６０と画像データとの相対位置（露光開始位置）を最適化できる構成である。

なお、露光ステージ２０上面の往路方向手前側の端部には、各カメラ部３６、３８の位置を検出し、その位置を基準としてアライメント処理を行う、カメラ更正用の基準スケールＳが配設されている。この基準スケールＳは、例えばガラスなどの精度が狂わない（経時的に寸法変化しない）材質で構成され、その上面には複数のマークが一定間隔で配置されている。

このマークを各カメラ部３６、３８で撮影することにより、各カメラ部３６、３８の露光ステージ２０上面に対する位置が正確に判り、感光材料６０がずれて露光ステージ２０上に載置された場合でも、各カメラ部３６、３８でのアライメントマークＭの撮影（測定）が可能となる構成である。

また、露光ステージ２０を移動させるリニアモーター部２４、ヘッドアッセンブリ２８Ａ、カメラ部３６、３８等は、これらを制御する制御手段としてのコントローラー部５０に接続されている。このコントローラー部５０により、露光ステージ２０は所定の速度で移動するように制御され、カメラ部３６、３８は所定のタイミングで感光材料６０のアライメントマークＭを撮影するように制御され、ヘッドアッセンブリ２８Ａは所定のタイミングで感光材料６０を露光するように制御される。

ここで更に、感光材料６０に付与されたアライメントマークＭを検出し、感光材料６０と露光ヘッドユニット２８との相対位置関係を把握する方法について説明する。コントローラー部５０におけるカメラ動作制御部では、露光ステージ動作制御信号が入力されると、カメラ部３６、３８に対して起動信号を送出する。この起動信号によりカメラ部３６、３８は起動して撮影待機状態になる。

また、コントローラー部５０におけるトリガー信号生成部では、リニアエンコーダーの出力パルスをカウントするパルスカウンターが所定のカウント値を取ると（例えば、往路移動する露光ステージ２０に搬送された感光材料６０のアライメントマークＭがカメラ部３６の撮影画角内に入った位置に対応するパルス数をカウントした際には）、トリガー信号を生成してカメラ動作制御部及びストロボ発光制御部へ送出する。

このトリガー信号の入力タイミングで、カメラ動作制御部ではカメラ部３６に対してタイミング信号を送出し、カメラ部３６は撮影を行う。また、ストロボ発光制御部ではストロボ光源３６Ｃに対してタイミング信号を送出し、ストロボ光源３６Ｃはカメラ部３６の撮影動作に連動して発光するようになっている。このように、露光ステージ２０の動作タイミング（移動動作）と、カメラ部３６による撮影タイミング及びストロボ光源３６Ｃの発光タイミングとは同期が取られている。

また、露光ステージ動作制御信号とともに、感光材料６０のサイズデータが幅方向位置設定部に入力され、この幅方向位置設定部により、ボールねじ機構部４２の動作が制御され、低倍率のカメラ部３６の定盤１８に対する幅方向位置が調整される。これにより、アライメントマークＭが、低倍率のカメラ部３６の視野から外れない構成であり、露光ステージ２０の往路移動中に、アライメントマークＭを含む所定領域が低倍率のカメラ部３６によって撮影される。

こうして、低倍率のカメラ部３６によって撮影されたデータは、撮影データ解析部へ送出され、撮影データの解析が行われる。そして、その結果に基づいて、高倍率のカメラ部３８におけるボールねじ機構部４２の動作が制御され、高倍率のカメラ部３８の定盤１８に対する幅方向位置が調整される。

高倍率のカメラ部３８の幅方向位置が調整されたら、露光ステージ２０の復路移動中に、アライメントマークＭが、その高倍率のカメラ部３８によって撮影され、それによって描画領域の位置が測定される。なお、露光ステージ２０の移動速度は、さほど精度が必要とされない往路移動時の方が、精度が必要とされる復路移動時よりも速い。これにより、処理効率（生産性）の向上が図れる構成である。

こうして、高倍率のカメラ部３８によって撮影されたデータは、撮影データ解析部へ送出され、撮影データの解析が行われる。基本的には、撮影された画像データはアナログデータ（光電変換直後は、光量が電圧に変換される）であるため、このアナログデータをデジタル画像データに変換し、デジタル画像データが位置データと共に数値（濃度値）管理される。

撮影データ解析部で解析されたデジタル画像データは、マーク抽出部へ送出されて、そのアライメントマークＭが抽出され、マーク照合部へ送出される。なお、デジタル画像データに対応付けられた位置データは、露光位置補正係数演算部へ送出される。そして、マーク照合部では、抽出したアライメントマークＭの画像データと、予めマークデータメモリーに記憶されたマークデータとを照合し、一致／不一致を示す信号を露光位置補正係数演算部へ送出する。

露光位置補正係数演算部では、照合の結果、一致していると判別されたマークデータに対応する位置データと、本来の（設計上の）アライメントマークＭの位置データとの誤差を認識し、露光位置（露光ステージ２０の移動方向における露光開始位置、並びに露光ステージ２０の幅方向におけるドットのシフト位置）の補正係数を演算し、露光制御系へ送出する。そして、この補正係数に基づいて、感光材料６０上に記録する画像の位置が適正位置になるように、露光ヘッドユニット２８の各ヘッドアッセンブリ２８Ａによる画像記録（露光）開始時期等を補正する。

つまり、入力された各アライメントマークＭの画像データ（基準位置データ）から判明する画像内におけるアライメントマークＭの位置及びアライメントマークＭ間のピッチ等と、そのアライメントマークＭを撮影したときの露光ステージ２０の位置及びカメラ部３８の位置から、演算処理によって、露光ステージ２０上における感光材料６０の位置ずれ、移動方向に対する傾き、寸法精度誤差等を把握し、感光材料６０の露光面（描画領域）に対する適正な露光位置を算出する。

また、露光パターンに応じた画像データは、コントローラー部５０内のメモリーに一旦記憶されている。したがって、各ヘッドアッセンブリ２８Ａによる画像露光時には、そのメモリーに記憶されている露光パターンの画像データに基づいて生成する制御信号が、適正な露光位置に合わせ込んで画像露光されるように、補正制御（アライメント）される。なお、この画像データは、画像を構成する各画素の濃度を２値（ドットの記録の有無）で表したデータである。

また、図２で示すように、定盤１８における露光ヘッドユニット２８を含む奥側は、筐体部１２Ａ内の空間に対して更に隔離されるように、チャンバー５４が設けられている。すなわち、このチャンバー５４内には、露光ヘッドユニット２８とアライメントユニット３０が配設され、定盤１８がチャンバー５４内からステージ部１２Ｂへ延設されており、露光ステージ２０のみが、チャンバー５４内外へ移動する構造とされている。

チャンバー５４の天井部には、送風ダクト４４の一端部が取り付けられており、送風ダクト４４の他端部は、送風機４６のエアー排出口に取り付けられている。したがって、送風機４６が作動すると、エアーが送風ダクト４４を介してチャンバー５４内へ送り込まれる構成である。

チャンバー５４内にエアーが送り込まれると、チャンバー５４内は正圧となり、露光ステージ２０の移動空間を通って、ステージ部１２Ｂへと流動する。この流動により、最も塵埃を回避するべき、露光ヘッドユニット２８周辺及びアライメントユニット３０周辺の塵埃を排出することができ、かつ開閉蓋１４の開放時（感光材料６０の露光ステージ２０上への着脱時）であっても、圧力差によって新たな塵埃の侵入を防止することができる。

また、露光ヘッドユニット２８における露光ステージ２０の往路方向手前側、即ちステージ部１２Ｂに近い側には、定盤１８の幅方向に亘って、除電装置（イオナイザー）５２が配設されている。除電装置５２は、中空パイプ状の吹出部５２Ａと、この吹出部５２Ａへイオン化されたエアーを供給するイオン発生部５２Ｂと、で構成されており、定盤１８に向けて、イオン化されたエアーを吹き出す構成になっている。

感光材料６０は、そのベースの材質により静電気を帯び、電荷が帯電することで、塵埃を引き寄せる性質がある。静電気によって引き寄せられて付着している塵埃は、エアーの流動のみでは払拭しきれないため、除電装置５２によって払拭する。具体的には、イオン発生部５２Ｂにおいて、アース電極と放電電極との間でコロナ放電が発生することでイオンを生成し、このイオンを送風源によって吹出部５２Ａへ案内して吹き出し、静電気によって帯電している塵埃と異極のイオンによる中和を行い、除電する。

これにより、感光材料６０が載置された露光ステージ２０が定盤１８上を移動するときに、感光材料６０の表面が除電され、静電気によって付着している塵埃を除去できるとともに、エアーブローにより、露光ステージ２０の上方空間に浮遊する塵埃を除去することが可能となる。

［露光装置の作用］
次に、以上のような露光装置１０の作用について説明する。なお、露光装置１０により画像露光を行う感光材料６０としては、プリント配線基板や液晶表示素子等のパターンを形成（画像露光）する材料としての基板やガラスプレート等の表面に感光性エポキシ樹脂等のフォトレジストを塗布、又はドライフィルムの場合はラミネートしたものなどが挙げられる。

図９には、露光開始時期補正ルーチンを示すフローチャートが示されている。まず、感光材料６０が露光ステージ２０上（載置面）に載置される。そして、バキュームポンプ等により、溝内を負圧にし、感光材料６０をその載置面に吸着保持する。その後、ステップ１００にて、露光開始指示があったか否かが判断され、肯定判定されると、ステップ１０２へ移行して、低倍率のカメラ部３６及び高倍率のカメラ部３８を起動させるように指示する。なお、ステップ１００で否定判定の場合は、このルーチンは終了する。

ステップ１０２にて低倍率のカメラ部３６及び高倍率のカメラ部３８の起動を指示すると、次いで、ステップ１０４へ移行して、感光材料６０のサイズデータが入力されたか否かが判断される。このステップ１０４で肯定判定されると、ステップ１０６へ移行して、入力したサイズデータに基づいて、低倍率のカメラ部３６の定盤１８に対する幅方向位置を、ボールねじ機構部４２を駆動制御して調整する。

ステップ１０８では、調整が完了したか否かが判断され、肯定判定されると、ステップ１１０へ移行して、感光材料６０を載置面に吸着保持した露光ステージ２０の往路移動を開始する。すなわち、露光ステージ２０を、リニアモーター部２４の駆動力により、定盤１８の摺動レール２２に沿ってステージ部１２Ｂから筐体部１２Ａの奥側へ向かって定速度で移動させる。

なお、露光ステージ２０の往路移動中、ステップ１１２では、リニアモーター部２４に設けられたリニアエンコーダーの出力パルスをパルスカウンターがカウントすることによって、露光ステージ２０の位置を認識し（リニアモーター部２４の駆動パルスでも判別可能）、ステップ１１４において、撮影タイミングか否かが判断される。

すなわち、露光ステージ２０の移動方向先端が往路方向手前側の低倍率のカメラ部３６の真下を通過する直前の位置であるか否かが判断され、肯定判定されると、ステップ１１６へ移行して撮影を開始する。これにより、感光材料６０に予め付与されているアライメントマークＭを含む所定領域が、低倍率（広視野）のカメラ部３６によって撮影される（図１０（Ａ）参照）。

つまり、アライメントマークＭが所定の撮影位置に至ったタイミングで、低倍率のカメラ部３６のストロボ光源３６Ｃ（長波長の光）を発光させる。そして、感光材料６０へ照射したストロボ光の感光材料６０上面での反射光を、レンズ部３６Ｂを介してカメラ本体３６Ａに入力させることにより、そのアライメントマークＭを含む所定領域（図１０においてＥ１で示す）を撮影する。

ここで、露光ステージ２０上に載置された感光材料６０は、同じサイズであっても、ロット毎や種類毎にアライメントマークＭの位置がずれたり、露光ステージ２０の載置面に載置したときに、所望とする位置からずれることがあるため、まず最初に、低倍率（広視野）のカメラ部３６により、アライメントマークＭの位置をある程度把握する作業を実行する。なお、このときの低倍率のカメラ部３６の位置は基準スケールＳによって認識される。

そして、次のステップ１１８において、露光ステージ２０の位置を確認し、ステップ１２０において撮影終了タイミングであるか否かが判断される。すなわち、露光ステージ２０の移動方向後端がアライメントユニット３０の真下を通過し終えたか否かを判断し、肯定判定されると、ステップ１２２へ移行して撮影を終了する。

こうして、低倍率のカメラ部３６で、アライメントマークＭを含む所定領域を撮影したら、ステップ１２４にて撮影データを解析する。これにより、アライメントマークＭの位置をある程度特定できたら、ステップ１２６にて、そのアライメントマークＭの位置に合わせて高倍率のカメラ部３８の定盤１８に対する幅方向位置を、ボールねじ機構部４２を駆動制御して調整する（図１０（Ｂ）参照）。

このとき、基準スケールＳにより、低倍率のカメラ部３６と高倍率のカメラ部３８との露光ステージ２０を介した相対位置を確認することができ、それに基づいて、高倍率のカメラ部３８の位置をそれぞれ調整することができる。その後、ステップ１２８にて、調整が完了したか否かが判断され、肯定判定されると、ステップ１３０へ移行して、感光材料６０を載置面に吸着保持した露光ステージ２０の復路移動を開始する。

すなわち、露光ステージ２０を、リニアモーター部２４の駆動力により、定盤１８の摺動レール２２に沿って筐体部１２Ａからステージ部１２Ｂ側へ向かって定速度で移動させる。なお、露光ステージ２０の復路移動中、ステップ１３２では、リニアモーター部２４に設けられたリニアエンコーダーの出力パルスをパルスカウンターがカウントすることによって露光ステージ２０の位置を認識し（リニアモーター部２４の駆動パルスでも判別可能）、ステップ１３４において、撮影タイミングか否かが判断される。

すなわち、露光ステージ２０の移動方向先端が往路方向奥側の高倍率のカメラ部３８の真下を通過する直前の位置であるか否かが判断され、肯定判定されると、ステップ１３６へ移行して撮影を開始する。これにより、感光材料６０に予め付与されているアライメントマークＭが、高倍率（狭視野）のカメラ部３８によって撮影される（図１０（Ｃ）参照）。

つまり、アライメントマークＭが所定の撮影位置に至ったタイミングで、高倍率のカメラ部３８のストロボ光源３８Ｃ（短波長の光）を発光させる。そして、感光材料６０へ照射したストロボ光の感光材料６０上面での反射光を、レンズ部３８Ｂを介してカメラ本体３８Ａに入力させることにより、そのアライメントマークＭ（図１０においてＥ２で示す）を撮影する。

なお、このとき、高倍率のカメラ部３８の位置は、低倍率のカメラ部３６による撮影（検出）結果に基づいて、適切な位置に配置済みなので、アライメントマークＭを確実に撮影することができる。したがって、アライメントマークＭを検出できないことによるエラーなどは発生しない。また、高倍率のカメラ部３８で撮影するときのストロボ光は、短波長（例えば青色）の光であるため、精度が必要とされるアライメントマークＭ撮影時の解像度を向上させることができる。

こうして、アライメントマークＭを高倍率のカメラ部３８で撮影したら、次のステップ１３８において、露光ステージ２０の位置を確認しつつ、ステップ１４０にて、撮影したデータを解析し、次いで、ステップ１４２へ移行してアライメントマークＭに相当する画像データを抽出する。そして、次のステップ１４４では、マークデータメモリーから基準データを読出し、ステップ１４６において、撮影し、かつ抽出したマーク画像データと、予め記憶されている基準データとを照合する。

その後、次のステップ１４８では、照合結果に基づいて露光位置補正係数を演算し、ステップ１５０へ移行して、露光制御系へ演算した補正係数データを送出し、このルーチンは終了する。すなわち、露光ヘッドユニット２８における各ヘッドアッセンブリ２８Ａによる露光開始時期等が補正される。したがって、感光材料６０上に記録する画像位置が適正な位置になる。

また、感光材料６０に付与されているアライメントマークＭは、露光ステージ２０が所定の速度で移動しながら検出される。したがって、本来のアライメントマークＭが円形とした場合でも、露光ステージ２０を移動させながら撮影すると、撮影画像は撮影時のシャッタースピード等にもよるが、略長円形となる。

そのため、マークデータメモリーに記憶するマークデータは、高倍率のカメラ部３８の撮影環境（シャッタースピード、露光ステージ２０の移動速度等）を加味した画像（長円形画像）となっている。すなわち、本来の円形状ではなく、撮影環境下で実際に露光ステージ２０を移動しながら撮影した画像に対応したマークデータを記憶することで、照合の適正化を図っている。

こうして、画像記録位置補正（露光開始時期補正）を終えると、露光ステージ２０は、露光ヘッドユニット２８を通過する。このとき、露光ヘッドユニット２８では、補正された露光開始時期に基づいて、ＤＭＤにレーザー光が照射され、ＤＭＤのマイクロミラーがオン状態のときに反射されたレーザー光が光学系を介して感光材料６０へと案内され、感光材料６０上（露光面）に結像される。

つまり、コントローラー部５０のメモリーに記憶された画像データが複数ライン分ずつ順次読み出され、読み出された画像データに基づいて各ヘッドアッセンブリ２８Ａ毎に制御信号が生成される。この制御信号には、補正制御（アライメント）により、アライメント測定した感光材料６０に対する露光位置ずれの補正が加えられており、感光材料６０がＤＭＤの使用画素数と略同数の画素単位で露光される。

また、このとき、アライメントマークＭは、短手方向に所定間隔を隔てて３個配設され、それが長手方向（走査方向）に４列、高倍率のカメラ部３８とヘッドアッセンブリ２８Ａとの間隔以下で配設されている（高倍率のカメラ部３８とヘッドアッセンブリ２８Ａとの間隔が、走査方向におけるアライメントマークＭの間隔以上とされている）ので、高倍率のカメラ部３８でアライメントマークＭを撮影（測定）しつつ、ヘッドアッセンブリ２８Ａでの露光処理が実行可能となっている。

すなわち、露光ステージ２０の復路移動に伴い、高倍率のカメラ部３８により、長手方向１列目のアライメントマークＭを測定し、次いで２列目のアライメントマークＭを測定した時点で、その１列目のアライメントマークＭと２列目のアライメントマークＭとの間の描画領域に対する露光位置補正係数を算出できる（２列目以降も同様に算出できる）ので、高倍率のカメラ部３８とヘッドアッセンブリ２８Ａとの間隔が狭くても露光処理が実行できる。

こうして、感光材料６０が露光ステージ２０と共に定速度で移動することにより、露光ステージ２０の移動方向と反対の方向に、各ヘッドアッセンブリ２８Ａ毎に帯状の露光済み領域２８Ｃが形成される（図６（Ａ）参照）。そして、感光材料６０に対する露光処理が完了し、露光ステージ２０が初期位置へ復帰移動すると、感光材料６０は、露光ステージ２０による吸着状態が解除されて、図示しない機外の搬送コンベアへ搬送され、次工程へ搬送される。

［露光装置の変形例］
次に、露光装置１０の変形例について説明する。なお、上記と同等の機能を有する部位については同じ符号を付して詳細な説明は省略する。図１１乃至図１３で示すように、この露光装置１１は、定盤１８が長手方向（走査方向）に延設されており、アライメントマークＭの撮影（測定）及び露光処理は、露光ステージ２０の一方向（図１２で示す矢印ＹＢ方向）への移動だけで完了する構成とされている。

すなわち、感光材料６０が露光ステージ２０上に載置される位置と、露光ステージ２０上から取り出される位置とは異なる構成とされており、低倍率のカメラ部３６と高倍率のカメラ部３８とが、その一方向（矢印ＹＢ方向）に沿って所定の間隔を隔てて順に配設されている。

つまり、低倍率のカメラ部３６は、定盤１８上に立設された一対の支柱５６に架設され、高倍率のカメラ部３８は、定盤１８上に立設された一対の支柱５８に架設されており、それぞれのベース部３２が独立して配設される構成になっている。なお、定盤１８及び露光ステージ２０が２基設置され、一方の定盤１８に低倍率のカメラ部３６が配設され、他方の定盤１８に高倍率のカメラ部３８と露光ヘッドユニット２８が配設される構成にしてもよい。

何れにしても、露光ステージ２０に感光材料６０が載置され、その露光ステージ２０が矢印ＹＢ方向へ移動を開始すると、まず低倍率のカメラ部３６によってアライメントマークＭを含む所定領域が撮影される。そして、この撮影結果に基づいて、高倍率のカメラ部３８の幅方向における位置が調整される。

そして更に、露光ステージ２０が矢印ＹＢ方向に移動し、今度は、その位置調整された高倍率のカメラ部３８によってアライメントマークＭが撮影される。この際、低倍率のカメラ部３６でアライメントマークＭを含む所定領域を撮影することで、感光材料６０の位置がずれていても、それに合わせて高倍率のカメラ部３８の配置が完了しているので、アライメントマークＭを確実に撮影することができる。つまり、アライメントマークＭの検出不良によるエラーの発生を防止することができる。

こうして、高倍率のカメラ部３８によってアライメントマークＭが撮影され、コントローラー部５０によって露光ステージ２０上の感光材料６０（描画領域）の位置が測定されたら、露光ステージ２０が更に矢印ＹＢ方向へ移動して、感光材料６０が露光ヘッドユニット２８を通過する。そして、これにより、感光材料６０の露光面（描画領域）がヘッドアッセンブリ２８Ａによって露光される。

そして更に、露光ステージ２０が矢印ＹＢ方向へ移動し、感光材料６０に対する露光処理が完了したら、その感光材料６０は、露光ステージ２０による吸着状態が解除されて、図示しない機外の搬送コンベアへ搬送され、次工程へ搬送される。その後、露光ステージ２０は、次の感光材料６０を露光処理するために、図１２で示す矢印ＹＡ方向へ、その載置面に何も載置されていない状態で復帰移動する。

なお、このような露光装置１１の場合には、感光材料６０上に設けられている全てのアライメントマークＭを撮影（測定）した後で、露光処理を実行する構成になるため、アライメントマークＭは、感光材料６０のコーナー部近傍にそれぞれ１個ずつ計４個配設されていれば足りる。

以上、何れにしても、アライメントマークＭを撮影するときには、まず低倍率（広視野）のカメラ部３６を使用し、次に高倍率（狭視野）のカメラ部３８を使用する構成になっている。したがって、アライメントマークＭを確実に撮影（検出）することができ、アライメントマークＭの検出不良によるエラーの発生を確実に防止することができる。

すなわち、露光ステージ２０上に感光材料６０の位置がずれて載置されたときや、ロット毎、種類毎でアライメントマークＭの位置がずれているときなどでは、そのアライメントマークＭを高倍率（狭視野）のカメラ部３８で撮影することができない（図１０（Ｂ）参照）。そこで、本発明では、これを防ぐために、低倍率のカメラ部３６を設け、確実にアライメントマークＭの撮影ができるようにしている。

つまり、最初は低倍率（広視野）のカメラ部３６で撮影するので（図１０（Ａ）参照）、アライメントマークＭの位置が予定していた位置からずれていても、そのアライメントマークＭを含む所定領域を撮影することにより、アライメントマークＭを確実に検出することができる。これにより、アライメントマークＭの位置が把握（特定）でき、この撮影結果を基に、感光材料６０に対する高倍率のカメラ部３８の幅方向の補正距離（補正量）を算出することができる。

そして、その補正量により、高倍率のカメラ部３８の幅方向の位置が自動的に調整されるので、アライメントマークＭは、その高倍率のカメラ部３８で確実に撮影（測定）することができる（図１０（Ｃ）参照）。したがって、従来のように、感光材料６０を適当に置き直すことによる製造効率の低下が生じることはなく、感光材料６０に対する露光処理が効率よく実行可能となる。

また、本実施例では、感光材料６０上に記録する画像位置を補正するためのアライメントマークＭの読み取りが、露光ステージ２０（感光材料６０）を移動させつつ行われるので、処理効率（生産性）を向上させることができる。更に、本実施例（変形例は除く）では、露光ステージ２０を往復移動させる構成にしているので、露光ヘッドユニット２８とアライメントユニット３０とを接近配置することができ、露光装置１０自体のコンパクト化が図れる（設置スペースの省スペース化が図れる）。

なお、低倍率のカメラ部３６でアライメントマークＭを撮影できなかった場合には、感光材料６０自体が不良品であるとみなして、露光ステージ２０上から、その感光材料６０を強制的に排出すればよい。また、このとき、低倍率のカメラ部３６でのアライメントマークＭの測定リトライ回数を予め設定しておき、その回数分測定し直して検出できなかった場合には、強制的に排出するような構成にしてもよい。

また、本実施例では、露光ステージ２０を移動させつつ、それに載置された感光材料６０のアライメントマークＭを撮影する構成としたが、これに限定されるものではなく、アライメントマークＭを撮影する際に、露光ステージ２０を一旦停止させる構成としてもよいことは言うまでもない。

また、本実施例では、空間光変調素子としてＤＭＤを用い、点灯時間を一定にしてオン／オフすることで、ドットパターンを生成するようにしたが、オン時間比（デューティー）制御によるパルス幅変調を行ってもよい。また、１回の点灯時間を極めて短時間として、点灯回数によってドットパターンを生成してもよい。

更に、本実施例では、空間光変調素子としてＤＭＤを備えた露光ヘッドユニット２８について説明したが、このような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用することもできる。例えば、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）タイプの空間光変調素子（ＳＬＭ；Special Light Modulator）や、電気光学効果により透過光を変調する光学素子（ＰＬＺＴ素子）や液晶光シャッター（ＦＬＣ）等の液晶シャッターアレイなど、ＭＥＭＳタイプ以外の空間光変調素子を用いることもできる。

なお、ＭＥＭＳとは、ＩＣ製造プロセスを基盤としたマイクロマシニング技術によるマイクロサイズのセンサー、アクチュエーター、そして制御回路を集積化した微細システムの総称であり、ＭＥＭＳタイプの空間光変調素子とは、静電気力を利用した電気機械動作により駆動される空間光変調素子を意味している。更に、Grating Light Valve（ＧＬＶ）を複数並べて２次元状に構成したものを用いることもできる。これらの反射型空間光変調素子（ＧＬＶ）や透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用する構成では、上記したレーザーの他にランプ等も光源として使用可能である。

また、光源としては、合波レーザー光源を複数備えたファイバーアレイ光源、１個の発光点を有する単一の半導体レーザーから入射されたレーザー光を出射する１本の光ファイバーを備えたファイバー光源をアレイ化したファイバーアレイ光源、複数の発光点が２次元状に配列された光源（例えばＬＤアレイ、有機ＥＬアレイ）等が適用可能である。

また、このような露光装置には、露光により直接情報が記録されるフォトンモード感光材料、露光により発生した熱で情報が記録されるヒートモード感光材料の何れも使用することができる。フォトンモード感光材料を使用する場合、レーザー装置にはＧａＮ系半導体レーザー、波長変換固体レーザー等が使用され、ヒートモード感光材料を使用する場合、レーザー装置にはＡｌＧａＡｓ系半導体レーザー（赤外レーザー）、固体レーザー等が使用される。

露光装置を示す概略斜視図 露光装置を示す概略側面図 露光装置を示す概略平面図 露光ステージを示す概略斜視図 露光ヘッドユニットを示す概略斜視図 （Ａ）露光ヘッドユニットによる露光領域を示す概略平面図、（Ｂ）ヘッドアッセンブリの配列パターンを示す概略平面図 単一のヘッドアッセンブリにおけるドットパターンの配列状態を示す概略平面図 アライメントユニットを示す概略斜視図 露光開始時期補正ルーチンを示す制御フローチャート アライメントマークの測定不良時と測定良好時を示す説明図 露光装置の変形例を示す概略斜視図 露光装置の変形例を示す概略側面図 露光装置の変形例を示す概略平面図

符号の説明

１０ 露光装置
２０ 露光ステージ（ステージ）
２８ 露光ヘッドユニット（露光手段）
３０ アライメントユニット
３６ 低倍率のカメラ部（第１のカメラ）
３８ 高倍率のカメラ部（第２のカメラ）
５０ コントローラー部
６０ 感光材料

Claims (8)

1. 感光材料が載置可能とされ、所定の搬送路に沿って移動可能に構成されたステージと、
   前記ステージに載置された感光材料のアライメントマークを含む所定領域を撮影する第１のカメラと、
   前記第１のカメラよりも高倍率とされるとともに前記第１のカメラによる撮影結果を基に位置調整可能とされ、前記ステージに載置された感光材料のアライメントマークを撮影する第２のカメラと、
   前記第２のカメラによる撮影結果に基づいて補正された画像データを前記感光材料に露光する露光手段と、
   を備えたことを特徴とする露光装置。
2. 前記ステージが往復移動可能とされ、
   前記第１のカメラでの撮影が、前記ステージの往路移動の間に行われ、
   前記第２のカメラでの撮影と前記露光手段による露光が、前記ステージの復路移動の間に行われることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 少なくとも前記第２のカメラの照明光を短波長化したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の露光装置。
4. 前記ステージの往路移動時の速度が、前記ステージの復路移動時の速度よりも速いことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の露光装置。
5. 前記第２のカメラと前記露光手段との間隔が、前記ステージの移動方向における前記アライメントマークの間隔以上とされていることを特徴とする請求項２乃至請求項４の何れか１項に記載の露光装置。
6. 感光材料が載置されたステージを所定の搬送路に沿って移動させる間に、その感光材料のアライメントマークを含む所定領域を第１のカメラで撮影し、その第１のカメラによる撮影結果を基に、第１のカメラよりも高倍率とされた第２のカメラの位置を調整し、前記ステージを所定の搬送路に沿って移動させる間に、前記感光材料のアライメントマークを、その第２のカメラで撮影し、その撮影結果に基づいて補正された画像データを前記感光材料に露光手段によって露光することを特徴とする露光方法。
7. 前記ステージが往復移動可能とされ、
   前記ステージの往路移動の間に、前記第１のカメラが撮影をし、
   前記ステージの復路移動の間に、前記第２のカメラが撮影をしつつ前記露光手段が露光することを特徴とする請求項６に記載の露光方法。
8. 少なくとも前記第２のカメラで撮影する際、その照明光が短波長化されていることを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の露光方法。

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