JP2006201516A - クランプ装置及び画像形成装置並びにクランプ方法 - Google Patents
クランプ装置及び画像形成装置並びにクランプ方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 板状のワーク100が載置され、ステージ20上に着脱可能に装着されるベース32と、ベース32にスライド可能に設けられ、ワーク100の縁端部100Aをクランプするクランプ部34と、クランプ部34に設けられ、クランプ部34をワーク100に対して位置決めする位置決め手段70とを備えたクランプ装置30とする。そして、このクランプ装置30を備えた画像形成装置10とする。
【選択図】 図1
Description
まず最初に、レーザー露光装置10について説明する。図1で示すように、このレーザー露光装置10は、6本の脚部12に支持された矩形厚板状の設置台14を備えている。設置台14の上面には、長手方向(搬送方向)に沿って2本のガイドレール16が配設されており、これら2本のガイドレール16上には、ガイド部19を介して矩形平板状のステージ部材20が設けられている。
次に、以上のような構成のレーザー露光装置10の作用について説明する。なお、レーザー露光装置10により画像露光を行う基板材料100としては、プリント配線基板や液晶表示素子等のパターンを形成(画像露光)する材料としての基板や、ガラスプレート等の表面に感光性エポキシ樹脂等のフォトレジストを塗布、又はドライフィルムの場合はラミネートしたものなどが挙げられる。
次に、以上のようなレーザー露光装置10等の画像形成装置において使用されるクランプ装置30について、図2乃至図10を基に詳細に説明する。図2で示すように、このクランプ装置30は、ステージ部材20上に載置され、図示しない位置決め手段によって位置決めされる矩形板状の(当然ながら基板材料100よりも表面積が大きい)ベース部材32と、ベース部材32に設けられるクランプ部34とを有している。
次に、以上のような構成のクランプ装置30の作用について説明する。まず最初に、位置決め手段70による位置決め方法について、主に図7、図8を基に説明する。まず、ベース部材32に基板材料100を載置し(P1)、固定タイプのクランプ部34Aにおける固定プレート46の内方側(基板材料100側)近傍に設けられた位置決めピン33に、基板材料100の一方である前端面100Bと左端面100Bをそれぞれ当接させる(P2)。
18 モーター(搬送機構)
20 ステージ部材(ステージ)
20A 孔部(吸着孔)
22 ボールネジ(搬送機構)
26 CCDカメラ(測定部)
28 露光ヘッド(露光部、描画部)
30 クランプ装置
32 ベース部材
32A 孔部(連通孔)
33 位置決めピン
34 クランプ部
36 スライド部材
38 固定部材
40 クランプ部材
42 取付プレート
44 支柱(案内手段)
44A フランジ(抜け止め部)
46 固定プレート
48 支持部
50 係止プレート(係止部材)
52 係止孔
53 切欠部
54 爪部(当接部)
56 基部
58 支持ロッド(支持手段)
60 コイルばね(付勢部材)
66A 第1スリット
66B 第2スリット
68 開孔
70 位置決め手段
72 位置決め部材
74 コイルばね
76 係止フランジ
78 係止フランジ
100 基板材料(ワーク)
100A 縁端部
100B 端面
Claims (11)
- 板状のワークが載置され、ステージ上に着脱可能に装着されるベースと、
前記ベースにスライド可能に設けられ、前記ワークの縁端部をクランプするクランプ部と、
前記クランプ部に設けられ、該クランプ部を前記ワークに対して位置決めする位置決め手段と、
を備えたことを特徴とするクランプ装置。 - 前記位置決め手段が、前記クランプ部に出入可能に設けられ、突出時に前記ワークの端面に当接して、前記クランプ部の前記ワークに対する位置決めを行う位置決め部材を有することを特徴とする請求項1に記載のクランプ装置。
- 前記ベースには、該ベース上面側と前記ステージ側との間を連通させる複数の連通孔が穿設されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のクランプ装置。
- 前記連通孔の少なくとも一部が、前記ステージに設けられた複数の吸着孔の少なくとも一部と同じ配置とされることを特徴とする請求項3に記載のクランプ装置。
- 前記クランプ部は、前記ベースの1つの辺に対してそれぞれ複数設けられるクランプ部材を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載のクランプ装置。
- 前記クランプ部は、
前記ベースにスライド可能かつ固定可能に設けられ、抜け止め部が形成された案内手段が立設されたスライド部材と、
前記案内手段に遊嵌される取付孔が穿設され、前記縁端部に当接する当接部が形成されたクランプ部材と、
前記クランプ部材に設けられ、前記抜け止め部に係合して、該クランプ部材を前記案内手段から脱落不能とする係止部材と、
前記クランプ部材の前記当接部とは反対側の基部に穿設された貫通孔に、脱落不能に挿通された支持手段と、
前記支持手段に挿嵌され、該支持手段を下方に向かって付勢する付勢部材と、
前記スライド部材に設けられ、前記支持手段を支持する支持部と、
を有し、
前記位置決め手段は、
前記スライド部材に出入可能に設けられ、突出時に前記ワークの端面に当接して、該スライド部材の前記ワークに対する位置決めを行う位置決め部材を有することを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか1項に記載のクランプ装置。 - 前記クランプ部は、
前記ベースにスライド可能かつ固定可能に設けられ、頭部にフランジが形成された支柱が立設されたスライド部材と、
前記支柱に遊嵌される取付孔が穿設され、前記縁端部に上方から当接する爪部が形成されたクランプ部材と、
前記クランプ部材の上面にスライド可能に設けられ、前記フランジに係合して、該クランプ部材を前記支柱から脱落不能とする係止プレートと、
前記クランプ部材の前記爪部とは反対側の基部に穿設された貫通孔に、脱落不能に挿通された支持ロッドと、
前記支持ロッドに挿嵌され、該支持ロッドを下方に向かって付勢するコイルばねと、
前記スライド部材に設けられ、前記支持ロッドの下端部を支持する支持部と、
を有し、
前記位置決め手段は、
前記スライド部材に出入可能に設けられ、突出時に前記ワークの端面に当接して、該スライド部材の前記ワークに対する位置決めを行う位置決め部材を有することを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか1項に記載のクランプ装置。 - 請求項1乃至請求項7の何れか1項に記載のクランプ装置におけるベースが装着されるステージを所定の搬送路に沿って搬送する搬送機構と、
前記搬送機構によって搬送されるステージ上のワークのアライメントマークを検出する測定部と、
前記測定部の検出結果に基づくアライメント後のワークに対して画像を形成する描画部と、
を有することを特徴とする画像形成装置。 - 請求項1乃至請求項7の何れか1項に記載のクランプ装置におけるベースが装着されるステージを所定の搬送路に沿って搬送する搬送機構と、
前記搬送機構によって搬送されるステージ上のワークのアライメントマークを検出する測定部と、
前記測定部の検出結果に基づくアライメント後のワークの描画領域を画像情報に基づいて変調された光ビームにより露光し、該描画領域に画像を形成する露光部と、
を有することを特徴とする画像形成装置。 - ベースにワークを載置し、出入可能な位置決め部材を備えた位置決め手段において、その位置決め部材を突出させ、クランプ部をスライドさせつつ、該位置決め部材を前記ワークに当接させることで、前記クランプ部の前記ワークに対する位置決めをし、その後、前記ワークの縁端部を前記クランプ部でクランプすることを特徴とするクランプ方法。
- 前記クランプ部で前記ワークの縁端部をクランプする前に、前記位置決め部材を退避させることを特徴とする請求項10に記載のクランプ方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008083478A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Fujifilm Corp | 露光システムおよびワーク搬送方法 |
JP2008275807A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Fujifilm Corp | 基板クランプ機構及び描画システム |
CN104204957A (zh) * | 2012-03-30 | 2014-12-10 | 株式会社阿迪泰克工程 | 曝光描绘装置及曝光描绘方法 |
CN116399883A (zh) * | 2023-05-22 | 2023-07-07 | 重庆理工大学 | 一种光学元件多自由度检测装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11288099A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-10-19 | Nippon Densan Shinpo Kk | 露光装置 |
JP2000338432A (ja) * | 1999-05-31 | 2000-12-08 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | レーザー露光装置及びその方法 |
JP2003110009A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-11 | Jeol Ltd | 試料保持装置 |
JP2004061577A (ja) * | 2002-07-25 | 2004-02-26 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 露光装置のマスク板固定方法およびマスク板支持装置 |
JP2004078108A (ja) * | 2002-08-22 | 2004-03-11 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 露光装置のマスク板固定治具 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11288099A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-10-19 | Nippon Densan Shinpo Kk | 露光装置 |
JP2000338432A (ja) * | 1999-05-31 | 2000-12-08 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | レーザー露光装置及びその方法 |
JP2003110009A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-11 | Jeol Ltd | 試料保持装置 |
JP2004061577A (ja) * | 2002-07-25 | 2004-02-26 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 露光装置のマスク板固定方法およびマスク板支持装置 |
JP2004078108A (ja) * | 2002-08-22 | 2004-03-11 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 露光装置のマスク板固定治具 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008083478A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Fujifilm Corp | 露光システムおよびワーク搬送方法 |
JP2008275807A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Fujifilm Corp | 基板クランプ機構及び描画システム |
CN104204957A (zh) * | 2012-03-30 | 2014-12-10 | 株式会社阿迪泰克工程 | 曝光描绘装置及曝光描绘方法 |
CN116399883A (zh) * | 2023-05-22 | 2023-07-07 | 重庆理工大学 | 一种光学元件多自由度检测装置 |
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