JP2007010445A - 焦電センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パッケージ(B)とキャップ(C)と窓板(D)とで形成された密閉空間(E)に焦電素子(A)を収容すると共に、密閉空間(E)内に水分吸収材(F)を入れる。
【効果】長期間のうちに水分が密閉空間(E)に透過してきても水分吸収材(F)に水分が吸収されてしまうため、焦電素子表面への水分の吸着による性能低下を防止することが出来る。また、TGS系焦電結晶(1)の潮解による性能低下を防止出来る。
【選択図】図1
Description
しかし、気密性が低いと、長期間のうちに水分が透過し、焦電素子表面への水分の吸着により、誘電損失tanδによるジョンソン雑音の増加等を招き、性能が低下してしまう問題点があった。
さらに、焦電素子を構成する焦電結晶がTGS系焦電結晶の場合は、潮解性を有するため、潮解による性能低下を起こす問題点があった。
そこで、本発明の目的は、透過による性能低下を防止することが出来る焦電センサを提供することにある。
上記第1の観点による焦電センサでは、焦電素子(A)を収容する密閉空間(E)内に水分吸収材(F)を入れたため、長期間のうちに水分が密閉空間(E)に透過してきても水分吸収材(F)に吸収されてしまう。これにより、焦電素子表面への水分の吸着による性能低下を防止することが出来る。
上記第2の観点による焦電センサでは、低湿度での吸湿性に優れたモレキュラーシーブを水分吸収材(F)として用いるため、密閉空間(E)内に透過してきた水分を好適に吸収できる。
上記第3の観点による焦電センサでは、焦電結晶がTGS系焦電結晶の場合は、潮解性を有するため潮解による性能低下を起こす問題点があったが、水分吸収材(F)が水分を吸収するため、潮解による性能低下を防止できる。
この焦電センサ100は、焦電結晶1に上面電極2および下面電極3を形成してなる焦電素子Aと、焦電素子Aが導電性接着剤6により接着される配線パターン7が上面に形成された絶縁基板4と、絶縁基板4が水分吸収材Fを介して接着剤により接着されると共にリード9a,9bを有するパッケージBと、パッケージBに溶接されるキャップCと、キャップCの窓部に接着剤で接着される窓板Dと、上面電極2とリード9aを接続するワイヤ5aと、配線パターン7とリード9bを接続するワイヤ5bとを具備している。
また、パッケージBとキャップCと窓板Dとで形成された密閉空間Eには、不活性ガスが封入されている。
上面電極2および下面電極3は、例えばAuである。
導電性接着剤6は、例えばAgペーストである。
絶縁基板4は、例えばガラスである。
水分吸収材Fは、例えば円柱状に成形したモレキュラーシーブである。
パッケージBおよびキャップCは、例えばコバールの如き金属製である。
窓板Dは、例えばKRS−5の如き赤外線透過材製である。
水分吸収材Fを接着したり、窓板Dを接着したりする接着剤は、例えばエポキシ樹脂である。
(1)絶縁基板4の上面の配線パターン7に導電性接着剤6を塗布する。
(2)導電性接着剤6の上に焦電素子Aを載せ、導電性接着剤6を硬化して固定する。
(3)パッケージBの上面中央に水分吸収材Fを接着剤で接着する。
(4)水分吸収材Fの上面に接着剤で絶縁基板4を接着する。
(5)上面電極2とリード9aとをワイヤ5aで接続する。また、配線パターン7とリード9bとをワイヤ5bで接続する。
(6)キャップCに窓板Dを接着剤で接着する。
(7)不活性ガス雰囲気下でキャップCをパッケージBに被せて溶接する。
(1)密閉空間Eに水分吸収材Fを入れるため、長期間のうちに水分が透過しても水分吸収材Fに吸収される。これにより、焦電素子表面への水分の吸着による性能低下を防止することが出来る。また、焦電結晶1の潮解による性能低下を防止することが出来る。
(2)絶縁基板4とパッケージBの間に水分吸収材Fを挟むため、両者が断熱される。これにより、焦電素子Aから絶縁基板4を介してパッケージBに熱が逃げることが抑制されて、感度が高くなる。
この焦電センサ200は、水分吸収材FをキャップCの内周面に接着剤で接着し、絶縁基板4はパッケージBに直に接着剤で接着したものである。
(1)密閉空間Eに水分吸収材Fを入れるため、長期間のうちに水分が透過しても水分吸収材Fに吸収される。これにより、焦電素子表面への水分の吸着による性能低下を防止することが出来る。また、焦電結晶1の潮解による性能低下を防止することが出来る。
(2)絶縁基板4がパッケージBに直に接着されるため両者の熱伝導が良好になる。これにより、強い赤外線入力による焦電素子Aの温度上昇があっても、熱が速やかに絶縁基板4を介してパッケージBに逃げられるため、焦電素子Aの熱変形やクラックの発生を防止できる。
4 絶縁基板
6 導電性接着剤
7 配線パターン
A 焦電素子
B パッケージ
C キャップ
D 窓板
E 密閉空間
F 水分吸収材
100,200 焦電センサ
Claims (3)
- 焦電素子(A)を、パッケージ(B)とキャップ(C)と窓板(D)とで形成された密閉空間(E)に収容した焦電センサにおいて、前記密閉空間(E)内に水分吸収材(F)を入れたことを特徴とする焦電センサ。
- 請求項1に記載の焦電センサにおいて、前記水分吸収材(F)がモレキュラーシーブであることを特徴とする焦電センサ。
- 請求項1または請求項2に記載の焦電センサにおいて、前記焦電素子(A)を構成する焦電結晶(1)がTGS系焦電結晶であることを特徴とする焦電センサ。
Priority Applications (1)
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JP2005190911A JP2007010445A (ja) | 2005-06-30 | 2005-06-30 | 焦電センサ |
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JP2005190911A JP2007010445A (ja) | 2005-06-30 | 2005-06-30 | 焦電センサ |
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JP2007010445A true JP2007010445A (ja) | 2007-01-18 |
Family
ID=37749164
Family Applications (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006105837A (ja) * | 2004-10-07 | 2006-04-20 | Shimadzu Corp | 焦電センサ |
JP2006200967A (ja) * | 2005-01-19 | 2006-08-03 | Shimadzu Corp | 焦電センサ |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03113149U (ja) * | 1990-03-03 | 1991-11-19 | ||
JPH0436265U (ja) * | 1990-07-24 | 1992-03-26 | ||
JPH0494528U (ja) * | 1991-01-04 | 1992-08-17 | ||
JP2003227961A (ja) * | 2002-02-06 | 2003-08-15 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 光モジュール |
JP2003254820A (ja) * | 2002-03-05 | 2003-09-10 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外線検出器 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03113149U (ja) * | 1990-03-03 | 1991-11-19 | ||
JPH0436265U (ja) * | 1990-07-24 | 1992-03-26 | ||
JPH0494528U (ja) * | 1991-01-04 | 1992-08-17 | ||
JP2003227961A (ja) * | 2002-02-06 | 2003-08-15 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 光モジュール |
JP2003254820A (ja) * | 2002-03-05 | 2003-09-10 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外線検出器 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006105837A (ja) * | 2004-10-07 | 2006-04-20 | Shimadzu Corp | 焦電センサ |
JP4581609B2 (ja) * | 2004-10-07 | 2010-11-17 | 株式会社島津製作所 | 焦電センサ |
JP2006200967A (ja) * | 2005-01-19 | 2006-08-03 | Shimadzu Corp | 焦電センサ |
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