JP2007003331A - エネルギー分散型蛍光ｘ線装置、蛍光ｘ線分析方法、およびプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】 分析精度の高いエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置、蛍光Ｘ線分析方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】 本発明にかかるエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００は、試料にＸ線を照射することにより発生する蛍光Ｘ線に基づいて前記試料を分析するエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置であって、前記試料から発生した蛍光Ｘ線を検出する検出部１４と、前記検出部が検出した前記蛍光Ｘ線のスペクトルを作成するスペクトル作成部２２と、前記スペクトル作成部によって作成された前記スペクトルが、鉛元素に対応する複数のエネルギー位置のすべてにピークを有する場合に、前記試料が鉛を含有すると判断する鉛同定部２４と、を含む。
【選択図】 図１

Description

本発明は、エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置、蛍光Ｘ線分析方法、およびプログラムに関する。

重金属などの金属物質を分析する装置として、蛍光Ｘ線分析装置が知られている。蛍光Ｘ線分析は、物質にＸ線を照射することにより発生する蛍光Ｘ線を利用して、物質を分析するものである。具体的には、物質にＸ線を照射することにより、物質に含まれる原子の内殻電子を外殻にはじき出し、電子がはじき出されることによって空いた空間に外殻電子が落ちてくる。このときに生じたエネルギーが電磁場として放射されたものを蛍光Ｘ線という。蛍光Ｘ線分析装置としては、エネルギー分散型と波長分散型とがある。エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置を用いて鉛の同定および定量を行う際、スペクトルは、鉛のピークと他元素のピークとが重なることによって正確な分析を行うことができない場合がある。一方、波長分散型蛍光Ｘ線分析装置による分析は、試料の形状が限定され、分析に要する時間が著しく長いという問題がある。
特開２００４−２５１８２８号公報

本発明の目的は、分析精度の高いエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置、蛍光Ｘ線分析方法、およびプログラムを提供することにある。

本発明にかかるエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置は、
試料にＸ線を照射することにより発生する蛍光Ｘ線に基づいて前記試料を分析するエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置であって、
前記試料から発生した蛍光Ｘ線を検出する検出部と、
前記検出部が検出した前記蛍光Ｘ線のスペクトルを作成するスペクトル作成部と、
前記スペクトル作成部によって作成された前記スペクトルが、鉛元素に対応する複数のエネルギー位置のすべてにピークを有する場合に、前記試料が鉛を含有すると判断する鉛同定部と、
を含む。

本発明にかかるエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置において、
前記複数のエネルギー位置は、鉛のＬα線およびＬβ線に対応するエネルギー位置であることができる。

本発明にかかるエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置において、
前記鉛の含有量を、エネルギー位置およびピーク強度に対応付けて予め格納する記憶部と、
前記試料が鉛を含有すると前記鉛同定部が判断した場合に、前記スペクトルのピーク強度およびエネルギー位置に対応付けられた鉛の含有量を、前記試料に含有されている鉛の含有量として決定する鉛定量部と、
をさらに含むことができる。

本発明にかかるエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置において、
前記記憶部は、鉛のＬα線およびＬβ線のエネルギー位置およびピーク強度に対応付けて鉛の含有量を格納し、
前記鉛定量部は、前記スペクトルが砒素のＫβ線のエネルギー位置にピークを有する場合に、前記記憶部において、前記スペクトルの鉛のＬβ線のエネルギー位置およびピーク強度に対応付けられた鉛の含有量を、前記試料に含有されている鉛の含有量として決定することができる。

本発明にかかるエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置において、
前記記憶部は、鉛のＬα線およびＬβ線のエネルギー位置およびピーク強度に対応付けて鉛の含有量を格納し、
前記鉛定量部は、前記スペクトルが臭素のＫα線およびＫβ線のエネルギー位置にピークを有する場合に、前記記憶部において、前記スペクトルの鉛のＬα線のエネルギー位置およびピーク強度に対応付けられた鉛の含有量を、前記試料に含有されている鉛の含有量として決定することができる。

本発明にかかるエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置において、
前記記憶部は、鉛のＬα線およびＬβ線のエネルギー位置およびピーク強度に対応付けて鉛の含有量を格納し、
前記鉛定量部は、前記スペクトルが臭素のＫα線およびＫβ線のエネルギー位置に所定値以上の強度のピークを有する場合に、前記記憶部において、前記スペクトルの鉛のＬα線のエネルギー位置およびピーク強度に対応付けられた鉛の含有量を、前記試料に含有されている鉛の含有量として決定することができる。

本発明にかかるエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置において、
前記記憶部は、鉛のＬα線およびＬβ線のエネルギー位置およびピーク強度に対応付けて鉛の含有量を格納し、
前記鉛定量部は、砒素のＫβ線のエネルギー位置と臭素のＫα線およびＫβ線のエネルギー位置との双方に前記スペクトルがピークを有しない場合に、前記記憶部において、前記スペクトルの鉛のＬα線およびＬβ線のエネルギー位置およびピーク強度に対応付けられた鉛の含有量に基づいて、前記試料に含有されている鉛の含有量を決定することができる。

本発明にかかる蛍光Ｘ線分析方法は、
試料にＸ線を照射することにより発生する蛍光Ｘ線に基づいて前記試料を分析する蛍光Ｘ線分析方法であって、
前記試料から発生した蛍光Ｘ線を検出するステップと、
検出した前記蛍光Ｘ線のスペクトルを作成するステップと、
作成された前記スペクトルが、鉛元素に対応する複数のエネルギー位置のすべてにピークを有する場合に、前記試料が鉛を含有すると判断するステップと、
を含む。

本発明にかかるプログラムは、
試料にＸ線を照射することにより発生する蛍光Ｘ線に基づいて前記試料を分析するコンピュータが実行可能なプログラムであって、
前記試料から発生した蛍光Ｘ線を検出する手段と、
検出した前記蛍光Ｘ線のスペクトルを作成する手段と、
作成された前記スペクトルが、鉛元素に対応する複数のエネルギー位置のすべてにピークを有する場合に、前記試料が鉛を含有すると判断する手段と、
をコンピュータに実現させる。

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

１．エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置の構成
図１は、本発明の実施の形態にかかるエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置の機能構成を示す図である。エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００は、試料１０にＸ線を照射することにより発生する蛍光Ｘ線に基づいて試料１０に含まれる鉛の同定および定量を行う。エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００は、Ｘ線照射部１２と、検出部１４と、入力部１６と、出力部１７と、記憶部１８と、処理部２０とを備える。

Ｘ線照射部１２は、試料１０にＸ線を照射する。検出部１４は、試料１０から発生した蛍光Ｘ線を検出し、検出値をスペクトル作成部２２に送る。入力部１６は、エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００のオペレータが各種の設定データや操作データを入力するためのものであり、その機能は、キーボード、操作ボタン、タッチパネル型ディスプレイなどのハードウエアにより実現できる。出力部１７は、試料１０の測定結果を出力する。また出力部１７は、エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００の設定状態、作動状態などを画像出力してもよく、その機能はＣＲＴ、ＬＣＤ、タッチパネル型ディスプレイ、プリンタ等の公知のハードウエアにより実現できる。

記憶部１８は、各種の設定データ（たとえば、測定制御用データなど）を記憶する他に、処理部２０等の各種処理機能を実現するためのワーク領域となるもので、その機能はＲＡＭ、ＲＯＭ、光ディスク、光磁気ディスクなどのハードウエアにより実現できる。また記憶部１８には、エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００の各部を機能させるためのプログラムが格納されていてもよい。エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００は、記憶部１８に格納されているプログラムを読み取ってエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００の各部の機能を実現させることができる。また、記憶部１８にかえて、上述した各機能を実現するためのプログラム等を、伝送路を介してホスト装置等からダウンロードすることによって上述したエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００の各部の機能を実現することも可能である。

処理部２０は、検出部１４が検出した検出値を処理し、処理結果を記憶部１８または出力部１７に送る。具体的に処理部２０は、スペクトル作成部２２と、鉛同定部２４と、鉛定量部２６とを含む。

スペクトル作成部２２は、検出部１４が検出した蛍光Ｘ線の検出値に基づいて蛍光Ｘ線のスペクトルを作成し、鉛同定部２４および鉛定量部２６に送る。スペクトル作成部２２は、検出部１４が検出した蛍光Ｘ線のエネルギー位置ごとの強度を示すスペクトルを作成する。

鉛同定部２４は、スペクトル作成部２２が作成したスペクトルが、鉛元素に対応する複数のエネルギー位置のすべてにピークを有する場合に、試料１０が鉛を含有すると判断する。複数のエネルギー位置とは、鉛のＬα線およびＬβ線に対応するエネルギー位置である。鉛同定部２４は、試料１０が鉛を含有すると判断した場合に、その旨を鉛定量部２６に送る。また鉛同定部２４は、試料１０が鉛を含有するか否かを示す情報を出力部１７に送る。出力部１７は、鉛同定部２４から受け取った情報を、エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００のオペレータが閲覧可能に画像表示する。

鉛定量部２６は、試料１０が鉛を含有する旨を示す情報を鉛同定部２４から受け取った場合に、スペクトル作成部２２から受け取ったスペクトルに基づいて、試料１０中の鉛の含有量を決定する。また鉛定量部２６は、決定した鉛の含有量を示す情報を出力部１７に送る。出力部１７は、鉛定量部２６から受け取った情報を、エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００のオペレータが閲覧可能に画像表示する。

２．エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置の動作
次にエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００の詳細な動作について説明する。図２は、エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００の動作を示すフローチャートである。

まず、Ｘ線照射部１２は、試料１０にＸ線を照射する（Ｓ１００）。ついで検出部１４は、蛍光Ｘ線を検出する（Ｓ１０２）。

次にスペクトル作成部２２は、検出部１４が検出した検出値に基づいて、エネルギー位置ごとの蛍光Ｘ線の強度を示すスペクトルを作成する（Ｓ１０４）。

次に鉛同定部２４は、スペクトル作成部２２が作成したスペクトルが鉛のＬα線に対応するエネルギー位置にピーク（以下、「ピークＰｂＬα」とする。）を有するか否かを判断する（Ｓ１０６）。ここで鉛同定部２４は、公知の方法を用いてピークの有無を判断することができる。鉛同定部２４は、たとえば、スペクトルを２次微分し、負の領域の最小エネルギー位置をピークのエネルギー位置としてリストアップし、リストアップしたエネルギー位置と、鉛のＬα線のエネルギー位置との差が所定値以内であれば、鉛のＬα線のピークとして判断する。

鉛同定部２４は、スペクトルがピークＰｂＬαを有すると判断した場合に、スペクトルが鉛のＬβ線に対応するエネルギー位置にピーク（以下、「ピークＰｂＬβ」とする。）を有するか否かを判断する（Ｓ１０８）。鉛同定部２４は、上述した方法でピークの有無を判断することができる。

出力部１７は、スペクトルがピークＰｂＬβを有すると鉛同定部２４が判断した場合に、試料１０が鉛を含有する旨を出力する（Ｓ１０９）。

次に、鉛定量部２６は、スペクトルが砒素のＫβ線に対応するエネルギー位置にピーク（以下、「ピークＡｓＫβ」とする。）を有するか否かを判断する（Ｓ１１０）。

鉛定量部２６は、ピークＡｓＫβを有しないと判断した場合に、ピークＰｂＬαの強度に基づいて、試料１０中の鉛の含有量を決定する（Ｓ１１２）。記憶部１８は、エネルギー位置ごとに鉛の含有量を強度に対応付けて予め格納しておく。そして鉛定量部２６は、ピークＰｂＬαの強度に対応付けられて格納されている鉛の含有量を記憶部１８から読み出し、試料１０中の鉛の含有量として決定する。

なお、鉛定量部２６は、鉛の含有量に対する強度の検量線を示す情報が記憶部１８に格納されている場合には、当該検量線とピークＰｂＬαの強度とから試料１０中の鉛の含有量を算出してもよい。なお、記憶部１８は、鉛の含有量にかえて、鉛の濃度等の含有量に関連した情報を格納してもよい。

ステップＳ１１２の後、またはＳ１１０においてスペクトルがピークＡｓＫβを有すると判断した場合に、鉛定量部２６は、スペクトルが臭素のＫα線およびＫβ線に対応するエネルギー位置にピーク（以下、「ピークＢｒＫα」、「ピークＢｒＫβ」とする。）を有するか否かを判断する（Ｓ１１４）。

鉛定量部２６は、スペクトルがピークＢｒＫαおよびピークＢｒＫβを有すると判断した場合に、ピークＢｒＫαおよびピークＢｒＫβの強度が所定値以上であるか否かを判断する（Ｓ１１６）。

鉛定量部２６は、Ｓ１１４においてスペクトルがピークＢｒＫαおよびピークＢｒＫβを有しないと判断した場合、またはＳ１１６においてピークＢｒＫαおよびピークＢｒＫβの強度が所定値未満であると判断した場合に、ピークＰｂＬβの強度に基づいて、試料１０中の鉛の含有量を決定する（Ｓ１１８）。鉛定量部２６は、ピークＰｂＬβの強度に対応付けられて格納されている鉛の含有量を記憶部１８から読み出し、試料１０中の鉛の含有量として決定する。

なお、鉛定量部２６は、鉛の含有量に対する強度の検量線を示す情報が記憶部１８に格納されている場合には、当該検量線とピークＰｂＬβの強度とから試料１０中の鉛の含有量を算出してもよい。

鉛同定部２４は、Ｓ１０６においてスペクトル作成部２２が作成したスペクトルがピークＰｂＬαを有しないと判断した場合、またはＳ１０８においてピークＰｂＬβを有しないと判断した場合、試料１０が鉛を含有しない旨を出力する（Ｓ１２０）。

Ｓ１１６においてピークＢｒＫαおよびピークＢｒＫβの強度が所定値以上であると判断した場合、Ｓ１２０の動作が終了したとき、またはＳ１１８の動作が終了したときに、エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００は動作を終了する。

３．実験例
３．１．実験例１
鉛を含有する既知試料の蛍光Ｘ線分析を行った。図３は、鉛を含有する試料の蛍光Ｘ線スペクトルを示す。試料としては、電子機器のケーブルの金属線を取り除いた、被覆材料の軟質塩化ビニルを用いた。検出された２本のピークトップの位置は、鉛のＬα線とＬβ線のエネルギー位置と一致した。

３．２．実験例２
砒素を含有する既知試料の蛍光Ｘ線分析を行った。図４は、砒素を含有する試料の蛍光Ｘ線スペクトルを示す。試料としては、電子機器シャフト材料のナイロンを用いた。検出されたピークトップの位置は、鉛のＬα線と砒素のＫα線およびＫβ線のエネルギー位置と一致した。また鉛のＬβ線の位置にピークは検出されなかった。

３．３．実験例３
鉛と所定値以上の臭素を含有する既知試料の蛍光Ｘ線分析を行った。図５は、鉛と所定値以上の臭素を含有する試料の蛍光Ｘ線スペクトルを示す。試料としては、電子機器の筐体材料のポリスチレンを用いた。検出されたピークトップの位置は、鉛のＬα線と一致したが、鉛のＬβ線の位置のピークトップは、臭素のＫα線とＫβ線のピークのバックグラウンドに埋もれたため確認できなかった。

３．４．実験例４
鉛と所定値未満の臭素を含有する既知試料の蛍光Ｘ線分析を行った。図６は、鉛と所定値未満の臭素を含有する試料の蛍光Ｘ線スペクトルを示す。試料としては、電子機器の筐体材料のポリスチレンを用いた。検出されたピークトップの位置は、鉛のＬα線およびＬβ線ならびに臭素のＫα線およびＫβ線と一致した。

３．５．実験例５
試料中の鉛の濃度に対するスペクトル強度の検量線を作成した。図７は、検量線を示す図である。この検量線は、鉛のＬα線のピーク強度を用いて作成したものである。エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００は、この検量線を用いて鉛を定量することができる。

４．効果
一般にエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析によって鉛の同定および定量を行うことができる。試料１０中に鉛が含有していると、図３に示すようなスペクトルが得られる。スペクトルは、試料が鉛を含有する場合にはピークＰｂＬαおよびピークＰｂＬβを有する。

そこでエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００によれば、ピークＰｂＬαおよびピークＰｂＬβの双方の有無を確認することによって、試料１０中に鉛が含有しているか否かを判断しているため、精度の高い分析を行うことができる。

しかし、試料中に鉛以外の他の元素が含まれ、鉛と他の元素の蛍光Ｘ線のエネルギー値が類似していると、ピークＰｂＬαまたはピークＰｂＬβが他の元素のピークと重なることがある。これによりエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置は、誤った分析をしてしまうことがある。

たとえば、図４に示すように、ピークＰｂＬαは、砒素のＫα線のピーク（以下、「ピークＡｓＫα」とする。）と重なり、ピークＰｂＬβは、臭素のピークＢｒＫαおよびピークＢｒＫβと重なることがある。表１に、各ピークのエネルギー値を示す。

ピークＰｂＬαのエネルギーは１０．５４２ｋｅＶであり、ピークＡｓＫαのエネルギーは１０．５３２ｋｅＶであるため、ピークＰｂＬαとピークＡｓＫαとのエネルギー差は、０．０１０ｋｅＶしかなく、これらのピークを識別するのは困難である。このようにピークが重なってしまうと、ピークＰｂＬαのみかけ上の強度がかわってしまうため、鉛の正確な含有量をスペクトルから判断することができないことがある。

そこで、エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００によれば、上述したようにピークＡｓＫβの有無を判断することによって試料１０に砒素が含まれているか否かを確認することができる。これにより、エネルギーが１０．５４ｋｅＶ付近のピークがピークＰｂＬα単独のピークであるのか、それともピークＡｓＫαを含むピークであるのかを判断することができる。

これにより、エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００は、エネルギーが１０．５４ｋｅＶ付近のピークがピークＰｂＬα単独のピークである場合にのみ、ピークＰｂＬαの強度に基づいて鉛の含有量を算出することができ、定量の精度を向上させることができる。

またピークＰｂＬβのエネルギーは、ピークＢｒＫαおよびピークＢｒＫβのエネルギーと非常に近い値である。よって、試料中の臭素濃度が低いときには、図６に示すようにピークＢｒＫαおよびピークＢｒＫβと、ピークＰｂＬβのピークが重ならないが、試料中の臭素濃度が高いときには、図５に示すようにピークＢｒＫαおよびピークＢｒＫβと、ピークＰｂＬβのピークが重なってしまう。ピークが重なると、ピークＰｂＬβのみかけ上の強度がかわってしまうため、鉛の正確な含有量をスペクトルから判断することができないことがある。

そこで、エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００によれば、ピークＢｒＫαおよびピークＢｒＫβの有無を確認し、それらのピークの強度から試料中の臭素濃度を判断することができる。これにより、試料中の臭素濃度が低いときおよび試料に臭素が含まれないときにのみ、ピークＰｂＬβの強度に基づいて鉛の含有量を算出することができ、定量の精度を向上させることができる。

なお、エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００は、スペクトルが砒素に基づくピークと臭素に基づくピークの双方を有する場合、またはスペクトルが砒素に基づくピークを有し、臭素に基づくピーク強度が所定値以上である場合、鉛の同定ができない旨を決定し、その旨を出力してもよい。

本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではない。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。

実施の形態にかかるエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置の機能構成を示す図。 実施の形態にかかるエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置の動作を示す図。 実験例１にかかる蛍光Ｘ線スペクトルを示す図。 実験例２にかかる蛍光Ｘ線スペクトルを示す図。 実験例３にかかる蛍光Ｘ線スペクトルを示す図。 実験例４にかかる蛍光Ｘ線スペクトルを示す図。 実験例５にかかる検量線を示す図。

Claims (9)

1. 試料にＸ線を照射することにより発生する蛍光Ｘ線に基づいて前記試料を分析するエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置であって、
   前記試料から発生した蛍光Ｘ線を検出する検出部と、
   前記検出部が検出した前記蛍光Ｘ線のスペクトルを作成するスペクトル作成部と、
   前記スペクトル作成部によって作成された前記スペクトルが、鉛元素に対応する複数のエネルギー位置のすべてにピークを有する場合に、前記試料が鉛を含有すると判断する鉛同定部と、
   を含む、エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置。
2. 請求項１において、
   前記複数のエネルギー位置は、鉛のＬα線およびＬβ線に対応するエネルギー位置である、エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置。
3. 請求項１または２において、
   前記鉛の含有量を、エネルギー位置およびピーク強度に対応付けて予め格納する記憶部と、
   前記試料が鉛を含有すると前記鉛同定部が判断した場合に、前記スペクトルのピーク強度およびエネルギー位置に対応付けられた鉛の含有量を、前記試料に含有されている鉛の含有量として決定する鉛定量部と、
   をさらに含む、エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置。
4. 請求項３において、
   前記記憶部は、鉛のＬα線およびＬβ線のエネルギー位置およびピーク強度に対応付けて鉛の含有量を格納し、
   前記鉛定量部は、前記スペクトルが砒素のＫβ線のエネルギー位置にピークを有する場合に、前記記憶部において、前記スペクトルの鉛のＬβ線のエネルギー位置およびピーク強度に対応付けられた鉛の含有量を、前記試料に含有されている鉛の含有量として決定する、エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置。
5. 請求項３または４において、
   前記記憶部は、鉛のＬα線およびＬβ線のエネルギー位置およびピーク強度に対応付けて鉛の含有量を格納し、
   前記鉛定量部は、前記スペクトルが臭素のＫα線およびＫβ線のエネルギー位置にピークを有する場合に、前記記憶部において、前記スペクトルの鉛のＬα線のエネルギー位置およびピーク強度に対応付けられた鉛の含有量を、前記試料に含有されている鉛の含有量として決定する、エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置。
6. 請求項３または４において、
   前記記憶部は、鉛のＬα線およびＬβ線のエネルギー位置およびピーク強度に対応付けて鉛の含有量を格納し、
   前記鉛定量部は、前記スペクトルが臭素のＫα線およびＫβ線のエネルギー位置に所定値以上の強度のピークを有する場合に、前記記憶部において、前記スペクトルの鉛のＬα線のエネルギー位置およびピーク強度に対応付けられた鉛の含有量を、前記試料に含有されている鉛の含有量として決定する、エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置。
7. 請求項３ないし６のいずれかにおいて、
   前記記憶部は、鉛のＬα線およびＬβ線のエネルギー位置およびピーク強度に対応付けて鉛の含有量を格納し、
   前記鉛定量部は、砒素のＫβ線のエネルギー位置と臭素のＫα線およびＫβ線のエネルギー位置との双方に前記スペクトルがピークを有しない場合に、前記記憶部において、前記スペクトルの鉛のＬα線およびＬβ線のエネルギー位置およびピーク強度に対応付けられた鉛の含有量に基づいて、前記試料に含有されている鉛の含有量を決定する、エネルギー分散型蛍光Ｘ線装置。
8. 試料にＸ線を照射することにより発生する蛍光Ｘ線に基づいて前記試料を分析する蛍光Ｘ線分析方法であって、
   前記試料から発生した蛍光Ｘ線を検出するステップと、
   検出した前記蛍光Ｘ線のスペクトルを作成するステップと、
   作成された前記スペクトルが、鉛元素に対応する複数のエネルギー位置のすべてにピークを有する場合に、前記試料が鉛を含有すると判断するステップと、
   を含む、蛍光Ｘ線分析方法。
9. 試料にＸ線を照射することにより発生する蛍光Ｘ線に基づいて前記試料を分析するコンピュータが実行可能なプログラムであって、
   前記試料から発生した蛍光Ｘ線を検出する手段と、
   検出した前記蛍光Ｘ線のスペクトルを作成する手段と、
   作成された前記スペクトルが、鉛元素に対応する複数のエネルギー位置のすべてにピークを有する場合に、前記試料が鉛を含有すると判断する手段と、
   をコンピュータに実現させる、プログラム。

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