JP2007010679A - 半導体装置のテスト方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】 モニター用のテスト端子を不要とし、スペースメリットの不利点を是正することを目的とする。
【解決手段】 複数のアナログ入力端子AIN0、AIN1を持つ半導体装置において、アナログ入力端子AIN0、AIN1同士がそれぞれの有するアナログスイッチ11,12を介して互いに接続され、前記アナログスイッチ11,12の特性テストを、そのアナログスイッチ11,12を2個同時にオンさせて行う。
【選択図】 図1

Description

この発明は半導体装置のテスト方法に関し、アナログスイッチ素子を内蔵した半導体装置のテスト方法に関する。
半導体装置の集積度が大変大きくなっており、1つの半導体装置に多くの機能を有するものが多くなってきている。このため、半導体装置のピン数が増加する。このため、半導体装置のピン数を削減する手法として、内部に備えられたアナログスイッチにより切り替え可能な入力端子を備えて、複数のモードを1つの入力端子で行うものがある。
例えば、特開平6−43222号公報には、テスト端子を削減するために、アナログスイッチにより、テストモード設定時に電源端子を内部電源ラインと切り離し、被試験回路の入力端子に接続するように構成し、電源端子をテスト端子として用いることが開示されている。
このように、アナログスイッチを備えた入力端子を用いることで、アナログスイッチの切替で、1つの端子を複数の入力端子として用いることができる。
図2は、複数のアナログ入力端子を備えた半導体装置を示すブロック回路図である。この図では、アナログ入力端子が2本の例を示している。アナログ入力端子AIN0、AIN1はアナログスイッチ11,12を介して内部のアナログ回路と接続されている。このアナログスイッチ11,12は制御回路2により、制御される。スイッチ11は信号Aにより、スイッチBは信号Bにより制御される。
ところで、上記した装置において、各アナログスイッチ特性をテストするのには、モニター用のテスト端子3を追加し、制御回路3により、A,B両信号点を制御し、表1のようにテストを行っていた。表1は、従来テストにおける制御回路のA,B両信号点の制御と各入力端子テスト項目を示す。
Figure 2007010679
上記したように、従来のテスト手法では、各アナログスイッチ特性をテストするのに、モニター用のテスト端子3を追加する必要がある。そのため、半導体ピン数を1ピン余分に取らねばならず、半導体パッケージの小型化によるスペースメリットには不利である。
又、アナログスイッチ1個につき1回テストを行なうため、アナログ入力端子の数が増せば、その分テスト時間が増すという問題がある。
特開平6−43222号公報
上記したように、従来テスト手法ではモニター端子を使い、端子1本につき最低1回ずつのテストを要する。
昨今、半導体素子の小型化及び多ピン化が急速に進んでおり、それに比例して単価コストも下げるべく強い要求が、市場より生じている。その要求に対して従来技術では、どうしても、そのトレンドに追いつくことができない。
この発明は、上記した点に鑑みなされたものにして、モニター用のテスト端子を不要とし、スペースメリットの不利点を是正することを目的とする。
この発明は、各アナログ端子同士がそれぞれの有するアナログスイッチを介して互いに接続されている回路において、各アナログ端子に接続されている前記アナログスイッチの特性のテストを、そのアナログスイッチを複数個同時にオンさせて行うことを特徴とする複数のアナログ入力端子を持つ半導体装置において、アナログ入力端子は内部アナログスイッチを有し、前記アナログスイッチにより切り替えられている各アナログ入力端子の特性テストを、そのアナログスイッチを複数個同時にオンさせて行うことを特徴とする。
上記した構成によれば、モニター端子が不要となり、上記スペースメリットの不利点が是正できる。又、2個ずつ同時に測定を行なうので、アナログ入力端子又はアナログ出力端子の数が増しても、それ程テスト時間増加にならない。
以上説明したように、この発明によれば、モニター端子が不要となり、スペースメリットが得られる。又、2個ずつ同時に測定を行なうので、アナログ入力端子又はアナログ出力端子の数が増しても、それ程テスト時間増加にならない。
以下、この発明の実施の形態につき図1を参照して説明する。
図1は、この発明が適用される半導体装置のアナログ入力端子部分を示すブロック回路図である。
アナログ入力端子AIN0、AIN1はアナログスイッチ11,12を介して互いに接続され、そして、内部のアナログ回路と接続されている。このアナログスイッチ11,12は制御回路2により制御される。スイッチ11は信号Aにより、スイッチBは信号Bにより制御される。従来の図2にと相違するところは、この発明によるテスト方法を用いると、図1に示すようにモニター端子を不要としている。
上記した内部アナログスイッチにより切り替えられている各アナログ入力端子AIN0、AIN1の特性テストを、そのアナログスイッチ11,12を2つ同時にON(オン)させて、表2のように示すようにテストを行う。表2は、この発明テストで、制御回路のA,B両信号点の制御と各入力端子テスト項目を示している。
Figure 2007010679
表2に示したテスト手法を用いることで、モニター端子は不要となり、又、2端子のテストが1回の測定(最低、端子数/2回の測定)で済む。
又、テスト精度に関しては、アナログスイッチ特性にバラツキがあった場合、そのバラツキ値が1/2になってしまうが、その分、テストのOK/NGの判定を行なう規格値を厳しく設定することで、従来と同等レベルの精度を保てる。
上記した実施の形態においては、アナログ入力端子を2個同時にオンさせる場合につき説明しているが、必要に応じて3個以上のアナログ入力端子のアナログスイッチを同時にオンさせてテストを行っても良い。
また、上記した実施の形態においては、アナログ入力端子について説明したが、アナログスイッチを有するアナログ出力端子についても同様にテストを行うことができる。
この発明が適用される半導体装置のアナログ入力端子部分を示すブロック回路図である。 従来例を説明するための半導体装置のアナログ入力端子部分を示すブロック回路図である。
符号の説明
AIN0、AIN1 アナログ入力端子
11,12 アナログスイッチ
3 制御回路

Claims (1)

  1. 各アナログ端子同士がそれぞれの有するアナログスイッチを介して互いに接続されている回路において、各アナログ端子に接続されている前記アナログスイッチの特性のテストを、そのアナログスイッチを複数個同時にオンさせて行うことを特徴とする半導体装置のテスト方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2000074974A (ja) * 1997-09-30 2000-03-14 Toshiba Corp 半導体検査回路および半導体回路の検査方法

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